磁性记录媒介.pdf

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摘要
申请专利号:

CN85101739

申请日:

1985.04.01

公开号:

CN85101739A

公开日:

1987.01.31

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

||||||公开

IPC分类号:

G11B5/85

主分类号:

G11B5/85

申请人:

索尼公司

发明人:

官入英辅; 小沢和典; 横山纪夫; 松山秀昭; 矢沢健儿

地址:

日本东京都

优先权:

专利代理机构:

中国专利代理有限公司

代理人:

巫肖南;李雒英

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内容摘要

这里所揭露的是一磁性记录媒介,它有一铁磁金属层的薄膜,这铁磁金属层由物理蒸气沉积法构成,它可以改进S/N比率。这磁性记录媒介包括一非磁性基片与一铁磁金属层,这铁磁金属层由物理蒸气沉积法构成在基片上,在铁磁金属层内有着相对倾斜向基片的柱状结晶体,同时每一柱状结晶体是由铁磁金属粒子构成,并有铁磁金属的氧化物粒子随机地分布在柱状结晶体中。

权利要求书

1: 一个磁性记录媒介,它包括一非磁性基片与一铁磁金属层,这铁磁金属层以物理蒸气沉积法而构成在上述的基片上,所述的铁磁金属层有着相对倾斜向所述基片的柱状结晶,每一所述的柱状结晶体由铁磁金属粒子构成,而且有所述的铁磁金属氧化物粒子,随机地分布在所述的柱状结晶体中。
2: 按照权利要求1中的磁性记录媒介,其中所述的铁磁金属是钻。
3: 按照权利要求1中的磁性记录媒介,其中所述的铁磁金属是钻-镍合金,里面包括有不超过30原子百分比的镍。
4: 按照权利要求1中的磁性记录媒介,其中所述的铁磁金属层是在含氧气压中由真空存沉积程沉积而成。
5: 按照权利要求1中的磁性记录媒介,其中所述的铁磁金属层有一300-10000 之间的厚度。
6: 按照权利要求1中的磁性记录媒介,其中所述的柱状结晶体有一在50至100 的阔度。
7: 按照权利要求1中的磁性记录媒介,其中所述的铁磁金属粒子有一在50至100 的粒度大小。
8: 按照权利要求1中的磁性记录媒介,其中所述的氧化物粒子有一在30至70 的粒度大小。

说明书


发明背境

    1.技术领域:

    本发明是有关于一般有一薄铁磁金属膜的磁性记录媒介,它是由物理蒸气沉积法所构成的,而且更特别的是指一具有改进了S/N比率的薄膜型磁性记录媒介而言。

    2.先有技术描述:

    最近出现了对一种薄膜型磁性记录媒介的广泛研究,这磁性记录媒介的产生是由一铁磁薄膜构成,这薄膜在一非磁性基片上的厚度由,数百多至一微米,以电镀,无电镀,离子镀,喷镀与真空蒸发等方法来达成一高密度的磁性记录媒介。这里特别有兴趣的是美国专利申请第3,342,632号中所揭露的斜入射真空沉积法,因为它容许得到一个有高强制力的磁性记录媒介,同时不同的改进与修正都展开了。换句话说,按照这斜入射真空沉积法,一沉积在基片上的磁性金属蒸气流,是斜向入射而沉积在基片上的。不过在这拥有一铁磁薄膜的磁性记录层的磁性记录媒介中,在短波范围内的视频信号输出。经常达不到期望中的高值,同时其噪音声电平亦高。因此从未得到过一个磁性记录媒介是可以展示出一个足以令人满意的S/N比率(信号对噪声比率)。

    发明概述:

    本发明的一个目标是提供一种改进了的磁性记录媒介,它拥有一铁磁金属层的薄膜。

    本发明的另一个目标是提供一薄金属膜壁的磁性记录媒介。它拥有改进了的信号对噪声的比率。

    根据本发明地一方面而言,它提供了一磁性记录媒介,这媒介包括一非磁性基片与一铁磁金属层,这铁磁金属层由自然蒸气沉积法构成在基片之上,铁磁金属层有着相对地倾向基片的柱状结晶,每一柱状结晶是由铁磁金属粒子构成,而且有铁磁金属的氧化粒子随机的分布在柱状结晶体中。

    附图简述:

