玻璃基板用垫片分离装置及玻璃基板的制造方法.pdf

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1、10申请公布号CN102005211A43申请公布日20110406CN102005211ACN102005211A21申请号201010268892522申请日20100830200919827120090828JPG11B5/8420060171申请人旭硝子株式会社地址日本东京72发明人星野智弘宫胁毅渡边春夫74专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司11219代理人高培培车文54发明名称玻璃基板用垫片分离装置及玻璃基板的制造方法57摘要本发明的课题在于提供一种玻璃基板用垫片分离装置及玻璃基板的制造方法，能够高效率地剥离紧贴在玻璃基板的主平面上的树脂制垫片。玻璃基板用垫片分离装置10设。

2、有液槽20、盒体支撑机构30、及气泡发生机构40。气泡发生机构40具有气泡发生部42，设置有向液体中产生气泡的多个气泡喷出孔41；压缩气体源44，向气泡发生部42供给压缩气体；压力调整阀46，将从压缩气体源44供给的压缩气体的压力调整为规定压力；及连接配管48，将由压力调整阀46调整的压缩气体供给至气泡发生部42。从气泡发生部42的多个气泡喷出孔41产生的气泡向配置于上方的盒体50内喷出，因浮力而上升并与收容于盒体50内的多个玻璃基板70的表面接触，利用气泡的浮力将紧贴在各玻璃基板70的主平面上的树脂制垫片S剥离。30优先权数据51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利。

3、要求书2页说明书7页附图8页CN102005224A1/2页21一种玻璃基板用垫片分离装置，将附着在玻璃基板的主平面上的垫片从玻璃基板分离，其特征在于，具备盒体，将多个带垫片的玻璃基板以一组一组分离的状态进行收容；液槽，贮存用于浸渍上述盒体的液体；及气泡发生机构，朝向浸渍于上述液槽内的上述盒体的内部产生气泡，使从上述气泡发生机构产生的气泡与收容在上述液槽内的上述盒体内的上述多个带垫片的玻璃基板的表面接触，由此分别从上述多个带垫片的玻璃基板分离上述垫片。2如权利要求1所述的玻璃基板用垫片分离装置，其特征在于，上述液槽具有摆动机构，该摆动机构使上述盒体摆动以使上述盒体和上述气泡发生部的位置相对变化。

4、。3如权利要求1或2所述的玻璃基板用垫片分离装置，其特征在于，上述气泡发生机构具有气泡发生部，设于上述液槽的底部，并设置有向上述液体中产生气泡的多个孔；压缩气体源，设于上述液槽的外部，并向上述气泡发生部供给压缩气体；压力调整阀，将从上述压缩气体源供给的压缩气体的压力调整为规定压力；及连接配管，将由上述压力调整阀调整后的压缩气体供给至上述气泡发生部。4如权利要求3所述的玻璃基板用垫片分离装置，其特征在于，上述气泡发生部在管子或平板的表面具有开孔直径为02MM20MM的多个孔。5如权利要求3或4所述的玻璃基板用垫片分离装置，其特征在于，相对于将上述带垫片的玻璃基板以一组一组分离的状态收容的上述盒体。

5、的玻璃基板收容间隔距离，上述孔以022倍的间隔距离形成。6如权利要求15中任意一项所述的玻璃基板用垫片分离装置，其特征在于，将用于回收在上述液槽内分离的上述垫片的其它液槽设置在上述液槽的内部或外部，设置有液体供给机构，供给液体以使液体从上述液槽向上述其它液槽溢流，使在上述液槽分离的垫片与从上述液槽溢流的液体一起向上述其它液槽移动而回收垫片。7如权利要求16中任意一项所述的玻璃基板用垫片分离装置，其特征在于，上述液槽具有超声波发射机构，该超声波发射机构向浸渍于上述液体的上述盒体所收容的带垫片的玻璃基板发射超声波。8一种玻璃基板的制造方法，包括交替叠合多张玻璃基板和垫片而形成玻璃基板层叠体，并对该。

