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1、10申请公布号CN104067232A43申请公布日20140924CN104067232A21申请号201280052415222申请日2012103161/553,89120111031US13/664,34720121030USG06F11/0020060171申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州72发明人布拉德舒尔策约瑟夫多克斯74专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司11006代理人徐金国赵静54发明名称基于时间的设备传感器数据与基于物质的计量统计过程控制数据的双向关联及图形化取得57摘要本发明描述了将传感器数据链接至计量数据和将计量数据链接至传感器数据的方法及系统。在一个实。
2、施例中，接收产品的计量数据的用户选择，呈现该产品的所选计量数据的相关处理工具故障检测摘要，从该处理工具故障检测摘要接收处理工具的用户选择，以及呈现所选处理工具的相关故障检测明细。30优先权数据85PCT国际申请进入国家阶段日2014042486PCT国际申请的申请数据PCT/US2012/0628592012103187PCT国际申请的公布数据WO2013/067053EN2013051051INTCL权利要求书2页说明书9页附图6页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书9页附图6页10申请公布号CN104067232ACN104067232A1/2页21一种通过。
3、经编程以执行以下步骤的计算系统来实施的方法，所述方法包括以下步骤通过所述计算系统接收产品的计量数据的用户选择；通过所述计算系统呈现所述产品的所选计量数据的相关处理工具故障检测摘要；通过所述计算系统从所述处理工具故障检测摘要接收处理工具的用户选择；和通过所述计算系统呈现所选处理工具的相关故障检测明细。2如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤通过所述计算系统接收故障检测明细的用户选择。3如权利要求2所述的方法，进一步包括以下步骤通过所述计算系统呈现所选故障检测明细的相关原始传感器数据。4如权利要求2所述的方法，进一步包括以下步骤通过所述计算系统呈现所选故障检测明细的相关故障检测趋势图表。5如权。
4、利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤通过所述计算系统接收传感器数据的用户选择；通过所述计算系统呈现所选传感器数据的相关统计过程控制摘要数据；通过所述计算系统从所述统计过程控制摘要数据接收统计过程控制图表的用户选择；和通过所述电脑系统呈现所选统计过程控制图表。6如权利要求5所述的方法，其中所述传感器数据包括故障检测控制图表。7如权利要求5所述的方法，其中所述传感器数据包括原始传感器绘图。8一种电脑可读储存介质，包括使得处理装置执行操作的可执行指令，所述指令包括通过所述处理装置接收产品的计量数据的用户选择；通过所述处理装置呈现所述产品的所选计量数据的相关处理工具故障检测摘要；通过所述处理装置从所。
5、述处理工具故障检测摘要接收处理工具的用户选择；和通过所述处理装置呈现所选处理工具的相关故障检测明细。9如权利要求8所述的电脑可读储存介质，其中所述指令进一步包括通过所述处理装置接收故障检测明细的用户选择；和通过所述处理装置呈现所选故障检测明细的相关原始传感器数据。10如权利要求8所述的电脑可读储存介质，其中所述指令进一步包括通过所述处理装置接收故障检测明细的用户选择；和通过所述处理装置呈现所选故障检测明细的相关故障检测趋势图表。11如权利要求8所述的电脑可读储存介质，其中所述指令进一步包括通过所述处理装置接收传感器数据的用户选择；通过所述处理装置呈现所选传感器数据的相关统计过程控制摘要数据；通。
6、过所述处理装置从所述统计过程控制摘要数据接收统计过程控制图表的用户选择；和通过所述处理装置呈现所选统计过程控制图表。12如权利要求11所述的电脑可读储存介质，其中所述传感器数据包括故障检测控制权利要求书CN104067232A2/2页3图表。13如权利要求11所述的电脑可读储存介质，其中所述传感器数据包括原始传感器绘图。14一种计算系统，包含存储器；和耦接至所述存储器的处理装置，所述处理装置配置为通过所述处理装置接收产品的计量数据的用户选择；通过所述计算系统呈现所述产品的所选计量数据的相关处理工具故障检测摘要；通过所述处理装置从所述处理工具故障检测摘要接收处理工具的用户选择；和通过所述处理装置。
