半导体器件及其制造方法.pdf

本发明涉及具备高速工作的MISFET的半导体器件及其制造方法。半导体器件具备由在nMISFET的源·漏区(3a、4a)上形成的氮化硅膜构成的第1种内部应力膜(8a)和由在pMISFET的源·漏区(3b、4b)上形成的TEOS膜构成的第2种内部应力膜(8b)。利用第1种内部应力膜(8a)在nMISFET的沟道区中在电子的移动方向上产生拉伸应力，以提高电子的迁移率。利用第2种内部应力膜(8b)在pMISFET的沟道区中在空穴的移动方向上产生压缩应力，以提高空穴的迁移率。

1.  一种半导体器件，是在半导体衬底的有源区中设置MISFET而构成的半导体器件，其特征在于：
上述MISFET具备：
栅绝缘膜，被设置在上述有源区上；
栅电极，被设置在上述栅绝缘膜上；
源·漏区，被设置在位于上述半导体衬底中上述栅电极的两侧方的区域中；以及
内部应力膜，在与作为上述有源区中在上述源·漏区间被夹住的区域的沟道区中的栅长方向实质上平行的方向上产生应力。

2.  如权利要求1中所述的半导体器件，其特征在于：
将上述内部应力膜设置成覆盖上述源·漏区中至少一方的区域的至少一部分。

3.  如权利要求2中所述的半导体器件，其特征在于：
上述内部应力膜覆盖上述源·漏区的两者的区域的至少各一部分。

4.  如权利要求3中所述的半导体器件，其特征在于：
上述内部应力膜还覆盖上述栅电极的两侧面的至少各一部分。

5.  如权利要求4中所述的半导体器件，其特征在于：
上述内部应力膜还覆盖上述栅电极的上面的至少一部分。

6.  如权利要求1中所述的半导体器件，其特征在于：
上述内部应力膜，在夹住上述栅电极的一部分的2个部位上，覆盖了上述栅电极的侧面和上述半导体衬底的上面，在与上述MISFET的栅宽方向实质上平行的方向上产生拉伸应力。

7.  如权利要求6中所述的半导体器件，其特征在于：
上述内部应力膜在上述2个部位中覆盖上述栅电极的上面的至少各一部分。

8.  如权利要求1中所述的半导体器件，其特征在于：
上述MISFET是nMISFET，
上述内部应力膜在与上述沟道区中的栅长方向实质上平行的方向上产生拉伸应力。

9.  如权利要求1中所述的半导体器件，其特征在于：
上述MISFET是pMISFET，
上述内部应力膜在与上述沟道区中的栅长方向实质上平行的方向上产生压缩应力。

10.  如权利要求2中所述的半导体器件，其特征在于：
上述半导体衬底具有另一个有源区，
还具备：
pMISFET，其具有被设置在上述另一个有源区上的另一个栅绝缘膜、被设置在上述另一个栅绝缘膜上的另一个栅电极、以及被设置在位于上述半导体衬底中上述另一个栅电极的两侧方的区域中的另一个源·漏区；和
另一个内部应力膜，其在与作为上述另一个有源区中在上述另一个源·漏区间被夹住的区域的另一个沟道区中的栅长方向实质上平行的方向上产生应力。

11.  如权利要求1～10中任一项中所述的半导体器件，其特征在于：
上述半导体衬底的主面实质上为{100}面，
上述MISFET的上述栅电极的栅长方向实质上为<011>方向。

12.  一种半导体器件的制造方法，其特征在于，包含下述工序：
在半导体衬底的第1有源区中形成具有栅绝缘膜、栅电极、源·漏区和沟道区的nMISFET，在半导体衬底的第2有源区中形成具有栅绝缘膜、栅电极、源·漏区和沟道区的pMISFET的工序(a)；
形成覆盖上述nMISFET的源·漏区并在与上述nMISFET的上述沟道区中的栅长方向实质上平行的方向上产生拉伸应力的第1内部应力膜的工序(b)；以及
在上述工序(b)的之前或之后，形成覆盖上述pMISFET的源·漏区并在与上述pMISFET的上述沟道区中的栅长方向实质上平行的方向上产生压缩应力的第2内部应力膜的工序(c)。

13.  一种半导体器件的制造方法，其特征在于，包含下述工序：
在半导体衬底的有源区上形成在内部具有应力的内部应力膜的工序(a)；
形成贯通上述内部应力膜到达上述有源区的槽的工序(b)；
在上述半导体衬底的表面中在上述槽的底面上露出的部分上形成栅绝缘膜的工序(c)；
在上述工序(c)之后在上述槽中填埋导电膜以形成栅电极的工序(d)；以及
在去除了上述内部应力膜之后，以上述栅电极为掩摸对上述有源区进行第1导电型杂质的离子注入以形成源·漏区的工序(e)。

14.  如权利要求13中所述的半导体器件的制造方法，其特征在于：
还包含：在上述工序(a)之前或之后，在半导体衬底的另一个有源区上形成在内部具有与上述内部应力膜方向相反的应力的另一个内部应力膜的工序，
还包含下述工序：
在上述工序(b)中，形成贯通上述另一个内部应力膜到达上述另一个有源区的另一个槽；
在上述工序(c)中，在上述半导体衬底的表面中在上述另一个槽的底面上露出的部分上形成另一个栅绝缘膜；
在上述工序(d)中，在上述另一个槽中填埋导电膜以形成另一个栅电极；以及
在去除了上述另一个内部应力膜之后，以上述另一个栅电极为掩摸对上述另一个有源区进行第2导电型杂质的离子注入以形成另一个源·漏区。

