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1、10申请公布号CN104201152A43申请公布日20141210CN104201152A21申请号201410431229022申请日2014082810312091420140617TWH01L21/7720060171申请人友达光电股份有限公司地址中国台湾新竹市72发明人黄郁涵黄国有74专利代理机构隆天国际知识产权代理有限公司72003代理人张浴月李玉锁54发明名称制作显示面板的方法57摘要本发明公开一种制作显示面板的方法，包括于一第一基板上形成一第一图案化导电层、一栅极绝缘层、一半导体沟道层、一第一保护层、一第二图案化导电层以及一像素电极。第一图案化导电层包括一栅极，且第二图案化导电。
2、层包括一源极、一漏极及一数据线。栅极绝缘层、第一保护层及第二图案化导电层的图案是利用同一道光掩模并利用蚀刻工艺及剥离工艺所形成。本发明公开的制作显示面板的方法能够简化工艺并大幅节省制作成本。30优先权数据51INTCL权利要求书2页说明书7页附图10页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书7页附图10页10申请公布号CN104201152ACN104201152A1/2页21一种制作显示面板的方法，包括提供一第一基板；于该第一基板上形成一第一图案化导电层，该第一图案化导电层包括一栅极；于该第一基板与该第一图案化导电层上形成一栅极绝缘层；于该栅极绝缘层上形成一半导体。
3、沟道层，其中该半导体沟道层与该栅极在一垂直投影方向上至少部分重叠；于该栅极绝缘层与该半导体沟道层上形成一第一保护层；于该第一保护层上形成一图案化光致抗蚀剂层，其中该图案化光致抗蚀剂层具有一第一光致抗蚀剂图案、一第二光致抗蚀剂图案以及多个开口，且该第一光致抗蚀剂图案的厚度大于该第二光致抗蚀剂图案的厚度；去除所述多个开口所暴露出的该第一保护层以暴露出该半导体沟道层的一第一接触区与一第二接触区；进行一灰化工艺，移除该第二光致抗蚀剂图案以部分暴露出该第一保护层的一上表面；于该图案化光致抗蚀剂层上形成一导电层，其中该导电层与该第一接触区和该第二接触区接触，且该导电层与该图案化光致抗蚀剂层所暴露出的该第一。
4、保护层的该上表面接触；进行一剥离LIFTOFF工艺，移除该图案化光致抗蚀剂层以及位于该图案化光致抗蚀剂层上的该导电层，以形成一第二图案化导电层，其中该第二图案化导电层包括一源极与该第一接触区接触、一漏极与该第二接触区接触以及一数据线设置于该第一保护层的该上表面上并与该源极连接；于该第二图案化导电层上形成一第二保护层；以及于该第二保护层上形成一像素电极，其中该像素电极与该漏极电性连接。2如权利要求1所述的制作显示面板的方法，其中于该第一保护层上形成该图案化光致抗蚀剂层的步骤包括于该第一保护层上形成一光致抗蚀剂层；设置一灰阶光掩模于该光致抗蚀剂层上方，其中该灰阶光掩模具有一透光区、一半透光区以及一。
5、遮光区；以及以该灰阶光掩模为一遮罩对该光致抗蚀剂层进行曝光及显影后形成该图案化光致抗蚀剂层，其中该透光区对应所述多个开口，该遮光区对应该第一光致抗蚀剂图案，且该半透光区对应该第二光致抗蚀剂图案。3如权利要求1所述的制作显示面板的方法，其中该第一图案化导电层还包括一共通线，该方法还包括去除该图案化光致抗蚀剂层的该开口所暴露出的该第一保护层与该栅极绝缘层以部分暴露出该共通线，且该第二图案化导电层还包括一连接电极，与该图案化光致抗蚀剂层所暴露出的该共通线接触。4如权利要求3所述的制作显示面板的方法，还包括于该第二保护层上形成一第三保护层，其中该第三保护层具有一第一开口部分暴露出对应该漏极的该第二保护。