7、呈现所选处理工具的相关故障检测明细。15如权利要求14所述的计算系统，其中所述处理装置进一步可配置地成为通过所述处理装置接收故障检测明细的用户选择。16如权利要求14所述的计算系统，其中所述处理装置进一步可配置地成为通过所述处理装置呈现所选故障检测明细的相关原始传感器数据。17如权利要求14所述的计算系统，其中所述处理装置进一步可配置地成为通过所述处理装置呈现所选故障检测明细的相关故障检测趋势图表。18如权利要求14所述的计算系统，其中所述处理装置进一步可配置地成为通过所述处理装置接收传感器数据的用户选择；通过所述处理装置呈现所选传感器数据的相关统计过程控制摘要数据；通过所述处理装置从所述统计。
8、过程控制摘要数据接收统计过程控制图表的用户选择；和通过所述处理装置呈现所选统计过程控制图表。19如权利要求14所述的计算系统，其中所述传感器数据包括故障检测控制图表。20如权利要求14所述的计算系统，其中所述传感器数据包括原始传感器绘图。权利要求书CN104067232A1/9页4基于时间的设备传感器数据与基于物质的计量统计过程控制数据的双向关联及图形化取得技术领域0001本发明的实施例涉及在装备制造中处理数据，且更特定而言，涉及将基于时间的设备传感器数据与基于物质的计量统计过程控制STATISTICALPROCESSCONTROL数据相链接。背景技术0002在例如半导体装置制造的制造中，使用。
9、计量工具直接地和通过监视处理设备传感器间接地测量产品质量。此信息采集于产品制造生命周期中的不同时刻，并储存于来自不同供应商的单独的、互不相连的数据库中。当制造工程师需要识别处理工具或所得产品的问题时，工程师必须经历一个费力且高成本的过程。例如，当工程师被告知产品存在潜在问题时，工程师必须检查相应的计量数据，以找出该产品的警报特征，并记录关于产品的信息，如批次ID、晶片ID、配方RECIPE名称等。然后，工程师必须启动另一应用程序、手动输入关于产品的信息并仔细检索时间序列传感器数据，以找出用于制造该产品的处理工具。同样地，当工程师使用处理工具的警报特征开始故障检测评估时，工程师亦面临着一个低效且。
10、易出错的过程。发明内容0003本发明描述了用于将传感器数据链接至计量数据和将计量数据链接至传感器数据的方法和系统。在一个实施例中，接收对产品的计量数据的用户选择，呈现该产品的所选计量数据的相关处理工具故障检测摘要，从该处理工具故障检测摘要接收处理工具的用户选择，以及呈现所选处理工具的相关故障检测明细。0004在一个实施例中，可接收故障检测明细的用户选择，且可呈现所选故障检测明细的相关原始传感器数据和/或相关故障检测趋势图表。在一个实施例中，可接收传感器数据的用户选择，可呈现所选传感器数据的相关统计过程控制摘要数据，可接收统计过程控制图表的用户选择，且可呈现所选统计过程控制图表。附图说明0005。
11、在所附附图的各图中，以举例而非限制的方式图示本发明，在各图中相同附图标记代表类似元件。应注意，对本公开内容中的“一”或“一个”实施例的不同引用不必然针对同一实施例，而这种引用意谓着至少一个实施例。0006图1为图示根据本发明的实施例的制造系统的方块图。0007图2为根据本发明的实施例的用于将计量数据链接至传感器数据的方法的流程图。0008图3图示用于图2的方法的示例性图形用户界面。0009图4为根据本发明的实施例的用于将传感器数据链接至计量数据的方法的流程说明书CN104067232A2/9页5图。0010图5图示图4的方法的示例性图形用户界面。0011图6为图示示例性计算装置的方块图。具体实。
12、施方式0012本发明的实施例是针对一种用于通过将采集自处理工具及故障检测FD结果的时间序列传感器数据与采集自产品测量的计量数据例如，统计过程控制STATISTICALPROCESSCONTROL；SPC数据相链接来处理制造数据的方法及系统。本发明的实施例还提供一种报告方法，由此工程师能轻松地从传感器数据如处理工具数据交叉探查DRILLACROSS至计量数据如SPC产品数据和/或从计量数据交叉探查至传感器数据。根据本发明的方面，数据关联是通过使用来自计量数据所衍生的唯一测量如样本识别符在来自传感器数据的一组专用语境属性如工具识别符、运行识别符及运行开始时间之间应用唯一关系来解决。可使用FD数据、。
