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本发明提供用于在激光照射系统中抑制散斑的方法和装置,其中使用去散斑器件,该去散斑器件包括为从激光照射系统中的相干激光器发射的光提供实质上半波延迟的奇数倍的光学延迟器,近半波光学延迟器具有实质上不变的延迟和在空间上变化的慢轴。在空间上变化的慢轴对光束强加相位掩模,该相位掩模对探测器上的分辨光斑提供光学亚分辨相位调制。近半波光学延迟器被机械或电子地启动,以在探测器的积分时间内改变亚分辨光学相位调制。 。