用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201110198141.5

申请日:

2011.07.15

公开号:

CN102335661A

公开日:

2012.02.01

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):B08B 7/04申请公布日:20120201|||实质审查的生效IPC(主分类):B08B 7/04申请日:20110715|||公开

IPC分类号:

B08B7/04; B08B5/04; B08B5/02; B08B3/12

主分类号:

B08B7/04

申请人:

株式会社三丰

发明人:

松宫贞行; 滨伸行

地址:

日本神奈川县

优先权:

2010.07.20 JP 2010-162437

专利代理机构:

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人:

曲莹

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内容摘要

本发明公开了一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法。所述表面粗糙度测试机包括沿竖直方向设置有滑行体孔口的滑行体、和设置在所述滑行体的滑行体孔口中并且能够沿竖直方向移动的触针,其中所述表面粗糙度测试机通过沿物体的表面移动所述滑行体来测量物体的表面粗糙度。所述方法包括在对物体的表面粗糙度测量完成后,去除存在于滑行体孔口与触针之间的间隙中的异物。

权利要求书

1: 一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法, 所述表面粗糙度测试机包括沿竖 直方向设置有滑行体孔口的滑行体、 和设置在所述滑行体的滑行体孔口中并且能够沿竖直 方向移动的触针, 其中所述表面粗糙度测试机通过沿物体的表面移动所述滑行体来测量物 体的表面粗糙度, 所述方法包括 : 在对物体的表面粗糙度测量完成后, 去除存在于所述滑行体孔口与所述触针之间的间 隙中的异物的去除步骤。
2: 如权利要求 1 所述的方法, 其中, 所述去除步骤包括以下步骤中的至少一个 : 通过与所述滑行体的下表面接触的抽吸垫抽吸所述滑行体 ; 向所述间隙喷射清洗用压缩空气 ; 和 经由浸泡所述滑行体的清洗流体向所述间隙传送超声波。

