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1、10申请公布号CN104078304A43申请公布日20141001CN104078304A21申请号201410105380522申请日20140320201307044120130328JP201404845120140312JPH01J61/3520060171申请人株式会社杰士汤浅国际地址日本国京都府72发明人细谷浩二片桐毅畑濑和也74专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人刘建54发明名称紫外线灯57摘要本发明提供一种紫外线灯，其能够将期望的波长的紫外线从放电容器内向外部射出，并且能够在放电容器中的与光射出部对应的整个区域内防止由短波长的紫外线引起的玻璃的劣化。该紫外。
2、线灯具备放电容器1；一对电极2，其在所述放电容器1的外表面处以夹着密封空间13的方式对置形成；光射出部3，其使在所述密封空间13内通过放电产生的光向所述放电容器外射出；及放电容器保护膜5，其供波长以上的紫外线透过，并且发射或吸收不足波长的紫外线，至少形成在所述放电容器1的内表面中的与所述光射出部3对应的区域内。30优先权数据51INTCL权利要求书1页说明书7页附图5页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书7页附图5页10申请公布号CN104078304ACN104078304A1/1页21一种紫外线灯，其特征在于，所述紫外线灯具备放电容器，其由透光性玻璃构成，并。
3、在内部具有封入有规定气体的密封空间；至少一对电极，它们形成在所述放电容器的外表面；光射出部，其使在所述密封空间内通过放电产生的光向所述放电容器外射出；及放电容器保护膜，其供波长以上的紫外线透过，并且反射或吸收不足波长的紫外线，所述放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的至少与所述光射出部对应的区域内。2根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，所述放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部对应的区域内，所述紫外线灯还具备紫外线反射膜，该紫外线反射膜反射紫外线，形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部以外的部分对应的区域内。3根据权利要求1或2所述的紫外线灯，其中，所述波长是1。
4、65NM以上且175NM以下的波长。4根据权利要求1至3中任一项所述的紫外线灯，其中，所述紫外线反射膜由颗粒直径大于所述波长的SIO2形成。5根据权利要求1至4中任一项所述的紫外线灯，其中，所述放电容器保护膜由颗粒直径小于所述波长且颗粒直径为160NM以上的SIO2形成。6根据权利要求1至4中任一项所述的紫外线灯，其中，所述放电容器保护膜是由AL2O3形成的紫外线透过膜。7根据权利要求1至4中任一项所述的紫外线灯，其中，所述放电容器保护膜是由MGO、CAF2或MGF2中的任一者形成的单层反射膜。8根据权利要求1至7中任一项所述的紫外线灯，其特征在于，所述紫外线灯为准分子灯，在所述放电容器内产生。
5、准分子放电。权利要求书CN104078304A1/7页3紫外线灯技术领域0001本发明涉及一种紫外线灯，其构成为将在玻璃制的放电容器内产生的紫外线从光射出部向外部射出。背景技术0002例如，为了基板的清洗、墨的固化等这样的用途而使用有用于照射紫外线的紫外线灯。作为这样的紫外线灯100A的一个例子，如专利文献1及图6所示而具有如下结构，即，紫外线灯100A具备大致扁平长方体形状的放电容器1A，其在内部具有封入有稀有气体的密封空间13A；及网眼状的一对电极2A，它们设置为与放电容器1A的外表面11A对置，将在所述放电容器1A中设有一方的网眼状电极22A的面设为光射出部3A，将在内部产生的紫外线向放。
