探针卡校正设备 【技术领域】
本发明是关于一种校正设备，尤其是指一种适用于探针卡的校正设备。
背景技术
探针卡校正，可分成探针的纵向与横向偏斜的校正、及探针的平均高度校正。进行纵、横向校正时则以低倍率显微镜辅以比对罩进行探针卡的比对。此时，若探针相对于比对罩的比对记号产生纵向或与横向位置偏斜时，则以人工进行纵、横向校正，此校正动作持续到探针正确地对准比对记号为止。若针对探针的平均高度进行校正，则是以高倍率显微镜辅以校正，将较平均高度凸出或凹陷的探针进行高度调整以使整体探针的高度平均一致。于公知技术中，纵向与横向偏斜的校正是以一台专用设备进行，而探针的平均高度校正则又是另一台专用设备。因此，使用者通常需校正探针卡于两套设备之间，不仅于使用上不方便，更是耗费人力及时间，而调校好的探针卡也因来回的搬运与安装而可能使定位偏移而造成调校的精准度变差，因而衍生诸多问题。因此，亟待一种能将两专用机台合而为一的探针卡校正设备，以解决上述种种问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种探针卡校正设备，以便可精准、方便、迅速地于同一调针机台完成探针卡校正工作。
为实现上述目的，本发明提供的种探针卡校正设备，包括一基座、一移动平台(moving table)、一比对装置、及一显微装置。
基座包括有一第一导引装置，第一导引装置包括有一第一端、及一第二端。移动平台包括有一第二导引装置、及一旋转载台，移动平台通过第二导引装置对应滑设于基座的第一导引装置上、并相对滑移于第一端与第二端之间，旋转载台组设于移动平台上并能相对旋转，旋转载台上设置有至少一夹具，用以夹持一探针卡(probe card)。
比对装置组设于基座上并邻近第一导引装置的第一端，比对装置包括有一比对罩(mask)，比对罩选择式地移行于一调针侧与一准备侧之间，比对罩包括有一透明片，透明片上包括有一比对区，比对区内标记有至少一比对记号，调针侧是指比对罩移行到以其比对区对应到探针卡的探针位置处，准备侧是指比对罩的比对区移离开探针卡的探针位置处。
显微装置包括有一支架、一滑动块、一低倍显微镜、及一影像撷取器，支架固设于基座上并跨架于第一导引装置的第一端上方，滑动块滑设于支架上，低倍显微镜及影像撷取器分别组设于滑动块上。
高度量测装置包括有一固定架、一移动块、及一高度量测器，固定架固设于基座上并跨架于第一导引装置的第二端上方，移动块滑设于固定架上，高度量测器组设于移动块上。控制装置与高度量测器电性连接。
因此，当探针卡的探针位于显微装置下方位置时，是以比对装置进行探针的纵向、及横向的比对与调针工作；探针卡的探针位于高度量测装置下方位置时，是以高度量测器进行探针的高度量测，并以控制器纪录每一探针的高度，再由调针人员进行高度调整，并反复纵向、横向、及高度的比对直至调针完成。如此，调针人员可精准、方便、迅速地于同一调针机台完成探针卡校正工作。
其中，基座的第一导引装置可指二滑轨，移动平台的第二导引装置可指二滑座，其相对滑移于该二滑轨上。此外，探针卡校正设备，其可包括有一控制装置，其与高度量测装置的高度量测器电性连接。
移动平台可包括一第一致动器、及一纵向移动开关，第一致动器、及纵向移动开关分别电性连接于控制器，触发纵向移动开关致使控制器驱动第一致动器带动移动平台纵向滑移于第一导引装置上。
显微装置的支架上设有一横向滑槽，滑动块是对应横向滑移于横向滑槽内。显微装置可包括一第二致动器、及一第二致动开关，第二致动开关与第二致动器电性连接，触发第二致动开关致使第二致动器带动滑动块横向滑移于支架上。第二致动器包括一马达、及一螺杆，或可改用气压缸、步进马达、或皮带、炼条传动皆可。
比对装置可包括一翻调装置、及一转杆，比对罩是固设于转杆上，翻调装置是驱动转杆旋转以使比对罩选择式地翻转于调针侧与准备侧之间，或可改用一升降装置将比对罩上升下降以选择式地移行于一位于下方的比对位置、与一位于上方的远离位置。
比对装置可包括一第三致动开关、及一第三致动器，第三致动器与第三致动开关电性连接，触发第三致动开关致使第三致动器带动转杆旋转。第三致动器是指一旋转式气压缸，或可改用气压缸、马达...等皆可。
显微装置可包括一垂向滑块、一第四致动器、及一第四致动开关，垂向滑块滑设于该滑动块上，第四致动器与第四致动开关电性连接，触发第四致动开关致使第四致动器带动垂向滑块垂直滑移于滑动块上，藉以微调低倍显微镜、及影像撷取器的焦距。第四致动器包括一马达、及一螺杆，或可改用气压缸、马达...等皆可。
高度量测装置的固定架上可设有一横式滑槽，移动块是对应横向滑移于横式滑槽内。高度量测装置可包括一第五致动器、及一第五致动开关，第五致动开关与第五致动器电性连接，触发第五致动开关致使第五致动器带动移动块横向滑移于固定架上。第五致动器包括一马达、及一螺杆，或可改用气压缸、步进马达、或皮带、炼条传动皆可。
