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本发明公开了一种光掩模、及图案形成方法。本发明的目的在于:提供一种光掩模,该光掩模能够形成较好再现的相互交叉或者合流的多个狭缝图案。光掩模,在透过性衬底上,包括:彼此间隔相同分开设置的3个以上的叠片状第1遮光部分110a、与第1遮光部分110a邻接形成的第3遮光部分110c、以及被第1遮光部分110a和第3遮光部分110c包围形成的狭缝状第1透光部分。第3遮光部分110c,以包含距3个以上的所述第。