半导体器件及其制造方法
技术领域
本发明涉及具备MISFET的半导体器件及其制造方法，特别是涉及提高载流子的迁移率用的对策。
背景技术
迄今为止，已知有下述的压电阻效应：如果在半导体结晶层中产生应力，则由于结晶的晶格间隔变化，故能带结构发生变化，从而载流子迁移率发生变化。载流子迁移率是变大还是变小，是根据衬底的面方向、载流子的移动方向和应力是拉伸应力还是压缩应力的差别而不同的。例如，在以{100}面为主面的硅衬底的Si(100)衬底内，在载流子的移动方向为[011]方向时，在载流子为电子的情况下，如果在沟道区的电子移动的方向上产生拉伸应力，则载流子的迁移率提高，在载流子为空穴的情况下，如果在沟道区的空穴移动的方向上产生压缩应力，则载流子的迁移率提高，载流子的迁移率提高的比例与应力的大小成比例。
因此，迄今为止，提出了通过对半导体结晶层施加应力来提高载流子迁移率以提高晶体管等的工作速度用的方案。例如，在专利文献1中记载了通过使用外部装置使半导体衬底整体弯曲而在晶体管的有源区中产生应力的情况。
【专利文献1】
专利第1024528号(摘要)
但是，在上述现有的结构中存在下述的不利情况：其一是，在半导体衬底以外需要外部装置，其二是，在设置了晶体管等的有源区的半导体衬底的主面一侧的整个区域中只能产生相同的方向的应力，例如在使用了Si(100)衬底的情况下，不能提高电子和空穴这两者的迁移率。
发明内容
本发明的目的在于，在不使用外部装置的情况下，通过在半导体层中产生提高载流子的迁移率那样的应力来提供具备实现了高速化的pMISFET和nMISFET的半导体器件及其制造方法。
本发明的半导体器件具备在形成了MISFET的有源区中在沟道区中的栅长方向上产生应力的内部应力膜。
由此，可利用压电阻效应来提高MISFET的载流子的迁移率。
内部应力膜可覆盖源·漏区的一方或双方。而且，在nMISFET中，内部应力膜是与沟道区中的栅长方向(电子的移动方向)实质上平行的方向上产生拉伸应力的膜，在pMISFET中，内部应力膜是与沟道区中的栅长方向(空穴的移动方向)实质上平行的方向上产生压缩应力的膜。
内部应力膜通过覆盖栅电极的两侧面或两侧面和上面，可经栅电极在沟道区的纵方向上产生应力以提高载流子的迁移率。
此外，内部应力膜通过在夹住栅电极的一部分的2个部位上覆盖栅电极的侧面和半导体衬底的上面，在nMISFET、pMISFET的任一种情况下都可在与MISFET的栅宽方向实质上平行的方向上产生拉伸应力以提高载流子的迁移率。
本发明的第1半导体器件的制造方法是下述的方法：在半导体衬底的第1有源区中形成nMISFET、在第2有源区中形成pMISFET之后，形成覆盖nMISFET、pMISFET的各源·漏区并形成分别在与各沟道区中的栅长方向实质上平行的方向上产生拉伸应力、压缩应力的第1、第2内部应力膜。
利用该方法，可得到实现了高速工作的CMOS器件。
本发明地第2半导体器件的制造方法是下述的方法：先形成内部应力膜，在槽内形成内部应力膜之后，在槽内形成栅绝缘膜、埋入型栅电极，其后除去内部应力膜。
利用该方法，利用在栅绝缘膜中残存的应力，也能产生在沟道区中提高载流子的迁移率的应力。
附图说明
图1是第1实施例中的半导体器件的剖面图。
图2(a)-(c)是示出与第1实施例有关的半导体器件的制造工序的前半部分的剖面图。
图3(a)-(c)是示出与第1实施例有关的半导体器件的制造工序的后半部分的剖面图。
图4(a)-(c)是示出与第1实施例有关的第1～第3变形例的剖面图。
图5(a)-(d)是示出与第1实施例中的第1变形例有关的半导体器件的制造工序的剖面图。
图6(a)-(c)是示出与第1实施例中的第3变形例有关的半导体器件的制造工序的剖面图。
图7(a)-(d)是示出与第2实施例有关的半导体器件的制造工序的前半部分的剖面图。
图8(a)-(d)是示出与第2实施例有关的半导体器件的制造工序的后半部分的剖面图。
图9(a)、(b)是分别按顺序示出第3实施例中的半导体器件中的1个MISFET的平面图和IX-IX线剖面(栅宽方向剖面)中的结构的剖面图。
具体实施方式
(第1实施例)
图1是第1实施例中的半导体器件的剖面图。如该图中所示，在作为Si(100)衬底的半导体衬底1的表面区域中，利用元件隔离区2划分为多个有源区1a、1b。在半导体器件中有包含有源区1a并形成nMISFET用的nMISFET形成区Rn和包含有源区1b并形成pMISFET用的pMISFET形成区Rp。
nMISFET具有：包含n型低浓度杂质扩散区、n型高浓度杂质扩散区和CoSi₂等的硅化层的n型源·漏区3a、4a；由在有源区1a上形成的氧化硅膜、氧化氮化硅膜等构成的栅绝缘膜5；由在栅绝缘膜5上形成的多晶硅、铝等构成的栅电极6a；以及由覆盖栅电极6a的侧面的绝缘膜构成的侧壁7。而且，有源区1a中位于栅电极6a下方的区域在是nMISFET的工作时电子移动的沟道区1x。