6、层，以及一第二开口部分暴露出对应该共通线的该第二保护层；于该第三保护层上形成一第三图案化导电层，其中该第三图案化导电层包括一共通电权利要求书CN104201152A2/2页3极；于该第三保护层与该第三图案化导电层上以及该第一开口与该第二开口所暴露出的该第二保护层上形成一第四保护层；移除该第一开口处的该第四保护层与该第二保护层以形成一第一接触洞，以部分暴露出该漏极，移除该第二开口处的该第四保护层与该第二保护层以形成一第二接触洞，以部分暴露出该共通线，以及于该第四保护层中形成一第三接触洞，部分暴露出该共通电极；以及于该第四保护层上形成一第四图案化导电层，其中该第四图案化导电层包括该像素电极以及一转。
7、接电极，该像素电极经由该第一接触洞与该漏极接触，且该转接电极经由该第二接触洞与该连接电极接触以及经由该第三接触洞与该共通电极接触。5如权利要求1所述的制作显示面板的方法，其中该第二图案化导电层的材料包括金属。6如权利要求1所述的制作显示面板的方法，其中该第二图案化导电层的材料包括氧化铟锡或氧化铟锌，且该方法还包括于形成该第二保护层之前，于该第二图案化导电层上形成一图案化辅助导电层，其中该第二图案化导电层以及该图案化辅助导电层具有不同的图案，且该图案化辅助导电层的一片电阻低于该第二图案化导电层的一片电阻。7如权利要求1所述的制作显示面板的方法，其中该第二图案化导电层包括一图案化透明导电层以及一图。
8、案化不透明导电层共同构成一复合层图案化导电层。8如权利要求1所述的制作显示面板的方法，其中该半导体沟道层包括一氧化物半导体沟道层。9如权利要求1所述的制作显示面板的方法，还包括提供一第二基板；以及于该第一基板与该第二基板之间形成一显示介质层。权利要求书CN104201152A1/7页4制作显示面板的方法技术领域0001本发明涉及一种制作显示面板的方法，尤其涉及一种具有简化工艺步骤的制作显示面板的方法。背景技术0002液晶显示面板由于具有轻薄短小与节能等优点，已被广泛地应用在各式电子产品，如智能手机SMARTPHONE、笔记型电脑NOTEBOOKCOMPUTER、平板电脑TABLETPC等，而且。
9、随着大尺寸液晶显示面板技术的快速发展，液晶显示器已逐渐成为平面电视的主流产品。0003液晶显示面板主要是利用一显示阵列提供显示功能，其中显示阵列由多个以阵列排列的次像素所构成，而各次像素包括薄膜晶体管元件、储存电容元件以及液晶电容元件等。依据半导体材料定义，薄膜晶体管元件大致上包括三大类，分别为非晶硅薄膜晶体管元件AMORPHOUSSILICONTFT,ASITFT、多晶硅薄膜晶体管元件POLYSILICONTFT以及氧化物半导体薄膜晶体管元件OXIDESEMICONDUCTORTFT。非晶硅薄膜晶体管受到非晶硅半导体材料本身特性的限制，使其电子迁移率较低而无法满足目前可见的未来更高规格显示器。
10、的需求。多晶硅薄膜晶体管受惠于其多晶硅材料的特性，于电子迁移率上有大幅的改善，至于大尺寸面板应用时会有结晶程度均匀性不佳的问题存在，故目前多晶硅薄膜晶体管元件仍以小尺寸面板应用为主。氧化物半导体薄膜晶体管元件的氧化物半导体材料一般为非晶相AMORPHOUS结构，且氧化物半导体薄膜晶体管元件的电子迁移率一般可较非晶硅薄膜晶体管元件高10倍以上，已可满足目前可见的未来高规格显示器的需求，因此目前已有使用氧化物半导体薄膜晶体管元件的液晶显示面板。0004然而，使用氧化物半导体薄膜晶体管元件的液晶显示面板至少需要进行九次光刻及蚀刻工艺PHOTOLITHOGRAPHYANDETCHINGPROCESS,。
