板状体输送装置及板状体输送方法 技术领域 本发明涉及板状体输送装置和利用这样的板状体输送装置的板状体输送方法， 所 述板状体输送装置设有朝向矩形状的板状体的下表面供给清洁空气而将板状体以水平姿 势在非接触状态下支承的送风式支承机构、 和接触在由该送风式支承机构支承的板状体的 下表面上而对该板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构， 并设有将板状体沿主 输送方向输送的上游侧输送部、 将板状体向与上述主输送方向正交的副输送方向输送的下 游侧输送部、 和将从上述上游侧输送部接受到的板状体的输送方向从上述主输送方向切换 为上述副输送方向而交接给上述下游侧输送部的中继输送部。
背景技术 该板状体输送装置是通过上游侧输送部将板状体沿着主输送方向输送而将该板 状体交接给中继输送部、 在中继输送部中将板状体的输送方向从主输送方向切换为副输送 方向、 在中继输送部中将板状体沿着副输送方向输送而将该板状体交接给下游侧输送部、
来输送板状体的装置， 在将板状体的输送方向从主输送方向变更为副输送方向时使用 （例 如参照专利文献 1） 。
在该专利文献 1 中， 一对主输送推进力施加机构中的位于副输送方向的上游侧的 主输送推进力施加机构遍及从上游侧输送部到中继输送部而配设， 但位于副输送方向的下 游侧的主输送推进力施加机构仅配设在上游侧输送部中， 在中继输送部中没有配设。
此外， 一对副输送推进力施加机构中的位于主输送方向的下游侧的副输送推进力 施加机构遍及从中继输送部到下游侧输送部而配设， 但位于主输送方向的上游侧的副输送 推进力施加机构仅配设在下游侧输送部中， 在中继输送部中没有配设。
即， 在中继输送部中， 在将板状体沿主输送方向输送的情况下， 仅使位于副输送方 向的上游侧的主输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上， 对板状体沿主输送方向施 加推进力， 在将板状体沿副输送方向输送的情况下， 仅使位于主输送方向的下游侧的副输 送推进力施加机构接触在板状体的下表面上， 对板状体沿副输送方向施加推进力。
专利文献 1 ： 特开 2005 － 75543 号公报 在上述专利文献 1 的板状体输送装置中， 可以考虑， 在中继输送部中设置副输送方向 的下游侧的主输送推进力施加机构和主输送方向的上游侧的副输送推进力施加机构， 在中 继输送部中， 也在将板状体沿主输送方向输送的情况下， 使主输送推进力施加机构接触在 板状体的副输送方向的两端部的下表面上， 通过一对主输送推进力施加机构对板状体沿主 输送方向准确地施加推进力， 在将板状体沿副输送方向输送的情况下， 使副输送推进力施 加机构接触在板状体的主输送方向的两端部的下表面上， 通过一对副输送推进力施加机构 对板状体沿副输送方向准确地施加推进力， 将板状体沿主输送方向或副输送方向输送。
并且， 如果在推进力施加机构的附近用送风式支承机构非接触支承板状体， 则通 过板状体的浮起， 推进力施加机构对板状体的接触压力下降。为了抑制该推进力施加机构 对板状体的下表面的接触压力的下降， 设在一对主输送推进力施加机构间且一对副输送推进力施加机构间的中继送风式支承机构需要以相对于副输送方向的下游侧的主输送推进 力施加机构向副输送方向的上游侧离开且相对于主输送方向的上游侧的副输送推进力施 加机构向主输送方向的下游侧离开的状态设置。
但是， 在从上游侧输送部向中继输送部输送板状体的情况下， 成为将板状体在形 成于主输送方向的上游侧的副输送推进力施加机构与中继送风式支承机构之间的第 1 间 隙的上方输送， 但由于在该第 1 间隙中没有设置送风式支承机构， 所以板状体的副输送方 向的中央部向下方挠曲， 这样挠曲的板状体被向主输送方向的下游侧输送， 有可能接触在 中继送风式支承机构上而损坏。
此外， 在从中继输送部向下游侧输送部输送的情况下也同样， 当被在形成于副输 送方向的下游侧的主输送推进力施加机构与中继送风式支承机构之间的第 2 间隙的上方 输送时， 板状体的主输送方向的中央部有可能向下方挠曲而损坏。 发明内容 本发明是鉴于上述实际状况而做出的， 其目的是提供一种能够对板状体准确地施 加推进力、 并且在输送板状体时将板状体损坏防止于未然的板状体输送装置。
有关本发明的板状体输送装置， 设有朝向矩形状的板状体的下表面供给清洁空 气、 将板状体以水平姿势在非接触状态下支承的送风式支承机构、 和接触在由该送风式支 承机构支承的板状体的下表面上、 对该板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机 构； 设有将板状体沿主输送方向输送的上游侧输送部、 将板状体向与上述主输送方向正交 的副输送方向输送的下游侧输送部、 将从上述上游侧输送部接受到的板状体的输送方向从 上述主输送方向切换为上述副输送方向、 交接给上述下游侧输送部的中继输送部 ； 作为上述推进力施加机构， 设有遍及从上述上游侧输送部到上述中继输送部配设、 接 触在板状体的上述副输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述主输送方向上 的推进力的一对主输送推进力施加机构、 和遍及从上述中继输送部到上述下游侧输送部而 配设、 接触在板状体的上述主输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述副输送 方向上的推进力的一对副输送推进力施加机构 ； 作为上述送风式支承机构， 设有在上述一 对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向 离开的状态下设在上述上游侧输送部中的上游侧送风式支承机构、 在上述一对副输送推进 力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下 设在上述下游侧输送部中的下游侧送风式支承机构、 和在上述一对主输送推进力施加机构 之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下且在上述一 对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向 离开的状态下设在上述中继输送部中的中继送风式支承机构 ； 上述中继输送部构成为， 通 过使上述一对主输送推进力施加机构和上述一对副输送推进力施加机构相对升降移动， 自 如地切换为使上述一对主输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输 送方向切换为上述主输送方向的主输送状态、 和使上述一对副输送推进力施加机构接触在 板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述副输送方向的副输送状态 ； 设有将朝 向板状体的下表面供给清洁空气的空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对副输送 推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于主输送方向的上游侧的第 1 间隙中的主输送辅助送风机构 ； 设有将上述空气供给部配设在上述中继输送 部的上述一对主输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至 少位于副输送方向的下游侧的第 2 间隙中的副输送辅助送风机构 ； 构成为， 上述主输送辅 助送风机构及上述副输送辅助送风机构分别自如地切换为供给清洁空气以将位于上述空 气供给部的上方的板状体以非接触状态支承的供给状态、 和使从上述空气供给部的清洁空 气的供给停止的供给停止状态 ； 设有在将上述中继输送部从上述副输送状态切换为上述主 输送状态的情况下、 将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给状态且将上述副输送辅助 送风机构切换为上述供给停止状态、 并且在将上述中继输送部从上述主输送状态切换为上 述副输送状态的情况下、 将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态并且将上述 副输送辅助送风机构切换为上述供给状态的送风状态切换机构。