6、电容器1A外取出。另外，该结构设置为将在放电容器1A产生的紫外线仅从所述光射出部3A射出，为了提高光的取出效率，在放电容器1A的内表面12A中的除与光射出部3A对应的部分以外形成有由SIO2构成的紫外线反射膜4A。0003然而，在放电容器1A内产生的紫外线不仅产生符合基板的清洗、墨的固化等这样的目的所期望的波长区域的紫外线，还一并产生与其相比短波长的紫外线。并且，该短波长的紫外线被形成在放电容器1A的内表面12A的紫外线反射膜4A反射，因此仅向放电容器1A的内表面12A中的与光射出部3A对应的部分照射。0004当该短波长的紫外线向形成放电容器1A的玻璃照射时，玻璃的劣化逐渐加剧，首先降低紫外线。
7、的透过率，使紫外线的取出效率下降。进而，当玻璃的劣化加剧时，在放电容器1A产生裂缝且形成灯故障，需要更换。0005近年来，期望提高运转率而使灯整体降低成本，因此谋求通过消除该光射出部3A中的因短波长的紫外线引起的玻璃的劣化、或缓解该劣化以能够降低灯的更换频率。0006为了防止这样的光射出部3A中的形成放电容器1A的玻璃的劣化，在专利文献2所示的具备双重圆筒管构造的放电容器1A的紫外线灯100A中，形成为在放电容器1A的内表面12A形成的紫外线反射膜4A覆盖到光射出部3A的一部分为止。0007具体来说，该结构设为，如图7所示，在放电容器1A的内侧管的内表面11A形成第一固体电极21A，在放电容器。
8、1A的外侧管的外表面11A以横向剖视观察下呈C字状的方式形成第二固体电极22A，将没有形成第二固体电极22A的开口部分作为光射出部3A。并且，在放电容器1A的外侧管的内表面12A中的与第二固体电极22A对应的部分、及在放电容器1A的外侧管的内表面12A中的第二固体电极22A附近、即所述光射出部3A的一部分形成有紫外线反射膜4A。0008即，在专利文献2中，通过将光射出部3A中的特别容易产生由紫外线引起的玻璃的劣化的、外侧管的内表面12A的第二固体电极22A附近的一部分由紫外线反射膜4A来覆盖，从而能够实现长寿命化。0009然而，在上述结构中，对于在光射出部3A中没有形成紫外线反射膜4A的区域来。
9、说，由于受到短波长的紫外线的照射，因此无法完全地防止光射出部3A中的劣化。反过来说明书CN104078304A2/7页4说，当为了防止光射出部3A中的整个区域内的由短波长引起的紫外线的劣化，当在放电容器1A中的与光射出部3A对应的部分全部将紫外线反射膜4A形成于内表面12A时，无法实现将在放电容器1A的内部产生的紫外线经由光射出部3A而向外部大部分取出，无法发挥紫外线灯100A原本的功能。0010在先技术文献0011专利文献0012专利文献1日本特开2012243435号公报0013专利文献2日本特开2010218833号公报发明内容0014发明要解决的课题0015本发明是鉴于上述那样的问题而。
10、完成的，其目的在于提供一种紫外线灯，作为紫外线灯，能够将期望的波长的紫外线从放电容器内向外部射出，并且在放电容器中的与光射出部对应的整个区域内防止由短波长的紫外线引起的玻璃的劣化，能够消除或进一步缓解紫外线的取出效率的降低、裂缝的产生等。0016解决方案0017即，本发明的紫外线灯的特征在于，所述紫外线灯具备放电容器，其由透光性玻璃构成，并在内部具有封入有规定气体的密封空间；至少一对电极，它们形成在所述放电容器的外表面；光射出部，其使在所述密封空间内通过放电产生的光向所述放电容器外射出；及放电容器保护膜，其供波长以上的紫外线透过，并且反射或吸收不足波长的紫外线，所述放电容器保护膜形成在所述放电。