    图1是一个在现有发明中所应用了真空沉积仪器的一个图解。

    图2是以现有发明得到而用来构成磁性层的柱状结晶体的截面结构图解。

    较佳实施方案详述:

    按照本发明,由于铁磁金属的氧化粒子是随机的分布在构成薄膜型磁性记录层的柱状结晶上,那麽形成柱状结晶的铁磁金属细结晶可以被碎分。由此,按电磁转换特性,噪电平便减低了,同时一薄膜型磁性记录媒介便具有一高的S/N比率。

    换句话说,薄膜型磁性记录层是由柱状结晶结构的聚合而构成,而每一柱状结晶结构则形成一随机分布的铁磁金属粒子与铁磁金属的氧化粒子。

    按照现有发明的磁性记录媒介,噪声电平减低了,而S/N比率改进了。对于为什麽噪声电平会由于在柱状结晶结构中的蒸发物质的铁磁金属氧化粒子的随机分布而减低,这是由于组成柱状结晶体的蒸发磁性金属粒子的晶粒大小变得很小的缘故。

    本发明将可从以下的详细说明与附带要求而在图片的帮助下更易令人明白。

    图1显示一个将在本发明中应用的真空沉积仪器的图解。真空沉积仪器1的构成包括一真空室2,在真空室中拥有一预定氧气量的真空气压,一装在真空室2中的金属罐3;一非磁性基片4,它由供应盘5供给到接收盘6,其间绕过金属罐3;一蒸发源7,其内有磁性金属如Co,Ni或其合金,再将蒸发源7安排在一对着金属罐3的下面位置上,并保持适当距离;一活门8放置在金属罐3与蒸发源7之间,在阻隔片8的帮助下便可以一预定的入射角度由蒸发源7,将金属蒸发而沉积在非磁性基片4之上。在使用Co-Ni合金的情况,Ni的成分最好不超过30原子百分比。

    例1

    用上述的真空沉积仪器1Co-Ni合金(80原子百分比的Co。20原子百分比的Ni)便斜角地沉积在厚度为10微米的聚乙烯基对苯二酸酯(PET)的非磁性基片4上。此时仪器内的压力是1×10-4Torr以100cc/min的速率加入氧气(O2)所造成。在真空沉积的入射角度是40-90°而对蒸发源7加热的是一电子光束。由以上的方法,例1中的真空沉积磁带就準备好了。磁带的特征如下:

    Co-Ni真空沉积膜的厚度:1000

    磁性特征:

    强制力(HC):820Oe

    饱和磁通密度(Bm):6800G

    剩馀磁通密度(Br):4900G

    矩形比率(Br/Bm):0.72

    把以上获得的磁性录音带的截面用一透射电子显微镜(TEM)加以观察。以透射电子显微镜的光影象可见沉积后的磁性层包括一细柱状结晶的聚合,而所有的柱状结晶体都是按相对于基片的60°-65°的角度排列。此外柱状晶体的阔度是50-100。另一方面以透射电子显微镜的暗影象可见Co-Ni粒子的大小是50-100而Co-Ni氧化物以30-70的大小均匀地分布在每一柱状结晶中。

    图2是例1中组成真空沉积磁带的磁性层的柱状结晶的截面结构图解。在图2中,参考数字10标明柱状结晶。其阔度是50-100;参考数字11标明Co-Ni粒子,其大小是50-100;参考数字12标明Co-Ni氧化物粒子,其大小是30-70。

    比较1:

    一真空沉积磁带在例1的同样情况下準备,不同的是压力被调较至1×10-5Torr而无氧气输入,入射角被定至70-90°。以上準备的磁性录音带具备如下之特征:

    Co-Ni真空存沉积膜的厚度:1000

    磁性特征:

    强制力(HC):800Oe

    饱和磁通密度(Bm):6900G

    剩馀磁通密度(Br):6280G

    矩形比率(Br/Bm):0.91

    经过以例1中同样方式的用透射电子显微镜对磁性层的观察后,发现例1中的(包含)金属粒子与金属氧化物粒子的规则分布结构已没有了。

    例2

    一真空沉积磁带在例1中的相同情况下準备。不同的是Co(100%)被用作磁性物质。以上準备的磁性录音带具有如下特征:

    Co真空沉积膜的厚度:1000

    磁性特征:

