物品运送设备技术领域
本发明涉及物品运送设备，装备有沿着悬吊在天花板上的行驶轨道行驶并运送容器的物品运送车，该物品运送车具备支撑前述容器的支撑部。
背景技术
上述这种物品运送设备的一例记载在日本国特开2012－044033号公报（专利文献1）中。在专利文献1的物品运送设备中，在物品运送车所行驶的行驶路径的侧方具备保管物品的容器保管部，该容器保管部装备有从排放部排放惰性气体的惰性气体供给装置。这样，在专利文献1的物品运送设备中，由于容器保管部具备惰性气体供给装置，所以利用将容器向容器保管部中保管的时间向容器内供给惰性气体。
若加以说明，则在物品运送车上装备有使支撑容器的支撑部升降移动的升降驱动部，在容器保管部上装备有使排放部水平方向移动的水平驱动部。而且，在物品运送车相对于容器保管部停止在了预先设定的行驶停止位置后，由水平驱动部使排放部沿着水平方向突出移动到排放部位于由物品运送车的支撑部支撑着的容器的正下方，之后，由升降驱动部使支撑部下降移动，将排放部与容器相连。
这样，通过水平驱动部进行的排放部的水平移动和升降驱动部进行的支撑部的升降移动，将支撑部与排放部的位置关系在排放部与由支撑部支撑的容器相连的连接用位置关系，和使排放部与由支撑部支撑的容器分离的分离用位置关系之间切换。
顺便说一句，在专利文献1的物品运送设备中，通过由水平驱动部使排放部沿着水平方向突出移动，向排放部供给惰性气体的氮气供给路在中途被分断。因此，惰性气体供给装置成为了在由水平驱动部使排放部沿着水平方向突出移动的状态不能够从排放部排放惰性气体的结构。
因此，在专利文献1的物品运送设备中，为了从排放部排放惰性气体并向容器内供给惰性气体，天花板运送车在将容器与排放部相连后解除支撑部相对于容器进行的支撑，惰性气体供给装置由水平驱动部使排放部沿着水平方向退出移动，使氮气供给路的中途连接。在以往的物品运送设备中，惰性气体供给装置在这样使排放部退出移动后从排放部排放惰性气体并向容器内供给惰性气体。
在上述以往的物品运送设备中，在物品运送车将容器运送到物品保管部后，使应运送下一个容器的物品运送车从行驶停止位置行驶。而且，在从物品保管部运送容器的情况下，在使其它的物品运送车行驶到该行驶停止位置后，由该物品运送车从物品保管部向其它的场所运送。
在物品保管部中，当将由惰性气体供给装置供给了惰性气体的容器向其它的场所运送时，在使其它的物品运送车行驶到行驶停止位置后，使物品运送车的升降驱动部或惰性气体供给装置的水平驱动部驱动，使支撑部和排放部相对移动到成为能够由支撑部支撑容器的位置关系，进而，为了使排放部与容器分离，必须要使支撑部和排放部相对移动。因此，难以将由惰性气体供给装置供给了惰性气体的容器迅速地向其它的场所运送。
为此，要求能够将由惰性气体供给装置供给了惰性气体的容器迅速地向其它的场所运送的物品运送设备。
发明内容
鉴于上述要求的物品运送设备的特征结构在于，具备沿着悬吊在天花板上的行驶轨道行驶并运送容器的物品运送车，前述物品运送车具备支撑前述容器的支撑部，
装备有从排放部排放惰性气体的惰性气体供给装置，前述排放部位于前述物品运送车所行驶的行驶路径的侧方或者下方，装备有使前述排放部相对于前述支撑部相对移动的连接用驱动装置，将前述支撑部与前述排放部的位置关系在前述排放部与由前述支撑部支撑的前述容器相连的连接用位置关系，和使前述排放部与由前述支撑部支撑的前述容器分离的分离用位置关系之间切换，在维持前述支撑部与前述排放部的位置关系被前述连接用驱动装置切换成前述连接用位置关系后的前述排放部与前述容器的连接的状态下，前述惰性气体供给装置从前述排放部排放惰性气体。
根据该特征结构，在使物品运送车行驶到与惰性气体供给装置相对应的位置的状态下，通过由连接用驱动装置使排放部相对于支撑部相对移动，将支撑部与排放部的位置关系向连接用位置关系切换，能够将排放部与由物品运送车的支撑部支撑着的容器相连。
此外，在使物品运送车行驶到与惰性气体供给装置相对应的位置的状态下，通过由连接用驱动装置使排放部相对于支撑部相对移动，将支撑部与排放部的位置关系向分离用位置关系切换，能够使排放部与由物品运送车的支撑部支撑着的容器分离。