即， 通过将中继输送部切换为主输送状态， 能够通过一对主输送推进力施加机构 对板状体沿主输送方向施加推进力， 能够将板状体从上游侧输送部输送到中继输送部。此 外， 在将板状体输送到中继输送部中后， 通过将中继输送部切换为副输送状态， 能够通过一 对副输送推进力施加机构对板状体沿副输送方向施加推进力， 能够将板状体从中继输送部 输送到下游侧输送部。 并且， 在将中继输送部切换为主输送状态的情况下， 将主输送辅助送风机构切换 为供给状态且将副输送辅助送风机构切换为供给停止状态， 所以在将板状体从上游侧输送 部向中继输送部输送时， 将主输送辅助送风机构切换为供给状态， 将副输送辅助送风机构 切换为供给停止状态。
由此， 在从上游侧输送部向中继输送部输送板状体的情况下， 将板状体在形成于 主输送方向的上游侧的副输送推进力施加机构与中继送风式支承机构之间的第 1 间隙的 上方输送， 而在第 1 间隙中设有主输送辅助送风机构的空气供给部， 该主输送辅助送风机 构被切换为供给状态。因此， 在将板状体在第 1 间隙的上方输送时能够通过主输送辅助送 风机构支承板状体， 能够抑制将板状体沿主输送方向输送时的板状体的挠曲、 将板状体损 坏防止于未然。
此外， 此时， 第 2 间隙位于板状体的副输送方向的下游侧的端部的下方， 在该第 2 间隙中设有副输送辅助送风机构的空气供给部， 但由于副输送辅助送风机构被切换为供给 停止状态， 所以板状体的副输送方向的下游侧的端部不受副输送辅助送风机构支承。 因此， 接触支承该端部的主输送推进力施加机构的对于板状体的接触压力不会下降， 能够通过一 对主输送推进力施加机构将板状体准确地沿主输送方向输送。
在从中继输送部向下游侧输送部输送板状体的情况下， 主输送辅助送风机构被切 换为供给停止状态且副输送辅助送风机构被切换为供给状态， 所以能够抑制将板状体沿副 输送方向输送时的板状体的挠曲， 能够将板状体接触在其他物体上而损坏的情况防止于未 然， 并且副输送推进力施加机构对于板状体的接触压力不会下降， 能够通过一对副输送推 进力施加机构将板状体准确地沿副输送方向输送。
总之， 在中继输送部中设有一对主输送推进力施加机构和一对副输送推进力施加 机构， 在第 1 间隙中设有主输送辅助送风机构的空气供给部， 在第 2 间隙中设有副输送辅助 送风机构的空气供给部， 通过对应于中继输送部的副输送状态和主输送状态的切换而将主 输送辅助送风机构及副输送辅助送风机构的状态切换为供给状态和供给停止状态， 达到能
够提供在将板状体沿主输送方向或副输送方向输送时能够对板状体适当地施加推进力并 且将板状体的损坏防止于未然的板状体输送装置。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中， 优选的是， 上述送风状态切换机 构构成为， 在上述中继输送部被从上述主输送状态切换为上述副输送状态而在上述中继输 送部中开始板状体的向上述副输送方向的输送之前， 将上述主输送辅助送风机构切换为上 述供给停止状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态。
即， 通过在将中继输送部从主输送状态切换为副输送状态而在中继输送部中开始 板状体的沿副输送方向的输送之前、 将主输送辅助送风机构切换为供给停止状态且将副输 送辅助送风机构切换为供给状态， 能够在输送开始后立即通过副输送辅助送风机构非接触 支承板状体， 所以能够抑制沿副输送方向输送时的板状体的挠曲， 能够将板状体损坏防止 于未然。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中， 优选的是， 上述主输送推进力施 加机构沿着上述主输送方向排列设置多个接触在板状体的下表面上、 对该板状体施加推进 力的旋转体而构成 ； 上述副输送推进力施加机构沿着上述副输送方向排列设置多个上述旋 转体而构成 ； 上述主输送辅助送风机构的上述空气供给部在俯视图中遍及从上述第 1 间隙 到上述副输送推进力施加机构的沿上述副输送方向相邻的上述旋转体之间而设置 ； 上述副 输送辅助送风机构的上述空气供给部在俯视图中遍及从上述第 2 间隙到上述主输送推进 力施加机构的沿上述主输送方向相邻的上述旋转体之间而设置。
即， 通过将主输送辅助送风机构的空气供给部不仅是第 1 间隙、 而设置在从该第 1 间隙到沿副输送方向排列设置的旋转体之间， 能够对被沿主输送方向输送的板状体在沿 主输送方向较宽的范围中通过主输送辅助送风机构支承板状体， 所以在沿主输送方向输送 时， 能够在沿主输送方向较宽的范围中抑制板状体的挠曲。 并且， 通过将空气供给部设在旋 转体之间， 能够如上述那样在较宽范围中支承板状体并且在被旋转体接触支承的板状体的 附近设置空气供给部， 所以通过从空气供给部喷出较少量的清洁空气能够支承板状体。
此外， 同样， 通过将副输送辅助送风机构的空气供给部遍及从第 2 间隙到旋转体 之间而设置， 在沿副输送方向输送时能够沿副输送方向在较宽范围中抑制板状体的挠曲， 此外， 通过从空气供给部喷出较少量的清洁空气， 能够支承板状体。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中， 优选的是， 上述主输送辅助送风 机构的上述空气供给部遍及包括上述第 1 间隙的上述上游侧送风式支承机构与上述中继 送风式支承机构之间的间隙的上述主输送方向的整个宽度而设置 ； 上述副输送辅助送风机 构的上述空气供给部遍及包括上述第 2 间隙的上述中继送风式支承机构与上述下游侧送 风式支承机构之间的间隙的上述副输送方向的整个宽度而设置。
即， 在上游侧送风式支承机构与中继送风式支承机构之间， 为了设置副输送推进 力施加机构并且形成第 1 间隙而在主输送方向上形成有较大的间隙， 而通过遍及该间隙的 整个宽度设置空气供给部， 在将板状体沿主输送方向输送时， 能够遍及上游侧送风式支承 机构与中继送风式支承机构之间的整个范围抑制板状体的挠曲。
此外， 通过遍及中继送风式支承机构与下游侧送风式支承机构之间的间隙的整个 宽度设置空气供给部， 在将板状体沿副输送方向输送时， 能够遍及中继送风式支承机构与 下游侧送风式支承机构之间的整个范围抑制板状体的挠曲。在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中， 优选的是， 上述主输送辅助送风 机构的上述空气供给部在上述中继输送部的上述副输送方向的端部侧的该空气供给部彼 此的间隔比上述中继输送部的上述副输送方向的中央部处的该空气供给部彼此的间隔宽 的状态下沿上述副输送方向排列设置有多个 ； 上述副输送辅助送风机构的上述空气供给部 在上述中继输送部的上述主输送方向的端部侧的该空气供给部彼此的间隔比上述中继输 送部的上述主输送方向的中央部处的该空气供给部彼此的间隔宽的状态下沿上述主输送 方向排列设置有多个。
即， 被沿主输送方向输送的板状体的副输送方向的两端部被一对主输送推进力施 加机构接触支承， 所以板状体成为副输送方向的中央较大地向下方挠曲的状态， 将这样挠 曲的板状体通过主输送辅助送风机构非接触支承， 但通过在较大地挠曲的中央部将空气供 给部以较窄的间隔设置而供给大量的清洁空气、 越靠挠曲较小的端部侧越将空气供给部以 较宽的间隔设置而供给少量的清洁空气， 能够对板状体供给适应于其姿势的量的清洁空 气， 能够将被沿主输送方向输送的板状体的副输送方向的中央部通过主输送辅助送风机构 适当地支承。 此外， 同样， 能够将被沿副输送方向输送的板状体的主输送方向的中央部通过 副输送辅助送风机构适当地支承。 在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中， 优选的是， 上述空气供给部由具 有缝隙状的喷出口的喷出喷嘴构成。