6、玻璃基板层叠体的玻璃基板端面部进行研磨的工序；在进行玻璃基板端面部的研磨后从玻璃基板层叠体分离玻璃基板的工序；及将附着在玻璃基板的主平面上的垫片从玻璃基板分离的工序，其特征在于，在将上述垫片从玻璃基板分离的工序中使用权利要求17中任意一项所述的玻璃基板用垫片分离装置。9如权利要求8所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，上述垫片由比重比贮存在上述液槽中的液体轻的材质形成。权利要求书CN102005211ACN102005224A2/2页310如权利要求8或9所述的玻璃基板的制造方法，上述玻璃基板是磁记录介质用玻璃基板。权利要求书CN102005211ACN102005224A1/7页4玻璃基板用。

7、垫片分离装置及玻璃基板的制造方法技术领域0001本发明涉及将附着在玻璃基板的主平面上的垫片从玻璃基板分离的玻璃基板用垫片分离装置及玻璃基板的制造方法。背景技术0002例如在制造圆盘状的玻璃基板的制造工序中，具有对玻璃基板的平面及端面实施磨削、研磨等加工的加工工序，例如作为提高玻璃基板端面的研磨效率的方法可以使用如下方法形成将多张例如数百张玻璃基板经由树脂制的垫片在面方向上重合的玻璃基板层叠体，同时对多个玻璃基板的端面进行磨削、研磨。0003该玻璃基板层叠体端面的加工结束后，在向对玻璃基板的平面部分进行磨削、研磨加工的工序转移之前，进行如下作业从玻璃基板层叠体逐张分离玻璃基板，进而从玻璃基板剥离。

8、垫片而在规定的盒体内收容玻璃基板。从玻璃基板层叠体分离该玻璃基板而收容在盒体内的工序主要由作业人员手工进行。0004但是，对于手工进行的分离方式，由于玻璃基板平面彼此压接，因此不能够容易地从玻璃基板分离垫片，存在需要花费工时的问题。0005因此，以往，作为从玻璃基板层叠体逐张分离玻璃基板而从该玻璃基板除去垫片的方法，例如提出了下述方式在将玻璃基板层叠体沉入水槽的液体中的状态下利用真空吸附垫等工具吸附玻璃基板上面侧平面而进行分离，并且通过对玻璃基板层叠体施加水压来除去垫片专利文献1；具有把持基板的端面的多处部位至少三处的臂，使水流、刷子、超声波撞击玻璃基板并同时使臂上升，从玻璃基板层叠体分离玻璃。

9、基板，并且从玻璃基板剥离垫片专利文献24。0006专利文献1日本特开2008302448号公报0007专利文献2日本特开2008307612号公报0008专利文献3日本特开200948735号公报0009专利文献4日本特开200948688号公报0010但是，在使用上述现有的方式从玻璃基板剥离垫片的方法中，为了逐张可靠地剥离紧贴在玻璃基板的主平面上的垫片，存在分离垫片中耗费时间，生产效率较低的问题。发明内容0011因此，本发明是鉴于上述问题而创立的，其目的在于提供一种解决上述课题的玻璃基板用垫片分离装置及玻璃基板的制造方法。0012为了解决上述课题，本发明具有以下的手段。00131本发明涉及一。

10、种玻璃基板用垫片分离装置，将附着在玻璃基板的主平面上的垫片从玻璃基板分离，其特征在于，具备盒体，将多个带垫片的玻璃基板以一组一组分离的状态进行收容；液槽，贮存用于浸渍上述盒体的液体；及气泡发生机构，朝向浸渍于上述液槽内的上述盒体的内部产生气泡，使从上述气泡发生机构产生的气泡与收容在上述液槽说明书CN102005211ACN102005224A2/7页5内的上述盒体内的上述多个带垫片的玻璃基板的表面接触，由此分别从上述多个带垫片的玻璃基板分离上述垫片。00142本发明的上述液槽，其特征在于，具有摆动机构，该摆动机构使上述盒体摆动以使上述盒体和上述气泡发生部的位置相对变化。00153本发明的上述气。

