一种轨道导向电极.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201410369389.7

申请日:

2014.07.31

公开号:

CN104099566A

公开日:

2014.10.15

当前法律状态:

实审

有效性:

审中

法律详情:

实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/14申请日:20140731|||公开

IPC分类号:

C23C14/14; C23C14/26

主分类号:

C23C14/14

申请人:

上海宝镀真空设备科技有限公司

发明人:

陈生贩; 江裕捺; 陈生镇; 田晓东

地址:

201611 上海市松江区车墩镇泖亭路908号3幢底层

优先权:

专利代理机构:

代理人:

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内容摘要

本发明公开了一种轨道导向电极,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。本发明将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。

权利要求书

1.  一种轨道导向电极,其特征在于:包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固定板、绝缘胶木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上

2.
  根据权利要求1所述的一种轨道导向电极,其特征在于:所述坩埚为氮化硼

3.
  根据权利要求1所述的一种轨道导向电极,其特征在于:所述直线导轨安装在蒸发箱底部上

说明书

一种轨道导向电极
技术领域
本发明涉及镀铝机蒸发领域,尤其是一种轨道导向电极
背景技术
在真空铝膜机的应用中,镀铝机蒸发箱中间的坩埚(氮化硼)装夹一直是个大问题,因为在镀铝过程中,坩埚必须保持固定位置不变,而在镀铝完成后需要对之进行拆卸清理,国内的镀铝机通常在正极铜轴上装配弹簧,在此处安装弹簧,从效果上讲,作用上已经达到,但是考虑到弹簧的线性运动不是很精确,偶尔发生故障是弹簧不但发生轴向的移动,还发生细微的径向移动,此移动导致电极的导电性能下降。而且目前国内不做导向结构,设备使用寿命短,出现问题时要进行花费巨大的维修,造成资源的浪费,成本提高。为解决这些问题,特提出一种轨道导向电极
发明内容
针对上述问题,本发明旨在提供一种电极的稳定性高,使用寿命长的轨道导向电极。
为实现该技术目的,本发明的方案是:
一种轨道导向电极,包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固定板、绝缘胶木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。
作为优选,所述坩埚为氮化硼。
作为优选,所述直线导轨安装在蒸发箱底部上。
    本发明将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。
附图说明                                        
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1所示,本发明实施例的一种轨道导向电极,包括正极铜轴1、固体板2、正电极墙板3、正极铜轴固定板4、绝缘胶木套5、直线导轨6、电极导向板7、弹性装置8、正极挡热片9、坩埚10和负极铜轴11,所述正极铜轴1下端设有固体板2和正极铜轴固定板4,所述固体板2与正极铜轴固定板4连接,所述正电极墙板3固定在正极铜轴1的下端,所述绝缘胶木套5设置在正极铜轴固定板4的下端,所述直线导轨6安装在电极导向板7的上端,所述弹性装置8连接在电极导向板7的一端,所述正极挡热片9固定在正极铜轴1的一端,所述坩埚10一端连接在负极铜轴11上。
作为优选,所述坩埚10为氮化硼。
作为优选,所述直线导轨6安装在蒸发箱底部上。
本发明的工作原理为在蒸发箱底部装上直线导轨6,通过装配丝杆和弹簧的弹性装置8,实现电极导向板7的左右来回的直线运动,装上绝缘胶木套5,避免蒸发箱与正电极的接触,最后通过固体板2和正极铜轴固定板4的紧固装置,完全确保正极铜轴1的直线性往复运动,提高电极的稳定性。
    以上所述,仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进,均应包含在本发明技术方案的保护范围之内

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资源描述

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1、10申请公布号CN104099566A43申请公布日20141015CN104099566A21申请号201410369389722申请日20140731C23C14/14200601C23C14/2620060171申请人上海宝镀真空设备科技有限公司地址201611上海市松江区车墩镇泖亭路908号3幢底层72发明人陈生贩江裕捺陈生镇田晓东54发明名称一种轨道导向电极57摘要本发明公开了一种轨道导向电极,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所。

2、述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。本发明将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。51INTCL权利要求书1页说明书2页附图1页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图1页10申请公布号CN104099566ACN104099566A1/1页21一种轨道导向电极,其特征在于包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固定板、绝缘胶。

3、木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。2根据权利要求1所述的一种轨道导向电极,其特征在于所述坩埚为氮化硼。3根据权利要求1所述的一种轨道导向电极,其特征在于所述直线导轨安装在蒸发箱底部上。权利要求书CN104099566A1/2页3一种轨道导向电极技术领域0001本发明涉及镀铝机。

4、蒸发领域,尤其是一种轨道导向电极。背景技术0002在真空铝膜机的应用中,镀铝机蒸发箱中间的坩埚(氮化硼)装夹一直是个大问题,因为在镀铝过程中,坩埚必须保持固定位置不变,而在镀铝完成后需要对之进行拆卸清理,国内的镀铝机通常在正极铜轴上装配弹簧,在此处安装弹簧,从效果上讲,作用上已经达到,但是考虑到弹簧的线性运动不是很精确,偶尔发生故障是弹簧不但发生轴向的移动,还发生细微的径向移动,此移动导致电极的导电性能下降。而且目前国内不做导向结构,设备使用寿命短,出现问题时要进行花费巨大的维修,造成资源的浪费,成本提高。为解决这些问题,特提出一种轨道导向电极。发明内容0003针对上述问题,本发明旨在提供一种。

5、电极的稳定性高,使用寿命长的轨道导向电极。0004为实现该技术目的,本发明的方案是一种轨道导向电极,包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固定板、绝缘胶木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。0005作为优选,所述坩埚为氮化硼。0006作为优选,所述直线导轨安装在蒸发箱底部上。。

6、0007本发明将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。0008附图说明图1为本发明的结构示意图。具体实施方式0009下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。0010如图1所示,本发明实施例的一种轨道导向电极,包括正极铜轴1、固体板2、正电极墙板3、正极铜轴固定板4、绝缘胶木套5、直线导轨6、电极导向板7、弹性装置8、正极挡热片9、坩埚10和负极铜轴11,所述正极铜轴1下端设有固体板2和正极铜轴固定板4,所述固体板2与。

7、正极铜轴固定板4连接,所述正电极墙板3固定在正极铜轴1的下端,所述绝说明书CN104099566A2/2页4缘胶木套5设置在正极铜轴固定板4的下端,所述直线导轨6安装在电极导向板7的上端,所述弹性装置8连接在电极导向板7的一端,所述正极挡热片9固定在正极铜轴1的一端,所述坩埚10一端连接在负极铜轴11上。0011作为优选,所述坩埚10为氮化硼。0012作为优选,所述直线导轨6安装在蒸发箱底部上。0013本发明的工作原理为在蒸发箱底部装上直线导轨6,通过装配丝杆和弹簧的弹性装置8,实现电极导向板7的左右来回的直线运动,装上绝缘胶木套5,避免蒸发箱与正电极的接触,最后通过固体板2和正极铜轴固定板4的紧固装置,完全确保正极铜轴1的直线性往复运动,提高电极的稳定性。0014以上所述,仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进,均应包含在本发明技术方案的保护范围之内。说明书CN104099566A1/1页5图1说明书附图CN104099566A。

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