11、PEP，也就是至少需要使用九道不同的光掩模才能制作，因此具有工艺复杂的缺点而仍待进一步改善。发明内容0005本发明的目的之一在于提供一种制作显示面板的方法，以简化显示面板的工艺复杂度。0006本发明的一实施例提供一种制作显示面板的方法，包括下列步骤。提供第一基板。于第一基板上形成第一图案化导电层，其中第一图案化导电层包括栅极。于第一基板与第一图案化导电层上形成栅极绝缘层。于栅极绝缘层上形成半导体沟道层，其中半导体沟道层与栅极在垂直投影方向上至少部分重叠。于栅极绝缘层与半导体沟道层上形成第一保护层。于第一保护层上形成图案化光致抗蚀剂层，其中图案化光致抗蚀剂层具有第一光致抗蚀剂图案、第二光致抗蚀剂。
12、图案以及多个开口，且第一光致抗蚀剂图案的厚度大于第二光致抗蚀剂图案的厚度。去除开口所暴露出的第一保护层以暴露出半导体沟道层的第一接触区与第二接触区。进行灰化工艺，移除第二光致抗蚀剂图案以部分暴露出第一保护层的上说明书CN104201152A2/7页5表面。于图案化光致抗蚀剂层上形成导电层，其中导电层与第一接触区和第二接触区接触，且导电层与图案化光致抗蚀剂层所暴露出的第一保护层的上表面接触。进行剥离工艺，移除图案化光致抗蚀剂层以及位于图案化光致抗蚀剂层上的导电层，以形成第二图案化导电层，其中第二图案化导电层包括源极与第一接触区接触、漏极与第二接触区接触以及数据线设置于第一保护层的上表面上并与源极。
13、连接。于第二图案化导电层上形成第二保护层。于第二保护层上形成像素电极，其中像素电极与漏极电性连接。0007本发明的制作显示面板的方法利用剥离工艺以同时定义出栅极绝缘层、第一保护层以及第二图案化导电层的图案，可以减少至少两道光掩模的数目，故可以简化工艺并大幅节省制作成本。再者，第一保护层以及第二图案化导电层源极与漏极的图案使用同一道光掩模定义，还可具有自行对准SELFALIGNMENT的优点，故可缩短沟道长度，进而提升开口率并使得薄膜晶体管元件具有均匀化的元件特性。附图说明0008图1至图13绘示了本发明的第一实施例的制作显示面板的方法的示意图。0009图14与图15绘示了本发明的第二实施例的制。
14、作显示面板的方法的示意图。0010图16至图18绘示了本发明的第三实施例的制作显示面板的方法的示意图。0011其中，附图标记说明如下001210第一基板10A主动区001310P周边区12第一图案化导电层0014CL共通线12P下连接垫0015GI栅极绝缘层13半导体沟道层001614第一保护层14T上表面001716光致抗蚀剂层18灰阶光掩模001818T透光区18S半透光区001918B遮光区20图案化光致抗蚀剂层0020201第一光致抗蚀剂图案202第二光致抗蚀剂图案002120A开口131第一接触区0022132第二接触区21导电层002322第二图案化导电层S源极0024D漏极TFT。
15、薄膜晶体管元件002522C连接电极22P上连接垫002624第二保护层26第三保护层0027261第一开口262第二开口002828第三图案化导电层CE共通电极002930第四保护层TH1第一接触洞0030TH2第二接触洞TH3第三接触洞003132第四图案化导电层PE像素电极003232T转接电极32B分支电极003332S狭缝40第二基板说明书CN104201152A3/7页6003442显示介质层1显示面板003523图案化辅助导电层231辅助导线0036232辅助共通线233辅助连接垫00372显示面板25导电层003822A图案化透明导电层22B图案化不透明导电层00393显示面板。
16、Z垂直投影方向0040281开口G栅极具体实施方式0041为使本领域技术人员能更进一步了解本发明，下文特列举本发明的较佳实施例，并配合所附附图，详细说明本发明的构成内容及所欲达成的功效。0042请参考图1至图13。图1至图13绘示了本发明的第一实施例的制作显示面板的方法的示意图，其中图1至图11以及图13以剖面型式绘示，图12以上视型式绘示，且图11的剖面图沿图12的剖线AA、BB与CC所绘示。如图1所示，首先提供第一基板10。第一基板10作为阵列基板或称为薄膜晶体管基板的基底。第一基板10可为硬式基板或可挠式基板，其可为例如玻璃基板、塑胶基板或石英基板，但不以此为限。第一基板10可具有一主动。
