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本发明涉及一种太阳能硅片的表面清洗方法,该方法在晶棒切成太阳能硅片并经脱胶后,先在浓度为13的氢氟酸溶液中浸泡,接着采用纯水漂洗,接着放在浓度为13的柠檬酸溶液中并导入纯净压缩空气边鼓泡边浸泡,然后又采用纯水漂洗,之后又在浓度为13的硅片清洗剂中采用超声波清洗,接着再经多次纯水超声波漂洗后,最后放入温度保持在4570的纯水中并采用超声波清洗即可。采用本发明方法,由于采用了酸液浸泡,并导入纯净压缩空。