而且，由于在维持支撑部与排放部的位置关系切换成连接用位置关系后的排放部与容器的连接的状态下，排放部与容器相连，所以在该状态下，通过惰性气体供给装置从排放部排放惰性气体，能够向容器内供给惰性气体。
此外，在这样向容器内供给惰性气体的期间，物品运送车位于与惰性气体供给装置相对应的位置。因此，仅通过由连接用驱动装置将支撑部与排放部的位置关系向分离用位置关系切换，即成为容器由物品运送车的支撑部支撑的状态，物品运送车成为能够由支撑部支撑着容器行驶的状态。因此，能够由物品运送车将由惰性气体供给装置供给了惰性气体的容器迅速地向其它的场所运送。
附图说明
图1是物品运送设备的侧视图；
图2是天花板运送车停止在了运送用停止位置的物品运送设备的侧视图；
图3是天花板运送车停止在了运送用停止位置的物品运送设备的侧视图；
图4是停止在了供给用停止位置的天花板运送车的主视图；
图5是停止在了供给用停止位置的天花板运送车的侧视图；
图6是接收控制的流程图；
图7是交接控制的流程图；
图8是供给控制的流程图；
图9是其它实施方式（1）中的天花板运送车以及氮气供给装置的要部主视图；
图10是其它实施方式（2）中的天花板运送车以及氮气供给装置的要部侧视图；
图11是其它实施方式（3）中的天花板运送车以及氮气供给装置的要部侧视图；
图12是其它实施方式（4）中的天花板运送车以及氮气供给装置的主视图；
图13是其它实施方式（4）中的天花板运送车以及氮气供给装置的主视图。
附图标记说明：
1a：载置台（运送对象场所），2：行驶轨道，3：天花板运送车（物品运送车），4：氮气供给装置（惰性气体供给装置），18：支撑机构（支撑部），27：排放喷嘴（排放部），30：连接用马达（连接用驱动装置），W：容器。
具体实施方式
基于附图对物品运送设备的实施方式进行说明。
如图1所示，在物品运送设备中设置有以经由多个处理装置1的状态悬吊在天花板上的行驶轨道2，并设有沿着该行驶轨道2行驶、在多个处理装置1之间运送容器W的天花板运送车3（物品运送车）。此外，在物品运送设备中装备有将作为惰性气体的氮气向天花板运送车3所支撑的容器W供给的氮气供给装置4（惰性气体供给装置）。
另外，在本实施方式中，将收容半导体基板的FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）作为容器W。
处理装置1是相对于半导体基板的制造中途的半成品等进行规定的处理的装置，该处理装置1中的载置支撑容器W的载置台1a相当于成为天花板运送车3运送容器W的运送起始地或者运送目的地的运送对象场所。载置台1a位于天花板运送车3所行驶的行驶路径的正下方。氮气供给装置4设在相对于载置台1a在行驶路径的长度方向上偏离的场所。另外，行驶路径是指沿着行驶轨道2行驶的天花板运送车3以及由其支撑的容器W移动的空间。
〔容器〕
如图4以及图5所示，容器W中装备有收容多片半导体基板的容器主体部6，位于比该容器主体部6靠上方、装备在容器W的上端部的凸缘部7（被支撑部），和关闭形成在容器主体部6的前表面上的基板取出放入用的基板出入口的装卸自如的盖体（未图示）。
如图4所示，在容器主体部6的底面（容器W的底面）具备向上方凹入的三个底面凹部8（被卡合部）。该底面凹部8形成为越接近上方越细的尖细形状，底面凹部8的内表面形成为倾斜面。即、底面凹部8形成为向上方凹进、随着接近上方而宽度（开口宽度）变窄的形状。
当容器W由天花板运送车3向载置台1a运送并且容器W放置在载置台1a上时（参照图3），装备在载置台1a上的定位部件9从下方与该底面凹部8卡合。在容器W由天花板运送车3放置在载置台1a上时，容器W相对于载置台1a在水平方向上偏离的情况下，通过定位部件9被底面凹部8的内表面导向，容器W相对于载置台1a的水平方向上的位置向正确的位置修正。
而且，在容器W载置支撑在载置台1a上的状态下，成为了定位部件9从下方卡合在该容器W的底面凹部8中的状态，通过卡合在底面凹部8中的三个定位部件9，限制了容器W水平方向上的位置偏离，并且由卡合在底面凹部8中的三个定位部件9载置支撑。
如图5所示，在凸缘部7的上表面（容器W的上表面）上形成有向下方凹入的上表面凹部10。该上表面凹部10形成为越接近下方越细的尖细形状，上表面凹部10的内表面形成为倾斜面。