pMISFET具有：包含p型低浓度杂质扩散区、p型高浓度杂质扩散区和CoSi₂等的硅化层的p型源·漏区3b、4b；由在有源区1b上形成的氧化硅膜、氧化氮化硅膜等构成的栅绝缘膜5；由在栅绝缘膜5上形成的多晶硅、铝等构成的栅电极6b；以及由覆盖栅电极6b的侧面的绝缘膜构成的侧壁7。而且，有源区1b中位于栅电极6b下方的区域在是pMISFET的工作时空穴移动的沟道区1y。
此外，设置了：在nMISFET的源·漏区3a、4a上形成的由厚度约为20nm的氮化硅膜等构成的第1种内部应力膜8a；在pMISFET的源·漏区3b、4b上形成的由厚度约为20nm的TEOS膜等构成的第2种内部应力膜8b；覆盖nMISFET和pMISFET的、表面被平坦化的层间绝缘膜9；在层间绝缘膜9上形成的引出电极10；以及贯通层间绝缘膜9并连接各源·漏区3a、4a、3b、4b与引出电极10的接点11。
在此，所谓内部应力膜，指的是具有在与另一构件直接接触或夹住薄的膜与另一构件对置的状态下在其本身的内部产生应力的性质的膜。在应力中有拉伸应力和压缩应力，在本实施例或其它的实施例中，将在MISFET的沟道区中在与载流子的移动方向(栅长方向)实质上平行的方向上产生拉伸应力的内部应力膜称为第1种内部应力膜，将在MISFET的沟道区中在与载流子的移动方向实质上平行的方向上产生压缩应力的内部应力膜称为第2种内部应力膜。
在此，半导体衬底1是主面为{100}面的Si衬底，为方便起见，称为Si(100)衬底。但是，所谓{100}面，是(±100)面、(0±10)面、(00±1)面的总称，即使严格地说不是{100}面，但在不超过10°的范围内，假定也将偏离{100}面的面实质上称为{100}面。此外，在本实施例中，nMISFET的电子的移动方向和pMISFET的空穴的移动方向(即，各MISFET的栅长方向)都是[011]方向。但是，在本实施例中，在Si(100)衬底的主面上记载为[011]方向时，是在作为与[011]等效的方向的[01-1]、[0-11]、[0-1-1]方向、即总称<011>方向的范围内包含的方向，即使严格地说不是[011]方向，但在不超过10°的范围内，假定也将偏离[011]方向的方向实质上称为[011]方向。
按照本实施例，可得到以下那样的作用和效果。
在nMISFET中，如果使第1种内部应力膜8a与半导体层直接接触或夹住薄的薄使第1种内部应力膜8a与半导体层对置，则在第1种内部应力膜8a中产生使自身缩小的力、即压缩应力。其结果，由于第1种内部应力膜8a的缘故，可在与边界面垂直的方向上伸展与其邻接的半导体层。即，第1种内部应力膜8a对nMISFET的有源区1a中的源区3a和漏区4a在与主面平行的方向上供给压缩应力，其结果，对处于源区3a与漏区4a之间的区域、即沟道区1x在栅长方向(在nMISFET的工作时电子移动的方向)上供给拉伸应力。而且，由于该拉伸应力的缘故，电子受到压电阻效应，提高了电子的迁移率。在此，所谓「实质上平行的方向」，也包含在不超过10°的范围内偏离电子移动的方向的方向。
例如，在半导体衬底1是Si(100)衬底、电子移动的方向是[011]方向时，在与半导体层邻接的第1种内部应力膜8a的内部应力为氮化硅膜的一般的值的1.5GPa、厚度为10nm、在源·漏区3a、4a中分别与第1种内部应力膜8a接触的部分相互间的间隔、即沟道区1x的长度为0.2μm时，在从表面死区深度为10nm的位置上产生的栅长方向的拉伸应力为0.3GPa(J.Appl.Phys.，vol.38-7，pp.2913，1967)。此时的电子的迁移率的提高率为+10％(Phys.Rev，vol.94，pp.42，1954)。为了得到比其大的迁移率变化，由于增加半导体的拉伸应力即可，故或是使用具有大的内部应力的膜作为第1种内部应力膜8a，或是增加第1种内部应力膜8a的厚度，或是缩短源·漏区3a、4a中分别与第1种内部应力膜8a接触的部分相互间的间隔、即沟道区1x的长度即可。例如，如果使第1种内部应力膜8a的膜厚为2倍、源·漏区3a、4a中分别与各第1种内部应力膜8a接触的部分相互间的间隔、即沟道区1x的长度为一半，则电子的迁移率的提高率为+40％。作为另外的得到大的迁移率的方法，通过使电子的移动方向从[011]变化为[010]方向，电子的迁移率对于拉伸应力的提高率变化，在相同的拉伸应力下，迁移率的提高率约为3.5倍。源·漏区3a、4a也因第1种内部应力膜8a的缘故而受到压缩应力，但由于使用了低电阻的高掺杂半导体或硅化膜，故压电阻效应较小。此外，可忽略层间绝缘膜9的内部应力对沟道区的影响。这是因为，由于层间绝缘膜9覆盖了衬底的整个面，故层间绝缘膜9中的内部应力互相抵消，对有源区1a、1b施加应力的功能减小了。
