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本发明涉及一种用于加工薄板类工件的真空固定器械及其使用方法,属于搬运薄的器械技术领域。该器械至少包括一个承载基板和至少一个真空发生装置,其特点是:承载基板内分布有容纳腔,容纳腔的轮廓与工件外形相适应,容纳腔与工件底面形成真空,容纳腔外分布有密封件,承载基板上设置有定位装置,容纳腔通过导气孔与真空发生装置连通。使用时令承载基板起到真空夹具的作用,对工件进行定位,能够达到很高的加工精度,尤其是对于以铝。