高度量测装置可包括一垂式滑块、一第六致动器、及一第六致动开关，垂式滑块滑设于移动块上，第六致动器与第六致动开关电性连接，触发第六致动开关致使第六致动器带动垂式滑块垂直滑移于移动块上，以微调高度量测器与探针卡的距离。第六致动器包括一马达、及一螺杆。
【附图说明】
图1是本发明一较佳实施例的立体图。
图2是本发明一较佳实施例比对罩的示意图。
图3是本发明一较佳实施例的立体图。
图4～6是本发明一较佳实施例的流程图。
附图中主要组件符号说明：
基座1 滑轨11 第一端110
第二端112 移动平台2 第一致动器20
归零开关201 纵向移动开关202
第一位置确认开关203 第二位置确认开关204
第一位置定位开关205 第二位置定位开关206
旋转载台21 夹具211
滑座22 比对装置3 比对罩31
透明片311 比对区312 比对记号313
翻调装置32 转杆321 第三致动器33
第三致动开关34 显微装置4 支架40
横向滑槽401 第二致动器402 第二致动开关403
滑动块41 低倍显微镜42 影像撷取器43
垂向滑块44 第四致动器45 第四致动开关46
高度量测装置5 固定架50 横式滑槽501
第五致动器502 第五致动开关503 移动块51
高度量测器52 垂式滑块54 第六致动器55
第六致动开关56 控制装置6 控制器61
显示器62 原点P0 调针侧P1
准备侧P2 第一位置Y0 探针卡7
探针71
【具体实施方式】
请参阅图1，为本发明一较佳实施例的立体图。如图所示，于本实施例中系有关于一种探针卡校正设备，包括一基座1、一移动平台2、一比对装置3、一显微装置4、及一高度量测装置5。
基座1包括有一第一导引装置，第一导引装置包括有一第一端110、及一第二端112，其中，第一导引装置是指二滑轨11。移动平台2包括有一第二导引装置、及一旋转载台21，其中，第二导引装置是指二滑座22，其相对滑移于二滑轨11上，移动平台2通过第二导引装置的二滑座22对应滑设于基座1的第一导引装置其二滑轨11上、并相对滑移于该第一端110与第二端112之间，旋转载台21组设于移动平台2上并能相对旋转，旋转载台21上设置有至少一夹具211，用以夹持一探针卡7。
请参阅图2一并参阅图1，图2是本发明一较佳实施例比对罩的示意图。如图所示，比对装置3组设于基座1上并邻近第一导引装置的第一端110，比对装置3包括有一比对罩31，比对罩31选择式地移行于一调针侧P1与一准备侧P2之间，比对罩31包括有一透明片311，透明片311上包括有一比对区312，比对区312内标记有至少一比对记号313，调针侧P1是指比对罩31移行到以其比对区312对应到探针卡的探针位置处，准备侧P2是指比对罩31 的比对区312移离开探针卡的探针位置处。
如图1，比对装置3包括一翻调装置32、及一转杆321，比对罩31是固设于转杆321上，翻调装置32是驱动转杆321旋转以使比对罩31选择式地翻转于调针侧P1与准备侧P2之间。
比对装置3包括一第三致动开关34、及第三致动器33，第三致动器33与第三致动开关34电性连接，触发第三致动开关34致使第三致动器33带动转杆321旋转。于本例中，第三致动器33是指一旋转式气压缸。
如图1所示，显微装置4包括有一支架40、一滑动块41、一低倍显微镜42、及一影像撷取器43，支架40固设于基座1上并跨架于第一导引装置的第一端110上方，滑动块41滑设于支架40上，显微装置4的支架40上设有一横向滑槽401，滑动块41是对应横向滑移于横向滑槽401内，低倍显微镜42及影像撷取器43分别组设于滑动块41上。
显微装置4包括一第二致动器402、及一第二致动开关403，第二致动开关403与第二致动器402电性连接，触发第二致动开关403致使第二致动器402带动滑动块41横向滑移至支架40上，于本例中，第二致动器402包括有一马达、及一螺杆。
于本实施例中，显微装置4还包括一垂向滑块44、一第四致动器45、及一第四致动开关46，垂向滑块44滑设于滑动块41上，第四致动器45与第四致动开关46电性连接，触发第四致动开关46致使第四致动器45带动垂向滑块44垂直滑移于滑动块41上，以微调低倍显微镜42、及影像撷取器43的焦距。于本例中，第四致动器45包括有一马达、及一螺杆。
如图1，高度量测装置5包括有一固定架50、一移动块51、及一高度量测器52，固定架50固设于基座1上并跨架于第一导引装置的第二端112上方，移动块51滑设于固定架50上，高度量测装置5的固定架50上设有一横式滑槽501，移动块51是对应横向滑移于横式滑槽501内，高度量测器52组设于移动块51上。
