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一种用于控制衬底对准设备的视觉系统的焦距的方法,衬底对准设备使用相机区段所拍摄的图像来对准衬底,所述方法包含:通过相机区段拍摄图像以用于焦距控制;将存储图像与为焦距控制而拍摄的图像进行比较,且将对应于为焦距控制而拍摄的图像的存储图像设置为比较图像,其中存储图像包含在相机区段的焦距位置处拍摄的焦距图像以及移动图像,移动图像中的每一者具有拍摄位置与焦距位置之间的距离长度的信息;计算对应于比较图像的距离。