在pMISFET中，如果使第2种内部应力膜8b与半导体层直接接触或夹住薄的薄使第2种内部应力膜8b与半导体层对置，则在第2种内部应力膜8b中产生使自身伸展的力、即拉伸应力。其结果，由于第2种内部应力膜8b的缘故，起到在与边界面垂直的方向上压缩与其邻接的半导体层的作用。第2种内部应力膜8b在与主面平行的方向上对nMISFET的有源区1b中的源区3b和漏区4b供给拉伸应力，其结果，对处于源区3b与漏区4b之间的区域、即沟道区1y在栅长方向(在pMISFET的工作时空穴移动的方向)上供给压缩应力。而且，由于该压缩应力的缘故，空穴受到压电阻效应，提高了空穴的迁移率。在此，所谓「实质上平行的方向」，也包含在不超过10°的范围内偏离空穴移动的方向的方向。
再有，形成了源·漏区3a、4a、3b、4b的半导体膜本身也可以是具有内部应力的膜、例如在SOI衬底中的最上部的半导体层等，来代替内部应力膜8a、8b。
再者，即使内部应力膜8a、8b不是单层而是多层的，作为整体只要能对衬底产生应力即可。
此外，在本实施例中，使用了Si(100)衬底，但即使使用Si(110)衬底，如果将电子的移动方向定为[001]方向，则也能利用拉伸应力来提高电子的迁移率。一般来说，无论是哪一个衬底的面方向，根据应力的方向，都有可提高迁移率的电子的移动方向或空穴的移动方向。
在本实施例中，在各源·漏区3a、4a、3b、4b上存在内部应力膜8a、8b，但即使只在源·漏区3a、4a中的一方的区域或源·漏区3a、3b中的一方的区域上存在内部应力膜8a、8b的情况下，也可得到载流子的迁移率的增大作用。但是，迁移率的提高率为一半。在以下的全部的实施例中，在只在源·漏区的某一方的区域上存在内部应力膜的情况下，如果与在双方的区域上存在内部应力膜的情况相比，迁移率的提高率为一半，但也能提高迁移率。
图2(a)-(c)和图3(a)-(c)是示出与第1实施例有关的半导体器件的制造工序的剖面图。
首先，在图2(a)中示出的工序中，对作为Si(110)衬底的半导体衬底1的一部分减小槽的形成和埋入氧化膜的形成，形成划分有源区1a、1b、…的元件隔离区2。其后，在进行了由各有源区1a、1b的表面的热氧化得到的栅绝缘膜5的形成、栅电极用的多晶硅膜的淀积后，利用使用了光刻的构图和各向异性干法刻蚀来刻蚀多晶硅膜和栅绝缘膜5，形成栅电极6a、6b。各栅电极6a、6b的栅长方向为[011]方向。其次，以nMISFET的栅电极6a为掩摸，在注入能量10keV、剂量1×10¹³/cm²的条件下对nMISFET形成区Rn进行低浓度的n型杂质(例如砷)的离子注入，以pMISFET的栅电极6b为掩摸，在注入能量2keV、剂量1×10¹⁵/cm²的条件下对pMISFET形成区Rp进行低浓度的p型杂质(例如硼)的离子注入。其后，在衬底上淀积了厚度约为50nm的侧壁用绝缘膜后，利用回刻(etchback)在栅电极6a、6b的侧面上形成侧壁7。其次，以nMISFET的栅电极6a和侧壁7为掩摸，在注入能量20keV、剂量1×10¹⁴/cm²的条件下对nMISFET形成区Rn进行高浓度的n型杂质(例如砷)的离子注入，以pMISFET的栅电极6b和侧壁7为掩摸，在注入能量5keV、剂量1×10¹⁶/cm²的条件下对pMISFET形成区Rp进行高浓度的p型杂质(例如硼)的离子注入。其后，进行杂质激活用的热处理(RTA)。利用以上的处理，在nMISFET形成区Rn中形成由n型低浓度杂质扩散区和n型高浓度杂质扩散区构成的源·漏区3a、4a，在pMISFET形成区Rp中形成由p型低浓度杂质扩散区和p型高浓度杂质扩散区构成的源·漏区3b、4b。
其次，在图2(b)中示出的工序中，在衬底上以表面为平坦的方式形成厚的氮化硅膜8x。在该时刻，氮化硅膜8x覆盖了各MISFET的栅电极6a、6b的上表面。其后，利用光刻在氮化硅膜8x上形成抗蚀剂膜12，以抗蚀剂膜12为掩摸对氮化硅膜8x进行构图，只在nMISFET形成区Rn中留下氮化硅膜8x。
其次，在图2(c)中示出的工序中，在除去了抗蚀剂膜12后，对氮化硅膜8x进行回刻，除去氮化硅膜8x中位于栅电极6a上的部分，进一步减薄厚度，形成厚度约为20nm的第1种内部应力膜8a。即，第1种内部应力膜8a不在nMISFET的栅电极6a上存在，而是只在源·漏区3a、4a上存在。
其次，在图3(a)中示出的工序中，在衬底上以表面为平坦的方式形成厚的TEOS膜8y。在该时刻，TEOS膜8y覆盖了各MISFET的栅电极6a、6b的上表面。其后，利用光刻在TEOS膜8y上形成抗蚀剂膜(未图示)，以抗蚀剂膜为掩摸对TEOS膜8y进行构图，在pMISFET形成区Rp中留下TEOS膜8y。
其次，在图3(b)中示出的工序中，在除去了抗蚀剂膜后，通过对TEOS膜8y进行回刻，除去TEOS膜8y中位于栅电极6a、6b上的部分，进一步减薄厚度，形成厚度大致与第1种内部应力膜8a的厚度相同的第2种内部应力膜8b。即，第2种内部应力膜8b不在pMISFET的栅电极6b和第1种内部应力膜8a上存在，而是只在源·漏区3b、4b上存在。