即， 通过从缝隙状的喷出口喷出清洁空气， 能够从该喷出口喷出清洁空气而将清 洁空气供给到板状体的下表面， 并且能够通过从该喷出口喷出的清洁空气的气流吸引周围 的清洁空气而将该吸引的周围的清洁空气也供给到板状体的下表面。
由此， 能够通过少量的清洁空气的喷出将大量的清洁空气供给到板状体的下表 面， 所以能够在确保对板状体的下表面供给的清洁空气的量的同时实现空气供给部的小型 化。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中， 优选的是， 设有向与在上述主输 送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体相同高度且抵接于在上述 副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的上述主输送方向的 下游侧的侧面上的限制位置、 和位于比在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加 机构载置支承的板状体的下表面及在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机 构载置支承的板状体的下表面靠下方侧且比上述限制位置靠上述主输送方向的下游侧的 限制解除位置移动自如的抵接体。
即， 通过使抵接体移动到限制位置， 能够接住朝向主输送方向的下游侧输送的板 状体， 由于一对副输送推进力施加机构位于这样被接住的板状体的主输送方向的两端侧的 下方， 所以在将中继输送部从主输送状态切换为副输送状态时， 能够通过一对副输送推进 力施加机构支承板状体的主输送方向的两端部的下表面， 能够将板状体的输送方向从主输 送方向适当地向副输送方向切换。
并且， 通过使抵接体移动到限制解除位置， 在通过一对副输送推进力施加机构将 板状体沿副输送方向输送时， 抵接体不抵接在板状体上， 所以在将板状体沿副输送方向输 送时， 能够避免因抵接体抵接在板状体上而使板状体损坏。
此外， 抵接体在限制解除位置位于比板状体靠下方， 所以在将板状体沿副输送方
向输送时， 即使板状体沿主输送方向偏移， 板状体也不会抵接在抵接体上。即， 由于不需要 考虑板状体沿主输送方向偏移而使抵接体向主输送方向的下游侧较大地移动， 所以能够将 抵接体在主输送方向上设在较小的空间中。
此外， 在使抵接体从限制位置以直线状移动到限制解除位置的情况下， 该抵接体 向斜下方移动到主输送方向的下游侧。 通过这样使抵接体向主输送方向的下游侧的斜下方 移动而从限制位置移动到限制解除位置， 在抵接体与由该抵接体接住的板状体之间不发生 擦碰， 能够将通过该擦碰带来的板状体的损坏防止于未然。
此外， 在本发明中， 包括对应于上述结构的方法， 在方法中， 能够期待对应于上述 结构的作用及效果。
即， 本发明的方法， 是利用板状体输送装置的板状体输送方法， 上述板状体输送装 置设有朝向矩形状的板状体的下表面供给清洁空气、 将板状体以水平姿势在非接触状态下 支承的送风式支承机构、 和接触在由该送风式支承机构支承的板状体的下表面上、 对该板 状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构 ； 设有将板状体沿主输送方向输送的上游 侧输送部、 将板状体向与上述主输送方向正交的副输送方向输送的下游侧输送部、 和将从 上述上游侧输送部接受到的板状体的输送方向从上述主输送方向切换为上述副输送方向、 交接给上述下游侧输送部的中继输送部 ； 作为上述推进力施加机构， 设有遍及从上述上游 侧输送部到上述中继输送部配设、 接触在板状体的上述副输送方向的两端部的下表面上而 对该板状体施加上述主输送方向上的推进力的一对主输送推进力施加机构、 和遍及从上述 中继输送部到上述下游侧输送部而配设、 接触在板状体的上述主输送方向的两端部的下表 面上而对该板状体施加上述副输送方向上的推进力的一对副输送推进力施加机构 ； 作为上 述送风式支承机构， 设有在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力 施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下设在上述上游侧输送部中的上游侧送风式 支承机构、 在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别 沿上述主输送方向离开的状态下设在上述下游侧输送部中的下游侧送风式支承机构、 和在 上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输 送方向离开的状态下且在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力 施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述中继输送部中的中继送风式支承 机构 ； 上述中继输送部构成为， 通过使上述一对主输送推进力施加机构和上述一对副输送 推进力施加机构相对升降移动， 自如地切换为使上述一对主输送推进力施加机构接触在板 状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述主输送方向的主输送状态、 和使上述一 对副输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述副 输送方向的副输送状态 ； 设有将朝向板状体的下表面供给清洁空气的空气供给部配设在上 述中继输送部的上述一对副输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对 间隙中的至少位于主输送方向的上游侧的第 1 间隙中的主输送辅助送风机构 ； 设有将上述 空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对主输送推进力施加机构与上述中继送风式 支承机构之间的一对间隙中的至少位于副输送方向的下游侧的第 2 间隙中的副输送辅助 送风机构 ； 构成为， 上述主输送辅助送风机构及上述副输送辅助送风机构分别自如地切换 为供给清洁空气以将位于上述空气供给部的上方的板状体以非接触状态支承的供给状态、 和使从上述空气供给部的清洁空气的供给停止的供给停止状态 ；所述板状体输送方法包括在上述中继输送部的从上述副输送状态向上述主输送状态 的切换时、 将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给状态且将上述副输送辅助送风机构 切换为上述供给停止状态、 在上述中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切 换时、 将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态并且将上述副输送辅助送风机 构切换为上述供给状态的送风状态切换工序。
在本发明的实施方式中， 优选的是， 构成为， 在上述送风状态切换工序中， 在上述 中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切换时， 在上述中继输送部中开始板 状体的向上述副输送方向的输送之前， 将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状 态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态。