11、泡发生机构，其特征在于，具有气泡发生部，设于上述液槽的底部，并设置有向上述液体中产生气泡的多个孔；压缩气体源，设于上述液槽的外部，并向上述气泡发生部供给压缩气体；压力调整阀，将从上述压缩气体源供给的压缩气体的压力调整为规定压力；及连接配管，将由上述压力调整阀调整后的压缩气体供给至上述气泡发生部。00164本发明的上述气泡发生部，其特征在于，在管子或平板的表面具有开孔直径为02MM20MM的多个孔。00175本发明的上述孔，其特征在于，相对于将上述带垫片的玻璃基板以一组一组分离的状态进行收容的上述盒体的玻璃基板收容间隔距离，上述孔以022倍的间隔距离形成。00186本发明的特征在于，将用于回收在。

12、上述液槽内分离的上述垫片的其它液槽设置在上述液槽的内部或外部，设置有液体供给机构，供给液体以使液体从上述液槽向上述其它液槽溢流，使在上述液槽分离的垫片与从上述液槽溢流的液体一起向上述其它液槽移动而回收垫片。00197本发明的特征在于，上述液槽具有超声波发射机构，该超声波发射机构向浸于上述液体的上述盒体所收容的带垫片的玻璃基板发射超声波。00208本发明提供一种玻璃基板的制造方法，包括交替叠合多张玻璃基板和垫片而形成玻璃基板层叠体，并对该玻璃基板层叠体的玻璃基板端面部进行研磨的工序；在进行玻璃基板端面部的研磨后从玻璃基板层叠体分离玻璃基板的工序；及将附着在玻璃基板的主平面上的垫片从玻璃基板分离的。

13、工序，其特征在于，在将上述垫片从玻璃基板分离的工序中使用权利要求17中任意一项所述的玻璃基板用垫片分离装置。00219本发明的上述垫片，其特征在于，由比重比贮存在上述液槽中的液体轻的材质形成。002210如8或9所述的玻璃基板的制造方法，本发明的玻璃基板是磁记录介质用玻璃基板。0023根据本发明，通过使从气泡发生机构产生的气泡与收容于液槽内的盒体内的多个带垫片的玻璃基板的表面接触，能够分别从多个带垫片玻璃基板同时使垫片分离而高效率地回收垫片。附图说明0024图1是本发明的玻璃基板用垫片分离装置的一实施例的概略构成剖面图。0025图2是图1所示的玻璃基板用垫片分离装置的俯视图。0026图3是从侧。

14、面观察液槽内部的构成的纵剖面图0027图4是从正面观察盒体内部的纵剖面图。0028图5是本发明的玻璃基板用垫片分离装置的变形例1的概略构成剖面图。说明书CN102005211ACN102005224A3/7页60029图6是图5所示的玻璃基板用垫片分离装置的俯视图。0030图7是本发明的玻璃基板用垫片分离装置的变形例2的概略构成剖面图。0031图8是图7所示的玻璃基板用垫片分离装置的俯视图。具体实施方式0032以下，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。0033图1是本发明的玻璃基板用垫片分离装置的实施例1的概略构成剖面图。图2是图1所示的玻璃基板用垫片分离装置的俯视图。0034如图1及图2。

15、所示，玻璃基板用垫片分离装置10设有液槽20、盒体支承机构30、及气泡发生机构40。液槽20形成为长方体形状的箱型，上面侧形成开口22。在液槽20的内部贮存有自来水或纯水、添加了表面活性剂、酸、碱等的液体。0035盒体支承机构30具有盒体载置部32，由载置多个本实施例中为四个盒体50的格子状部件构成；吊挂部34，从盒体载置部32的两侧向上方垂直方向延伸；及滑动部36，从吊挂部34的上端向侧方水平方向延伸。滑动部36载置于液槽20的上端部24，设置为可沿液槽20的上端部24在X方向水平方向上滑动。盒体50中，逐组收容各带垫片的玻璃基板70的基板收容部80参照图3沿长边方向排列。0036在此，对玻。