说明书


用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法

    【技术领域】
     本发明涉及一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体 (skid) 的方法。背景技术 对机械加工后的工件的表面粗糙度的测量在确认加工条件的质量、 刀具磨损、 损 坏情形等方面的工艺管理中十分重要。近年来, 在机床上对工件的表面粗糙度进行测量的 需求已相应地增大, 以通过在加工好工件后立即判断工艺管理的质量来防止劣质工件的流 出。
     对于这些需求, 作为适于在工件的机床上对加工好的工件的表面粗糙度进行测量 的表面粗糙度测试机, 已知这样一种表面粗糙度测试机 ( 见例如日本专利平成 4-60523 号 公报 )。 该表面粗糙度测试机在使触针跟随物体表面的同时移动触针, 以电检测出并放大触 针的位移量, 从而表面粗糙度测试机测量出物体的表面粗糙度。
     具体地说, 该表面粗糙度测试机配备有用于测量物体的表面粗糙度的检测器、 和 设置有孔口的滑行体, 该孔口位于检测器的端部并在其中配置有触针。滑行体的下表面 ( 工件接触面 ) 在测量时与物体 ( 工件 ) 接触。触针构造成能够在测量时在滑行体的孔口 中移动, 以便能够尽量对应于物体表面的倾斜量。
     因为该表面粗糙度测试机具有这种构造, 所以它能够通过跟随物体表面的凹凸来 进行测量, 因此该表面粗糙度测试机很难受到外部振动的影响。 此外, 该表面粗糙度测试机 还具有测试机与物体的定位要求不严格以及测试机的姿势制约不严格的优点。
     然而, 通常, 机械加工后的工件的表面会粘附例如冷却剂等异物。因此, 存在这样 的问题, 当沿着粘附有异物的物体表面移动触针来进行表面粗糙度测量时, 如图 8 所示, 异 物 F 会侵入滑行体 12 的滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙并粘着在那里, 从而会导致 测量性能下降。
     发明内容
     本发明的一个目的是提供一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法, 其能 够防止异物粘着于滑行体孔口与触针之间的间隙。
     本发明的第一方面提供一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法, 所述表 面粗糙度测试机包括沿竖直方向设置有滑行体孔口的滑行体、 和设置在所述滑行体的滑行 体孔口中并且能够沿竖直方向移动的触针, 其中所述表面粗糙度测试机通过沿物体的表面 移动滑行体来测量物体的表面粗糙度, 所述方法包括在对物体的表面粗糙度测量完成后, 去除存在于所述滑行体孔口与所述触针之间的间隙中的异物的去除步骤。
     此外, 本发明的第二方面是一种根据第一方面的方法, 其中所述去除步骤包括以 下步骤中的至少一个 : 通过与所述滑行体的下表面接触的抽吸垫抽吸所述滑行体 ; 向所述 间隙喷射清洗用压缩空气 ; 和经由浸泡所述滑行体的清洗流体向所述间隙传送超声波。附图说明 虽然本发明通过以下详细描述和附图将得到更全面的理解, 但是它们只起示例作 用, 本发明的范围并不局限于它们, 附图中 :
     图 1 是本发明一实施例的表面粗糙度测试机的示意图 ;
     图 2 是示出图 1 所示表面粗糙度测试机的检测部的截面图 ;
     图 3 是示出图 2 所示检测部的端部的主要部分的放大图 ;
     图 4 是根据本发明一实施例的用于清洗滑行体的方法的流程图 ;
     图 5 是第一实施例的异物去除部的示意图 ;
     图 6 是第二实施例的异物去除部的示意图 ;
     图 7 是第三实施例的异物去除部的示意图 ; 而
     图 8 是用于说明常规表面粗糙度测试机的问题的视图。
     具体实施方式
     下面将参考附图来描述本发明的实施例。
     ( 第一实施例 ) 首先将描述属于本发明的表面粗糙度测试机的构造。
     表面粗糙度测试机 100, 如图 1 所示, 包括检测部 10、 驱动部 20 等。
     检测部 10 通过驱动部 20 的沿前后方向的驱动在待测物体上移动, 以通过触针 13 检测物体的表面粗糙度 ( 细微表面凹凸 )。
     具体地说, 如图 2 和 3 所示, 检测部 10 包括从驱动部 20 的前端部突出的检测部壳 体 11。在检测部壳体 11 中形成有空腔 11a。在检测部壳体 11 的端部设置有滑行体 12。
     在滑行体 12 中从其后端部向前方形成有空腔 12b。空腔 12b 在滑行体 12 附接至 检测部壳体 11 的端部的状态下, 连接至检测部壳体 11 的空腔 11a。此外, 在滑行体 12 中从 滑行体 12 的下表面形成有滑行体孔口 12a。滑行体孔口 12a 与空腔 12b 连接。从检测部壳 体 11 的空腔 11a 的后侧到空腔 12b 配置有触针杆 14。
     触针杆 14 在其端部配备有朝下取向的触针 13。触针 13 配置在滑行体孔口 12a 中。
     在触针杆 14 的后端上表面上附接有铁素体板 16。 在检测部壳体 11 的与铁素体板 16 相对的位置处附接有与连接器销 17 连接的电感检测器 18。
     触针杆 14 在其中间部分通过板簧 15 附接至检测部壳体 11。板簧 15 作为支点弹 性地支撑触针杆 14, 由此, 触针 13 和铁素体板 16 在触针 13 从滑行体 12 的下表面略微突出 的状态下达到平衡。
     滑行体 12 的下表面是在测量时与物体接触的工作接触面。当滑行体 12 的下表面 沿物体的测量区域的表面移动时, 触针 13 根据测量区域的表面粗糙度垂直地上下移动。当 触针 13 向上移动时, 铁素体板 16 以作为支点的板簧 15 为中心, 通过触针杆 14 向下移动。 当触针 13 向下移动时, 铁素体板 16 以作为支点的板簧 15 为中心, 通过触针杆 14 向上移动。 铁素体板 16 的竖直运动被电感检测器 18 检测到, 并基于从电感检测器 18 输出的检测信号 和触针 13 的水平移动距离测得物体的表面粗糙度。