17、区10A以及一周边区10P设置于主动区10A的至少一侧。接着，于第一基板10上形成第一图案化导电层12，其中第一图案化导电层12可包括一栅极G，并可选择性包括一栅极线图未示、一共通线CL以及至少一下连接垫12P。栅极G与栅极线位于主动区10A内，其中栅极线与栅极G电性连接，用以提供栅极电压给栅极G。共通线CL位于周边区10P内，用以提供共通电压。下连接垫12P位于周边区10P内，并可与栅极线、数据线或共通线CL电性连接，作为栅极线、数据线或共通线CL等导线与驱动芯片图未示电性连接的连接垫之用。第一图案化导电层12的图案可利用一道光掩模并配合曝光、显影及蚀刻工艺加以形成。第一图案化导电层12的材。
18、料可包括不透明导电材料例如金属或合金及/或透明导电材料例如氧化铟锡ITO或氧化铟锌IZO，但不以此为限。随后，于第一基板10与第一图案化导电层12上形成栅极绝缘层GI。栅极绝缘层GI的材料可为无机绝缘材料例如氧化硅、氮化硅或氮氧化硅，或者为有机绝缘材料。之后，于栅极绝缘层GI上形成一半导体沟道层13，其中半导体沟道层13与栅极G在垂直投影方向Z上至少部分重叠。举例而言，半导体沟道层13与栅极G大体上可以完全重叠并对应，或半导体沟道层13与栅极G可仅部分重叠，且半导体沟道层13可略小于栅极G或略大于栅极G。在本实施例中，半导体沟道层13可包括氧化物半导体沟道层，其材料可包括氧化铟镓锌INDIUM。
19、GALLIUMZINCOXIDE,IGZO、氧化铟镓IGO、氧化铟锌IZO、氧化铟锡INDIUMTINOXIDE,ITO、氧化钛TITANIUMOXIDE,TIO、氧化锌ZINCOXIDE,ZNO、氧化铟INDIUMOXIDE,INO、氧化镓GALLIUMOXIDE,GAO或其它合适的半导体材料。接着，于栅极绝缘层GI与半导体沟道层13上形成第一保护层14。第一保护层14的材料可为无机绝缘材料例如氧化硅、氮化硅或氮氧化硅，或者为有机绝缘材料。0043随后，于第一保护层14上形成图案化光致抗蚀剂层。在本实施例中，于第一保护层14上形成图案化光致抗蚀剂层的步骤如图2与图3及其相关段落所示。如图2所。
20、示，于第一保护层14上形成光致抗蚀剂层16。接着设置灰阶光掩模18于光致抗蚀剂层16上方。说明书CN104201152A4/7页7灰阶光掩模18具有透光区18T、半透光区18S以及遮光区18B，其中透光区18T的透光量大于半透光区18S的透光量，且半透光区18S的透光量大于遮光区18B的透光量。举例而言，透光区18T的透光量约为100，半透光区18S的透光量约为50，而遮光区18B的透光量约为0，但不以此为限。0044如图3所示，接着以灰阶光掩模18为遮罩对光致抗蚀剂层16进行曝光及显影后形成图案化光致抗蚀剂层20，其中图案化光致抗蚀剂层20具有第一光致抗蚀剂图案201、第二光致抗蚀剂图案20。
21、2以及多个开口20A，其中第一光致抗蚀剂图案201的厚度大于第二光致抗蚀剂图案202的厚度。在本实施例中，图案化光致抗蚀剂层20至少具有两个开口20A，其分别对应一部分的半导体沟道层13。另外，若第一图案化导电层12包括共通线CL与下连接垫12P，则图案化光致抗蚀剂层20可另具有更多的开口20A，对应共通线CL与下连接垫12P。在本实施例中，光致抗蚀剂层16的材料可选用正型光致抗蚀剂，其曝光的部分在显影后可被移除，而未曝光的部分在显影后可被保留，因此透光区18T对应开口20A，遮光区18B对应第一光致抗蚀剂图案201，且半透光区18S对应第二光致抗蚀剂图案202。在一变化实施例中，光致抗蚀剂层。