16、璃基板70的制造工序进行说明。0037在制造圆盘状的玻璃基板70的制造工序中，存在对玻璃基板70的平面及端面实施磨削、研磨等加工的磨削/研磨工序。该磨削/研磨工序中，例如作为提高玻璃基板70的端面的研磨效率的手法，形成经由树脂制的垫片S将多张例如数百张玻璃基板70沿面方向重合的玻璃基板层叠体，同时对多个玻璃基板70的端面进行磨削、研磨加工。0038该玻璃基板层叠体端面的磨削/研磨加工结束后，在向对玻璃基板70的平面部分进行磨削、研磨加工的工序转移之前，从玻璃基板层叠体逐张分离玻璃基板70，接着，进行将紧贴在玻璃基板70的主平面上的垫片S逐张剥离的工序。0039在本实施例中，为了高效地进行该垫片。

17、剥离，进行将带垫片的玻璃基板70收容于规定的盒体50的基板收容部中的作业，所述带垫片的玻璃基板70是将垫片S紧贴在玻璃基板70的主平面上而形成的。0040各盒体50例如具有多个收容带垫片的玻璃基板70的基板收容部80，在各基板收容部80中将多个带垫片的玻璃基板70以逐张地按规定间隔排列的状态收容。因此，通过被收容于基板收容部80中，各带垫片的玻璃基板70被保持为各主平面彼此以规定间隔分离的状态。0041在本实施例中，通过手动操作使滑动部36沿X方向水平方向滑动，从而能够使被盒体支撑机构30支承的盒体50沿X方向水平方向往复移动。另外，也可以为如下构成利用气缸等促动器沿X方向水平方向驱动滑动部3。

18、6而使被盒体支撑机构30支承的盒体50摆动。0042气泡发生机构40设于液槽20的底部，具有气泡发生部42，设有在液体中产生气泡的多个气泡喷出孔41；压缩气体源44，设于液槽20的外部并向气泡发生部42供给压缩气体；压力调整阀46，将从压缩气体源44供给的压缩气体的压力调整为规定压力；及连接配管48，将由压力调整阀46调整的压缩气体供给至气泡发生部42。说明书CN102005211ACN102005224A4/7页70043气泡发生部42例如由圆筒状的中空管构成，从内周向外周贯通的多个气泡喷出孔41设置成一列。气泡喷出孔41的开孔直径设置为02MM20MM，优选开孔直径设置为05MM15MM，。

19、更优选设置为0713MM。此外，多个气泡喷出孔41也可以随机或Z字形地设置在中空部件的上侧。0044另外，气泡发生部42以沿X方向水平方向延伸的方式被固定于液槽20的底部的高度调整部60支承在规定高度位置。由于高度调整部60能够选择性地更换具有任意高度的部件，因此能够将配置于气泡发生部42的上侧的多个气泡喷出孔41和被盒体支撑机构30支承的盒体50之间的距离L设定为规定距离例如10MM100MM。0045在本实施例中，在液槽20的底部平行配置两个气泡发生部42，各气泡发生部42分别经由连接配管48与压力调整阀46及压缩气体源44连接。气泡发生部42的配置个数不限于2个，也可以设置3个以上。另外。

20、，气泡发生部42可以构成为与盒体50的下方平行配置，或者也可以在上下方向上倾斜规定角度而沿相对于盒体50的延伸方向倾斜的方向配置。0046压缩气体源44例如由生成压缩空气的空气压缩机、及贮存压缩空气的罐构成。压力调整阀46设置于连接气泡发生部42和压缩气体源44的连接配管48上，通过改变阀开度来调整经由连接配管48供给的压缩空气的供给压力。0047另外，压力调整阀46构成为自动调整阀开度，以确保预先设定的供给压力例如5KG/CM2，调整压缩空气的供给压力，以使从气泡发生部42的多个气泡喷出孔41喷出的气泡的大小为规定的大小例如1MM2MM。0048从形成于气泡发生部42上侧的多个气泡喷出孔41。

21、产生的气泡朝向在上方配置的盒体50内喷出，通过浮力上升并与收容于盒体50内的多个玻璃基板70及紧贴在各玻璃基板70的主平面上的树脂制垫片S的表面接触，能够利用气泡的浮力将各树脂制垫片S从玻璃基板70剥离。0049在此，对利用气泡发生机构40向液体中喷出的气泡的作用进行说明。0050图3是从侧面观察液槽内部的构成的纵剖面图。图4是从正面观察盒体内部的纵剖面图。如图3及图4所示，盒体50的内部排列有多个基板收容部80。各基板收容部80在两侧左右对称地形成隔开部90，各隔开部90上设有供玻璃基板70的外周抵接的倾斜台阶部92。而且，各基板收容部80具有向下方开口的下侧开口82和向上方开口的上侧开口8。

