一种用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201110370210.6

申请日:

2011.11.19

公开号:

CN102363898A

公开日:

2012.02.29

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):C30B 29/28申请公布日:20120229|||实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/28申请日:20111119|||公开

IPC分类号:

C30B29/28; C30B15/12

主分类号:

C30B29/28

申请人:

元亮科技有限公司

发明人:

柳祝平; 黄小卫

地址:

214037 江苏省无锡市北塘区江海西路金山北科技园金山四支路9号

优先权:

专利代理机构:

无锡市大为专利商标事务所 32104

代理人:

殷红梅;涂三民

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内容摘要

本发明涉及一种用于制备钆镓石榴石和铽镓石榴石等含有Ga2O3组分的石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,所述用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,包括内坩埚外套接的外坩埚,内坩埚与外坩埚的顶端面平齐,内坩埚与外坩埚的断面形状吻合,所述内坩埚由蓝宝石制成。采用上述技术方案的蓝宝石坩埚装置,可消除使用铱金坩埚时,铱金氧化物与Ga2O3组分反应生长铱金漂浮在熔体表面而影响晶体的内部质量,同时,消除铱金的氧化物对Ga2O3组分分解挥发的促进作用。

权利要求书

1: 一种用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚, 包括内坩埚 (1) 与外坩埚 (2) , 内坩埚 (1) 设置在外坩埚 (2) 的外部, 内坩埚 (1) 与外坩埚 (2) 的顶端面平齐, 内坩埚 (1) 与外坩埚 (2) 的断面形状吻合, 其特征是 : 所述内坩埚 (1) 由蓝宝石制成。
2: 如权利要求 1 所述的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚, 其特征是 : 所述外坩埚 (2) 由钨或者钼制成。
3: 如权利要求 1 所述的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚, 其特征是 : 所述内坩埚 (1) 的内径为 60~70mm, 内坩埚 (1) 的壁厚为 3~6mm, 内坩埚 (1) 的高度为 40~45mm。
4: 如权利要求 1 所述的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚, 其特征是 : 所述外坩埚 (2) 的内径为 66~82mm, 外坩埚 (2) 的壁厚为 5~8mm, 外坩埚 (2) 的高度为 40~50mm。
5: 如权利要求 1 所述的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚, 其特征是 : 所述内坩埚 (1) 的断面形状为圆环形或者多边环形。