11、容器的内表面中的至少与所述光射出部对应的区域内。0018根据这样的结构，由于供波长以上的紫外线透过、并且反射或吸收不足波长的紫外线的放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部对应的区域内，因此将必要波长以上的紫外线向外部取出，并且不会向放电容器中的与光射出部对应的部分直接照射不足波长的紫外线。0019即，能够利用所述放电容器保护膜来防止如下所述的情况对无法防止现有玻璃的劣化加剧的放电容器中的与光射出部对应的区域照射短波长的紫外线即不足波长的紫外线。因而，与以往相比，能够在长期间内防止在放电容器中的与光射出部对应的部分处的紫外线的透过率的降低、裂缝的产生。0020如此，根据本发明。
12、，能够保持紫外线灯原本的功能，并且防止形成放电容器的玻璃的劣化，实现长寿命化。因而，减少紫外线灯的更换频率，例如提高生产线的运转率。0021为了使在所述密封空间内产生且想向外部取出的波长以上的紫外线向所述光射出部集中而提高取出效率，并且不会使在所述密封空间内产生的短波长的紫外线到达至放电容器，能够防止针对放电容器中的任何部分产生由短波长紫外线引起的玻璃的劣化，进行如下设置即可所述放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部对应的区域内，所述紫外线灯还具备紫外线反射膜，该紫外线反射膜反射紫外线，形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部以外的部分对应的区域内。0022作为例如将适。
13、用于基板的清洗的波长区域的紫外线从所述光射出部射出、并且用说明书CN104078304A3/7页5于能够防止形成所述放电容器的玻璃的劣化的波长的具体例，举出所述波长是165NM以上且175NM以下的波长。0023作为在所述紫外线反射膜中用于不使从光射出部射出且期望的波长区域的紫外线透过而被反射、并且使形成放电容器的玻璃劣化的短波长的紫外线也被反射的具体的结构例，举出所述紫外线反射膜由颗粒直径大于所述波长的SIO2形成的例子。0024作为在所述放电容器保护膜中用于反射或吸收使玻璃劣化的短波长的紫外线中的、特别是比使劣化加剧的波长要短的波长的紫外线、并且作为期望的波长区域的紫外线而仅供具有比波长要。
14、长的波长的紫外线透过的具体结构例，只要所述放电容器保护膜由颗粒直径小于所述波长且颗粒直径为160NM以上的SIO2形成即可。0025在所述放电容器保护膜中，为了使比波长要长的波长的紫外线透过、并且使比波长要短的波长的紫外线被吸收，只要所述放电容器保护膜是由AL2O3形成的紫外线透过膜即可。0026作为所述放电容器保护膜的其他形态，在所述放电容器保护膜中，为了使比波长要长的波长的紫外线透过，并且使比波长要短的波长的紫外线被反射，只要所述放电容器保护膜是由MGO、CAF2或MGF2中的任一者形成的单层反射膜即可。0027发明效果0028如此，根据本发明的紫外线灯，对于所述放电容器的内表面中的至少与。
15、所述光射出部对应的区域，形成有供波长以上的紫外线透过、并且反射或吸收不足波长的紫外线的所述放电容器保护膜，能够防止现有未被保护的光射出部中的形成放电容器的玻璃的劣化，能够实现长寿命化。附图说明0029图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的紫外线灯的使用状态的示意性立体图。0030图2是表示上述实施方式中的紫外线灯的内部构造的示意性剖视图。0031图3是表示本发明的第二实施方式所涉及的紫外线灯的内部构造的示意性剖视图。0032图4是表示本发明的第三实施方式所涉及的紫外线灯的内部构造的示意性剖视图。0033图5是表示本发明的第四实施方式所涉及的紫外线灯的内部构造的示意性剖视图。0034图6是表示现。