该上表面凹部10构成为当在容器W载置在载置台1a上的状态下天花板运送车3使支撑机构18下降移动时，装备在支撑机构18上的按压部18c卡合。而且，当天花板运送车3使支撑机构18下降移动时，支撑机构18相对于载置支撑在载置台1a上的容器W在水平方向上偏离的情况下，通过按压部18c被上表面凹部10的内表面导向，支撑机构18相对于容器W的水平方向上的位置向正确的位置修正。
如图5所示，在容器W的底面具备用于将从氮气供给装置4的排放喷嘴27排放的氮气向容器W内供气的供气口11（供气部），和用于将容器W内的气体排出的排气口12。在供气口11上装备有供气用开闭阀（未图示），在排气口12上装备有排气用开闭阀（未图示）。也就是说，容器W通过用盖体将基板出入口关闭，用开闭阀将供气口11以及排气口12各自关闭而具有气密性。在本实施方式中，排放喷嘴27相当于“排放部”。
而且，供气口11的供气用开闭阀被弹簧等施力体施力而关闭，在供气口11上连接有氮气供给装置4的排放喷嘴27，若氮气从该排放喷嘴27喷出，则通过该喷出的氮气的压力，供气用开闭阀被操作打开，氮气向容器W内供给。
此外，排气口12的排气用开闭阀被弹簧等施力体施力而关闭，若通过氮气供给装置4进行的氮气的供给，容器W内的压力增高，则排气用开闭阀被操作打开，容器W内的气体被排气。
〔天花板运送车〕
如图4以及图5所示，天花板运送车3具备在行驶轨道2上沿着该行驶轨道2行驶的行驶部15，和以位于行驶轨道2的下方的方式悬吊支撑在行驶部15上并且支撑容器W升降移动自如的主体部16。
在主体部16上具备作为支撑容器W的支撑部的支撑机构18，使支撑机构18升降移动的升降操作机构19，和覆盖由处于上升位置的支撑机构18支撑的容器W的上方一侧以及路径前后一侧的罩体20。
升降操作机构19在顶端部具备卷绕连结支撑着支撑机构18的卷取带19a的卷绕体19b，和驱动该卷绕体19b旋转的升降用马达19c。而且，升降操作机构19通过由升降用马达19c驱动卷绕体19b正反向旋转，操作卷取带19a卷取以及送出，使支撑机构18以及由其支撑的容器W升降移动。
在支撑机构18上装备有绕横轴心摆动自如的一对把持爪18a，使一对把持爪18a绕横轴心摆动的把持用马达18b（切换驱动部），和当使支撑机构18下降移动时从上方相对于位于运送起始地的容器W按压而确定支撑机构18相对于容器W的位置的按压部18c。支撑机构18通过由一对把持用马达18b使一对把持爪18a以相互接近远离地移动的方式摆动，在使一对把持爪18a相互接近而支撑容器W的凸缘部7的支撑状态，和使把持爪18a相互离开而解除相对于凸缘部7的支撑的支撑解除状态之间切换自如。
一对把持爪18a分别由其下端部从下方支撑凸缘部7。而且，在由一对把持爪18a支撑凸缘部7的状态下，把持爪18a的上下方向的中央部位于凸缘部7的侧方。另外，把持爪18a的下端部相当于支撑凸缘部7的支撑体，把持爪18a的上下方向的中央部在由一对把持爪18a的下端部支撑凸缘部7的状态下位于凸缘部7的侧方，相当于限制凸缘部7向水平方向的移动的限制部。
〔氮气供给装置〕
如图4以及图5所示，氮气供给装置4具备设置在天花板上、位于比天花板运送车3的行驶路径靠上方的装置主体22，和悬吊支撑在装置主体22上、延伸设置到比天花板运送车3的行驶路径靠下方的喷嘴支撑体23。
此外，氮气供给装置4装备有使氮气通流的氮气供给路25，配备在该氮气供给路25的中途的切换阀26，配备在氮气供给路25的下游侧端部、与容器W的供气口11相连的排放喷嘴27，与容器W的排气口12相连的排气喷嘴28，以及检测排放喷嘴27与容器W的供气口11相连的状态的连接传感器29。
氮气供给路25从氮气的供给源经由装置主体22延伸设置到喷嘴支撑体23的下端部。切换阀26装备在装置主体22上，排放喷嘴27、排气喷嘴28以及连接传感器29由喷嘴支撑体23支撑。
氮气供给装置4将从供给源（未图示）供给的氮气从排放喷嘴27排放，通过切换阀26的切换，在从排放喷嘴27排放氮气的状态，和不从排放喷嘴27排放氮气的状态之间切换。