22、4。0051各基板收容部80的下侧开口82与气泡发生部42相对地形成沿X方向延伸的气泡流入口。另外，支承各盒体50的盒体支撑机构30构成为通过两侧的吊挂部34吊挂XY方向的金属丝格子状地交叉而成的盒体载置部32，配置为从气泡发生部42的多个气泡喷出孔41喷出的气泡经过盒体载置部32的金属丝间的开口而流入各基板收容部80的下侧开口82。盒体载置部32也可以由金属丝以外的部件构成，例如横向架设杆或板而构成。0052在各基板收容部80内逐张收纳的玻璃基板70的主平面上紧贴有树脂制垫片S图3中虚线所示。树脂制垫片S由比重比贮存在液槽20中的液体轻的材质形成。0053向气泡发生部42供给由压力调整阀46。

23、调整了压力的压缩空气后，气泡发生部42从多个气泡喷出孔41向上方喷出气泡。沿X方向排列的各气泡喷出孔41的间隔P设定为盒体50的玻璃基板收容间隔距离B的022倍的间隔距离。从该多个气泡喷出孔41喷说明书CN102005211ACN102005224A5/7页8出的气泡连续流入上方的盒体50的下侧开口82，在各基板收容部80上升而到达上侧开口84上方的液面。0054因此，在收纳于各基板收容部80内的玻璃基板70的主平面上紧贴的垫片S与从下侧开口82流入的气泡群接触，并且下缘部分向上方翻转。在该气泡喷出的同时，使滑动部36沿液槽20的上端部24在X方向上往复移动。由此，载置于盒体载置部32的各盒体。

24、50在液槽20内沿X方向摆动，使各盒体50内部的气泡的接触状态均匀化。0055如图4所示，从玻璃基板70的主平面分离的垫片S的下端部分U字状弯曲而堵塞气泡的上升通路地从玻璃基板70露出，以使气泡冲撞的表面积增大的方式动作。因此，若垫片S的一部分通过与气泡接触而从玻璃基板70的主平面的下侧翻转，则其后气泡相对于垫片S的接触面积逐渐增大，将垫片S向上方拉拽的力增大。0056这样，能够在从气泡发生部42的气泡喷出孔41喷出的气泡群在上升通过各基板收容部80的过程中使紧贴于各玻璃基板70的各垫片S几乎同时地分离，能够在短时间内从收纳于各盒体50的全部的玻璃基板70高效率地剥离垫片S。另外，与该气泡喷出。

25、的同时，作业人员使盒体支撑机构30沿X方向摆动，从而对垫片S附加液体阻力，对于通过与气泡的接触刚要剥离的各垫片S，通过液体阻力和上述气泡的作用而进一步促进了从玻璃基板70的分离动作。0057从玻璃基板70分离的垫片S比重比水轻，因此在液槽20的液面附近浮游，作业人员能够容易地回收各垫片S。0058图5是本发明的玻璃基板用垫片分离装置的变形例1的概略构成剖面图。图6是图5所示的玻璃基板用垫片分离装置的俯视图。在图6中，为了容易理解配置于盒体载置部32的下方的各部，省略盒体载置部32的构成而表示。0059如图5及图6所示，变形例1的玻璃基板用垫片分离装置100具有上述液槽20、盒体支撑机构30、气。

26、泡发生机构40、及回收槽110。回收槽110设于液槽20的左侧面，回收从液槽20溢流的液体以及从玻璃基板70分离的垫片S。回收槽110也可以设置于液槽20的内部，也可以与液槽20的外部邻接。0060另外，在液槽20上设置有液体供给机构120。液体供给机构120具有多个水流发生喷嘴122、水供给配管124、水压调整阀126、泵128、排水配管130、及过滤器132。水流发生喷嘴122设于液槽20的底部，朝向上方的盒体50喷射水流。水供给配管124一端与水流发生喷嘴122连接，另一端与泵128的排出口连接。另外，水压调整阀126设于供给配管124，将从泵128排出的水的压力调整为预先设定的规定压力。