说明书


一种用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚

    【技术领域】
     本发明涉及一种用于制备钆镓石榴石 (Gd3Ga5O12, 简称为 GGG) 和铽镓石榴石 (Tb3Ga5O12, 简称为 TGG) 等含有 Ga2O3 组分的石榴石型单晶的蓝宝石坩埚。背景技术 高功率固体激光器, 对激光晶体有一系列严格的要求 : 大的吸收截面和发射截面、 长的荧光寿命、 高的热力学性能以及能够生长成大尺寸高光学质量的晶体。 GGG 晶体容易在 平坦固液界面下生长, 不存在其他杂质和应力中心, 整个截面都可有效利用, 容易得到应用 于高功率激光器的大尺寸板条和板状元件, 并且 GGG 晶体具有好的力学和化学稳定性、 高 的热导率、 宽的泵浦吸收带、 长的荧光寿命, 泵浦光的吸收和储能性都较好, 可实现连续式 或脉冲式激光运转。GGG 晶体已成为高功率固体激光器的首选材料之一。
     目前随着近红外区光纤技术的迅猛发展, 光隔离器在信息传输中获得越来越重要 的应用。光隔离器主要利用磁光晶体的法拉第效应。铽镓石榴石 (TGG) 在可见和近红外光 谱区内具有较高的费尔德常数和低的吸收系数, 且容易用提拉法生长, 因此, TGG 晶体是应 用于 400 ~ 1100nm 波段的法拉第光隔离器和较高功率激光磁光器件的理想材料。
     从上可以看出, GGG 和 TGG 晶体具有广泛的应用前景, 但在这两种晶体生长过程 中, 都面临着严重的 Ga2O3 组分挥发问题, 由于组分 Ga2O3 具有较强的氧化性, 并且该物质在 不同的温度下具有不同的分解压力, 所以它在加热熔融过程中容易发生还原挥发生成亚镓 氧化物和氧气, 使熔体组分偏离化学计量得不到及时修正, 对晶体的质量造成严重的影响, 难以生长出大尺寸高质量的 GGG 和 TGG 晶体。中科院上海光机所赵广军等在 GGG 晶体的生 长气氛中通入一定的氧分压, 组分 Ga2O3 的挥发得到有效的抑制, 但由于使用铱金坩埚, 通 入的氧加速了铱金的氧化。另外, 由于反应 Ir+O2 = IrO2, IrO2+Ga2O3 = Ir+Ga2O+2O2 的发 生, 熔体表面经常漂浮一团铱金片, 这不仅给下籽晶时的观察带来了不便, 而且也改变了熔 体表面上的温场, 易产生表面螺旋形条纹, 影响晶体的品质, 且漂浮的铱金易被包裹在晶体 内而形成散点或生长在晶体的肩部而形成大量的位错。同时, 由于铱金坩埚的存在加速了 Ga2O3 组分的挥发, 加大了熔体组分的偏离。
     发明内容 本发明的目的是克服现有技术中存在的不足, 提供一种在制备钆镓石榴石或者铽 镓石榴石等含有 Ga2O3 组分的石榴石型单晶时不会影响晶体内部质量、 减少组分偏离的用 于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚。
     按照本发明提供的技术方案, 所述用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚, 包括内 坩埚与外坩埚, 内坩埚设置在外坩埚的外部, 内坩埚与外坩埚的顶端面平齐, 内坩埚与外坩 埚的断面形状吻合, 所述内坩埚由蓝宝石制成。
     所述外坩埚由钨或者钼制成。
     所述内坩埚的内径为 60 ~ 70mm, 内坩埚的壁厚为 3 ~ 6mm, 内坩埚的高度为 40 ~
     45mm。
     所述外坩埚的内径为 66 ~ 82mm, 外坩埚的壁厚为 5 ~ 8mm, 外坩埚的高度为 40 ~50mm。 所述内坩埚的断面形状为圆环形或者多边环形。
     本发明具有如下优点 :
     采用上述技术方案的蓝宝石坩埚装置, 可消除使用铱金坩埚时, 铱金氧化物与 Ga2O3 组分反应生长铱金漂浮在熔体表面而影响晶体的内部质量, 同时, 消除铱金的氧化物 对 Ga2O3 组分分解挥发的促进作用。
     附图说明
     图 1 是本发明的结构示意图。具体实施方式
     下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。
     如图所示, 用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚, 包括内坩埚 1 与外坩埚 2, 内坩 埚 1 设置在外坩埚 2 的外部, 内坩埚 1 与外坩埚 2 的顶端面平齐, 内坩埚 1 与外坩埚 2 的断 面形状吻合, 所述内坩埚 1 由蓝宝石制成。 所述外坩埚 2 由钨或者钼制成。
     所述内坩埚 1 的内径为 60 ~ 70mm, 内坩埚 1 的壁厚为 3 ~ 6mm, 内坩埚 1 的高度 为 40 ~ 45mm。
     所述外坩埚 2 的内径为 66 ~ 82mm, 外坩埚 2 的壁厚为 5 ~ 8mm, 外坩埚 2 的高度 为 40 ~ 50mm。
     所述内坩埚 1 的断面形状为圆环形或者多边环形。
     本发明采用蓝宝石坩埚代替传统提拉法生长含有 Ga2O3 组分的 GGG 和 TGG 等石榴 石型单晶时所使用的铱金坩埚, 可完全消除铱金的氧化物与组分 Ga2O3 反应生长铱金漂浮 在熔体表面而在晶体内部形成包裹物、 散点和位错。同时, 消除铱金的氧化物对 Ga2O3 组分 分解挥发的促进作用。
    

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资源描述

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1、10申请公布号CN102363898A43申请公布日20120229CN102363898ACN102363898A21申请号201110370210622申请日20111119C30B29/28200601C30B15/1220060171申请人元亮科技有限公司地址214037江苏省无锡市北塘区江海西路金山北科技园金山四支路9号72发明人柳祝平黄小卫74专利代理机构无锡市大为专利商标事务所32104代理人殷红梅涂三民54发明名称一种用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚57摘要本发明涉及一种用于制备钆镓石榴石和铽镓石榴石等含有GA2O3组分的石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,所述用于生长石榴石型单晶的蓝宝。

2、石坩埚,包括内坩埚外套接的外坩埚,内坩埚与外坩埚的顶端面平齐,内坩埚与外坩埚的断面形状吻合,所述内坩埚由蓝宝石制成。采用上述技术方案的蓝宝石坩埚装置,可消除使用铱金坩埚时,铱金氧化物与GA2O3组分反应生长铱金漂浮在熔体表面而影响晶体的内部质量,同时,消除铱金的氧化物对GA2O3组分分解挥发的促进作用。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图1页CN102363917A1/1页21一种用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,包括内坩埚(1)与外坩埚(2),内坩埚(1)设置在外坩埚(2)的外部,内坩埚(1)与外坩埚(2)的顶端面平齐,内坩埚(1)与外坩。

3、埚(2)的断面形状吻合,其特征是所述内坩埚(1)由蓝宝石制成。2如权利要求1所述的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,其特征是所述外坩埚(2)由钨或者钼制成。3如权利要求1所述的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,其特征是所述内坩埚(1)的内径为6070MM,内坩埚(1)的壁厚为36MM,内坩埚(1)的高度为4045MM。4如权利要求1所述的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,其特征是所述外坩埚(2)的内径为6682MM,外坩埚(2)的壁厚为58MM,外坩埚(2)的高度为4050MM。5如权利要求1所述的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,其特征是所述内坩埚(1)的断面形状为圆环形或者多边环形。权利要。