     驱动部 20 弹性地保持检测部 10, 并通过未示出的控制机构沿给定方向 ( 前后方
     向 ) 移动检测部 10。
     在驱动部 20 的底面的前端部的两侧分别设置有两个支脚部 21, 并在驱动部 20 的 底面的后端部的中央设置有支脚部 22。两个支脚部 21 的高度能够被独立地调整。表面粗 糙度测试机 100 构造成不管其安装位置的形状如何, 均能够通过这三个支脚部 21 和 22 得 到稳定的放置。表面粗糙度测试机 100 因此不但能够被放置于具有平面形状的物体上, 而 且也能够被放置于例如具有曲面形状的物体上。
     下面将描述上述表面粗糙度测试机 100 的滑行体 12 的清洗方法。
     滑行体清洗处理是在表面粗糙度测试机 100 完成表面粗糙度测量后进行的。
     这里的 “测量后” 是指当对物体的一个位置进行测量时, 对该位置的测量完成 “时 或后的时间” 。
     此外, 当对物体的多个位置进行测量时, 可将对多个位置的一系列测量完成时或 后的时间作为 “测量后” 来进行滑行体清洗处理, 也可将多个位置中对一个位置的测量或多 个位置的一系列测量完成时或后的时间作为 “测量后” 来进行滑行体清洗处理。
     在上述任一种情况下, 均优选的是紧随测量完成来进行滑行体清洗处理, 以获得 较高的清洗效果。此外, 例如, 在表面粗糙度测试机 100 在除测量时外通常收纳并保持在预 定收纳位置的情况下, 至少应该在测量后收纳表面粗糙度测试机 100 前进行滑行体清洗处 理。
     由此, 即使在对粘附有例如冷却剂等异物的机械加工后的工件等物体的表面进行 测量、 并有异物 F 侵入滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙的情况下, 也能在异物 F 粘着 前快速将其从间隙去除。
     滑行体清洗方法, 如图 4 所示, 包括设置步骤 (S1) 和去除步骤 (S2), 所述设置步骤 是在表面粗糙度测试机 100 的滑行体 12 的预定位置处安装异物去除部 ( 后述 ) 的步骤, 所 述去除步骤是去除滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙中的异物 F 的步骤。
     下面描述用于图 4 所示滑行体清洗方法的异物去除部。
     本实施例的异物去除部, 如图 5 所示, 是使抽吸垫 33 与滑行体 12 的下表面接触并 使抽吸垫 33 吸引滑行体 12 以通过抽吸来去除间隙中的异物 F 的抽吸装置 ( 吸出器 )30。
     具体地说, 吸出器 30 包括与滑行体 12 的下表面接触的抽吸垫 33 和与抽吸垫 33 连接的容器部 31。
     在容器部 31 的上表面上形成有连接端口 32, 抽吸垫 33 设置在连接端口 32 的上 端。作为抽吸垫 33 的材料, 可列举例如由天然纤维或合成纤维编织的布、 多孔聚合物膜、 非 织布和纸等可透气材料。
     当滑行体 12 的下表面被推压到抽吸垫 33 上时, 抽吸垫 33 沿滑行体 12 的下表面 的形状变形。此外, 抽吸垫 33 可根据其污染状态而被适当地更换。
     此外, 容器部 31 配备有压缩空气进口 34 和压缩空气出口 35。吸出器 30 在滑行体 清洗处理时通过文丘里效应 (Venturi effect) 喷出容器部 31 内的空气, 所述文丘里效应 是经由压缩空气进口 34 向容器部 31 中吸入压缩空气、 并经由压缩空气出口 35 喷出压缩空 气的效应。由此, 对抽吸垫 33 施加负压, 以吸引滑行体孔口 12a。
     因此, 在本实施例中, 在设置步骤 (S1), 当表面粗糙度测试机 100 对物体的测量完 成后, 安装吸出器 30, 以使抽吸垫 33 接触触针 13 的端部和表面粗糙度测试机 100 的滑行体12 的下表面。
     设置步骤 (S1) 可在测量完成后自动进行, 也可通过操作者手动进行。
     此外, 在去除步骤 (S2), 在抽吸垫 33 与触针 13 的端部以及滑行体 12 的下表面接 触的状态下, 通过操作吸出器 30, 来排出容器部 31 内的空气。然后, 当容器部 31 内的空气 被排出后, 一负压从而施加至抽吸垫 33, 并经由滑行体孔口 12a 抽吸滑行体 12 中的空气。 通过该抽吸作用力, 抽吸出滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙中的异物 F。
     也就是说, 通过该抽吸作用力, 抽吸去除了异物 F, 包括存在于间隙中的流体冷却 剂、 在触针 13 的表面上干燥析出的冷却剂成分、 粘着于触针 13 的表面上的固态或半固态冷 却剂等。 这时, 从间隙中取出的干燥冷却剂成分、 固态或半固态冷却剂残留在作为过滤器工 作的抽吸垫 33 上, 而流体冷却剂滴落到容器部 31 中并作为废弃流体保存于其中。
     在以这种方式通过抽吸滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙中的异物 F 而进行 清洗后, 使吸出器 30 与检测部 10 分离。
     如上所述, 根据包括有沿竖直方向设置有滑行体孔口 12a 的滑行体 12、 和设置在 滑行体 12 的滑行体孔口 12a 中并且能够沿竖直方向移动的触针 13 的表面粗糙度测试机 100 的滑行体 12 的清洗方法, 表面粗糙度测试机 100 通过沿物体的表面移动滑行体 12 来测 量物体的表面粗糙度, 从而能够在对物体的表面粗糙度测量完成后去除存在于滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙中的异物 F。 因此, 即使在表面粗糙度测试机 100 对粘附有异物 F 的物体进行测量时, 也能防止 滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙因异物 F 的粘着或凝固而堵塞。