27、。泵128优选以与气泡发生机构40的压缩气体源44连动而动作的方式起动，以在液槽20中产生气泡的同时产生水流的方式进行开、关。泵128也可以不与气泡发生机构40连动，而是每隔规定时间定期地动作，或也可根据垫片S的分离状态适当地动作。0061排水配管130一端与回收槽110的底部连接，另一端与泵128的吸入口连接。在排水配管130上设置有除去被排出的液体中的异物的过滤器132。0062起动泵128时，回收槽110的液体经由排水配管130从底部被排出，液体中包含的异物被过滤器132过滤，仅将除去异物的液体吸引至泵128的吸入口。进而，从泵128的排出口排出已被加压的液体，并且由水压调整阀126调整。

28、了水压的液体被从多个水流发生喷嘴122向盒体50喷射。由此，在盒体50内部的各基板收容部80中，从下方向上方喷射来说明书CN102005211ACN102005224A6/7页9自气泡发生部42的多个气泡喷出孔41的气泡和来自水流发生喷嘴122的水流。0063因此，在盒体50的各基板收容部80中，气泡群和水流从下侧开口82流入，能够高效率且在短时间内将在收纳于各基板收容部80内的各玻璃基板70上紧贴的垫片S一齐分离而使之在液面附近浮游。0064在划分回收槽110和液槽20之间的壁部140的上端设置有凹部142。凹部142设置在比液槽20的液面低的位置，因此在液槽20的液面附近浮游的垫片S与从液。

29、槽20向回收槽110侧流出的液体的流动一起被排出至回收槽110。并且，从玻璃基板70分离的垫片S的比重比水轻，因此在回收槽110的液面附近浮游，作业人员能够容易地回收各垫片S。0065图7是本发明的玻璃基板用垫片分离装置的变形例2的概略构成剖面图。图8是图7所示的玻璃基板用垫片分离装置的俯视图。在图8中，为了容易理解配置于盒体载置部32的下方的各部，省略盒体载置部32的构成而表示。0066如图7及图8所示，变形例2的玻璃基板用垫片分离装置200具有上述液槽20、盒体支撑机构30、气泡发生机构40、回收槽110、液体供给机构120、及激振机构210。0067激振机构210由紧贴在液槽20的侧面而。

30、安装的振动板212、向振动板212输入用于产生超声波的激振信号的超声波振荡器214构成。振动板212通过来自超声波振荡器214的激振信号而振动，经由液槽20向液体传播超声波。在浸入液槽20的液体中的各盒体50中，超声波经由液体传播，因此收纳于各基板收容部80的各玻璃基板70振动。0068作为振动板212的安装位置，不限于液槽20的侧面，例如也可以在液槽20的下面。另外，也可以代替将上述振动板212设置在液槽20的外侧，构成为在液槽20的内壁设置上述振动板212，或代替振动板212而将可投入液体中的振动体浸渍在贮存于液槽20内的液体中。0069超声波振荡器214优选以与上述气泡发生机构40的压缩。

31、气体源44及液体供给机构120的泵128连动而动作的方式起动，以在液槽20中产生气泡的同时产生振动的方式进行开、关。另外，超声波振荡器214也可以不与上述气泡发生机构40的压缩气体源44及液体供给机构120的泵128连动，而是每隔规定时间定期地动作，或也可根据垫片S的分离状态适当地动作。0070因此，起动泵128时，利用水压调整阀126调整的水压的液体从多个水流发生喷嘴122向盒体50喷射，并且振动板212利用来自超声波振荡器214的激振信号振动，使超声波向液槽20的右侧面传播。并且，在盒体50内部的各基板收容部80中，从下方向上方喷射来自气泡发生部42的多个气泡喷出孔41的气泡和来自水流发生。