    强制力(HC):910Oe

    饱和磁通密度(Bm):7300G

    剩馀磁通密度(Br):5300G

    矩形比率(Br/Bm):0.73

    虽然在例2中的构成磁性层的柱状结晶的截面结构没有被显示出来。它是与图2相似的,这就是说它是一随机地分布着Co粒子与CoO粒子的结构。此外,每一粒子的大小也与例1中的相似,即,一Co粒子的大小是50-100。一CoO粒子的大小是30-70,而柱状结晶的阔度是50-100。

    比较2

    一真空沉积磁带在例2的相同情况中準备,不同的是压力被定至1×10-5Torr,亦不输入氧气,而入射角定至70-90°。这磁带具备如下之特征:

    Co真空沉积膜的厚度:1000

    磁性特征:

    强制力(HC):900Oe

    饱和磁通密度(Bm):7500G

    剩馀磁通密度(Br):6800G

    矩形比率(Br/Bm):0.91

    经透射电子显微镜观察后的结果,这里包含钻粒子与钻氧化物粒子的规则分布结构已没有了。

    在以上例子与比较中所準备的磁带的电磁转换特性的比较性结果在以下的表列出。表中列出输出与噪声电平,它们的量度是用一有0.2微米缝隙宽度的铁氧体磁头,磁带相对速度被定至3.8m/sec,以光谱分析器测量。在表内的每一个值是用一个5MH2的讯号作为比较。而在比较1中磁带的相对输出与S/N比率都分别被定为OdB。

    表

    输出值(5MH2) S/N比率

    例1    -1.5dB    +2.0dB

    例2    -0.8dB    +3.9dB

    比较1    0dB    0dB

    比较2    +1.4dB    +0.4dB

    首先比较例1与比较1,两者都使用一Co-Ni磁性层,在两个事件中其强制力HC都是实质地相同的,同时在比较1中的剩馀磁通密度Br与矩形比率Br/Bm都是较大的。再者,值得满意的是在以上表中发现在例1中磁带的输出是比较1中的低,而在例1中的S/N比率比比较1中的优良,结果是减低了噪声。

    更值得满意的是由透射电子显微镜观察发觉Co-Ni与Co-Ni氧化物的细结晶是随机地分布在磁性层的柱状结晶中,就像例1的图2所示一样。相反地,在比较1的磁性层的柱状结晶体是由Co-Ni的精细晶体所组成。在例1,组成柱状结晶的Co-Ni的细结晶被碎分同时形成了精细的粒子。相反地,在比较1中,Co-Ni的细结晶体并没有被Co-Ni氧化物所碎分。按照这样,由于在例1中Co-Ni的磁性细结晶的粒子大小是细小于在比较1中的,基于电磁转换的特性,噪声被减低了。

    跟着,比较例2与比较2,两者都应用一Co磁性层,同样地强制力HC在两者中都实质地相等,同时在比较2中,剩馀磁通密度Br与矩形比率Br/Bm都较大。从上表中将更清楚,在例2中的输出比在比较2中的低,而例2中的S/N比率比较2的优良,其结果是例2的噪声减低了。

    进一步值得满意的是由透视电子显微镜观察所得,Co与Co氧化物的精细结晶都是随机地分布在例2中磁性层的柱状结晶体中。相反地,在比较2中磁性层的柱状结晶体是由Co的细结晶组成。此外,在例2中,组成柱状结晶的Co的细结晶都碎分而组成精细的粒子。相反地在比较2中Co的细结晶并没有被Co氧化物碎分。按照这样,在例2中Co的磁性细结晶的粒子大小比在比较2中的细小,因此基于电磁转换特性,噪声被减低了。

    此外,作为一铁磁金属物质,Co,Ni或其合金都可以被使用。

    虽然本发明是透过特别的实施方案加以说明,这有关说明只能被视为一个举例,而不应作为限制本发明的范围。不同的改进与修正可以发生于熟练的技术中而没有离开在附录权利要求中所列出的范围与精神。

    

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磁性记录媒介.pdf_第2页
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这里所揭露的是一磁性记录媒介,它有一铁磁金属层的薄膜,这铁磁金属层由物理蒸气沉积法构成,它可以改进S/N比率。这磁性记录媒介包括一非磁性基片与一铁磁金属层,这铁磁金属层由物理蒸气沉积法构成在基片上,在铁磁金属层内有着相对倾斜向基片的柱状结晶体,同时每一柱状结晶体是由铁磁金属粒子构成,并有铁磁金属的氧化物粒子随机地分布在柱状结晶体中。。

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