在本发明的实施方式中， 优选的是， 设有向与在上述主输送状态下被上述一对主 输送推进力施加机构载置支承的板状体相同高度且抵接于在上述副输送状态下被上述一 对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的上述主输送方向的下游侧的侧面上的限制 位置、 和位于比在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体 的下表面及在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的 下表面靠下方侧且比上述限制位置靠上述主输送方向的下游侧的限制解除位置移动自如 的抵接体 ； 包括在上述中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切换时、 在上 述中继输送部中开始板状体的向上述副输送方向的输送之前、 使上述抵接体从上述限制位 置向上述限制解除位置移动的抵接体位置切换工序。 附图说明
图 1 是有关本发明的实施方式的板状体输送装置的俯视图。 图 2 是有关本发明的实施方式的中继输送部的俯视图。 图 3 是有关本发明的实施方式的中继输送部的侧视图。 图 4 是有关本发明的实施方式的主输送状态的中继输送部的侧视图。 图 5 是有关本发明的实施方式的副输送状态的中继输送部的侧视图。 图 6 是有关本发明的实施方式的辅助送风机构的侧视图。 图 7 是有关本发明的实施方式的主升降式推进力施加部的立体图。 图 8 是表示有关本发明的实施方式的排列设置的空气供给部的图。 图 9 是表示有关本发明的实施方式的抵接体的图。 图 10 是有关本发明的实施方式的板状体输送装置的输送作用图。 图 11 是有关本发明的实施方式的板状体输送装置的输送作用图。 图 12 是有关本发明的实施方式的控制框图。 图 13 是有关本发明的实施方式的中继输送部的控制流程图。具体实施方式
以下， 基于附图说明有关本发明的板状体输送装置。
如图 1 所示， 板状体输送装置设有朝向作为矩形状的板状体的液晶用的玻璃基板 1 的下表面供给清洁空气而将玻璃基板 1 以非接触状态支承的送风式支承机构 2、 和接触支 承玻璃基板 1 的下表面、 对玻璃基板 1 施加输送方向上的推进力的推进力施加机构 3 而构成。 此外， 板状体输送装置由将玻璃基板 1 沿主输送方向 X 输送的上游侧输送部 A、 将 玻璃基板 1 向与主输送方向 X 正交的副输送方向 Y 输送的下游侧输送部 C、 和将从上游侧 输送部 A 接受到的玻璃基板 1 的输送方向从主输送方向 X 切换为副输送方向 Y 而交接给下 游侧输送部 C 的中继输送部 B 构成， 这些输送部 A ～ C 分别设有送风式支承机构 2 及推进 力施加机构 3 而构成单元状。另外， 输送部 A ～ C 设置为， 使其将玻璃基板 1 以相同高度输 送。
在上游侧输送部 A 的主输送方向 X 的下游侧排列设置有中继输送部 B， 构成为， 在 由送风式支承机构 2 将玻璃基板 1 以非接触状态支承且由推进力施加机构 3 将玻璃基板 1 以接触状态支承的状态下， 通过由推进力施加机构 3 对玻璃基板 1 朝向主输送方向 X 的下 游侧施加推进力， 将该玻璃基板 1 从上游侧输送部 A 输送给中继输送部 B， 通过由推进力施 加机构 3 对玻璃基板 1 朝向主输送方向 X 的上游侧施加推进力， 将该玻璃基板 1 从中继输 送部 B 输送给上游侧输送部 A。
此外， 在中继输送部 B 的副输送方向 Y 的下游侧排列设置有下游侧输送部 C， 构成 为， 在由送风式支承机构 2 将玻璃基板 1 以非接触状态支承且由推进力施加机构 3 将玻璃 基板 1 以接触状态支承的状态下， 通过由推进力施加机构 3 对玻璃基板 1 朝向副输送方向 Y 的下游侧施加推进力， 将该玻璃基板 1 从中继输送部 B 输送给下游侧输送部 C， 通过由推 进力施加机构 3 对玻璃基板 1 朝向副输送方向 Y 的上游侧施加推进力， 将该玻璃基板 1 从 下游侧输送部 C 输送给中继输送部 B。
这样， 板状体输送装置构成为， 除了从上游侧输送部 A 经由中继输送部 B 向下游侧 输送部 C 输送玻璃基板 1 的正方向的输送以外， 还能够进行从下游侧输送部 C 经由中继输 送部 B 向上游侧输送部 A 输送玻璃基板 1 的反方向的输送。
［推进力施加机构］ 作为推进力施加机构 3， 设有遍及从上游侧输送部 A 到中继输送部 B 而配设、 接触在玻 璃基板 1 的副输送方向 Y 的两端部的下表面上而对该玻璃基板 1 施加主输送方向 X 上的推 进力的一对主输送推进力施加机构 5、 和遍及从中继输送部 B 到下游侧输送部 C 而配设、 接 触在玻璃基板 1 的主输送方向 X 的两端部的下表面上而对该玻璃基板 1 施加副输送方向 Y 上的推进力的一对副输送推进力施加机构 6。
如图 2、 图 4 及图 5 所示， 一对主输送推进力施加机构 5 分别沿着主输送方向 X 排 列设置多个接触支承玻璃基板 1 的下表面上的副输送方向 Y 的端部的作为旋转体的旋转辊 7、 对多个旋转辊 7 分别单独设置旋转驱动旋转辊 7 的电动马达 8 而构成。并且， 构成为， 由 电动马达 8 使多个旋转辊 7 单独旋转驱动， 对接触在旋转辊 7 上的玻璃基板 1 施加主输送 方向 X 上的推进力。
如图 4 及图 5 所示， 多个旋转辊 7 和旋转驱动它的电动马达 8 支承在一连串的支 承框 9 上， 多个旋转辊 7 支承在支承框 9 上， 以使其位于副输送方向 Y 的送风式支承机构 2 的位置的内侧， 多个电动马达 8 支承在支承框 9 上， 以使其位于副输送方向 Y 的外方侧。
如图 6 及图 7 所示， 主输送推进力施加机构 5 中具备的旋转辊 7 分别具备安装 O 形环而载置支承玻璃基板 1 的下表面的小径部 7a、 和位于比该小径部 7a 靠副输送方向 Y 的 外方侧、 通过抵接在玻璃基板 1 的侧面上而限制玻璃基板 1 的向副输送方向 Y 的移动的大
径部 7b 而构成。
并且， 如图 1 所示， 对于主输送推进力施加机构 5 的设在上游侧输送部 A 中的部分 （以下称作主固定式推进力施加部 5b） ， 以位置固定状态设在上游侧输送部 A 中， 关于主输 送推进力施加机构 5 的设在中继输送部 B 中的部分 （以下称作主升降式推进力施加部 5a） ， 升降移动自如地设在中继输送部 B 中。
此外， 一对副输送推进力施加机构 6 分别沿着副输送方向 Y 排列设置多个接触支 承玻璃基板 1 的下表面上的主输送方向 X 的端部的旋转辊 7， 与沿着主输送方向 X 设置的主 输送推进力施加机构 5 除了设置方向不同以外同样地构成。即， 副输送推进力施加机构 6 在沿着副输送方向 Y 设置这一点上与主输送推进力施加机构 5 不同， 但与主输送推进力施 加机构 5 同样具备旋转辊 7 及电动马达 8 而构成。并且， 关于副输送推进力施加机构 6 的 设在中继输送部 B 中的部分 （以下称作副升降式推进力施加部 6a） ， 升降移动自如地设在中 继输送部 B 中， 关于副输送推进力施加机构 6 的设在下游侧输送部 C 中的部分 （以下称作副 固定式推进力施加部 6b） ， 以位置固定状态设在下游侧输送部 C 中。
［送风式支承机构］ 此外， 作为送风式支承机构 2， 设有在一对主输送推进力施加机构 5 之间在从该一对主 输送推进力施加机构 5 分别沿副输送方向 Y 离开的状态下设在上游侧输送部 A 中的上游侧 送风式支承机构 11、 在一对副输送推进力施加机构 6 之间在从该一对副输送推进力施加机 构 6 分别沿主输送方向 X 离开的状态下设在下游侧输送部 C 中的下游侧送风式支承机构 13、 和在一对主输送推进力施加机构 5 之间在从该一对主输送推进力施加机构 5 分别沿副 输送方向 Y 离开的状态下并且在一对副输送推进力施加机构 6 之间在从该一对副输送推进 力施加机构 6 分别沿主输送方向 X 离开的状态下设在中继输送部 B 中的中继送风式支承机 构 12。