而且，氮气供给装置4装备成排放喷嘴27以及排气喷嘴28位于天花板运送车3所行驶的行驶路径的正下方。而且，在天花板运送车3相对于氮气供给装置4停止在了预先设定的供给用停止位置的状态下，排放喷嘴27位于天花板运送车3所支撑着的容器W的供气口11的正下方，排气喷嘴28位于天花板运送车3所支撑着的容器W的排气口12的正下方。
在物品运送设备上装备有使排放喷嘴27相对于支撑机构18相对移动的作为连接用驱动装置的连接用马达30，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系在排放喷嘴27与由支撑机构18支撑的容器W相连的连接用位置关系，和使排放喷嘴27与由支撑机构18支撑的容器W分离的分离用位置关系之间切换。
如图4所示，连接用马达30装备在氮气供给装置4的装置主体22上，通过连接用马达30的驱动，使喷嘴支撑体23沿着竖直方向以直线状升降移动。
也就是说，在使天花板运送车3相对于氮气供给装置4停止在预先设定的供给用停止位置的状态下，通过使连接用马达30驱动，使喷嘴支撑体23向上升位置上升移动而成为连接用位置关系，通过使连接用马达30驱动，使喷嘴支撑体23向下降位置下降移动而成为分离用位置关系。
这样，通过连接用马达30使喷嘴支撑体23沿竖直方向升降移动，使排放喷嘴27与支撑机构18中的排放喷嘴27升降移动，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系在连接用位置关系和分离用位置关系之间切换。
而且，成为了分离用位置关系时的排放喷嘴27或排气喷嘴28位于比天花板运送车3的行驶路径靠下方，而成为了连接用位置关系时的排放喷嘴27或排气喷嘴28进入到天花板运送车3的行驶路径。而且，由氮气供给装置4供给了氮气的容器W的全部或者一部分位于天花板运送车3的行驶路径内。
〔控制装置〕
天花板运送车3的工作以及氮气供给装置4的工作由图4所示的控制装置H控制。控制装置H基于来自上位的控制器的运送指令控制天花板运送车3的工作，执行从成为运送起始地的载置台1a接收容器W的接收控制，和将容器W向成为运送目的地的载置台1a交接的交接控制。此外，控制装置H控制天花板运送车3的工作以及氮气供给装置4的工作，执行相对于由天花板运送车3支撑着的容器W供给氮气的供给控制。
如图6的流程图所示，在接收控制中，天花板运送车3的工作被控制成执行接收用行驶处理和接收用升降处理，所述接收用行驶处理是使不支撑容器W的天花板运送车3行驶到运送用停止位置，所述接收用升降处理是在使天花板运送车3停止在运送用停止位置的状态下，在送出卷取带19a后将支撑机构18向把持状态切换，从载置台1a上接收容器W，之后将卷取带19a卷取。通过这样进行接收控制，容器W从载置台1a上卸下，容器W由天花板运送车3支撑。
如图7的流程图所示，在交接控制中，天花板运送车3的工作被控制成执行交接用行驶处理和交接用升降处理，所述交接用行驶处理是使支撑容器W的天花板运送车3行驶到与载置台1a相对应的运送用停止位置，所述交接用升降处理是在使天花板运送车3停止在运送用停止位置的状态下，卷取带19a送出后将支撑机构18向支撑解除状态切换，之后将卷取带19a卷取。通过这样进行交接控制，由天花板运送车3支撑的容器W被放在载置台1a上。
此外，如图7的流程图所示，控制装置H在刚开始了交接控制的执行后判别是否满足了预先设定的供给条件，在满足了供给条件的情况下，中断交接控制而执行供给控制。另外，供给条件例如是从上位的控制器发出了相对于运送对象的容器W供给氮气的供给指令的情况，或从运送起始地到运送目的地的天花板运送车3的预定行驶距离为预先设定的行驶距离以上的情况等。
另外，是否满足了供给条件的判別也可以从接收控制完成后进行到开始交接控制。而且，也可以是在满足了供给条件的情况下执行供给控制，在不满足供给条件的情况下执行交接控制。
接着，基于图8的流程图对供给控制进行说明。
在供给控制中，首先天花板运送车3的工作被控制成执行供给用行驶处理，使支撑容器W的天花板运送车3行驶到供给用停止位置。