     也就是说, 即使异物 F 在测量时侵入了间隙, 也不会粘着于间隙, 因此能够抑制异 物 F 对测量性能的影响。
     因此, 表面粗糙度测试机 100 能够承受长期使用。
     ( 第二实施例 )
     下面将描述本发明的第二实施例, 重点是描述与第一实施例的不同之处。与第一 实施例类似的构造将以与第一实施例相同的标记表示, 并省略对它们的描述。
     在本实施例的滑行体 12A 中, 如图 6 所示, 在与滑行体孔口 12a 相对的位置形成与 空腔 12b 连接的清洗用压缩空气进口 19。
     此外, 如图 6 所示, 本实施例的异物去除部是通过向滑行体孔口 12a 与触针 13 之 间的间隙喷射清洗用压缩空气来去除存在于该间隙中的异物 F 的空气喷射装置 40。
     具体地说, 空气喷射装置 40 包括向下喷射清洗用压缩空气的喷嘴形空气喷射部 41、 和调节从空气喷射部 41 喷出的空气的空气压力的压力调节阀 42。
     空气喷射部 41 配置在滑行体 12A 的清洗用压缩空气进口 19 的紧上方, 并经由清 洗用压缩空气进口 19 从触针 13 的上侧向下侧喷射清洗用压缩空气至触针 13。 空气喷射部 41 从而去除异物 F。这时, 压力调节阀 42 根据异物 F 的量等情况适当地调节空气压力。
     可向空气喷射装置 40 附设高压气瓶 ( 未示出 ), 以代替压缩空气喷射高压气体。 例如, 这里使用例如氮气等惰性气体作为高压气体。
     因此, 在本实施例中, 在表面粗糙度测试机 100 对物体的测量完成后, 在设置步骤 (S1) 中安装空气喷射装置 40, 以使空气喷射装置 40 的空气喷射部 41 位于滑行体 12A 的清 洗用压缩空气进口 19 的紧上方。
     设置步骤 (S1) 可在测量完成后自动进行, 或可通过操作者手动进行。
     此外, 在去除步骤 (S2), 在空气喷射装置 40 的空气喷射部 41 位于滑行体 12A 的 清洗用压缩空气进口 19 的紧上方的状态下, 操作空气喷射装置 40, 以从上方向滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙喷射清洗用压缩空气。这时, 存在于间隙中的异物 F 被清洗用压 缩空气的空气压力吹走。
     如上所述, 根据本实施例的滑行体清洗方法, 当然能够获得与第一实施例类似的 效果。此外, 因为是通过空气喷射装置 40 向滑行体 12A 吹送清洗用压缩空气来去除异物 F 的, 所以能够轻松地清洗滑行体 12A。
     可对滑行体 12A 设置能够开闭清洗用压缩空气进口 19 的盖子 19a, 而滑行体 12A 可构造成除了在进行滑行体清洗处理时外以盖子 19a 封闭清洗用压缩空气进口 19。 设置盖 子 19a 能够防止不必要的灰尘等进入滑行体孔口 12a。
     ( 第三实施例 )
     下面将描述本发明的第三实施例, 重点是描述与第一实施例的不同之处。与第一 实施例类似的构造将以与第一实施例相同的标记表示, 并省略对它们的描述。
     如图 7 所示, 本实施例的异物去除部是经由清洗流体 54 向间隙传送超声波以去除 存在于滑行体孔口 12a 与触针 13 之间的间隙中的异物 F 的超声波清洗装置 50。 具体地说, 超声波清洗装置 50 包括用于贮存清洗流体 ( 超声波清洗流体 )54 的清 洗容器 51、 使超声波振荡的超声波振荡器 52、 和向超声波振荡器 52 供给电能的电源 53。
     清洗容器 51 配备有振动器 51a。振动器 51a 将超声波振荡器 52 所生成的电振动 转换成机械振动, 以传送至清洗容器 51 中的清洗流体 54。
     当滑行体 12 被浸没在清洗容器 51 中的清洗流体 54 中时, 超声波振荡器 52 振荡 出 20,000Hz 或更高的电振动, 而振动器 51a 将电振动转换成机械振动, 以振荡出超声波。 然 后, 超声波清洗装置 50 经由清洗流体 54 将振荡出的超声波传送至滑行体 12 以去除异物 F。
     作为清洗流体 54, 可使用例如纯水、 有机溶剂 ( 例如丙酮、 轻汽油、 或三氯乙烯 ) 或 类似物。
     因此, 在本实施例中, 在设置步骤 S1, 在表面粗糙度测试机 100 对物体的测量完成 后, 安装超声波清洗装置 50 以使滑行体 12 位于清洗容器 51 的上方。
     设置步骤 (S1) 可在测量完成后自动进行, 也可通过操作者手动进行。
     此外, 在去除步骤 S2, 在滑行体 12 下降成浸没到清洗容器 51 中的清洗流体 54 中 的状态下, 操作超声波清洗装置 50, 以进行超声波清洗。 然后, 超声波被传送至滑行体 12 以 去除异物 F, 从而能够清洗滑行体 12。 在超声波清洗完成后, 从清洗容器 51 拉起滑行体 12。
     如上所述, 根据本实施例, 当然能获得与第一和第二实施例类似的效果。此外, 因 为是通过超声波清洗装置 50 进行清洗的, 所以不论异物 F 的种类如何, 均能获得高清洗效 果。
     虽然在第一至第三实施例中作为异物去除部分别例示说明了抽吸装置 30、 空气喷 射装置 40 和超声波清洗装置 50, 但是也可将它们中的两种或全部设置成异物去除部。
     例如, 可在通过抽吸装置 30 抽吸滑行体的下表面后, 通过超声波清洗装置 50 向滑 行体传送超声波。或者, 也可在通过抽吸装置 30 抽吸滑行体的下表面并通过空气喷射装置 40 喷射压缩空气后, 进一步通过超声波清洗装置 50 向滑行体传送超声波。
     通过以这种方法构成异物去除部, 能够获得较高的清洗效果, 并且能够确实地去 除异物 F。