13、运行到运行RUNTORUN控制数据、设备效能追踪、产品产量数据及设备维护管理系统等来应用类似的方法。0013由此，为增强的且强大的交叉探查能力提供了核心基础，该交叉探查能力将处理工具与计量工具之间的数据与报告相链接。此外，通过将组成整个制造过程的无关元素如数据相结合来加速根本原因分析处理，从而使得设备停机时间减少且产品产量提高。0014图1为图示制造系统100的方块图，制造系统100包括经由网络耦接至设备工程系统EQUIPMENTENGINEERINGSYSTEM；EES102的制造执行系统MANUFACTURINGEXECUTIONSYSTEM；MES106和制造机器108如处理工具或计量工。
14、具。此外，EES102经由网络耦接至SPC系统104。EES102可进一步经由网络耦接至EES数据库110和EES客户端112，且SPC系统104可经由网络耦接至SPC客户端114。MES106、EES102和SPC104可各自由一个或多个计算装置作主机控制HOSTED，该一个或多个计算装置包括服务器电脑、桌上型电脑、膝上型电脑、平板电脑、笔记本型电脑、PDA个人数字助理、移动通讯装置、移动电话、智慧型电话、手持式电脑或类似的计算装置。0015EES102从计量工具和/或MES106接收计量数据，并且EES102发送该计量数据至SPC系统104。SPC系统104将计量数据应用至适当的图表如厚度。
15、、蚀刻速度、电阻率、粒子数，分析该计量数据以检测违规如高于或低于预定义阈值的产品特征，产生关于具有所检测违规的产品的信息如批次ID、晶片ID、配方名称，并提供该信息至EES102。此外，SPC系统104将SPC图表呈现给SPC客户端114，SPC客户端114可为复杂型客户端应用程序和/或由诸如个人电脑、膝上型电脑、移动电话等的客户端装置作主机控制的基于网页浏览器的应用程序。0016EES102可作主机控制在线FD报告工具120，该在线FD报告工具120提供离散的DISJOINED基于时间的设备传感器数据与基于物质的计量数据如SPC数据的双向关联及图形化取得。特定而言，FD报告工具120接收关于。
16、产品的计量数据，所述产品具有所检测的违规，并且FD报告工具120找到用于制造具有所检测的违规的产品的处理工具的识别信息。此识别信息包括工具ID、运行ID、运行开始时间等，此识别信息使用一组来自EES数据库110的专用查询来解析。然后，工具120可将与所识别的处理工具相关联的识别信息及传感器数据储存于EES数据库110中，EES数据库110可由与EES102相同的机器或独立说明书CN104067232A3/9页6的机器作主机控制。如下文将更详细论述，FD报告工具120也可将包括处理工具的警报参数如FD的传感器数据与包括由处理工具所制造产品的计量特征的计量数据相关联。FD报告工具120也可提供图形。
17、用户界面GUI，该图形用户界面可链接传感器与计量数据，并且界面可为用户提供关于产品及设备质量的快速及准确信息。GUI呈现于EES客户端112上，EES客户端112可为复杂客户端应用程序和/或基于网页的浏览器客户端。0017在一个实施例中，当产品运行于处理工具上时，传感器数据通过MES106或处理工具108实时提供至EES102，并且传感器数据保存于EES数据库110中。EES102接着对处理工具的传感器数据执行FD分析，并使用诸如工具IDTOOLIDS、运行IDRUNIDS、运行开始时间RUNSTARTTIMES及配方IDRECIPEIDS之类的语境将结果保存于EES数据库110中。接着，计量。
18、工具108测量计量数据如产品属性，并且计量工具108将这些测量值提供给EES102，EES102将这些测量值发送至SPC系统104。SPC系统104返回对SPC结果的引用或SPC摘要数据，诸如唯一样本识别符、违规识别符、校正动作信息和受影响的图表识别符。0018在一个实施例中，FD报告工具120允许用户提供一配置，以将能够影响一个或多个测量的产品属性的处理步骤或操作相关联。此配置在为系统100定义数据采集策略时完成。然后，FD报告工具120采集对于经配置的处理步骤或操作的以前的FD结果的引用，并且FD报告工具120将SPC结果与传感器数据如FD和处理工具数据之间的链接储存于EES数据库110中。
19、以用作报告。0019图2为用于将计量数据链接至传感器数据的方法200的一个实施例的流程图。图3图示用于图2的方法200的示例性图形用户界面。如图1所示，方法200可由EES102执行。例如，方法200可由图1的EES102的FD报告工具120执行。0020方法200以EES102接收指示SPC违规的计量数据如产品测量值的用户选择开始方块202。此时，用户可选择SPC控制图表上的产品测量值。例如，如图3所示，用户可从SPC控制图表GUI300选择产品测量值。0021一旦接收到产品测量值的用户选择，EES102即通过查询EES数据库110获得与所选产品测量值相关的FD摘要数据方块204。然后，EE。