如图 3 所示， 中继送风式支承机构 12 具备将尘埃除去的除尘过滤器 14、 和配置在 该除尘过滤器 14 的下方、 通过该除尘过滤器 14 朝向玻璃基板 1 的下表面供给清洁空气的 作为送风机构的送风风扇 15 而构成。如果加以说明， 则中继送风式支承机构 12 将一体地 组装有绕纵轴心旋转的送风风扇 15、 和覆盖该送风风扇 15 的上方的板状的除尘过滤器 14 而构成的风机过滤单元 16 如图 1 所示那样在主输送方向 X 及副输送方向 Y 上排列设置多 个而构成。
并且， 中继送风式支承机构 12 构成为， 通过送风风扇 15 的送风作用， 将中继送风 式支承机构 12 的下方的空气吸引， 将通过了除尘过滤器 14 的空气朝向中继送风式支承机 构 12 的上方作为清洁空气喷出， 构成为， 通过这样将清洁空气喷出， 对由中继输送部 B 输送 的玻璃基板 1 的下表面供给清洁空气， 将玻璃基板 1 以水平姿势支承。 另外， 在本说明书中， 所谓 “水平姿势” ， 作为不仅是玻璃基板 1 为平行于水平方向的姿势 （完全水平姿势） 、 还包括 玻璃基板 1 相对于水平方向以规定角度 （例如 5 度以下的角度或 10 度以下的角度等） 倾斜 的姿势 （大致水平姿势） 的概念使用。另外， 玻璃基板 1 以相对于水平方向倾斜的姿势被支 承的状态例如因为制造上的误差而发生、 或者通过设计而有意实现。
顺便说一下， 中继送风式支承机构 12 在位置固定状态下设在中继输送部 B 中， 以 使喷出清洁空气的上表面位于比推进力施加机构 3 的支承玻璃基板 1 的支承高度靠下方。
并且， 上游侧送风式支承机构 11 及下游侧送风式支承机构 13 分别也与中继送风式支承机构 12 同样具备除尘过滤器 14 及送风风扇 15 而构成， 除了风机过滤单元 16 的大 小不同以外同样地构成。另外， 上游侧送风式支承机构 11 及下游侧送风式支承机构 13 设 在与中继送风式支承机构 12 相同高度。
［中继输送部］ 接着， 对中继输送部 B 进行说明。
如图 4 及图 5 所示， 中继输送部 B 构成为， 通过使一对主输送推进力施加机构 5 和 一对副输送推进力施加机构 6 相对地升降移动， 自如地切换为使一对主输送推进力施加机 构 5 接触在玻璃基板 1 的下表面上而将玻璃基板 1 的输送方向切换为主输送方向 X 的主输 送状态 （参照图 4） 、 和使一对副输送推进力施加机构 6 接触在玻璃基板 1 的下表面上而将玻 璃基板 1 的输送方向切换为副输送方向 Y 的副输送状态 （参照图 5） 。
如果加以说明， 则一对主升降式推进力施加部 5a 构成为， 通过由主输送用升降操 作机构 17（参照图 6） 使支承它的支承框 9 升降移动， 自如地升降移动到与一对主固定式推 进力施加部 5b 或一对副固定式推进力施加部 6b 相同高度的上升位置 （参照图 4） 、 和比该上 升位置靠下方的下降位置 （参照图 5） 。
此外， 一对副升降式推进力施加部 6a 也同样， 构成为， 通过由副输送用升降操作 机构 18 使支承它的支承框 9 升降移动， 自如地升降移动到与一对主固定式推进力施加部 5b 或一对副固定式推进力施加部 6b 相同高度的上升位置 （参照图 5） 、 和比该上升位置靠下方 的下降位置 （参照图 4） 。
另外， 主输送用升降操作机构 17 及副输送用升降操作机构 18 分别在本例中由气缸构成。 并且， 如图 4 所示， 通过使主升降式推进力施加部 5a 上升到上升位置且使副升降 式推进力施加部 6a 下降到下降位置， 将中继输送部 B 切换为主输送状态。在这样被切换为 主输送状态的状态下， 主升降式推进力施加部 5a 接触在玻璃基板 1 的下表面上， 副升降式 推进力施加部 6a 从玻璃基板 1 的下表面向下方离开。
此外， 如图 5 所示， 通过使主升降式推进力施加部 5a 下降到下降位置且使副升降 式推进力施加部 6a 上升到上升位置， 将中继输送部 B 切换为副输送状态。在这样被切换为 副输送状态的状态下， 主升降式推进力施加部 5a 从玻璃基板 1 的下表面向下方离开， 副升 降式推进力施加部 6a 接触在玻璃基板 1 的下表面上。
［辅助送风机构］ 如图 2 所示， 在中继输送部 B 中， 与送风式支承机构 2（中继送风式支承机构 12） 另外 地， 设有用来以非接触状态支承玻璃基板 1 的主输送辅助送风机构 19 及副输送辅助送风机 构 20。这些主输送辅助送风机构 19 及副输送辅助送风机构 20 分别具备朝向玻璃基板 1 的 下表面供给清洁空气的空气供给部 21、 和设在对该空气供给部 21 供给清洁空气的配管中 途的过滤器 （未图示） 及开闭阀 （未图示） 而构成。
主输送辅助送风机构 19 及副输送辅助送风机构 20 分别构成为， 通过将开闭阀开 闭操作， 自如地切换为供给清洁空气以将位于空气供给部 21 的上方的玻璃基板 1 以非接触 状态支承的供给状态、 和使从空气供给部 21 的清洁空气的供给停止的供给停止状态。
此外， 空气供给部 21 如图 6、 图 7 所示， 由具有缝隙状的喷出口 21a 的喷出喷嘴、 所 谓的空气刀构成。 顺便说一下， 喷出口 21 形成在空气供给部 21 的上端部上， 空气供给部 21
构成为， 从喷出口 21a 朝向正上方喷出清洁空气。此外， 如图 6 所示， 空气供给部 21 以位置 固定状态设在中继输送部 B 中， 以使其喷出口 21a 的高度位于比送风式支承机构 2 的上表 面靠下方。
主输送辅助送风机构 19 在形成于中继输送部 B 的一对副输送推进力施加机构 6 （副升降式推进力施加部 6a） 与中继送风式支承机构 12 之间的一对间隙中的位于主输送方 向 X 的上游侧的第 1 间隙 g1 及位于主输送方向 X 的下游侧的第 3 间隙 g3 中的至少第 1 间 隙 g1 中配设空气供给部 21 而构成。在本实施方式中， 如图 2 所示， 主输送辅助送风机构 19 在第 1 间隙 g1 及第 3 间隙 g3 的两者中配设空气供给部 21 而构成。
主输送辅助送风机构 19 的设在第 1 间隙 g1 中的空气供给部 21 在本实施方式中 在副输送方向 Y 上排列设置有多个 （换言之是许多、 在本例中是 6 个） 。该多个空气供给部 21 分别以喷出口 21a 沿着主输送方向 X 的姿势、 在俯视图中遍及从第 1 间隙 g1 到位于主 输送方向 X 的上游侧的副输送推进力施加机构 6 的在副输送方向 Y 上相邻的旋转辊 7 之间 而设置。此外， 主输送辅助送风机构 19 的设在第 3 间隙 g3 中的空气供给部 21 也同样， 在 副输送方向 Y 上排列设置有多个， 该多个空气供给部 21 分别以喷出口 21 沿着主输送方向 X 的姿势、 在俯视图中遍及从第 3 间隙 g3 到位于主输送方向 X 的下游侧的副输送推进力施 加机构 6 的在副输送方向 Y 上相邻的旋转辊 7 之间而设置。 顺便说一下， 如图 6 所示， 支承空气供给部 21 的支承体 24 位于第 1 间隙 g1 （或第 2 间隙 g2） 中， 空气供给部 21 由支承体 24 以悬臂状支承， 以与旋转辊 7 在副输送方向 Y 上 并排的状态设置。
此外， 如图 1 所示， 主输送辅助送风机构 19 的设在第 1 间隙 g1 中的空气供给部 21 及设在第 3 间隙 g3 中的空气供给部 21 分别在本实施方式中在副输送方向 Y 上排列设置 6 个， 在位于副输送方向 Y 的最中央侧的两个空气供给部 21 彼此之间有两个旋转辊 7， 在该空 气供给部 21 与其在副输送方向 Y 的外方侧相邻的空气供给部 21 之间有 3 个旋转辊 7， 在该 空气供给部 21 与位于副输送方向 Y 的最外方侧的空气供给部 21 之间有 4 个旋转辊 7。
即， 如图 8 所示， 主输送辅助送风机构 19 的空气供给部 21 在中继输送部 B 的副输 送方向 Y 的端部侧的空气供给部 21 彼此的间隔比中继输送部 B 的副输送方向 Y 的中央部 处的该空气供给部 21 彼此的间隔宽的状态下、 在副输送方向 Y 上排列设置有多个 （在本例 中是 6 个） 。