16、有的紫外线灯的内部构造的示意性剖视图。0035图7是表示另一现有的紫外线灯的内部构造的示意性剖视图。0036附图标记说明如下0037100紫外线灯00381放电容器003911外表面004012内表面004113密封空间说明书CN104078304A4/7页600422一对电极00433光射出部00444紫外线反射膜00455放电容器保护膜具体实施方式0046参照图1及图2对本发明的第一实施方式的紫外线灯准分子灯进行说明。0047第一实施方式的紫外线灯100将通过电介质势垒放电而产生的紫外线向基板照射而用于去除有机物。0048即，如图1的立体图所示，从大致扁平长方体形状的所述紫外线灯100向下。
17、侧照射紫外线，形成带状的紫外线照射区域。然后，以横切该紫外线照射区域的方式搬运工件，从而对工件照射紫外线。0049接下来，对该紫外线灯100的详细结构进行说明。0050如图2的横向剖视图所示，所述紫外线灯100具备放电容器1，其由透光性玻璃构成，并呈在内部具有密封空间13的大致中空长方体形状；一对电极2，它们分别形成在所述放电容器1的对置的宽度较广的上下面的外表面11；及光射出部3，其设定在所述放电容器1的下侧面，供在所述密封空间13内通过放电产生的光向所述放电容器1外射出。0051另外，该紫外线灯100形成有紫外线反射膜4与放电容器保护膜5这两种膜，该紫外线反射膜4形成在放电容器1的内表面1。
18、2中的与所述光射出部3以外的部分对应的部分，该放电容器保护膜5形成在所述放电容器1的内表面12中的与所述光射出部3对应的部分。另外，第一实施方式的紫外线反射膜4构成为将在所述密封空间13产生的紫外线与其波长无关地大致全部反射或吸收，与此相对地，所述放电容器保护膜5构成为使规定的波长区域的紫外线透过、并且对与规定的波长区域相比短波长的紫外线进行反射或吸收。即，在所述放电容器1的内表面12分别形成有特性不同的紫外线反射膜4及放电容器保护膜5。0052对各部分进行详细说明。0053所述放电容器1由石英玻璃形成且具有透光性，在密封空间13内封入有作为稀有气体的氙气。0054所述一对电极2是相对于所述放。
19、电容器1的宽度较广面即上下面的外表面11而形成的网眼状电极，在各电极21、22间施加规定的高频高电压的电压，从而在所述密封空间13内产生电介质势垒放电。由于在所述密封空间13内封入有氙气，因此当产生电介质势垒放电时，产生峰值为172NM且具有规定展宽的波长区域的紫外线。另外，所述一对电极2分别形成为网眼状，因此能够使在所述密封空间13内产生的紫外线通过电极22的空隙部分而逐渐排出到外部。0055如图2所示，所述紫外线反射膜4形成为放电容器1的内表面12上的与在放电容器1的上表面形成的一方的网眼状的电极21对置的面、及放电容器1的内表面12上的一对宽度较窄的左右侧面。即，所述紫外线反射膜4形成为。
20、全部覆盖除内表面12上的与在放电容器1的下表面形成的另一方的网眼状的电极22对置的面以外的部分。0056另外，该紫外线反射膜4构成为对作为规定的波长区域的光而在所述密封空间13说明书CN104078304A5/7页7中通过电介质势垒放电而产生的大致全部的波长区域的紫外线进行反射或吸收。更具体来说，所述紫外线反射膜4由颗粒直径比所述规定的波长区域中最长的波长大的SIO2形成。如此，由于构成紫外线反射膜4，因此在密封空间13中产生的大致全部的紫外线与构成紫外线反射膜4的SIO2的颗粒碰撞，进行反射或吸收。因而，紫外线几乎不会到达放电容器1的形成有紫外线反射膜4的内表面12。0057所述放电容器保护。