而且，在使天花板运送车3停止在供给用停止位置的状态下，氮气供给装置4的工作被控制成执行连接处理，使喷嘴支撑体23向上升位置上升移动，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系向连接用位置关系切换。通过这样执行连接处理，排放喷嘴27与天花板运送车3所支撑着的容器W的供气口11相连，排气喷嘴28与天花板运送车3所支撑着的容器W的排气口12相连。
在天花板运送车3停止在供给用停止位置并且使喷嘴支撑体23上升移动到上升位置的状态下，控制装置H在由连接传感器29检测出连接状态（排放喷嘴27恰当地与供气口11相连的状态）的情况下进行操作切换阀26打开的供给开始处理，在由连接传感器29未检测出连接状态的情况下，执行使报警装置工作的报知处理。
通过执行供给开始处理，氮气从排放喷嘴27排放，开始氮气向容器W内的供给。而且，通过执行报知处理，使蜂鸣器或灯等报警装置工作，报知在供给控制中排放喷嘴27未恰当地与供气口11相连。
而且，在氮气供给处理后的氮气供给中满足了预先设定的结束条件的情况下，控制装置H首先进行操作切换阀26关闭的供给停止处理，然后使喷嘴支撑体23向下降位置下降移动，将氮气供给装置4的工作控制成执行分离处理，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系向分离用位置关系切换。通过执行供给停止处理，氮气从排放喷嘴27的排放停止，氮气向容器W内的供给结束。
另外，结束条件例如是从上位的控制器发出了结束氮气相对于运送对象的容器W的供给的供给结束指令的情况，或从开始氮气的供给到经过了预先设定的设定时间的情况等。
在控制装置H如上所述地执行连接处理到执行分离处理的期间，天花板运送车3停止在了供给用停止位置，并且支撑机构18维持着支撑状态。
而且，氮气供给装置4构成为在天花板运送车3停止在了供给用停止位置的状态下，将排放喷嘴27与该天花板运送车3所支撑着的容器W相连，并且能够从排放喷嘴27排放氮气，在支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系由连接用驱动装置维持在连接用位置关系的状态下，从排放喷嘴27排放惰性气体。即、在维持支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系被连接用驱动装置切换成连接用位置关系后的排放喷嘴27与容器W的连接的状态下，氮气供给装置4从排放喷嘴27排放惰性气体。而且，在本实施方式中，通过在支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系切换成连接用位置关系后，支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系由连接用驱动装置维持在连接用位置关系，维持了排放喷嘴27与容器W的连接。即、在本实施方式中，在支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系维持在排放喷嘴27与由支撑机构18支撑的容器W相连的连接用位置关系的状态下，氮气供给装置4从排放喷嘴27排放惰性气体。
这样，氮气供给装置4构成为在天花板运送车3停止在供给用停止位置后，将氮气供给装置4的排放喷嘴27与由该天花板运送车3的支撑机构18支撑着的容器W相连，向容器W内供给氮气。而且，在这样由氮气供给装置4向容器W内供给氮气的期间，由于天花板运送车3停止在了供给用停止位置，所以在氮气的供给结束后，能够由该天花板运送车3迅速地运送容器W。
〔其它实施方式〕
（1）在上述实施方式中，在由支撑机构18支撑着容器W的状态下由氮气供给装置4供给氮气，但也可以在由氮气供给装置4支撑着容器W的状态下由氮气供给装置4供给氮气。