利用以上的工序，在nMISFET的源·漏区3a、4a上和在pMISFET的源·漏区3b、4b上分别形成施加彼此方向相反的应力用的内部应力膜8a、8b。
其次，在图3(c)中示出的工序中，在衬底上形成了层间绝缘膜9后，利用光刻和干法刻蚀形成贯通层间绝缘膜9并分别到达nMISFET的源·漏区3a、4a、pMISFET的源·漏区3b、4b和各栅电极6a、6b的接触孔。其后，通过在各接触孔内填埋金属(例如钨)，形成接点栓11。再者，在层间绝缘膜9上淀积了铝合金膜等的金属膜后，对金属膜进行构图，形成连接到接点栓11上的引出电极10。由此，可从外部导电性地连接到各MISFET的源·漏区3a、4a、3b、4b或栅电极6a、6b上。
在本实施例的制造方法中，关于形成2种内部应力膜8a、8b的的顺序，先形成哪一种都可以，各内部应力膜8a、8b在元件隔离区2上或源·漏区3a、4a、3b、4b上可彼此重叠。
-第1实施例的变形例-
图4(a)-(c)是示出与第1实施例有关的第1～第3变形例的剖面图。
与图4(a)中示出的第1变形例有关的半导体器件具有省略了第1实施例中的侧壁7的结构。此外，源·漏区3a、4a、3b、4b都没有低浓度杂质扩散区，只包含了高浓度杂质扩散区。其它的部分的结构与第1实施例的半导体器件相同。按照该变形例，因为在加上内部应力膜时不存在侧壁，故缩短了源·漏区3a、4a中分别与各第1种内部应力膜8a接触的部分相互间的间隔。于是，由于对沟道区1x、1y施加的应力增加了，故与第1实施例相比，可得到更大的载流子迁移率的提高效果。
与图4(b)中示出的第2变形例有关的半导体器件具有用由氮化硅膜构成的第1种内部应力膜8a覆盖nMISFET的栅电极6a的侧面、用由TEOS膜构成的第2种内部应力膜8b覆盖pMISFET的栅电极6b的侧面以代替第1实施例中的由氧化硅膜构成的侧壁7的结构。此外，源·漏区3a、4a、3b、4b都没有低浓度杂质扩散区，只包含了高浓度杂质扩散区。其它的部分的结构与第1实施例的半导体器件相同。
按照该变形例，除了第1变形例的作用和效果外，可得到以下的作用和效果。在nMISFET中，由于第1种内部应力膜8a与栅电极6a在栅电极6a的大致全部的侧面上接触，故利用第1种内部应力膜8a将栅电极6a压缩到下方。而且，通过将栅电极6a压缩到下方，在沟道区1x中在与主面垂直的方向上产生压缩应力，进一步提高nMISFET的电子的迁移率。
此外，在pMISFET中，由于第2种内部应力膜8b与栅电极6b在栅电极6b的大致全部的侧面上接触，故利用第2种内部应力膜8b将栅电极6b向上方伸展。而且，通过将栅电极6b向上方伸展，在沟道区1y中在与主面垂直的方向上产生拉伸应力，进一步提高pMISFET的空穴的迁移率。
因而，在该结构的情况下，与第1变形例相比，进一步提高迁移率的提高率。
与图4(c)中示出的第3变形例有关的半导体器件具有用由氮化硅膜构成的第1种内部应力膜8a覆盖nMISFET的栅电极6a的侧面和上面、用由TEOS膜构成的第2种内部应力膜8b覆盖pMISFET的栅电极6b的侧面和上面以代替第1实施例中的由氧化硅膜构成的侧壁7的结构。此外，源·漏区3a、4a、3b、4b都没有低浓度杂质扩散区，只包含了高浓度杂质扩散区。其它的部分的结构与第1实施例的半导体器件相同。
按照该变形例，除了第2变形例的作用和效果外，可得到以下的作用和效果。在nMISFET中，由于第1种内部应力膜8a与栅电极6a在栅电极6a的大致全部的侧面和上面上接触，故利用第1种内部应力膜8a将栅电极6a压缩到下方的作用更大。而且，通过更强地将栅电极6a压缩到下方，在沟道区1x中在与主面垂直的方向上产生压缩应力，更加提高了nMISFET的电子的迁移率。
此外，在pMISFET中，由于第2种内部应力膜8b与栅电极6b在栅电极6b的大致全部的侧面和上面上接触，故利用第2种内部应力膜8b将栅电极6b拉伸到上方的作用更大。而且，通过更强地将栅电极6b拉伸到上方，在沟道区1y中在与主面垂直的方向上产生拉伸应力，更加提高了pMISFET的空穴的迁移率。
因而，在该结构的情况下，与第2变形例相比进一步增加迁移率的提高率。
在上述第1～第3变形例中，作为源·漏区只成为高浓度杂质区，但也可以是由低浓度杂质区和高浓度杂质区构成的源·漏区。此时，如图2(a)中所示，使用栅电极和侧壁形成低浓度杂质区和高浓度杂质区，如果其后在除去侧壁之后形成图4(a)～(c)中示出的内部应力膜，则可形成由低浓度杂质区和高浓度杂质区构成的源·漏区。
-第1变形例的制造方法-
图5(a)-(d)是示出与第1实施例中的第1变形例有关的半导体器件的制造工序的剖面图。