4、求书CN102363898ACN102363917A1/2页3一种用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚技术领域0001本发明涉及一种用于制备钆镓石榴石GD3GA5O12,简称为GGG和铽镓石榴石TB3GA5O12,简称为TGG等含有GA2O3组分的石榴石型单晶的蓝宝石坩埚。背景技术0002高功率固体激光器,对激光晶体有一系列严格的要求大的吸收截面和发射截面、长的荧光寿命、高的热力学性能以及能够生长成大尺寸高光学质量的晶体。GGG晶体容易在平坦固液界面下生长,不存在其他杂质和应力中心,整个截面都可有效利用,容易得到应用于高功率激光器的大尺寸板条和板状元件,并且GGG晶体具有好的力学和化学稳定性、高的。

5、热导率、宽的泵浦吸收带、长的荧光寿命,泵浦光的吸收和储能性都较好,可实现连续式或脉冲式激光运转。GGG晶体已成为高功率固体激光器的首选材料之一。0003目前随着近红外区光纤技术的迅猛发展,光隔离器在信息传输中获得越来越重要的应用。光隔离器主要利用磁光晶体的法拉第效应。铽镓石榴石TGG在可见和近红外光谱区内具有较高的费尔德常数和低的吸收系数,且容易用提拉法生长,因此,TGG晶体是应用于4001100NM波段的法拉第光隔离器和较高功率激光磁光器件的理想材料。0004从上可以看出,GGG和TGG晶体具有广泛的应用前景,但在这两种晶体生长过程中,都面临着严重的GA2O3组分挥发问题,由于组分GA2O3。

6、具有较强的氧化性,并且该物质在不同的温度下具有不同的分解压力,所以它在加热熔融过程中容易发生还原挥发生成亚镓氧化物和氧气,使熔体组分偏离化学计量得不到及时修正,对晶体的质量造成严重的影响,难以生长出大尺寸高质量的GGG和TGG晶体。中科院上海光机所赵广军等在GGG晶体的生长气氛中通入一定的氧分压,组分GA2O3的挥发得到有效的抑制,但由于使用铱金坩埚,通入的氧加速了铱金的氧化。另外,由于反应IRO2IRO2,IRO2GA2O3IRGA2O2O2的发生,熔体表面经常漂浮一团铱金片,这不仅给下籽晶时的观察带来了不便,而且也改变了熔体表面上的温场,易产生表面螺旋形条纹,影响晶体的品质,且漂浮的铱金易。

7、被包裹在晶体内而形成散点或生长在晶体的肩部而形成大量的位错。同时,由于铱金坩埚的存在加速了GA2O3组分的挥发,加大了熔体组分的偏离。发明内容0005本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种在制备钆镓石榴石或者铽镓石榴石等含有GA2O3组分的石榴石型单晶时不会影响晶体内部质量、减少组分偏离的用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚。0006按照本发明提供的技术方案,所述用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,包括内坩埚与外坩埚,内坩埚设置在外坩埚的外部,内坩埚与外坩埚的顶端面平齐,内坩埚与外坩埚的断面形状吻合,所述内坩埚由蓝宝石制成。0007所述外坩埚由钨或者钼制成。0008所述内坩埚的内径为607。

8、0MM,内坩埚的壁厚为36MM,内坩埚的高度为40说明书CN102363898ACN102363917A2/2页445MM。0009所述外坩埚的内径为6682MM,外坩埚的壁厚为58MM,外坩埚的高度为4050MM。0010所述内坩埚的断面形状为圆环形或者多边环形。0011本发明具有如下优点0012采用上述技术方案的蓝宝石坩埚装置,可消除使用铱金坩埚时,铱金氧化物与GA2O3组分反应生长铱金漂浮在熔体表面而影响晶体的内部质量,同时,消除铱金的氧化物对GA2O3组分分解挥发的促进作用。附图说明0013图1是本发明的结构示意图。具体实施方式0014下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。00。

9、15如图所示,用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚,包括内坩埚1与外坩埚2,内坩埚1设置在外坩埚2的外部,内坩埚1与外坩埚2的顶端面平齐,内坩埚1与外坩埚2的断面形状吻合,所述内坩埚1由蓝宝石制成。0016所述外坩埚2由钨或者钼制成。0017所述内坩埚1的内径为6070MM,内坩埚1的壁厚为36MM,内坩埚1的高度为4045MM。0018所述外坩埚2的内径为6682MM,外坩埚2的壁厚为58MM,外坩埚2的高度为4050MM。0019所述内坩埚1的断面形状为圆环形或者多边环形。0020本发明采用蓝宝石坩埚代替传统提拉法生长含有GA2O3组分的GGG和TGG等石榴石型单晶时所使用的铱金坩埚,可完全消除铱金的氧化物与组分GA2O3反应生长铱金漂浮在熔体表面而在晶体内部形成包裹物、散点和位错。同时,消除铱金的氧化物对GA2O3组分分解挥发的促进作用。说明书CN102363898ACN102363917A1/1页5图1说明书附图CN102363898A。

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