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1、10申请公布号CN102335661A43申请公布日20120201CN102335661ACN102335661A21申请号201110198141522申请日20110715201016243720100720JPB08B7/04200601B08B5/04200601B08B5/02200601B08B3/1220060171申请人株式会社三丰地址日本神奈川县72发明人松宫贞行滨伸行74专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人曲莹54发明名称用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法57摘要本发明公开了一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法。所述表面粗糙度测试机包括沿竖直方向设置。

2、有滑行体孔口的滑行体、和设置在所述滑行体的滑行体孔口中并且能够沿竖直方向移动的触针,其中所述表面粗糙度测试机通过沿物体的表面移动所述滑行体来测量物体的表面粗糙度。所述方法包括在对物体的表面粗糙度测量完成后,去除存在于滑行体孔口与触针之间的间隙中的异物。30优先权数据51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书6页附图7页CN102335670A1/1页21一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法,所述表面粗糙度测试机包括沿竖直方向设置有滑行体孔口的滑行体、和设置在所述滑行体的滑行体孔口中并且能够沿竖直方向移动的触针,其中所述表面粗糙度测试机通过沿物体的表。

3、面移动所述滑行体来测量物体的表面粗糙度,所述方法包括在对物体的表面粗糙度测量完成后,去除存在于所述滑行体孔口与所述触针之间的间隙中的异物的去除步骤。2如权利要求1所述的方法,其中,所述去除步骤包括以下步骤中的至少一个通过与所述滑行体的下表面接触的抽吸垫抽吸所述滑行体;向所述间隙喷射清洗用压缩空气;和经由浸泡所述滑行体的清洗流体向所述间隙传送超声波。权利要求书CN102335661ACN102335670A1/6页3用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法技术领域0001本发明涉及一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体SKID的方法。背景技术0002对机械加工后的工件的表面粗糙度的测量在确认加工条件。

4、的质量、刀具磨损、损坏情形等方面的工艺管理中十分重要。近年来,在机床上对工件的表面粗糙度进行测量的需求已相应地增大,以通过在加工好工件后立即判断工艺管理的质量来防止劣质工件的流出。0003对于这些需求,作为适于在工件的机床上对加工好的工件的表面粗糙度进行测量的表面粗糙度测试机,已知这样一种表面粗糙度测试机见例如日本专利平成460523号公报。该表面粗糙度测试机在使触针跟随物体表面的同时移动触针,以电检测出并放大触针的位移量,从而表面粗糙度测试机测量出物体的表面粗糙度。0004具体地说,该表面粗糙度测试机配备有用于测量物体的表面粗糙度的检测器、和设置有孔口的滑行体,该孔口位于检测器的端部并在其中。

5、配置有触针。滑行体的下表面工件接触面在测量时与物体工件接触。触针构造成能够在测量时在滑行体的孔口中移动,以便能够尽量对应于物体表面的倾斜量。0005因为该表面粗糙度测试机具有这种构造,所以它能够通过跟随物体表面的凹凸来进行测量,因此该表面粗糙度测试机很难受到外部振动的影响。此外,该表面粗糙度测试机还具有测试机与物体的定位要求不严格以及测试机的姿势制约不严格的优点。0006然而,通常,机械加工后的工件的表面会粘附例如冷却剂等异物。因此,存在这样的问题,当沿着粘附有异物的物体表面移动触针来进行表面粗糙度测量时,如图8所示,异物F会侵入滑行体12的滑行体孔口12A与触针13之间的间隙并粘着在那里,从。

6、而会导致测量性能下降。发明内容0007本发明的一个目的是提供一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法,其能够防止异物粘着于滑行体孔口与触针之间的间隙。0008本发明的第一方面提供一种用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法,所述表面粗糙度测试机包括沿竖直方向设置有滑行体孔口的滑行体、和设置在所述滑行体的滑行体孔口中并且能够沿竖直方向移动的触针,其中所述表面粗糙度测试机通过沿物体的表面移动滑行体来测量物体的表面粗糙度,所述方法包括在对物体的表面粗糙度测量完成后,去除存在于所述滑行体孔口与所述触针之间的间隙中的异物的去除步骤。0009此外,本发明的第二方面是一种根据第一方面的方法,其中所述去除步骤。