21、膜5构成为形成在内表面12上的与在放电容器1的下表面处形成的另一方的网眼状的电极22对置的面，供波长以上的紫外线透过、并且对不足波长的波长的紫外线进行反射或吸收。在第一实施方式中，为了仅使在所述密封空间13内产生的紫外线中的、作为照射用途而有效的波长成分透过，而将所述波长设定为170NM。换言之，由于将所述波长设定为170NM，因此该放电容器保护膜5至少可供在密封空间13产生的紫外线的峰值波长即172NM及其附近的波长的紫外线透过。因而，不会遮挡在基板的清洗等中显示优异效果的波长区域的光而将其向外部射出。0058另一方面，对于使形成放电容器1的玻璃的劣化加剧的波长区域的紫外线、即不足160NM。
22、的波长的短波长的紫外线，设定为不使其到达该放电容器1地被反射或吸收。即，由于具有不足160NM的波长的紫外线被所述放电容器保护膜5反射或吸收，因此不会到达至放电容器1。0059为了获得这样的透过特性和反射、吸收特性，该放电容器保护膜5由颗粒直径比所述紫外线反射膜4小的SIO2形成。更具体来说，在本第一实施方式中，所述放电容器保护膜5由颗粒直径比所述波长即170NM小且颗粒直径为160NM以上的SIO2形成。因而，比160NM长且不足170NM的波长的紫外线不与形成放电容器保护膜5的SIO2发生碰撞，到达放电容器1而向外部射出，另一方面比160NM短的波长的紫外线与形成放电容器保护膜5的SIO2。
23、发生碰撞，被反射或吸收，不会到达所述放电容器1。0060如此，在所述放电容器1的内表面12中，仅形成有放电容器保护膜5的部分供在密封空间13产生的峰值波长及其附近的波长区域的紫外线透过，形成有向外部射出紫外线的光射出部3。反而言之，也可以说在放电容器1中的想要形成光射出部3的部分的内表面12形成放电容器保护膜5，在不想形成光射出部3的部分的内表面12形成有所述紫外线反射膜4。另外，也可以说，形成所述紫外线反射膜4的SIO2的颗粒直径具有大于所述波长的颗粒直径，以便对在密封空间13产生的紫外线的大致全部进行反射或吸收。0061根据如此构成的第一实施方式的紫外线灯100，在放电容器1的内表面12的。
24、全部形成有所述紫外线反射膜4或所述放电容器保护膜5中的任一者，因此在密封空间13内产生的至少具有比160NM短的波长、具备使形成所述放电容器1的玻璃劣化的作用的紫外线在所述紫外线反射膜4或所述放电容器保护膜5处被反射或吸收，从而不会到达放电容器1。0062因而，能够降低使形成放电容器1的玻璃劣化而想要向外部射出的期望的波长区域的紫外线的透过率，并且在长期间内防止劣化加剧而在放电容器1上产生裂缝，变得无法保持密封空间13而形成灯故障。因此，能够实现紫外线灯100的长寿命化，能够降低相对于光源箱101而更换紫外线灯100的频率，能够提高生产线的工件的处理效率。0063另外，所述放电容器保护膜5将颗。
25、粒直径形成得比170NM小，因此能够使期望的波长区域即172NM及其附近的波长区域的紫外线透过，因此，即便在放电容器1的与光射出部说明书CN104078304A6/7页83对应的内表面12的整个区域内形成有所述放电容器保护膜5，也能够使所需的紫外线向外部射出。换言之，通过形成所述放电容器保护膜5，不会降低应对工件照射的波长区域的紫外线的取出效率，不会损害作为光射出部3的功能。0064综上所述，根据第一实施方式的紫外线灯100，不会降低基板的清洗、墨的固化等这样的工件的处理能力，能够实现长寿命化。0065接下来，参照图3对第二实施方式的紫外线灯100进行说明。需要说明的是，在第二实施方式中，对与。
26、第一实施方式对应的构件标注相同的附图标记。0066第二实施方式的紫外线灯100与第一实施方式相比，所述放电容器保护膜5不同，其他部分共用。0067更具体来说，第二实施方式的所述放电容器保护膜5是由AL2O3形成的紫外线透过膜，构成为供波长以上的紫外线透过并且吸收比波长短的波长的紫外线。在此，由于AL2O3的紫外线的吸收端为160NM附近，因此在使用该放电容器保护膜5的情况下，能够使波长比160NM附近长的紫外线透过，并且使波长比160NM附近短的紫外线在该放电容器保护膜5处被吸收。0068使用上述的结构，也能够获得与第一实施方式相同的效果，能够实现紫外线灯100的长寿命化。0069接下来，参照。