22、16的材料可选用负型光致抗蚀剂，其未曝光的部分在显影后可被移除，而曝光的部分在显影后可被保留，因此透光区18T对应第一光致抗蚀剂图案201，遮光区18B对应开口20A，且半透光区18S对应第二光致抗蚀剂图案202。0045如图4所示，接着去除一部分的开口20A所暴露出的第一保护层14以部分暴露出半导体沟道层13的第一接触区131与第二接触区132，以及去除图案化光致抗蚀剂层20的另一部分的开口20A所暴露出的第一保护层14与栅极绝缘层GI以部分暴露出共通线CL以及下连接垫12P。上述步骤例如可利用蚀刻工艺加以实现。0046如图5所示，随后对图案化光致抗蚀剂层20进行灰化工艺如箭号所示，移除第二。
23、光致抗蚀剂图案202以部分暴露出第一保护层14的上表面14T。于灰化工艺之后，第一光致抗蚀剂图案201的厚度会略为缩减，但仍会覆盖第一保护层14的上表面14T的一部分。0047如图6所示，接着于图案化光致抗蚀剂层20上形成一导电层21，其中导电层21与第一接触区131和第二接触区132接触并电性连接，且导电层21与图案化光致抗蚀剂层20所暴露出的第一保护层14的上表面14T接触。另外，导电层21还可与共通线CL以及下连接垫12P接触并电性连接。0048如图7所示，随后进行剥离LIFTOFF工艺，移除图案化光致抗蚀剂层20并一并移除位于图案化光致抗蚀剂层20上的导电层21，而一部分的导电层21则。
24、会被保留在图案化光致抗蚀剂层20所暴露出来的第一接触区131、第二接触区132、第一保护层14的一部分上表面14T、共通线CL以及下连接垫12P上，以形成第二图案化导电层22。第二图案化导电层22包括源极S与第一接触区131接触并电性连接、漏极D与第二接触区132接触并电性连接，以及数据线DL设置于第一保护层14的上表面14T上并与源极S连接且电性连接。栅极G、栅极绝缘层GI、半导体沟道层13、源极S以及漏极D构成薄膜晶体管元件TFT。此外，第二图案化导电层22还可还包括连接电极22C以及上连接垫22P，其中连接电极22C与图案化光致抗蚀剂层20所暴露出的共通线CL接触并电性连接，而上连接垫2。
25、2P与图案化光致抗蚀剂层20所暴露出的下连接垫12P接触并电性连接。0049如图8所示，接着于第二图案化导电层22上形成第二保护层24。第二保护层24说明书CN104201152A5/7页8的材料可为无机绝缘材料例如氧化硅、氮化硅或氮氧化硅，但不以此为限。随后，于第二保护层24上形成第三保护层26，其中第三保护层26具有第一开口261部分暴露出对应漏极D的第二保护层24，以及第二开口262部分暴露出对应共通线CL的第二保护层24。第三保护层26的材料可包括有机绝缘材料，且较佳可为有机感光绝缘材料，其可利用曝光及显影工艺制作出第一开口261与第二开口262，但不以此为限。另外，第三保护层26可为。
26、平坦层，其具有平坦化表面，以利后续膜层的形成。0050如图9所示，于第三保护层26上形成第三图案化导电层28，其中第三图案化导电层28包括共通电极CE。第三图案化导电层28的图案可利用一道光掩模并配合曝光、显影及蚀刻工艺加以形成。第三图案化导电层28的材料可包括透明导电材料例如氧化铟锡ITO或氧化铟锌IZO，但不以此为限。在本实施例中，共通电极CE具有开口281，其中共通电极CE的开口281可对应第三保护层26的第一开口261，共通电极CE的开口281与第三保护层26的第一开口261均暴露出对应漏极D的第二保护层24，且共通电极CE的开口281较佳略大于第三保护层26的第一开口261。0051。
27、如图10所示，接着于第三保护层26、第三图案化导电层28与共通电极CE上以及第一开口261与第二开口262所暴露出的第二保护层24上形成第四保护层30。第四保护层30的材料可为无机绝缘材料例如氧化硅、氮化硅或氮氧化硅，但不以此为限。0052如图11与图12所示，移除第一开口261处的第四保护层30与第二保护层24以形成第一接触洞TH1，以部分暴露出漏极D，移除第二开口262处的第四保护层30与第二保护层24以形成第二接触洞TH2，以部分暴露出共通线CL上的连接电极22C，以及于第四保护层30中形成第三接触洞TH3，部分暴露出共通电极CE。第一接触洞TH1、第二接触洞TH2与第三接触洞TH可利用。