7、包括以下步骤中的至少一个通过与所述滑行体的下表面接触的抽吸垫抽吸所述滑行体;向所述间隙喷射清洗用压缩空气;和经由浸泡所述滑行体的清洗流体向所述间隙传送超声波。说明书CN102335661ACN102335670A2/6页4附图说明0010虽然本发明通过以下详细描述和附图将得到更全面的理解,但是它们只起示例作用,本发明的范围并不局限于它们,附图中0011图1是本发明一实施例的表面粗糙度测试机的示意图;0012图2是示出图1所示表面粗糙度测试机的检测部的截面图;0013图3是示出图2所示检测部的端部的主要部分的放大图;0014图4是根据本发明一实施例的用于清洗滑行体的方法的流程图;0015图5是第。

8、一实施例的异物去除部的示意图;0016图6是第二实施例的异物去除部的示意图;0017图7是第三实施例的异物去除部的示意图;而0018图8是用于说明常规表面粗糙度测试机的问题的视图。具体实施方式0019下面将参考附图来描述本发明的实施例。0020第一实施例0021首先将描述属于本发明的表面粗糙度测试机的构造。0022表面粗糙度测试机100,如图1所示,包括检测部10、驱动部20等。0023检测部10通过驱动部20的沿前后方向的驱动在待测物体上移动,以通过触针13检测物体的表面粗糙度细微表面凹凸。0024具体地说,如图2和3所示,检测部10包括从驱动部20的前端部突出的检测部壳体11。在检测部壳体。

9、11中形成有空腔11A。在检测部壳体11的端部设置有滑行体12。0025在滑行体12中从其后端部向前方形成有空腔12B。空腔12B在滑行体12附接至检测部壳体11的端部的状态下,连接至检测部壳体11的空腔11A。此外,在滑行体12中从滑行体12的下表面形成有滑行体孔口12A。滑行体孔口12A与空腔12B连接。从检测部壳体11的空腔11A的后侧到空腔12B配置有触针杆14。0026触针杆14在其端部配备有朝下取向的触针13。触针13配置在滑行体孔口12A中。0027在触针杆14的后端上表面上附接有铁素体板16。在检测部壳体11的与铁素体板16相对的位置处附接有与连接器销17连接的电感检测器18。。

10、0028触针杆14在其中间部分通过板簧15附接至检测部壳体11。板簧15作为支点弹性地支撑触针杆14,由此,触针13和铁素体板16在触针13从滑行体12的下表面略微突出的状态下达到平衡。0029滑行体12的下表面是在测量时与物体接触的工作接触面。当滑行体12的下表面沿物体的测量区域的表面移动时,触针13根据测量区域的表面粗糙度垂直地上下移动。当触针13向上移动时,铁素体板16以作为支点的板簧15为中心,通过触针杆14向下移动。当触针13向下移动时,铁素体板16以作为支点的板簧15为中心,通过触针杆14向上移动。铁素体板16的竖直运动被电感检测器18检测到,并基于从电感检测器18输出的检测信号和。

11、触针13的水平移动距离测得物体的表面粗糙度。0030驱动部20弹性地保持检测部10,并通过未示出的控制机构沿给定方向前后方说明书CN102335661ACN102335670A3/6页5向移动检测部10。0031在驱动部20的底面的前端部的两侧分别设置有两个支脚部21,并在驱动部20的底面的后端部的中央设置有支脚部22。两个支脚部21的高度能够被独立地调整。表面粗糙度测试机100构造成不管其安装位置的形状如何,均能够通过这三个支脚部21和22得到稳定的放置。表面粗糙度测试机100因此不但能够被放置于具有平面形状的物体上,而且也能够被放置于例如具有曲面形状的物体上。0032下面将描述上述表面粗糙。

12、度测试机100的滑行体12的清洗方法。0033滑行体清洗处理是在表面粗糙度测试机100完成表面粗糙度测量后进行的。0034这里的“测量后”是指当对物体的一个位置进行测量时,对该位置的测量完成“时或后的时间”。0035此外,当对物体的多个位置进行测量时,可将对多个位置的一系列测量完成时或后的时间作为“测量后”来进行滑行体清洗处理,也可将多个位置中对一个位置的测量或多个位置的一系列测量完成时或后的时间作为“测量后”来进行滑行体清洗处理。0036在上述任一种情况下,均优选的是紧随测量完成来进行滑行体清洗处理,以获得较高的清洗效果。此外,例如,在表面粗糙度测试机100在除测量时外通常收纳并保持在预定收。