请参阅图3，是本发明一较佳实施例的立体图。高度量测装置5包括一第五致动器502、及一第五致动开关503，第五致动开关503与第五致动器502电性连接，触发第五致动开关503致使第五致动器502带动移动块51横向滑移于固定架50上。于本例中，第五致动器502包括一马达、及一螺杆。
高度量测装置5包括一垂式滑块54、一第六致动器55、及一第六致动开关56，垂式滑块54滑设于移动块51上，第六致动器55与第六致动开关56电性连接，触发第六致动开关56致使第六致动器55带动垂式滑块54垂直滑移于移动块51上，以微调该高度量测器52与探针卡7的距离。于本例中，第六致动器55包括一马达、及一螺杆。
请翻至图1，控制装置6包括一控制器61、及一显示器62，控制器61分别电性连接至显示器62、影像撷取器43、及高度量测器52，其中，影像、及量测结果由影像撷取器43、及高度量测器52分别输出至控制器61并通过显示器62显示。
于图1中，移动平台2包括有一第一致动器20、一归零开关201、一纵向移动开关202、一第一位置确认开关203、一第二位置确认开关204、一第一位置定位开关205、及一第二位置定位开关206，其中，第一致动器20、归零开关201、纵向移动开关202、第一位置确认开关203、第二位置确认开关204、第一位置定位开关205、及第二位置定位开关206分别电性连接于控制器61。
如图1、及图2，当探针卡7的探针71位于显微装置4下方位置时，是以比对装置3进行探针71地纵向、及横向的比对与调针工作；探针卡7的探针71位于高度量测装置5下方位置时，是以高度量测器52进行探针的高度量测，并以控制器6纪录每一探针71的高度，再由调针人员进行高度调整，并反复纵向、横向、及高度的比对直至调针完成。如此，调针人员可精准、方便、迅速地于同一调针机台完成探针卡7校正工作。
请参阅图4～6再一并参阅图1、图2、及图3，图4～6是本发明一较佳实施例的流程图。如图所示，触发归零开关201致使控制器61驱动第一致动器20带动移动平台2移动至平台原点P0进行归零(S01)，将探针卡7固定于移动平台2上(S02)，并将比对罩31由准备侧P2翻至调针侧P1(S03)，触发纵向移动开关202致使控制器61驱动第一致动器20带动移动平台2纵向滑移于第一导引装置上，并调整移动平台2带动探针卡7移动定位于比对装置3的比对罩31下方，以使探针卡7上的复数根探针71可大致对应于比对罩31的比对记号313(S04)。
再触发第一位置确认开关203以使控制器61纪录移动平台2的第一位置Y0(S05)，将比对罩31由调针侧P1翻至准备侧P2(S06)，以显微装置4的影像撷取器43撷取探针卡7上的复数根探针71的影像位置并纪录于控制器61(S07)。
触发第一位置定位开关205，此时，移动平台2先移动至平台原点P0，再移动至先前纪录于控制器61的第一位置Y0(S08)，影像撷取器43再次撷取探针卡7上的复数根探针71的影像位置并与先前纪录于控制器61的影像位置比对(S09)，判断影像位置是否重合(S10)，若影像位置未重合则触发纵向移动开关202，以调整移动平台2的位置(S11)至影像重合为止。其后，将比对罩31由准备侧P2翻至调针侧P1(S12)，比对每一探针71与比对罩31上每一比对记号313的位置是否重合(S13)。
若探针71与比对记号313的位置未重合，则将比对罩31由调针侧P1翻至准备侧P2(S14)，进行探针71的纵向、及横向位置的调整(S15)，直至探针卡7的每一探针71的位置均能与比对记号313的位置重合为止。接着，触发纵向移动开关202致使控制器61驱动第一致动器20带动移动平台2纵向滑移并调整移动平台2带动探针卡7移动定位于高度量测装置5的高度量测器52(S16)下方。
再触发第二位置定位开关206以使控制器61纪录移动平台2的第二位置Y1(S17)，触发第二位置定位开关206，此时，移动平台2先移动至平台原点P0，再移动至先前纪录于控制器61的第二位置Y1(S18)，以高度量测器52进行探针卡7上的每一探针71的高度扫瞄，并将每一高度纪录于控制器61(S19)，其后，控制器61将不符合高度标准的探针71，例如，探针71的高度高于标准高度或低于标准高度，显示于显示器62(S20)。
触发第一位置定位开关205将移动平台2移出至第一位置Y0(S21)，并根据显示器62所显示，以调整不符合标准高度的探针71高度位置(S22)，并反复调整至探针71的高度完全达到标准高度为止。最后，再确认探针卡7的每一探针71的位置均能与比对记号313的位置重合(S23)，若否则重新进行S12～S15的步骤(S24)，若是则完成探针卡7的调针作业(S25)。
上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利保护范围自应以申请的权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。