首先，在到图5(a)中示出的工序为止，进行与第1实施例中的图2(a)中示出的工序相同的处理，形成划分有源区1a、1b、…的元件隔离区2、栅绝缘膜5、栅电极6a、6b、只包含n型高浓度杂质区的源·漏区3a、4a和只包含p型高浓度杂质区的源·漏区3b、4b。在此，只用高浓度杂质扩散区形成了源·漏区3a、4a、3b、4b，但也可以是由低浓度杂质扩散区和高浓度杂质扩散区构成的源·漏区。此时，在利用图2(a)中示出的工序以侧壁为掩摸形成了高浓度杂质扩散区后，通过除去侧壁，可形成由低浓度杂质扩散区和高浓度杂质扩散区构成的源·漏区。
其次，在图5(a)中示出的工序中，在衬底上以表面为平坦的方式形成厚的氮化硅膜8x。在该时刻，氮化硅膜8x覆盖了各MISFET的栅电极6a、6b的上表面。其后，利用光刻在氮化硅膜8x上形成抗蚀剂膜12，以抗蚀剂膜12为掩摸对氮化硅膜8x进行构图，在nMISFET形成区Rn上留下氮化硅膜8x。
其次，在图5(b)中示出的工序中，在除去了抗蚀剂膜12后，对氮化硅膜8x进行回刻，除去氮化硅膜8x中位于栅电极6a上的部分，进一步减薄厚度，形成厚度约为20nm的第1种内部应力膜8a。即，第1种内部应力膜8a不在nMISFET的栅电极6a上存在，而是只在源·漏区3a、4a上存在。
其次，在图5(c)中示出的工序中，在衬底上以表面为平坦的方式形成厚的TEOS膜8y。在该时刻，TEOS膜8y覆盖了各MISFET的栅电极6a、6b的上表面。
其次，在图5(d)中示出的工序中，对TEOS膜8y进行回刻，除去TEOS膜8y中位于第1种内部应力膜8a上和pMISFET的栅电极6b上的部分，进一步减薄厚度，形成厚度大致与第1种内部应力膜8a的厚度相同的第2种内部应力膜8b。
利用以上的工序，在nMISFET的源·漏区3a、4a上和在pMISFET的源·漏区3b、4b上分别形成施加彼此方向相反的应力用的内部应力膜8a、8b。
省略其后的工序的图示，但利用与图3(c)中示出的工序同样的工序，进行层间绝缘膜9的形成、贯通层间绝缘膜9并分别到达nMISFET的源·漏区3a、4a、pMISFET的源·漏区3b、4b和各栅电极6a、6b的接触孔的形成和接点栓的形成。再者，通过在层间绝缘膜上形成引出电极，可从外部导电性地连接到各MISFET的源·漏区3a、4a、3b、4b或栅电极6a、6b上。
按照本实施例，通过形成第1种内部应力膜8a和第2种内部应力膜8b，可得到图4(a)中示出的结构。因而，因为不存在侧壁，故缩短了源·漏区3a、4a中分别与各第1种内部应力膜8a接触的部分相互间的间隔。于是，由于对沟道区1x、1y施加的应力增大，故与第1实施例相比可得到更大的载流子迁移率的提高效果。由于有源区1a与第1种内部应力膜8a的距离接近，在有源区1a中产生的拉伸应力增大了。
-第3变形例的制造方法-
图6(a)-(d)是示出与第1实施例中的第3变形例有关的半导体器件的制造工序的剖面图。
首先，在到图6(a)中示出的工序为止，进行与第1实施例中的图2(a)中示出的工序相同的处理，形成划分有源区1a、1b、…的元件隔离区2、栅绝缘膜5、栅电极6a、6b、只包含n型高浓度杂质区的源·漏区3a、4a和只包含p型高浓度杂质区的源·漏区3b、4b。在此，只用高浓度杂质扩散区形成了源·漏区3a、4a、3b、4b，但也可以是由低浓度杂质扩散区和高浓度杂质扩散区构成的源·漏区。此时，在利用图2(a)中示出的工序以侧壁为掩摸形成了高浓度杂质扩散区后，除去侧壁。
其次，在图6(a)中示出的工序中，在衬底上形成比栅电极6a、6b薄的、厚度约为20nm的氮化硅膜。在该时刻，氮化硅膜从各MISFET的栅电极6a、6b的侧面起覆盖了上表面。其后，利用光刻在氮化硅膜上形成抗蚀剂膜12，以抗蚀剂膜12为掩摸对氮化硅膜进行构图，只在nMISFET形成区Rn上留下由氮化硅膜构成的压缩应力膜8a。
其次，在图6(b)中示出的工序中，在除去了抗蚀剂膜12后，在衬底上形成比栅电极6a、6b薄的、厚度约为20nm的TEOS膜。在该时刻，TEOS膜从各MISFET的栅电极6a、6b的侧面起覆盖了上表面，而且也覆盖了第1种内部应力膜8a。其次，利用光刻在TEOS膜上形成抗蚀剂膜13，以抗蚀剂膜13为掩摸，对TEOS膜进行构图，除去TEOS膜中位于pMISFET的栅电极6B上的部分，在元件隔离区2上形成与第1种内部应力膜8a重叠的第2种内部应力膜8b。此时，在理想的情况下，没有第1种内部应力膜8a与第2种内部应力膜8b的重叠，但即使在元件隔离区2上或在源·漏区上重叠，由于离开一定的距离，故第2种内部应力膜8b对有源区1a的应力较小。
对氮化硅膜进行回刻，除去氮化硅膜中位于栅电极6a上的部分，进一步减薄厚度，形成厚度约为20nm的第1种内部应力膜8a。即，第1种内部应力膜8a不在nMISFET的栅电极6a上存在，而是只在源·漏区3a、4a上存在。
利用以上的工序，在nMISFET的源·漏区3a、4a上和在pMISFET的源·漏区3b、4b上分别形成施加彼此方向相反的应力用的内部应力膜8a、8b。