这样， 主输送辅助送风机构 19 构成为， 对比副输送方向 Y 的端部侧靠中央部供给 大量的清洁空气， 与玻璃基板 1 的副输送方向 Y 的端部侧相比、 将中央部以更高的支承力非 接触支承。
此外， 关于主输送辅助送风机构 19 的设在第 1 间隙 g1 中的空气供给部 21， 如图 6 所示， 遍及包括第 1 间隙 g1 的上游侧送风式支承机构 11 与中继送风式支承机构 12 之间的 间隙的主输送方向 X 的整个宽度而设置。另外， 在本说明书中， 所谓 “遍及整个宽度” ， 作为 不仅是空气供给部 21 的宽度与上游侧送风式支承机构 11 与中继送风式支承机构 12 之间 的间隙的宽度 （间隙宽度） 一致的情况、 即使是空气供给部 21 的宽度相对于该间隙宽度较小 的情况、 也包括空气供给部 21 的宽度是该间隙宽度的规定比例 （例如 80% 或 90% 等） 以上的 情况的概念使用。在本实施方式中， 如图 6 所示， 空气供给部 21 的宽度为上游侧送风式支 承机构 11 与中继送风式支承机构 12 之间的间隙的宽度的 90% 左右， 空气供给部 21 相对于
上游侧送风式支承机构 11 及中继送风式支承机构 12 两者离开配置。
如果加以说明， 则构成为， 在上游侧送风式支承机构 11 与中继送风式支承机构 12 之间， 为了设置副升降式推进力施加部 6a 且形成第 1 间隙 g1 而在主输送方向 X 上形成了 较大的间隙， 但通过如上述那样设置空气供给部 21， 在上游侧送风式支承机构 11 与中继送 风式支承机构 12 之间也能够适当地支承玻璃基板 1。
副输送辅助送风机构 20 在中继输送部 B 的一对主输送推进力施加机构 5 （主升降 式推进力施加部 5a） 与中继送风式支承机构 12 之间形成的一对间隙中的位于副输送方向 Y 的下游侧的第 2 间隙 g2 及位于副输送方向 Y 的上游侧的第 4 间隙 g4 中的至少第 2 间隙 g2 中配设空气供给部 21 而构成。在本实施方式中， 如图 2 所示， 副输送辅助送风机构 20 在 第 2 间隙 g2 及第 4 间隙 g4 两者中配设空气供给部 21 而构成。
副输送辅助送风机构 20 的设在第 2 间隙 g2 中的空气供给部 21 在主输送方向 X 上排列设置有多个 （换言之是许多， 在本例中是 6 个） ， 该多个空气供给部 21 分别以喷出口 21a 沿着副输送方向 Y 的姿势、 在俯视图中遍及从第 2 间隙 g2 到位于副输送方向 Y 的下游 侧的主输送推进力施加机构 5 的沿主输送方向 X 相邻的旋转辊 7 之间而设置。此外， 副输 送辅助送风机构 20 的设在第 4 间隙 g4 中的空气供给部 21 也同样， 在主输送方向 X 上排列 设置有多个， 该多个空气供给部 21 分别以喷出口 21a 沿着副输送方向 Y 的姿势、 在俯视图 中遍及从第 4 间隙 g4 到位于副输送方向 Y 的上游侧的主输送推进力施加机构 5 的沿主输 送方向 X 相邻的旋转辊 7 之间而设置。
并且， 副输送辅助送风机构 20 的空气供给部 21 与主输送辅助送风机构 19 的空气 供给部 21 同样， 在中继输送部 B 的主输送方向 X 的端部侧的空气供给部 21 彼此的间隔比 中继输送部 B 的主输送方向 X 的中央部处的该空气供给部 21 彼此的间隔宽的状态下， 在主 输送方向 X 上排列设置有多个 （在本例中是 6 个） 。
此外， 关于副输送辅助送风机构 20 的设在第 2 间隙 g2 中的空气供给部 21， 与主输 送辅助送风机构 19 的设在第 1 间隙 g1 中的空气供给部 21 同样， 遍及包括第 2 间隙 g2 的 中继送风式支承机构 12 与下游侧送风式支承机构 13 之间的间隙的副输送方向 Y 的整个宽 度而设置。
［限制部件］ 如图 2 所示， 在中继输送部 B 中， 设有限制被主输送推进力施加机构 5 朝向主输送方向 X 的下游侧向正方向输送的玻璃基板 1 被向比主输送方向 X 的下游侧末端位置更靠主输送 方向 X 的下游侧输送的主输送限制部件 （相当于抵接体） 25、 和限制被副输送推进力施加机 构 6 朝向副输送方向 Y 的上游侧向反方向输送的玻璃基板 1 被向比副输送方向 Y 的上游侧 末端位置更靠副输送方向 Y 的上游侧输送的副输送限制部件 26。
顺便说一下， 在玻璃基板 1 位于主输送方向 X 的下游侧末端位置的状态下， 为副升 降式推进力施加部 6a 的旋转辊 7 的小径部 7a 位于该玻璃基板 1 的主输送方向 X 的两端部 各自的正下方、 并且副升降式推进力施加部 6a 的旋转辊 7 的大径部 7b 位于比该玻璃基板 1 的主输送方向 X 的两端靠外方侧的状态。此外， 在玻璃基板 1 位于副输送方向 Y 的上游侧 末端位置的状态下， 为主升降式推进力施加部 5a 的旋转辊 7 的小径部 7a 位于该玻璃基板 1 的副输送方向 Y 的两端部各自的正下方、 并且主升降式推进力施加部 5a 的旋转辊 7 的大 径部 7b 位于比该玻璃基板 1 的副输送方向 Y 的两端靠外方侧的状态。如图 9 所示， 主输送限制部件 25 构成为， 自如地向与在主输送状态下被一对主输 送推进力施加机构 5 载置支承的玻璃基板 1 相同高度且抵接于在副输送状态下被一对副输 送推进力施加机构 6 载置支承的玻璃基板 1 的主输送方向 X 的下游侧的侧面上的限制位置 （参照图 9 （a） ） 、 和位于比在主输送状态下被一对主输送推进力施加机构 5 载置支承的玻璃 基板 1 的下表面及在副输送状态下被一对副输送推进力施加机构 6 载置支承的玻璃基板 1 的下表面靠下方侧且比限制位置靠主输送方向 X 的下游侧的限制解除位置 （参照图 9（b） ） 移动。即， 主输送限制部件 25 的限制位置是抵接在位于上述主输送方向 X 的下游侧末端位 置的玻璃基板 1 的主输送方向 X 的下游侧的侧面上的位置。
并且， 构成为， 通过由主限制用升降操作机构 28 使支承主输送限制部件 25 的支承 部件 27 向斜向以直线状升降移动， 主输送限制部件 25 在限制位置与限制解除位置之间升 降移动。即， 主输送限制部件 25 构成为， 从限制位置一边向主输送方向 X 的下游侧移动一 边向下方侧移动， 斜向移动到限制解除位置， 此外， 从限制解除位置一边向主输送方向 X 的 上游侧移动一边向上方侧移动， 斜向移动到限制位置。
此外， 副输送限制部件 26 也与主输送限制部件 25 同样构成为， 通过由副限制用升 降操作机构 29 使支承副输送限制部件 26 的支承部件 27 以直线状升降移动， 自如地向限制 位置与限制解除位置移动。该副输送限制部件 26 的限制位置为与在副输送状态下受一对 副输送推进力施加机构 6 载置支承的玻璃基板 1 相同高度且抵接于在主输送状态下受一对 主输送推进力施加机构 5 载置支承的玻璃基板 1 的副输送方向 Y 的上游侧的侧面上的位 置， 副输送限制部件 26 的限制解除位置为比在主输送状态下受一对主输送推进力施加机 构 5 载置支承的玻璃基板 1 的下表面及在副输送状态下受一对副输送推进力施加机构 6 载 置支承的玻璃基板 1 的下表面靠下方侧且比限制位置靠副输送方向 Y 的上游侧的位置。 即， 副输送限制部件 26 的限制位置是抵接在位于上述副输送方向 Y 的上游侧末端位置的玻璃 基板 1 的副输送方向 Y 的上游侧的侧面上的位置。
［控制装置］ 如图 12 所示， 在板状体输送装置中， 设有控制送风式支承机构 2 及推进力施加机构 3 的动作、 以及中继输送部 B 的主输送辅助送风机构 19、 副输送辅助送风机构 20、 主输送用升 降操作机构 17、 副输送用升降操作机构 18、 主限制用升降操作机构 28 及副限制用升降操作 机构 29 的动作的控制装置 H。另外， 各机构的动作控制由安装在控制装置 H 具备的微型计 算机中的软件程序执行。
