一种具有内部循环风扇的超净间.pdf

本发明公开了一种具有内部循环风扇的超净间，包括设置于超净间两侧的入风端、设置于超净间后端的出风端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左右通透的储物区；贴靠储物区的外侧还设置有内循环风扇单元，超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述出风端的入风口设置在门的左右两侧；所述入风端处还设置有多个并列排布的外循环风扇单元。本发明设置有内循环风扇，可以增强超净间之内的循环效果。又由于内循环风扇贴靠储物区安装，可以针对储物区的空气进行循环，保证放置于储物区中的物品达到相关的超净标准。

1.一种具有内部循环风扇的超净间，其特征在于，包括设置于超净间两侧的入风端
(1)、设置于超净间后端的出风端(2)和设置于超净间内侧左右边的走风通道(3)；超净间左
右两侧的中轴线上设置有操作通道(4)，操作通道(4)的两侧设置有起重设备(5)；在所述起
重设备(5)和所述走风通道(3)之间设置有左右通透的储物区(7)，储物区(7)中放置有储物
架(8)；贴靠储物区(7)的外侧还设置有内循环风扇单元(6)，超净间后端还设置有用于供操
作员出入的门(9)；所述出风端(2)的入风口设置在门(9)的左右两侧，出风端(2)的出风口
设置于超净间的左右边的墙壁之上；所述入风端(1)处还设置有多个并列排布的外循环风
扇单元(10)，外循环风扇单元(10)均贴靠超净间两侧墙壁安装。

一种具有内部循环风扇的超净间

技术领域

本发明涉及半导体制成技术，具体涉及一种具有内部循环风扇的超净间。

背景技术

超净间用于制药工业或者半导体制成工业，在制作晶圆、TFT或者LCD时，都需要使
用超净间，超净间最主要的作用在于控制产品所接触的大气的洁净度日及温湿度，使产品
能在一个良好之环境空间中生产、制造。现有技术中，超净间的循环风扇往往是从外部进行
循环，这样有一定概率代入外部的。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明公开了一种。

本发明的技术方案如下：

一种具有内部循环风扇的超净间，包括设置于超净间两侧的入风端、设置于超净
间后端的出风端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置
有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置
有左右通透的储物区，储物区中放置有储物架；贴靠储物区的外侧还设置有内循环风扇单
元，超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述出风端的入风口设置在门的左右两
侧，出风端的出风口设置于超净间的左右边的墙壁之上；所述入风端处还设置有多个并列
排布的外循环风扇单元，外循环风扇单元均贴靠超净间两侧墙壁安装。

本发明的有益技术效果是：

本发明设置有内循环风扇，可以增强超净间之内的循环效果。又由于内循环风扇
贴靠储物区安装，可以针对储物区的空气进行循环，保证放置于储物区中的物品达到相关
的超净标准。

附图说明

图1是本发明的示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明包括设置于超净间两侧的入风端1、设置于超净间后端的出风
端2和设置于超净间内侧左右边的走风通道3；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道
4，操作通道4的两侧设置有起重设备5；在起重设备5和走风通道3之间设置有左右通透的储
物区7，储物区7中放置有储物架8；贴靠储物区7的外侧还设置有内循环风扇单元6，超净间
后端还设置有用于供操作员出入的门9；出风端2的入风口设置在门9的左右两侧，出风端2
的出风口设置于超净间的左右边的墙壁之上；入风端1处还设置有多个并列排布的外循环
风扇单元10，外循环风扇单元10均贴靠超净间两侧墙壁安装。

操作员由门9进入超净间，并进入操作通道4，进行工作，起重设备5可根据操作员
的指示，由储物区7中的储物架8之上拿取或者放下相关设备，帮助操作员工作。洁净风由超
净室左右两侧的入风端1的外循环风扇单元10吹入超净室，经由走风通道3吹出，在走风通
道3中时，一部分风还向侧边吹入储物区7，经过储物架8，由操作通道4吹出，最后所有的风
均吹向门9的方向，但从门9的左右两侧的出风端2的入风口吹入，最后由出风端2的出风口
吹出。在此同时，内循环风扇单元6配合外循环风扇单元10也在工作，对超净室内部的空气
进行循环，由于存在内循环风扇单元6，可以使得更多的洁净空气引向储物区7。

以上所述的仅是本发明的优选实施方式，本发明不限于以上实施例。可以理解，本
领域技术人员在不脱离本发明的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变
化，均应认为包含在本发明的保护范围之内。