其次，在图6(c)中示出的工序中，进行与第1实施例的图3(c)中示出的工序相同的处理，进行层间绝缘膜9的形成、贯通层间绝缘膜9并分别到达nMISFET的源·漏区3a、4a、pMISFET的源·漏区3b、4b和各栅电极6a、6b的接触孔的形成和接点栓11的形成。再者，通过在层间绝缘膜上形成引出电极10，可从外部导电性地连接到各MISFET的源·漏区3a、4a、3b、4b或栅电极6a、6b上。
具有利用由氮化硅膜构成的第1种内部应力膜8a覆盖了nMISFET的栅电极6a的侧面和上面、利用由TEOS膜构成的第1种内部应力膜8a覆盖了pMISFET的栅电极6b的侧面和上面的间隔。其它的部分的结构与第1实施例的半导体器件是相同的。
按照本实施例，可得到以下的作用和效果。在nMISFET中，由于第1种内部应力膜8a与栅电极6a在栅电极6a的大致全部的侧面和上面接触，故利用第1种内部应力膜8a较强地将栅电极6a压缩到下方。而且，通过将栅电极6a压缩到下方，在沟道区1x中在与主面垂直的方向上产生压缩应力。在本实施例中，由于使用Si(110)衬底，电子的移动方向为[011]，故由于该压缩应力的缘故，nMISFET的电子的迁移率进一步提高。
此外，在pMISFET中，由于第2种内部应力膜8b与栅电极6b在栅电极6b的大致全部的侧面和上面接触，故利用第2种内部应力膜8b较强地将栅电极6b拉伸到上方。而且，通过将栅电极6b拉伸到上方，在沟道区1y中在与主面垂直的方向上产生拉伸应力。在本实施例中，由于使用Si(110)衬底，空穴的移动方向为[011]，故由于该拉伸应力的缘故，pMISFET的空穴的迁移率进一步提高。
再者，在本实施例的制造方法的情况下，在由氮化硅膜形成第1种内部应力膜8a和由TEOS膜形成第2种内部应力膜8b的工序中，由于进行构图来代替回刻，故成为更简单的制造方法。
(第2实施例)
图7(a)-(d)和图8(a)-(d)是示出与第2实施例有关的半导体器件的制造工序的剖面图。
首先，在图7(a)中示出的工序中，在半导体衬底1的一部分中进行槽的形成和埋入氧化膜的形成，形成划分有源区1a、1b、…的元件隔离区2。
其次，在图7(b)中示出的工序中，在衬底上形成其厚度比栅电极的厚度厚的氮化硅膜。在该时刻，由于没有形成各MISFET的栅电极，故氮化硅膜覆盖了各有源区1a、1b和元件隔离区2。其后，利用光刻在氮化硅膜上形成抗蚀剂膜12，以该以抗蚀剂膜12为掩摸对氮化硅膜进行构图，只在nMISFET形成区Rn上留下由氮化硅膜构成的第1种内部应力膜8a。
其次，在图7(c)中示出的工序中，在衬底上形成其厚度比栅电极的厚度厚的TEOS膜。在该时刻，由于没有形成各MISFET的栅电极，故TEOS膜覆盖了有源区1b和元件隔离区2。其后，利用光刻在TEOS膜上形成抗蚀剂膜13，以该以抗蚀剂膜13为掩摸对TEOS膜进行构图，在pMISFET形成区Rp上留下由TEOS膜构成的第2种内部应力膜8b。此时，在元件隔离区2上第1种内部应力膜8a与第2种内部应力膜8b重叠。
其次，在图7(d)中示出的工序中，利用光刻在第1种内部应力膜8a和第2种内部应力膜8b上形成对各MISFET的栅形成区开了口而构成的抗蚀剂膜14，以抗蚀剂膜14为掩摸，刻蚀第1种内部应力膜8a和第2种内部应力膜8b，形成到达半导体衬底1的上面的槽6x、6y。此时，在有源区1a中的沟道区1x中由第1种内部应力膜8a产生横方向的拉伸应力，在有源区1b中的沟道区1y中由第1种内部应力膜8a产生压缩应力。
其次，在图8(a)中示出的工序中，在除去了抗蚀剂膜14后，进行在半导体衬底1中在槽6x、6y的底面上露出的区域的热氧化，形成栅绝缘膜5。其次，在槽6x、6y内和第1种内部应力膜8a和第2种内部应力膜8b上淀积多晶硅膜6直至其上面大致为平坦的厚度。
其次，在图8(b)中示出的工序中，对多晶硅膜6进行回刻，除去位于第1种内部应力膜6a和第2种内部应力膜6b的上方的部分，在各槽6x、6y内填埋多晶硅膜，形成栅电极6a、6b。再者，进行光刻和离子注入，在nMISFET形成区Rn的栅电极8a中掺了n型杂质，在pMISFET形成区Rp的栅电极8b中掺了p型杂质，使各栅电极6a、6b实现低电阻化。
其次，在图8(c)中示出的工序中，在利用有选择的刻蚀除去了内部应力膜8a、8b后，空穴光刻和以各栅电极6a、6b为掩摸的离子注入，在nMISFET形成区Rn中注入n型杂质，在pMISFET形成区Rp中注入p型杂质。由此，形成nMISFET的只包含n型高浓度杂质扩散区的源·漏区3a、4a和pMISFET的只包含p型高浓度杂质扩散区的源·漏区3b、4b。因除去内部应力膜8a、8b的缘故，由内部应力膜8a、8b对各沟道区1x、1y施加的应力减少。但是，由于在沟道区1x、1y中发生了应力的状态下形成栅绝缘膜5，故栅绝缘膜5保持了作为栅绝缘膜5的正下方的区域的沟道区1x、1y的应力。例如，在使用Si(110)衬底作为半导体衬底1、使用氧化硅膜作为栅绝缘膜5时，如果除去内部应力膜8a、8b，则由于氧化硅膜与Si(110)衬底的杨氏模量的比为1∶3，故沟道区1x、1y中的应力减少为4分之1。为了将拉伸应力或压缩应力保持得较大，将杨氏模量比Si(110)衬底的杨氏模量大的绝缘性材料用作栅绝缘膜5即可。作为杨氏模量比Si(110)衬底的杨氏模量大的绝缘性材料，例如有氮化硅膜。在此，只用高浓度杂质扩散区形成了源·漏区3a、4a、3b、4b，但也可以是用低浓度杂质扩散区和高浓度杂质扩散区形成的源·漏区。此时，在以栅电极为掩摸利用低浓度离子注入形成了低浓度杂质区后，在栅电极的侧面上形成侧壁，其后以侧壁为掩摸利用高浓度离子注入形成高浓度杂质区即可。