28、例如蚀刻工艺加以形成。随后，于第四保护层30上形成第四图案化导电层32。第四图案化导电层32包括像素电极PE以及转接电极32T，其中像素电极PE藉由第四保护层30与共通电极CE绝缘，且像素电极PE经由第一接触洞TH1与漏极D接触并电性连接，藉此像素电极PE可经由漏极D接收由数据线DL提供的像素电压；转接电极32T经由第二接触洞TH2与连接电极22C接触并电性连接以及经由第三接触洞TH3与共通电极CE接触并电性连接，藉此共通电极CE可经由转接电极32T接收由共通线CL提供的共通电压。第四图案化导电层32的图案可利用一道光掩模并配合曝光、显影及蚀刻工艺加以形成。在本实施例中，像素电极PE位于共通电。
29、极CE之上，其中像素电极PE可具有多条分支电极32B，且相邻的分支电极32B之间可具有狭缝32S，而共通电极CE大体上可为一整面电极，但不以此为限。在一变化实施例中，共通电极CE可位于像素电极PE之上，且共通电极CE可具有分支电极与狭缝，而像素电极PE可为整面电极；或者，共通电极CE与像素电极均可具有分支电极与狭缝。0053如图13所示，接着提供第二基板40，并于第一基板10与第二基板40之间形成显示介质层42，以形成本实施例的显示面板1。在本实施例中，显示介质层42选用液晶层，因此显示面板1为液晶显示面板。显示面板1另可包括其它元件，例如储存电容元件、配向膜、偏光片、彩色滤光片、驱动芯片与间。
30、隔物等，上述元件为本领域技术人员所熟知，在此不再赘述。此外，由于像素电极PE与共通电极CE均设置于第一基板10上，因此显示面板1为水平电场型液晶显示面板，例如平面电场切换型IPS液晶显示面板或边缘电场切换型FFS液晶显示面板，但不以此为限。在一变化实施例中，像素电极PE与共通电极CE可分说明书CN104201152A6/7页9别设置于第一基板10与第二基板40上，以制作出垂直电场型液晶显示面板。本发明的方法亦可应用于制作其它各种类型的非自发光型显示面板例如电泳显示面板、电湿润显示面板等，或自发光型显示面板例如有机电激发光显示面板、电浆显示面板、场发射显示面板等。0054请参考图14与图15。图。
31、14与图15绘示了本发明的第二实施例的制作显示面板的方法的示意图，其中图14所公开的方法接续图7的步骤之后进行。如图14所示，不同于第一实施例，本实施例的制作显示面板的方法还包括于形成第二图案化导电层22之后以及于形成第二保护层24之前，于第二图案化导电层22上形成图案化辅助导电层23。第二图案化导电层22以及图案化辅助导电层23系具有不同的图案。也就是说，第二图案化导电层22的图案系使用剥离工艺加以定义，而图案化辅助导电层23的图案则可利用另一道光掩模并搭配曝光、显影及蚀刻工艺加以定义。此外，第二图案化导电层22以及图案化辅助导电层23可由不同的导电材料所构成，且图案化辅助导电层23的片电阻。
32、较佳是低于第二图案化导电层22的片电阻。举例而言，在本实施例中，第二图案化导电层22的材料可包括透明导电材料例如氧化铟锡、氧化铟锡或其它适合的透明导电材料，而图案化辅助导电层23的材料可为不透明导电材料例如金属。图案化辅助导电层23可包括辅助导线231、辅助共通线232以及辅助连接垫233，其中辅助导线231可设置于数据线DL上且与数据线DL接触并电性连接，辅助共通线232可设置于连接电极22C上且与连接电极22C接触并电性连接，而辅助连接垫233可设置于上连接垫22P上且与上连接垫22P接触并电性连接。由于图案化辅助导电层23的片电阻低于第二图案化导电层22的片电阻，因此辅助导线231、辅助。