控制装置 H 构成为， 在将中继输送部 B 从副输送状态切换为主输送状态的情况下， 将主输送辅助送风机构 19 切换为供给状态且将副输送辅助送风机构 20 切换为供给停止状 态， 并且， 在将中继输送部 B 从主输送状态切换为副输送状态的情况下， 将主输送辅助送风 机构 19 切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构 20 切换为供给状态。另外， 控制装 置 H 相当于送风状态切换机构。
此外， 构成为， 在控制装置 H 中， 被输入检测玻璃基板 1 的存在与否的主输送第 1 检测传感器 31、 主输送第 2 检测传感器 32、 副输送第 1 检测传感器 33 及副输送第 2 检测传 感器 34 的检测信息。这些 4 个检测传感器 31 ～ 34 如图 10 所示， 在俯视图中设在被一对 主升降式推进力施加部 5a 和一对副升降式推进力施加部 6a 包围的空间内。
并且， 主输送第 2 检测传感器 32 设在比主输送第 1 检测传感器 31 靠主输送方向X 的下游侧， 构成为， 被朝向主输送方向 X 的下游侧输送的玻璃基板 1 在被主输送第 1 检测 传感器 31 检测到之后、 被主输送第 2 检测传感器 32 检测。
此外， 副输送第 2 检测传感器 34 设在比副输送第 1 检测传感器 33 靠副输送方向 Y 的上游侧， 构成为， 被朝向副输送方向 Y 的上游侧输送的玻璃基板 1 在被副输送第 1 检测 传感器 33 检测到之后、 被副输送第 2 检测传感器 34 检测。
另外， 在玻璃基板 1 位于适当位置的状态 （玻璃基板 1 位于主输送方向 X 的下游侧 末端位置且副输送方向 Y 的上游侧末端位置的状态） 下， 成为 4 个检测传感器 31 ～ 34 都检 测位于适当位置的玻璃基板 1 的状态。
接着， 对控制装置 H 进行的中继输送部 B 的动作进行说明。
首先， 基于图 13， 对将玻璃基板 1 向正方向输送的情况进行说明。顺便说一下， 在 将玻璃基板 1 向正方向输送的情况下， 在玻璃基板 1 的主输送方向 X 的下游侧端部被输送 到第 1 间隙 g1 之前， 中继输送部 B 将中继送风式支承机构 12 切换为动作状态， 使主升降式 推进力施加部 5a 上升移动到上升位置， 使副升降式推进力施加部 6a 下降移动到下降位置， 将主输送辅助送风机构 19 切换为供给状态， 将副输送辅助送风机构 20 切换为供给停止状 态， 使主输送限制部件 25 移动到限制位置， 使副输送限制部件 26 移动到限制解除位置， 切 换为正方向主输送状态。
通过主输送推进力施加机构 5（主升降式推进力施加部 5a） 的动作， 将玻璃基板 1 以通常输送速度朝向主输送方向 X 的下游侧输送
。
此时， 主输送辅助送风机构 19 被切换为供给状态， 通过从该主输送辅助送风机构 19 喷出的清洁空气， 能够非接触支承形成在上游侧送风式支承机构 11 与中继送风式支承 机构 12 之间的间隙上的玻璃基板 1， 所以能够适当地支承玻璃基板 1。此外， 由于副输送辅 助送风机构 20 被切换为供给停止状态， 所以玻璃基板 1 的副输送方向 Y 的两端不易从主输 送推进力施加机构 5 浮起， 能够通过主输送推进力施加机构 5 对玻璃基板 1 适当地施加推 进力。
将玻璃基板 1 朝向主输送方向 X 的下游侧输送， 如图 10 所示， 如果主输送第 1 检 测传感器 31 检测到玻璃基板 1， 则使主升降式推进力施加部 5a（主输送推进力施加机 构 5） 的动作速度减速， 将主输送推进力施加机构 5 带来的输送速度减速到低速输送速度， 将玻璃基板 1 输送 。
然后， 如果主输送第 2 检测传感器 32 检测到玻璃基板 1， 则从该检测起经过停止用 设定时间 （从玻璃基板 1 被主输送第 2 检测传感器 32 检测出到被输送到适当位置所需要的 时间） 后 ， 使主升降式推进力施加部 5a（主输送推进力施加机构 5） 的动作停止 。 此时， 玻璃基板 1 被输送到主输送方向 X 的下游侧末端位置， 位于图 11 所示那样的适当位 置。
在如上述那样使玻璃基板 1 位于适当位置的状态下， 执行将主输送辅助送风机构 19 切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构 20 切换为供给状态的送风状态切换工 序， 并且执行使主升降式推进力施加部 5a 下降且使副升降式推进力施加部 6a 上升、 进而使 主输送限制部件 25 移动到限制解除位置的抵接体位置切换工序， 将中继输送部 B 切换为正 方向副输送状态 。顺便说一下， 这些主输送辅助送风机构 19 的向供给停止状态的切 换、 副输送辅助送风机构 20 的向供给状态的切换、 副升降式推进力施加部 6a 的上升、 主升降式推进力施加部 5a 的下降、 主输送限制部件 25 的向限制解除位置的移动的顺序只要适 当设定就可以， 也可以将它们的一部分或全部同时进行。
这样， 构成为， 在将中继输送部 B 从主输送状态切换为副输送状态而在中继输送 部 B 中开始玻璃基板 1 的向副输送方向 Y 的输送之前， 将主输送辅助送风机构 19 切换为供 给停止状态且将副输送辅助送风机构 20 切换为供给状态。此外， 构成为， 在将中继输送部 B 从主输送状态切换为副输送状态而在中继输送部 B 中开始玻璃基板 1 的向副输送方向 Y 的输送之前， 进行主输送限制部件 25 的向限制解除位置的移动。
然后， 开始副输送推进力施加机构 6 的动作， 将玻璃基板 1 朝向副输送方向 Y 的下 游侧以通常输送速度输送 。
此时， 由于主输送辅助送风机构 19 被切换为供给停止状态， 所以玻璃基板 1 的主 输送方向 X 的两端不易从副输送推进力施加机构 6 浮起， 能够通过副输送推进力施加机构 6 对玻璃基板 1 适当地施加推进力。此外， 副输送辅助送风机构 20 被切换为供给状态， 通过 从该副输送辅助送风机构 20 喷出的清洁空气， 能够在形成于中继送风式支承机构 12 与下 游侧送风式支承机构 13 之间的间隙上非接触支承玻璃基板 1， 能够适当地支承玻璃基板 1。
在开始副输送推进力施加机构 6 的动作后， 如果经过切换用设定时间 （将玻璃基 板 1 从中继输送部 B 输送到下游侧输送部 C 所需要的时间） ， 则将中继输送部 B 切换为 正方向主输送状态 。
接着， 对将玻璃基板 1 向反方向输送的情况进行说明。顺便说一下， 在将玻璃基板 向反方向输送的情况下， 在将玻璃基板 1 从下游侧输送部 C 输送到中继输送部 B 中之前， 将 中继送风式支承机构 12 切换为动作状态， 使主升降式推进力施加部 5a 下降移动到下降位 置， 使副升降式推进力施加部 6a 上升移动到上升位置， 将主输送辅助送风机构 19 切换为供 给停止状态， 将副输送辅助送风机构 20 切换为供给状态， 使主输送限制部件 25 移动到限制 解除位置， 使副输送限制部件 26 移动到限制位置， 将中继输送部 B 切换为反方向副输送状 态。
接着， 使副输送推进力施加机构 6 动作， 将玻璃基板 1 以通常输送速度朝向副输送 方向 Y 的上游侧输送， 如果副输送第 1 检测传感器 33 检测到玻璃基板 1， 则将副输送推进力 施加机构 6 带来的输送速度减速为低速输送速度， 输送玻璃基板 1， 如果副输送第 2 检测传 感器 34 检测到玻璃基板 1， 则在从该检测起经过停止用设定时间后使副输送推进力施加机 构 6 的动作停止。此时， 将玻璃基板 1 输送到副输送方向 Y 的上游侧末端位置， 使其位于适 当位置。
在如上述那样使玻璃基板 1 位于适当位置的状态下， 执行将主输送辅助送风机构 19 切换为供给状态且将副输送辅助送风机构 20 切换为供给停止状态的送风状态切换工 序， 并且使主升降式推进力施加部 5a 上升且使副升降式推进力施加部 6a 下降， 进而， 使副 输送限制部件 26 移动到限制解除位置， 将中继输送部 B 切换为反方向主输送状态。