也就是说，例如图9所示，在氮气供给装置4的喷嘴支撑体23上具备与容器W的底面凹部8卡合的三个定位用的支撑部件31。定位用的支撑部件31形成为朝向上方突出的凸状。而且，当使喷嘴支撑体23向上升位置上升移动，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系切换成连接用位置关系时，排放喷嘴27与供气口11相连，并且排气喷嘴28与排气口12相连，同时三个支撑部件31卡合在容器W上的三个底面凹部8中。而且，通过使喷嘴支撑体23上升到比上升位置高的支撑位置，由三个支撑部件31上提容器W，容器W的凸缘部7从把持爪18a上向上方上浮。这样，也可以在由三个支撑部件31支撑着容器W的状态下，由氮气供给装置4供给氮气。即、在该其它实施方式中，通过在支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系切换成连接用位置关系后，支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系维持排放喷嘴27与由氮气供给装置4（在此是喷嘴支撑体23）支撑的容器W相连的位置关系，维持了排放喷嘴27与容器W的连接。而且，在支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系维持在排放喷嘴27与由氮气供给装置4支撑的容器W相连的位置关系的状态下，氮气供给装置4从排放喷嘴27排放惰性气体。
此外，虽然省略了图示，但例如也可以在排放喷嘴27上具备比供气口11大型的干涉部，在排气喷嘴28上具备比排气口12大型的干涉部。而且，当使喷嘴支撑体23向上升位置上升移动，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系切换成连接用位置关系时，排放喷嘴27与供气口11相连，并且排气喷嘴28与排气口12相连，同时使装备在排放喷嘴27或排气喷嘴28上的干涉部与容器W的底面干涉。而且，通过使喷嘴支撑体23上升到比上升位置高的支撑位置，由两个干涉部上提容器W，容器W的凸缘部7从把持爪18a上向上方上浮。这样，也可以在由两个干涉部支撑着容器W的状态下，由氮气供给装置4供给氮气。这样，即使在容器W的凸缘部7从把持爪18a上向上方上浮的情况下，由于在容器W的凸缘部7的横侧方存在支撑机构18的把持爪18a，所以通过容器W的凸缘部7与把持爪18a相接触，也能够防止容器W翻倒。
另外，也可以如上所述，在由氮气供给装置4支撑着容器W的状态下由氮气供给装置4供给氮气的情况下，由按压部18c从上方按压上提了的容器W的凸缘部7，在由喷嘴支撑体23和按压部18c在上下方向上夹持着的状态下，由氮气供给装置4供给氮气。
顺便说一句，在由氮气供给装置4支撑容器W的情况下，也可以在将支撑机构18切换成支撑解除状态的状态下，由氮气供给装置4向容器W内供给氮气。
（2）在上述实施方式中，将连接用驱动装置装备在氮气供给装置4上，由连接用驱动装置使排放喷嘴27移动，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系在连接用位置关系和分离用位置关系之间切换，但也可以将连接用驱动装置装备在天花板运送车3上，由连接用驱动装置使支撑机构18移动，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系在连接用位置关系和分离用位置关系之间切换。
具体地说，例如可以如图10所示，在使天花板运送车3停止在供给用停止位置的状态下，通过由升降用马达19c驱动卷绕体19b旋转而使支撑机构18升降移动，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系在连接用位置关系和分离用位置关系之间切换。在这种情况下，能够将装备在天花板运送车3上的升降用马达19c兼用作连接用驱动装置。
（3）在上述实施方式中，使氮气供给装置4的装置主体22位于比天花板运送车3的行驶路径靠上方，但也可以如图11～图13所示，使氮气供给装置4的装置主体22位于比天花板运送车3的行驶路径靠下方。而且，在使氮气供给装置4的装置主体22位于比天花板运送车3的行驶路径靠下方的情况下，可如图11～图13所示，以悬吊在天花板上支撑的状态设置氮气供给装置4，此外，还可以将氮气供给装置4与处理装置1同样地设置在地面上。
（4）在上述实施方式中，使氮气供给装置4的排放喷嘴27位于天花板运送车3的行驶路径的正下方，但也可以使氮气供给装置4的排放喷嘴27相对于天花板运送车3的行驶路径位于侧方。