13、纳位置的情况下,至少应该在测量后收纳表面粗糙度测试机100前进行滑行体清洗处理。0037由此,即使在对粘附有例如冷却剂等异物的机械加工后的工件等物体的表面进行测量、并有异物F侵入滑行体孔口12A与触针13之间的间隙的情况下,也能在异物F粘着前快速将其从间隙去除。0038滑行体清洗方法,如图4所示,包括设置步骤S1和去除步骤S2,所述设置步骤是在表面粗糙度测试机100的滑行体12的预定位置处安装异物去除部后述的步骤,所述去除步骤是去除滑行体孔口12A与触针13之间的间隙中的异物F的步骤。0039下面描述用于图4所示滑行体清洗方法的异物去除部。0040本实施例的异物去除部,如图5所示,是使抽吸垫3。

14、3与滑行体12的下表面接触并使抽吸垫33吸引滑行体12以通过抽吸来去除间隙中的异物F的抽吸装置吸出器30。0041具体地说,吸出器30包括与滑行体12的下表面接触的抽吸垫33和与抽吸垫33连接的容器部31。0042在容器部31的上表面上形成有连接端口32,抽吸垫33设置在连接端口32的上端。作为抽吸垫33的材料,可列举例如由天然纤维或合成纤维编织的布、多孔聚合物膜、非织布和纸等可透气材料。0043当滑行体12的下表面被推压到抽吸垫33上时,抽吸垫33沿滑行体12的下表面的形状变形。此外,抽吸垫33可根据其污染状态而被适当地更换。0044此外,容器部31配备有压缩空气进口34和压缩空气出口35。。

15、吸出器30在滑行体清洗处理时通过文丘里效应VENTURIEFFECT喷出容器部31内的空气,所述文丘里效应是经由压缩空气进口34向容器部31中吸入压缩空气、并经由压缩空气出口35喷出压缩空气的效应。由此,对抽吸垫33施加负压,以吸引滑行体孔口12A。0045因此,在本实施例中,在设置步骤S1,当表面粗糙度测试机100对物体的测量完成后,安装吸出器30,以使抽吸垫33接触触针13的端部和表面粗糙度测试机100的滑行体说明书CN102335661ACN102335670A4/6页612的下表面。0046设置步骤S1可在测量完成后自动进行,也可通过操作者手动进行。0047此外,在去除步骤S2,在抽吸。

16、垫33与触针13的端部以及滑行体12的下表面接触的状态下,通过操作吸出器30,来排出容器部31内的空气。然后,当容器部31内的空气被排出后,一负压从而施加至抽吸垫33,并经由滑行体孔口12A抽吸滑行体12中的空气。通过该抽吸作用力,抽吸出滑行体孔口12A与触针13之间的间隙中的异物F。0048也就是说,通过该抽吸作用力,抽吸去除了异物F,包括存在于间隙中的流体冷却剂、在触针13的表面上干燥析出的冷却剂成分、粘着于触针13的表面上的固态或半固态冷却剂等。这时,从间隙中取出的干燥冷却剂成分、固态或半固态冷却剂残留在作为过滤器工作的抽吸垫33上,而流体冷却剂滴落到容器部31中并作为废弃流体保存于其中。

17、。0049在以这种方式通过抽吸滑行体孔口12A与触针13之间的间隙中的异物F而进行清洗后,使吸出器30与检测部10分离。0050如上所述,根据包括有沿竖直方向设置有滑行体孔口12A的滑行体12、和设置在滑行体12的滑行体孔口12A中并且能够沿竖直方向移动的触针13的表面粗糙度测试机100的滑行体12的清洗方法,表面粗糙度测试机100通过沿物体的表面移动滑行体12来测量物体的表面粗糙度,从而能够在对物体的表面粗糙度测量完成后去除存在于滑行体孔口12A与触针13之间的间隙中的异物F。0051因此,即使在表面粗糙度测试机100对粘附有异物F的物体进行测量时,也能防止滑行体孔口12A与触针13之间的间。

18、隙因异物F的粘着或凝固而堵塞。0052也就是说,即使异物F在测量时侵入了间隙,也不会粘着于间隙,因此能够抑制异物F对测量性能的影响。0053因此,表面粗糙度测试机100能够承受长期使用。0054第二实施例0055下面将描述本发明的第二实施例,重点是描述与第一实施例的不同之处。与第一实施例类似的构造将以与第一实施例相同的标记表示,并省略对它们的描述。0056在本实施例的滑行体12A中,如图6所示,在与滑行体孔口12A相对的位置形成与空腔12B连接的清洗用压缩空气进口19。0057此外,如图6所示,本实施例的异物去除部是通过向滑行体孔口12A与触针13之间的间隙喷射清洗用压缩空气来去除存在于该间隙。