然后， 使主输送推进力施加机构 5 动作， 将玻璃基板 1 朝向主输送方向 X 的上游侧 以通常输送速度输送。
在开始主输送推进力施加机构 5 的动作后， 如果经过切换用设定时间 （将玻璃基 板 1 的整体输送到上游侧输送部 A 所需要的时间） ， 则将中继输送部 B 切换为反方向副输送 状态。总之， 在第 1 间隙 g1 中设置主输送辅助送风机构 19 的空气供给部 21， 在第 2 间隙 g2 中设置副输送辅助送风机构 20 的空气供给部 21， 通过根据中继输送部 B 的副输送状态 和主输送状态的切换而将主输送辅助送风机构 19 及副输送辅助送风机构 20 的状态切换为 供给状态和供给停止状态， 能够将玻璃基板 1 沿主输送方向 X 或副输送方向 Y 准确地输送、 并将玻璃基板 1 的损坏防止于未然。
［其他实施方式］ （1） 在上述实施方式中， 在将中继输送部 B 从主输送状态切换为副输送状态而在中继 输送部 B 中开始玻璃基板 1 的向副输送方向 Y 的下游侧的输送之前， 将主输送辅助送风机 构 19 切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构 20 切换为供给状态， 但也可以与在中 继输送部 B 中玻璃基板 1 的向副输送方向 Y 的下游侧的输送的开始同时或紧接着， 将主输 送辅助送风机构 19 切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构 20 切换为供给状态。
（2） 在上述实施方式中， 将主输送推进力施加机构 5 在主输送方向 X 上排列设置多 个接触在玻璃基板 1 的下表面上而对玻璃基板 1 施加推进力的旋转辊 7 而构成为辊式， 但 也可以将主输送推进力施加机构 5 构成为将接触在玻璃基板 1 的下表面上而对玻璃基板 1 施加推进力的环状带沿着主输送方向 X 配设的带式。
顺便说一下， 在将主输送推进力施加机构 5 做成带式的情况下， 既可以将作为旋 转体的环状带在主输送方向 X 上排列设置多个， 此外， 也可以将单一的环状带沿主输送方 向 X 设置。
同样， 关于副输送推进力施加机构 6 也可以构成为带式。
（3） 在上述实施方式中， 将主输送辅助送风机构 19 的空气供给部 21 在俯视图中遍 及从第 1 间隙 g1 到旋转辊 7 之间设置， 在包括第 1 间隙 g1 的上游侧送风式支承机构 11 与 中继送风式支承机构 12 之间的间隙中相对于上游侧送风式支承机构 11 及中继送风式支承 机构 12 两者离开配置， 但也可以将主输送辅助送风机构 19 的空气供给部 21 设置为， 使其 接触在上游侧送风式支承机构 11 及中继送风式支承机构 12 的某一个或两者上。此外， 也 可以将主输送辅助送风机构 19 的空气供给部 21 设置为， 使其在俯视图中仅位于第 1 间隙 g1 中。
同样， 也可以将副输送辅助送风机构 20 的空气供给部 21 设置为， 使其接触在中继 送风式支承机构 12 及下游侧送风式支承机构 13 的某一个或两者上， 此外， 也可以将副输送 辅助送风机构 20 的空气供给部 21 设置为， 使其在俯视图中仅位于第 2 间隙 g2 中。
（4） 在上述实施方式中， 将主输送辅助送风机构 19 的空气供给部在中继输送部 B 的副输送方向 Y 的端部侧的该空气供给部 21 彼此的间隔比中继输送部 B 的副输送方向 Y 的 中央部处的该空气供给部 21 彼此的间隔宽的状态下在副输送方向 Y 上排列设置有多个， 但 也可以将主输送辅助送风机构 19 的空气供给部 21 在副输送方向 Y 上等间隔地排列设置多 个。顺便说一下， 在将空气供给部 21 在副输送方向 Y 上等间隔地排列设置多个的情况下， 也可以构成为， 使来自位于副输送方向 Y 的中央侧的空气供给部 21 的清洁空气的流量比来 自端部侧的空气供给部 21 的清洁空气的流量多， 与玻璃基板 1 的副输送方向 Y 的端部侧相 比、 将中央部以更高的支承力非接触支承。关于副输送辅助送风机构 20 的空气供给部 21 也是同样的。
（5） 在上述实施方式中， 将空气供给部 21 用具有缝隙状的喷出口的喷出喷嘴构成， 但也可以将空气供给部 21 用具有 1 个或多个圆形的喷出口的喷出喷嘴构成， 此外， 也可 以将空气供给部 21 用小型的风机过滤单元构成。
此外， 在上述实施方式中， 在第 1 间隙 g1 或第 2 间隙 g2 中排列设置多个空气供给 部 21， 但也可以通过将具有缝隙状的喷出口 21a 的喷出喷嘴以喷出口 21a 沿着副输送方向 Y 的姿势设在第 1 间隙 g1 中、 以喷出口 21a 沿着主输送方向 X 的姿势设在第 2 间隙 g2 中 等， 在第 1 间隙 g1 或第 2 间隙 g2 中设置单一的空气供给部 21。
（6） 在上述实施方式中， 设置主输送限制部件 25， 构成为， 使该主输送限制部件 25 的限制解除位置位于比限制位置靠下方侧且比限制位置靠主输送方向 X 的下游侧， 使位于 限制位置的主输送限制部件 25 向斜下方移动而移动到限制解除位置， 但也可以构成为， 使 位于限制位置的主输送限制部件 25 向主输送方向 X 的下游侧水平移动而移动到限制解除 位置， 此外， 也可以构成为， 使位于限制位置的主输送限制部件 25 向铅直下方移动而移动 到限制解除位置。此外， 也可以不设置主输送限制部件 25。关于副输送限制部件 26 也是同 样的。
（7） 在上述实施方式中， 在中继输送部 B 的主输送方向 X 的上游侧排列设置上游侧 输送部 A， 在中继输送部 B 的副输送方向 Y 的下游侧排列设置下游侧输送部 C， 将板状体输 送装置构成为 L 字状， 但也可以在中继输送部 B 的主输送方向 X 的下游侧排列设置与上游 侧输送部 A 相同结构的第 2 下游侧输送部、 或者在中继输送部 B 的副输送方向 Y 的上游侧 排列设置与下游侧输送部 C 相同结构的第 2 上游侧输送部、 将板状体输送装置构成为 T 字 状， 此外， 也可以排列设置第 2 下游侧输送部和第 2 上游侧输送部两者， 将板状体输送装置 构成为十字状。 顺便说一下， 在中继输送部 B 中， 通过不切换玻璃基板 1 的输送方向， 能够从上游 侧输送部 A 经由中继输送部 B 向第 2 下游侧输送部输送玻璃基板 1、 或从第 2 上游侧输送部 经由中继输送部 B 向下游侧输送部 C 输送玻璃基板 1。
（8） 在上述实施方式中， 构成为， 通过使一对主输送推进力施加机构 5 和一对副输 送推进力施加机构 6 两者升降移动， 将中继输送部 B 切换为主输送状态和副输送状态， 但也 可以构成为， 通过使一对主输送推进力施加机构 5 和一对副输送推进力施加机构 6 的某一 方升降移动， 将中继输送部 B 切换为主输送状态和副输送状态。在这样构成的情况下， 在主 输送状态和副输送状态下支承板状体 1 的高度不同， 但也可以将中继送风式支承机构 12 升 降移动自如地构成， 以根据板状体 1 的支承高度的变化来匹配中继送风式支承机构 12 的高 度。
（9） 在上述实施方式中， 以液晶用的玻璃基板 1 相当于本发明的 “矩形状的板状 体” 的情况为例进行了说明， 但作为矩形状的板状体， 也可以采用在液晶用以外的用途中使 用的玻璃基板、 或玻璃以外的材料 （例如半导体等） 的板状体。
附图标记说明 1 玻璃基板 （板状体） 2 送风式支承机构 3 推进力施加机构 5 主输送推进力施加机构 6 副输送推进力施加机构
7 旋转体 11 上游侧送风式支承机构 12 中继送风式支承机构 13 下游侧送风式支承机构 19 主输送辅助送风机构 20 副输送辅助送风机构 21 空气供给部 25 主输送限制部件 （抵接体） A 上游侧输送部 B 中继输送部 C 下游侧输送部 g1 第 1 间隙 g2 第 2 间隙 H 送风状态切换机构 X 主输送方向 Y 副输送方向