《制造结构化隔离衬片的方法.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《制造结构化隔离衬片的方法.pdf(18页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。
本发明公开了制造结构化隔离衬片的方法。所述方法包括提供可挤出的材料;通过具有轮廓的模具挤出所述可挤出的材料,从而形成基部和至少一条导轨。所述导轨具有超出所述基部小于100微米的高度。在其他实施例中,提供第一和第二可挤出的材料,并通过所述模具将其挤出以形成第一层和第二层。所述结构化隔离衬片也可通过挤出到现有基底上形成。本发明还公开了形成包括粘合剂层和背衬的层合构造的方法。 。