19、中的异物F的空气喷射装置40。0058具体地说,空气喷射装置40包括向下喷射清洗用压缩空气的喷嘴形空气喷射部41、和调节从空气喷射部41喷出的空气的空气压力的压力调节阀42。0059空气喷射部41配置在滑行体12A的清洗用压缩空气进口19的紧上方,并经由清洗用压缩空气进口19从触针13的上侧向下侧喷射清洗用压缩空气至触针13。空气喷射部41从而去除异物F。这时,压力调节阀42根据异物F的量等情况适当地调节空气压力。0060可向空气喷射装置40附设高压气瓶未示出,以代替压缩空气喷射高压气体。例如,这里使用例如氮气等惰性气体作为高压气体。0061因此,在本实施例中,在表面粗糙度测试机100对物体的。

20、测量完成后,在设置步骤S1中安装空气喷射装置40,以使空气喷射装置40的空气喷射部41位于滑行体12A的清洗用压缩空气进口19的紧上方。说明书CN102335661ACN102335670A5/6页70062设置步骤S1可在测量完成后自动进行,或可通过操作者手动进行。0063此外,在去除步骤S2,在空气喷射装置40的空气喷射部41位于滑行体12A的清洗用压缩空气进口19的紧上方的状态下,操作空气喷射装置40,以从上方向滑行体孔口12A与触针13之间的间隙喷射清洗用压缩空气。这时,存在于间隙中的异物F被清洗用压缩空气的空气压力吹走。0064如上所述,根据本实施例的滑行体清洗方法,当然能够获得与第。

21、一实施例类似的效果。此外,因为是通过空气喷射装置40向滑行体12A吹送清洗用压缩空气来去除异物F的,所以能够轻松地清洗滑行体12A。0065可对滑行体12A设置能够开闭清洗用压缩空气进口19的盖子19A,而滑行体12A可构造成除了在进行滑行体清洗处理时外以盖子19A封闭清洗用压缩空气进口19。设置盖子19A能够防止不必要的灰尘等进入滑行体孔口12A。0066第三实施例0067下面将描述本发明的第三实施例,重点是描述与第一实施例的不同之处。与第一实施例类似的构造将以与第一实施例相同的标记表示,并省略对它们的描述。0068如图7所示,本实施例的异物去除部是经由清洗流体54向间隙传送超声波以去除存在。

22、于滑行体孔口12A与触针13之间的间隙中的异物F的超声波清洗装置50。0069具体地说,超声波清洗装置50包括用于贮存清洗流体超声波清洗流体54的清洗容器51、使超声波振荡的超声波振荡器52、和向超声波振荡器52供给电能的电源53。0070清洗容器51配备有振动器51A。振动器51A将超声波振荡器52所生成的电振动转换成机械振动,以传送至清洗容器51中的清洗流体54。0071当滑行体12被浸没在清洗容器51中的清洗流体54中时,超声波振荡器52振荡出20,000HZ或更高的电振动,而振动器51A将电振动转换成机械振动,以振荡出超声波。然后,超声波清洗装置50经由清洗流体54将振荡出的超声波传送。

23、至滑行体12以去除异物F。0072作为清洗流体54,可使用例如纯水、有机溶剂例如丙酮、轻汽油、或三氯乙烯或类似物。0073因此,在本实施例中,在设置步骤S1,在表面粗糙度测试机100对物体的测量完成后,安装超声波清洗装置50以使滑行体12位于清洗容器51的上方。0074设置步骤S1可在测量完成后自动进行,也可通过操作者手动进行。0075此外,在去除步骤S2,在滑行体12下降成浸没到清洗容器51中的清洗流体54中的状态下,操作超声波清洗装置50,以进行超声波清洗。然后,超声波被传送至滑行体12以去除异物F,从而能够清洗滑行体12。在超声波清洗完成后,从清洗容器51拉起滑行体12。0076如上所述。

24、,根据本实施例,当然能获得与第一和第二实施例类似的效果。此外,因为是通过超声波清洗装置50进行清洗的,所以不论异物F的种类如何,均能获得高清洗效果。0077虽然在第一至第三实施例中作为异物去除部分别例示说明了抽吸装置30、空气喷射装置40和超声波清洗装置50,但是也可将它们中的两种或全部设置成异物去除部。0078例如,可在通过抽吸装置30抽吸滑行体的下表面后,通过超声波清洗装置50向滑行体传送超声波。或者,也可在通过抽吸装置30抽吸滑行体的下表面并通过空气喷射装置40喷射压缩空气后,进一步通过超声波清洗装置50向滑行体传送超声波。说明书CN102335661ACN102335670A6/6页8。

25、0079通过以这种方法构成异物去除部,能够获得较高的清洗效果,并且能够确实地去除异物F。说明书CN102335661ACN102335670A1/7页9图1说明书附图CN102335661ACN102335670A2/7页10图2图3说明书附图CN102335661ACN102335670A3/7页11图4说明书附图CN102335661ACN102335670A4/7页12图5说明书附图CN102335661ACN102335670A5/7页13图6说明书附图CN102335661ACN102335670A6/7页14图7说明书附图CN102335661ACN102335670A7/7页15图8说明书附图CN102335661A。

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