33、共通线232以及辅助连接垫233可以有效降低数据线DL、共通线CL与上连接垫22P的电阻。0055如图15所示，接着可于图案化辅助导电层23上继续形成其它的保护层与导电层等膜层，其详细步骤与细节如图8至图13及其相关公开所述，即可形成本实施例的显示面板2。0056请参考图16至图18。图16至图18绘示了本发明的第三实施例的制作显示面板的方法的示意图，其中图16所公开的方法接续图6的步骤之后进行。如图16所示，不同于第一实施例，本实施例的制作显示面板的方法还包括于图案化光致抗蚀剂层20上形成导电层21之后，再于导电层21上形成另一导电层25。在本实施例中，导电层21与导电层25分别选自透明导电。
34、层以及不透明导电层。举例而言，导电层21是选用透明导电层，而导电层25是选用不透明导电层，其中透明导电层及不透明导电层的材料可参考前述其它实施例所选用的材料，并不以限制本发明。0057如图17所示，随后进行剥离工艺，移除图案化光致抗蚀剂层20并一并移除位于图案化光致抗蚀剂层20上的导电层21与导电层25，而其它的导电层21与导电层25则会被保留在图案化光致抗蚀剂层20所暴露出来的第一接触区131、第二接触区132、第一保护层14的一部分上表面14T、共通线CL以及下连接垫12P上，以形成第二图案化导电层22。也就是说，本实施例的第二图案化导电层22包括图案化透明导电层22A以及图案化不透明导电。
35、层22B共同构成复合层图案化导电层，其中图案化不透明导电层22B堆叠于图案化透明导电层22A上并与图案化透明导电层22A接触且电性连接，且图案化透明导电层22A的图案以及图案化不透明导电层22B的图案于剥离工艺中同时被定义出来。在本实施例中，图案化透明导电层22A的材料可包括例如氧化铟锡ITO、氧化铟锌IZO或其它适合的透明说明书CN104201152A7/7页10导电材料，而图案化不透明导电层22B的材料可包括金属或合金，但不以此为限。在一变化实施例中，导电层21可选用不透明导电层，而导电层25可选用透明导电层，藉此图案化透明导电层22A堆叠于图案化不透明导电层22B上并与图案化不透明导电层。
36、22B接触且电性连接。0058如图18所示，接着可于第二图案化导电层22上继续形成其它的保护层与导电层等膜层，其详细步骤与细节如图8至图13及其相关公开所述，即可形成本实施例的显示面板3。0059综上所述，本发明的制作显示面板的方法利用剥离工艺可同时定义出栅极绝缘层、第一保护层以及第二图案化导电层的图案，可以减少至少两道光掩模的数目，故可以简化工艺并大幅节省制作成本。再者，第一保护层以及第二图案化导电层源极与漏极的图案使用同一道光掩模定义，还可具有自行对准SELFALIGNMENT的优点，故可缩短沟道长度，进而提升开口率并使得薄膜晶体管元件具有均匀化的元件特性。0060以上所述仅为本发明的较佳。
37、实施例，凡依本发明权利要求所做的均等变化与修饰，皆应属本发明的涵盖范围。说明书CN104201152A101/10页11图1图2说明书附图CN104201152A112/10页12图3图4说明书附图CN104201152A123/10页13图5图6说明书附图CN104201152A134/10页14图7图8说明书附图CN104201152A145/10页15图9图10说明书附图CN104201152A156/10页16图11说明书附图CN104201152A167/10页17图12说明书附图CN104201152A178/10页18图13图14说明书附图CN104201152A189/10页19图15图16说明书附图CN104201152A1910/10页20图17图18说明书附图CN104201152A20。