具体地说，例如图12以及图13所示，具备由氮气供给装置4的装置主体22支撑、并且通过第1驱动装置33的驱动沿着竖直方向升降移动的升降台34。使该升降台34以通过第2驱动装置35的驱动而沿着水平方向滑动移动的方式支撑喷嘴支撑体23。而且，还可以在通过第2驱动装置35的驱动使喷嘴支撑体23突出移动后，通过第1驱动装置33的驱动使升降台34上升移动，将支撑机构18与排放喷嘴27的位置关系从分离用位置关系向连接用位置关系切换。在这样构成的情况下，第1驱动装置33以及第2驱动装置35相当于连接用驱动装置。另外，作为驱动装置，除了电动马达之外也可以使用气缸等，在使用气缸作为驱动装置的情况下，可以利用来自氮气供给装置4的氮气。
（5）在上述实施方式中，在使天花板运送车3停止在供给用停止位置的状态下，由氮气供给装置4向容器W内供给氮气，但也可以使氮气供给装置4沿着行驶路径移动自如，一边使氮气供给装置4与沿着行驶路径行驶的天花板运送车3一体地移动，一边将氮气供给装置4的排放喷嘴27与由天花板运送车3的支撑机构18支撑着的容器W相连，向容器W内供给氮气。
此外，也可以并列地具备处理装置1和氮气供给装置4，并且为经由氮气供给装置4的行驶路径相对于经由处理装置1的行驶路径分歧以及合流的状态。具体地说，例如作为经由处理装置1的行驶路径具备环状的主路径和相对于该主路径分离合流的环状的副路径，使经由氮气供给装置4的行驶路径为相对于主路径分歧合流的状态。
（6）在上述实施方式中，使容器W为收容半导体基板的FOUP，但容器的形状或向容器中收容的收容物可适当变更，例如，可以使容器为集装箱，使收容物为食品。此外，作为惰性气体，除了氮气之外也可以是氩气等。
〔上述实施方式的概要〕
以下，对上述中所说明的物品运送设备的概要进行说明。
物品运送设备具备沿着悬吊在天花板上的行驶轨道行驶并运送容器的物品运送车，前述物品运送车具备支撑前述容器的支撑部，
装备有从排放部排放惰性气体的惰性气体供给装置，前述排放部位于前述物品运送车所行驶的行驶路径的侧方或者下方，装备有使前述排放部相对于前述支撑部相对移动的连接用驱动装置，将前述支撑部与前述排放部的位置关系在前述排放部与由前述支撑部支撑的前述容器相连的连接用位置关系，和使前述排放部与由前述支撑部支撑的前述容器分离的分离用位置关系之间切换，在维持前述支撑部与前述排放部的位置关系被前述连接用驱动装置切换成前述连接用位置关系后的前述排放部与前述容器的连接的状态下，前述惰性气体供给装置从前述排放部排放惰性气体。
根据该结构，在使物品运送车行驶到与惰性气体供给装置相对应的位置的状态下，通过由连接用驱动装置使排放部相对于支撑部相对移动，将支撑部与排放部的位置关系向连接用位置关系切换，能够将排放部与由物品运送车的支撑部支撑着的容器相连。
此外，在使物品运送车行驶到与惰性气体供给装置相对应的位置的状态下，通过由连接用驱动装置使排放部相对于支撑部相对移动，将支撑部与排放部的位置关系向分离用位置关系切换，能够将排放部与由物品运送车的支撑部支撑着的容器分离。
而且，由于在维持支撑部与排放部的位置关系切换成连接用位置关系后的排放部与容器的连接的状态下，排放部与容器相连，所以在该状态下，通过惰性气体供给装置从排放部排放惰性气体，能够向容器内供给惰性气体。
此外，在这样向容器内供给惰性气体的期间，物品运送车位于与惰性气体供给装置相对应的位置。因此，仅通过由连接用驱动装置将支撑部与排放部的位置关系向分离用位置关系切换，则成为容器由物品运送车的支撑部支撑的状态，物品运送车成为了能够由支撑部支撑着容器行驶的状态。因此，能够由物品运送车将由惰性气体供给装置供给了惰性气体的容器迅速地向其它的场所运送。
在此，优选前述连接用驱动装置装备在前述惰性气体供给装置上，并且仅使前述排放部与前述支撑部中的前述排放部移动，将前述支撑部与前述排放部的位置关系在前述连接用位置关系和前述分离用位置关系之间切换。
根据该结构，连接用驱动装置装备在惰性气体供给装置上，无需在物品运送车上装备连接用驱动装置。因此，能够避免沿着悬吊在天花板上的行驶轨道行驶的物品运送车的重量化以及物品运送车结构的复杂化。
此外，优选前述排放部位于前述行驶路径的正下方，前述连接用驱动装置使前述排放部以直线状升降移动，将前述支撑部与前述排放部的位置关系在前述连接用位置关系和前述分离用位置关系之间切换。