32、喷嘴122的水流。0071由此，混有气泡的水流和超声波引起的振动向收纳有各基板收容部80的各玻璃基板70传播，因此，能够在短时间内将各玻璃基板70上紧贴的垫片S一齐分离而使之在液面附近浮游。0072并且，在液槽20的液面附近浮游的垫片S与从液槽20向回收槽110侧流出的液体的流动一起被排出至回收槽110，在回收槽110的液面附近浮游。因此，作业人员能够容易地回收在回收槽110的液面附近浮游的各垫片S。也可以同时产生气泡发生机构40的气泡发生、液体供给机构120供给的水流、及基于振动板212的超声波的传播，或也可以使各机构分别以任意的时间差动作，或也可选择性地组合各机构而使其动作。0073在变形。

33、例2中，也可以是除去所述液体供给机构120的构成。设成该构成时，向盒说明书CN102005211ACN102005224A7/7页10体50内部的各基板收容部80喷射来自气泡发生部42的多个气泡喷出孔41的气泡，并且能够传播超声波引起的振动，促进垫片S的分离动作。0074一般地，磁记录介质用玻璃基板及磁盘的制造工序包含以下的工序。00751将通过浮法、熔融法或冲压成形法成形的玻璃原板加工成盘圆盘形状后，对内周侧面和外周侧面进行磨边加工。2对玻璃基板的上下主平面进行磨削加工。3对玻璃基板的内周、外周的侧面部和磨边部进行端面研磨。4对玻璃基板的上下主平面进行研磨。研磨工序可以仅进行一次研磨，也可以。

34、进行一次研磨和二次研磨使用比一次研磨细的磨粒的研磨，也可以在二次研磨后进行三次研磨使用比二次研磨细的磨粒的研磨。5进行玻璃基板的精密清洗，获得磁记录介质用玻璃基板。6在磁记录介质用玻璃基板上形成磁性层等薄膜，制造磁盘。0076在上述磁记录介质用玻璃基板及磁盘的制造工序中，也可以在各工序间实施玻璃基板洗净工序间洗净、玻璃基板表面的蚀刻工序间蚀刻。而且，需要磁记录介质用玻璃基板具有较高的机械强度的情况下，也可以在研磨工序前、或研磨工序后、或研磨工序之间实施在玻璃基板的表层形成强化层的强化工序例如化学强化工序。0077在本发明中，磁记录介质用玻璃基板可以是非结晶玻璃，也可以是结晶化玻璃，还可以是在玻。

35、璃基板的表层具有强化层的强化玻璃例如化学强化玻璃。另外，本发明的玻璃基板的玻璃生坯基板可以通过浮法制造，也可以通过熔融法制造，还可以通过冲压成形法制造。0078本发明涉及3对玻璃基板的内周、外周的侧面部和磨边部进行端面研磨的工序，涉及如下垫片分离工序在使磁记录介质用玻璃基板形成层叠体而对该玻璃基板层叠体的玻璃基板端面部进行研磨后，从玻璃基板层叠体分离出玻璃基板，并将附着在玻璃基板的主平面上的垫片从玻璃基板分离。0079在上述实施例中，以将四个盒体50浸在一个液槽20中的情况为例进行了说明，但不限于此，也可以将四个以上的盒体50浸在一个液槽20中。0080另外，在上述实施例中，以将两个气泡发生部。

36、42配置在液槽20的底部的构成为例进行了说明，但不限于此，也可以根据盒体50的数量适当增加设置。0081另外，在上述实施例中，以在中空管上配置一列气泡喷出孔41而构成气泡发生部42的情况为例进行了说明，但不限于此，例如也可以将多个气泡发生喷嘴配置在液槽20的底部，或也可以使用在中空平板状的上表面配置多个气泡喷出孔的结构。说明书CN102005211ACN102005224A1/8页11图1说明书附图CN102005211ACN102005224A2/8页12图2说明书附图CN102005211ACN102005224A3/8页13图3说明书附图CN102005211ACN102005224A4/8页14图4说明书附图CN102005211ACN102005224A5/8页15图5说明书附图CN102005211ACN102005224A6/8页16图6说明书附图CN102005211ACN102005224A7/8页17图7说明书附图CN102005211ACN102005224A8/8页18图8说明书附图CN102005211A。