20、S102将相关处理工具FD摘要数据呈现给用户方块206。例如，如图3所示，FD摘要数据可呈现为通过处理工具的FD计数GUI302。0022接着，用户从FD摘要数据选择感兴趣的处理工具。例如，如图3所示，用户可在通过处理工具的FD计数GUI302上选择处理工具ETCH_01。然后，EES102接收感兴趣的处理工具的用户选择方块208。0023一旦接收到用户选择，EES102即基于该用户所选处理工具启动新的报告，以呈现来自EES数据库110的FD明细。例如，如图3所示，FD明细可呈现为FD结果明细GUI304。0024接着，用户选择感兴趣的FD明细。例如，如图3所示，用户可从FD结果明细GUI30。
21、4选择感兴趣的FD明细。然后，EES102接收FD明细的用户选择方块212。0025基于感兴趣的FD明细的用户选择，EES102从EES数据库110获得处理工具的原始传感器数据并呈现该原始传感器数据，和/或EES102从EES数据库110获得所选传感器的FD趋势图表并呈现该FD趋势图表方块214。例如，如图3所示，EES102可将原始传感器数据呈现为所选传感器绘图对时间GUI308。在另一实例中，如图3所示，EES102可将说明书CN104067232A4/9页7FD趋势图表呈现为所选传感器的FD趋势GUI306。0026图4为用于将传感器数据如FD数据链接至计量数据如SPC数据的方法400的。
22、一个实施例的流程图。图5图示图4的方法的示例性图形用户界面。方法400可由图1的EES102执行。例如，方法400可由图1的EES102的FD报告工具120执行。0027方法400以EES102从FD控制图表或原始传感器绘图接收感兴趣的传感器数据的用户选择开始方块402。例如，如图5所示，FD控制图表可作为FD趋势GUI502呈现给用户。在另一实例中，如图5所示，原始传感器绘图可作为传感器绘图对时间GUI504呈现给用户。0028一旦从FD控制图表或原始传感器绘图接收到用户选择，EES102即从EES数据库110获得对应于所选数据的SPC摘要数据。然后，EES102将SPC摘要数据呈现给用户方。
23、块404。例如，如图5所示，SPC摘要数据可作为通过控制图表的SPC结果GUI506呈现给用户。0029接着，用户选择感兴趣的SPC摘要数据的一部分，且EES102接收该感兴趣的SPC摘要数据的用户选择方块406。例如，如图5所示，用户可经由通过控制图表的SPC结果GUI506选择感兴趣的SPC摘要数据的部分。0030EES从EES数据库110获得SPC控制图表并将该SPC控制图表呈现给用户方块408。例如，如图5所示，SPC控制图表可呈现为SPC控制图表GUI508。0031表格EES_SPC_RUN_TO_SPC、表格EES_SPC_STATUS和表格EES_SPC_TO_RUN表示了EE。
24、S数据库110中的示例性表格。表格EES_SPC_RUN_TO_SPC将工具ID和运行ID与样本ID相关联。此表格提供了工具ID、运行ID和样本ID之间的多对多关系。此表格由运行START_TIME以范围分隔。0032说明书CN104067232A5/9页800330034表格EES_SPC_STATUS储存给定样本ID的SPC状态。此表格从样本ID到多个腔室/SPC的语境信息提供一对多的关系。此表格由SPC时间戳分隔。0035说明书CN104067232A6/9页90036说明书CN104067232A7/9页100037表格EES_SPC_TO_RUN将SPC样本ID与工具ID和运行ID相。
25、关联。此表格由样本ID时间戳分隔。00380039说明书CN104067232A108/9页110040图6为图示示例性计算装置或系统600的方块图。计算装置600包括用于使得计算装置600执行本文所论述的任何一种或多种方法的一组指令。机器可以以主从式CLIENTSERVER网络环境中的服务器性能操作。机器可为个人电脑PC、机顶盒STB、服务器、网络路由器、开关或桥接器，或任何能够执行规定将由该机器采取的动作的一组指令顺序地或以其他方式的任何机器。此外，尽管仅图示了单一计算装置，但是术语“计算装置”也应当理解为包括任何机器的集合，该机器的集合能独立或联合执行一组或多组指令以执行本文所论述的一种。