27、图4对第三实施方式的紫外线灯100进行说明。需要说明的是，在第三实施方式中，对与第一实施方式对应的构件标注相同的附图标记。0070第三实施方式的紫外线灯100与第一实施方式相比，也是所述放电容器保护膜5不同，其他部分共用。0071更具体来说，第三实施方式的所述放电容器保护膜5是由MGO、CAF2或MGF2中的任一者形成的单层反射膜，构成为供波长以上的紫外线透过并且反射与波长相比波长较短的紫外线。0072使用上述的结构，也能够获得与第一实施方式相同的效果。0073接着，参照图5对第四实施方式的紫外线灯100进行说明。需要说明的是，在第四实施方式，对与第一实施方式对应的构件标注相同的附图标记。00。
28、74第四实施方式的紫外线灯100与第一实施方式相比，在放电容器1中使设有所述光射出部3的面不同，构成为紫外线从放电容器1的宽度较窄的侧面射出。即，使在放电容器1的内表面12形成的紫外线反射膜4及放电容器保护膜5的位置与第一实施方式不同。0075更具体来说，如图5所示，所述紫外线反射膜4形成为全部覆盖与各电极21、22对置的内表面12的面及与一方的宽度较窄的面对置的内表面12，并且所述放电容器保护膜5形成为全部覆盖与所述光射出部3对应的部分即与另一方的宽度较宽的面对置的内表面12。0076如此，通过适当地设定形成所述紫外线反射膜4及所述放电容器保护膜5的场所，能够在任意的位置设定光射出部3，并且。
29、能够实现放电容器1的长寿命化。即，光射出部3的位置未必由所述电极21、22规定，也能够自由地设定。0077对其他实施方式进行说明。0078在所述各实施方式中，采用具有扁平长方体形状的放电容器的、使用有该放电容器的结构，本发明也能够适用图7所示那样的具备双重圆筒管形状的放电容器的紫外线说明书CN104078304A7/7页9灯。即，在图7中，在放电容器的内表面中与光射出部对应的部分的整个区域范围内形成各实施方式所记载的放电容器保护膜，从而与以往相比能够实现紫外线灯的长寿命化，并且能够使期望的波长区域的紫外线从光射出部射出。0079在所述各实施方式中，各电极采用了网眼状的电极，但例如在无须穿过电极。
30、而射出紫外线的情况下，也可以使用固体电极。另外，封入到放电容器内的气体也可以是除氙以外的氪等稀有气体。另外，也可以是卤化后的稀有气体等。在这种情况下，只要与产生的紫外线的波长区域相吻合，选择所述紫外线反射膜及所述放电容器保护膜的特性即可。0080在所述各实施方式中记载的波长为一个例子，只要与想要对工件照射的紫外线的波长区域、及不想使其到达至所述放电容器的紫外线的波长区域相应地设定波长即可。另外，对于波长，也可以根据放电容器所使用的透光性玻璃的性质来决定。采用所述实施方式，也可以通过将不足160NM的波长的紫外线反射、并且使160NM以上的波长的紫外线透过的方式形成放电容器保护膜。0081例如，作为用于在基板的清洗等中获得优选清洗效果、防止放电容器的劣化、实现紫外线灯的长寿命化的具体例，也举出有所述波长为165NM以上且175NM以下的波长的结构。0082此外，也可以在不违反本发明的主旨的范围内进行各种实施方式的变形、组合。说明书CN104078304A1/5页10图1图2说明书附图CN104078304A102/5页11图3图4说明书附图CN104078304A113/5页12图5说明书附图CN104078304A124/5页13图6说明书附图CN104078304A135/5页14图7说明书附图CN104078304A14。