根据该结构，由于连接用驱动装置仅使排放部以直线状升降移动即可，所以能够谋求连接用驱动装置结构的简单化。
此外，优选前述连接用驱动装置装备在前述物品运送车上，并且仅使前述排放部与前述支撑部中的前述支撑部移动，将前述支撑部与前述排放部的位置关系在前述连接用位置关系和前述分离用位置关系之间切换。
根据该结构，连接用驱动装置装备在物品运送车上，无需在惰性气体供给装置上装备连接用驱动装置。因此，能够避免惰性气体供给装置结构的复杂化。此外，在将惰性气体供给装置悬吊在天花板上的结构的情况下等，由于不在惰性气体供给装置上装备连接用驱动装置，所以能够避免惰性气体供给装置的重量化，在这一点上也是优选的。
此外，优选成为前述物品运送车运送物品的运送起始地或者运送目的地的运送对象场所位于前述行驶路径的正下方，前述惰性气体供给装置设在相对于前述运送对象场所在前述行驶路径的长度方向上偏离的场所，前述排放部位于前述行驶路径的正下方，前述物品运送车具备使前述支撑部升降移动、进行物品相对于前述运送对象场取放的运送用驱动装置，前述运送用驱动装置兼用作前述连接用驱动装置。
根据该结构，通过由为了进行容器相对于运送对象场所取放而装备的运送用驱动装置使支撑部升降移动，能够将支撑部与排放部的位置关系在连接用位置关系和分离用位置关系之间切换。因此，由于能够将运送用驱动装置兼用作连接用驱动装置，无需与运送用驱动装置另外设置连接用驱动装置，所以即使在物品运送车上装备连接用驱动装置的情况下，也能够避免物品运送车的重量化及物品运送车结构的复杂化。
此外，优选在前述容器的底面具备供气部和被卡合部，前述排放部从下方与该供气部相连，与前述排放部一体地装备、形成为朝向上方突出的凸状的定位部件从下方与该被卡合部卡合，前述被卡合部形成为向上方凹进、随着接近上方而宽度变窄的尖细形状，前述连接用驱动装置使前述排放部相对于前述支撑部相对升降移动，将前述支撑部与前述排放部的位置关系在前述连接用位置关系和前述分离用位置关系之间切换。
根据该结构，在使物品运送车行驶到与惰性气体供给装置相对应的位置的状态下，通过由连接用驱动装置使排放部相对于支撑部相对升降移动，能够将支撑部与排放部的位置关系向连接用位置关系或分离用位置关系切换。而且，通过这样使排放部相对于支撑部相对上升移动，与排放部一体地装备的定位部件相对于由支撑部支撑着的容器相对上升移动，定位部件与容器的被卡合部卡合。此时，在容器相对于排放部或定位部件在水平方向上偏离的情况下，通过定位部件被被卡合部的内表面导向，能够将容器相对于排放部或定位部件的水平方向上的位置向正确的位置修正，容易使排放部恰当地与容器的供给部相连。
此外，优选前述支撑部具备：多个支撑体，支撑装备在前述容器的上端部的被支撑部；限制体，在由前述多个支撑体支撑着前述被支撑部的状态下位于前述被支撑部的侧方，限制前述被支撑部的水平方向的移动；以及切换驱动装置，在使前述多个支撑体相互接近的支撑状态，和使前述多个支撑体相互离开的支撑解除状态之间切换，在前述支撑部被前述切换驱动装置切换成了前述支撑状态的状态下，前述惰性气体供给装置从前述排放部排放惰性气体。
根据该结构，在由连接用驱动装置将支撑部与排放部的位置关系向连接用位置关系切换，将排放部与容器相连后，不将支撑部的状态从支撑状态向支撑解除状态切换，惰性气体供给装置从排放部排放惰性气体，向容器内供给惰性气体。因此，在将容器与排放部相连后，到惰性气体供给装置从排放部排放惰性气体前，无需将支撑部从支撑状态向支撑解除状态切换。因此，能够迅速地开始惰性气体向容器内的供给。
此外，在将支撑部切换成了支撑状态的状态下，在容器中被支撑部的侧方存在支撑部的限制体。因此，例如即使在容器被连接用驱动装置上提，被支撑部从支撑体上浮的情况下，通过装备在容器的上端部的被支撑部与支撑部的限制体相接触，也能够防止容器翻倒。
此外，优选在前述物品运送车停止在了与该惰性气体供给装置相对应地预先设定的供给用停止位置的状态下，前述惰性气体供给装置从前述排放部排放惰性气体。
根据该结构，由于无需与行驶的物品运送车相匹配地使惰性气体供给装置移动，能够以固定状态具备惰性气体供给装置，所以能够使惰性气体供给装置的结构简单。