26、或多种方法。0041示例性电脑装置600包括处理系统处理装置602、主存储器604例如，只读存储器ROM、快闪存储器、如同步DRAMSDRAM的动态随机存取存储器DRAM等、静态存储器606如快闪存储器、静态随机存取存储器SRAM等和数据储存装置616，上述各者经由总线608相互通信。0042处理装置602表示一或多个通用处理装置，诸如微处理器、中央处理单元或类似装置。更特定而言，处理装置602可为复杂指令集计算COMPLEXINSTRUCTIONSETCOMPUTING；CISC微处理器、简化指令集计算REDUCEDINSTRUCTIONSETCOMPUTING；RISC微处理器、极长指令字。
27、VERYLONGINSTRUCTIONWORD；VLIW微处理器，或实施其他指令集的处理器或实施指令集组合的若干处理器。处理装置602还可为一个或多个专用处理装置，诸如专用集成电路ASIC、现场可编程门阵列FPGA、数字信号处理器DSP、网络处理器，或类似装置。处理装置602经配置为执行图1的EES102，图1的EES102用于执行本文所论述的操作和步骤。0043计算装置600可进一步包括网络界面装置622。计算装置600还可包括视频显示单元610如液晶显示器LCD或阴极射线管CRT、文数字输入装置612如键盘、光标控制装置614如鼠标和信号产生装置620如扬声器。0044数据储存装置616可。
28、包括电脑可读储存介质624，在该电脑可读储存介质624上储存有一组或多组指令626，该一组或多组指令626实施本文所述的任何一种或多种方法或功能。在指令626被计算装置600执行期间，指令626也可完全或至少部分地常驻于主存储器604内和/或处理装置602内，主存储器604和处理装置602也构成电脑可读介质。指令626可经由网络界面装置622在网络628上进一步被传输或接收。0045尽管在示例性实施例中将电脑可读储存介质624显示为单个介质，但术语“电脑可读储存介质”应理解为包括储存一组或多组指令的单个介质或多个介质如集中式或分散式数据库，和/或相关联高速缓存伺服器。术语“电脑可读储存介质”也。
29、应理解为包括任何能够储存、编码或运送一组由机器执行且使得机器执行本发明的任何一种或多种方法的指令的介质。术语“电脑可读储存介质”应相应地理解为包括但不限于固态存储器、光学介质和磁性介质。0046在以上描述中，提出了若干细节。然而，对受益于本公开内容的本领域普通技术人员而言将显而易见的是，本发明的实施例可在无这些特定细节的情况下实践。在一些情况说明书CN104067232A119/9页12下，以方块图形式而不是详细地显示公知的结构和装置，以避免混淆本说明书。0047详细描述中的某些部分是以对电脑存储器内的数据位的操作的算法和符号表示法来呈现。这些算法描述和表示法是数据处理领域的技术人员用以最有效。
30、地向本领域的其他技术人员传达他们工作主旨的手段。算法在此处，且通常而言，被设想为导出所要结果的自相容步骤序列。这些步骤是需要对物理量作物理操作的步骤。通常，但非必然，这些量采取能被储存、传输、组合、比较和以其他方式被操作的电信号或磁信号的形式。已经证明，主要为了常用的原因，将这些信号称为位、值、元素、符号、字符、术语、数字或类似物有时是便利的。0048然而应了解，所有这些术语及类似术语应与适当的物理量相关联，且所有这些术语及类似术语仅为应用于这些物理量上的便利标签。除非另行说明，否则由上文论述可知，应了解，整篇说明书中，使用诸如“接收”、“建构”、“切割”、“识别”、“选择”、“建立”或类似的。
31、术语的论述均指计算装置或类似电子计算装置的动作和处理，该计算装置或类似电子计算装置对表示为电脑系统的寄存器和存储器内的物理如电子量的数据操作并转换为其他类似地表示为电脑系统存储器或寄存器或其他此类信息储存装置内的的物理量的数据。0049本发明的实施例还涉及一种用于执行本文的操作的设备。此设备可为所需目的特别地建构，或此设备可包含通过储存于电脑中的电脑程序选择性启动或重配置的通用电脑。此电脑程序可储存于电脑可读储存介质，诸如但不限于任何形式的碟片，包括光碟、CDROM和磁光碟、只读存储器ROM、随机存取存储器RAM、EPROM、EEPROM、磁卡或光卡，或任何类型的适合于储存电子指令的介质。0050应了解，以上描述意欲为说明性而非限制性的。本领域技术人员在阅读和理解以上描述后将显见许多其他实施例。因此，本发明的范围应参照随附权利要求，以及权利要求享有的等同物的全部范围来确定。说明书CN104067232A121/6页13图1说明书附图CN104067232A132/6页14图2说明书附图CN104067232A143/6页15图3说明书附图CN104067232A154/6页16图4说明书附图CN104067232A165/6页17图5说明书附图CN104067232A176/6页18图6说明书附图CN104067232A18。