一种风扇排布整齐的超净间.pdf

本发明公开了一种风扇排布整齐的超净间，包括设置于超净间前端的入风端、设置于超净间后端的出风端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左右通透的储物区，储物区中放置有储物架；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述出风端的入风口设置在门的左右两侧，出风端的出风口设置于超净间的左右边的墙壁之上。本发明的结构简单，风扇排布整齐，走风通道以及超净间中的各个设施也整齐明晰，但可以达到良好的清洁效果，且设施布局适合操作员操作。

1.一种风扇排布整齐的超净间，其特征在于，包括设置于超净间前端的入风端(1)、设
置于超净间后端的出风端(2)和设置于超净间内侧左右边的走风通道(3)；超净间左右两侧
的中轴线上设置有操作通道(4)，操作通道(4)的两侧设置有起重设备(5)；在所述起重设备
(5)和所述走风通道(3)之间设置有左右通透的储物区(7)，储物区(7)中放置有储物架(8)；
超净间后端还设置有用于供操作员出入的门(9)；所述出风端(2)的入风口设置在门(9)的
左右两侧，出风端(2)的出风口设置于超净间的左右边的墙壁之上；所述入风端(1)设置有
多个并列排布的风扇单元(10)，风扇单元(10)均贴靠超净间前端墙壁安装。

一种风扇排布整齐的超净间

技术领域

本发明涉及半导体制成技术，具体涉及一种风扇排布整齐的超净间。

背景技术

超净间用于制药工业或者半导体制成工业，在制作晶圆、TFT或者LCD时，都需要使
用超净间，超净间最主要的作用在于控制产品所接触的大气的洁净度日及温湿度，使产品
能在一个良好之环境空间中生产、制造。现有的超净间的问题主要在于构造复杂，风扇排布
杂乱，不利于建造和管理。

发明内容

在现有技术的基础上，本发明公开了一种风扇排布整齐的超净间。

本发明的技术方案如下：

一种风扇排布整齐的超净间，包括设置于超净间前端的入风端、设置于超净间后
端的出风端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操
作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左
右通透的储物区，储物区中放置有储物架；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所
述出风端的入风口设置在门的左右两侧，出风端的出风口设置于超净间的左右边的墙壁之
上。所述入风端设置有多个并列排布的风扇单元，风扇单元均贴靠超净间前端墙壁安装

本发明的有益技术效果是：

本发明的结构简单，风扇排布整齐，走风通道以及超净间中的各个设施也整齐明
晰，但可以达到良好的清洁效果，且设施布局适合操作员操作。整个超净间造价低，适于大
规模使用。

附图说明

图1是本发明的示意图。

具体实施方式

图1是本发明的示意图。如图1所示，本发明的超净间包括设置于超净间前端的入
风端1、设置于超净间后端的出风端2和设置于超净间内侧左右边的走风通道3；超净间左右
两侧的中轴线上设置有操作通道4，操作通道4的两侧设置有起重设备5；在起重设备5和走
风通道3之间设置有左右通透的储物区7，储物区7中放置有储物架8；超净间后端还设置有
用于供操作员出入的门9；出风端2的入风口设置在门9的左右两侧，出风端2的出风口设置
于超净间的左右边的墙壁之上。入风端1设置有多个并列排布的风扇单元10，风扇单元10均
贴靠超净间前端墙壁安装

操作员由门9进入超净间，并进入操作通道4，进行工作，起重设备5可根据操作员
的指示，由储物区7中的储物架8之上拿取或者放下相关设备，帮助操作员工作。洁净风由入
风端1的风扇单元10吹出，经由走风通道3吹出，在走风通道3中时，一部分风还向侧边吹入
储物区7，经过储物架8，由操作通道4吹出，最后所有的风均吹向门9的方向，但从门9的左右
两侧的出风端2的入风口吹入，最后由出风端2的出风口吹出。

以上所述的仅是本发明的优选实施方式，本发明不限于以上实施例。可以理解，本
领域技术人员在不脱离本发明的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变
化，均应认为包含在本发明的保护范围之内。