其次，在图8(d)中示出的工序中，进行与第1实施例的图3(c)中示出的工序相同的处理，进行层间绝缘膜9的形成、贯通层间绝缘膜9并分别到达nMISFET的源·漏区3a、4a、pMISFET的源·漏区3b、4b和各栅电极6a、6b的接触孔的形成和接点栓11的形成。再者，通过在层间绝缘膜上形成引出电极10，可从外部导电性地连接到各MISFET的源·漏区3a、4a、3b、4b或栅电极6a、6b上。
按照本实施例，与第1实施例相比有以下的优点。在第1实施例中，在沟道区1x、1y中产生应力时，由于存在栅电极6a、6b，故存在第1种内部应力膜8a和第2种内部应力膜8b在沟道区1x、1y中要产生的应力被栅电极6a、6b遮蔽而减少的可能性。与此不同，在本实施例中，在图7(d)中示出的工序中形成了槽6x、6y时，由于作为与内部应力膜8a、8b相接的构件只是半导体衬底1，故在沟道区1x、1y中产生的应力增大了。
再有，在本实施例中，使用了掺了杂质的多晶硅膜作为栅电极6a、6b。但是，通过使用即使不掺杂也有导电型的膜(例如，铜膜、钨膜、钴膜、镍膜等的金属膜)来代替多晶硅膜作为形成栅电极6a、6b用的膜，其后没有必要进行离子注入，可谋求工序的简化。
此外，在本实施例中，为了进行形成源·漏区3a、4a、3b、4b用的离子注入，除去了内部应力膜8a、8b。但是，如果内部应力膜8a、8b的厚度较薄，则由于可越过内部应力膜8a、8b在半导体衬底1内注入杂质离子，故也可不除去内部应力膜8a、8b而将其留下。
此外，在图8(a)中示出的工序中，为了形成栅绝缘膜而对半导体衬底的露出了的表面部进行了热氧化，但也可利用CVD或PVD来淀积栅绝缘膜。此时，在栅电极6a、6b的侧面上留下栅绝缘膜用的绝缘膜(例如氧化硅膜)，但即使该侧面上的膜作为侧壁留下，也不产生不利的情况。
(第3实施例)
图9(a)、(b)是分别按顺序示出第3实施例中的半导体器件中的1个MISFET的平面图和IX-IX线剖面(栅宽方向剖面)中的结构的剖面图。在本实施例中，说明在MISFET的栅宽方向、即在与半导体衬底的主面平行且与载流子的移动方向垂直的方向上产生应力用的结构。
如图9(a)、(b)中所示，在作为Si(110)衬底的半导体衬底1的有源区17中设置了具备栅绝缘膜5、栅电极15和源·漏区3、4的MISFET。MISFET可以是nMISFET和pMISFET的任一种。此外，在粘度可5的两端部上设置了从栅电极15的侧面、端面和上面跨过半导体衬底1和元件隔离区2的、由氮化硅膜构成的第1种内部应力膜16、16。
在本实施例中，利用第1种内部应力膜16在源·漏区3、4中位于第1种内部应力膜16的正下方的两端部上产生压缩应力，在源·漏区3、4中在上部不存在第1种内部应力膜16的区域在栅宽方向上产生拉伸应力。杂质，因栅电极15的两端部也被第1种内部应力膜16压缩，在栅电极15的不存在第1种内部应力膜16的部分中在栅宽方向上产生拉伸应力。其结果，在沟道区17x中，产生因被栅电极15吸引而伸展而产生的应力，该栅电极15受到了因受到拉伸应力的源·漏区3、4引起的应力和拉伸应力，在栅宽方向上产生大的拉伸应力。该拉伸应力的方向是与半导体衬底1的主面平行的方向，而且，是与足足的移动的方向正交的方向。在使用Si(110)衬底作为半导体衬底1、将栅长方向深度为[011]方向的情况下，即使在沟道区17x中移动的载流子是电子、空穴的任一种(即在nMISFET、pMISFET的任一种中)，也可利用压电阻效应来提高载流子的迁移率。
再有，在图9(a)、(b)中示出的结构中，2个第1种内部应力膜16、16覆盖了栅电极15的各端部中的侧面和上面，但即使第1种内部应力膜16、16只覆盖栅电极15的侧面，也能产生沟道区17x中的栅宽方向的拉伸应力。
再者，即使在只在栅电极15的一方的端部上设置了第1种内部应力膜16的情况下，也可在沟道区17x中产生某种程度的拉伸应力。
此外，除了该结构外，也可在栅电极15的两端部的下方设置第1种内部应力膜。
如上所述，本发明通过利用内部应力膜在半导体衬底中产生应力，使用与现在的半导体器件制造工序具有一致性的制造工序，可在半导体衬底上的任意的位置上产生应力，可提高载流子的迁移率。