晶圆存放记录方法、设备和系统技术领域
本发明涉及晶圆加工领域，具体而言，涉及一种晶圆存放记录方法、设备和系统。
背景技术
目前，在半导体领域的晶圆生产厂，为了避免晶圆在搬运和制造过程中遭受污染，
操作人员需要在高等级洁净度的无尘环境下，将一定数量的晶圆片放置于一个名为
“Lot”(即批次)的盒子中，并将“Lot”安装于晶圆加工设备的SMIF(Standard
Mechanical Interface，标准机械化接口)中。但是，不管是在200毫米还是300毫米晶
圆厂，在不知道是谁从储藏架、储存箱或搬运小车上搬运“Lot”并安装至晶圆加工设
备时，操作人员的工作量和工作质量是很难界定的，甚至可能会发生不合格的操作人
员将“Lot”搬运安装至晶圆加工设备中这样的工作隐患。因此，为了提高操作人员的
工作量并改进工作质量，准确记录并得到OSM(Operator Step Move)的工作指示消息
对于操作人员和管理人员都是非常重要的。
现有技术中是通过操作人员登陆设备中的EAP(Equipment Automation
Programming，设备自动化编程)自动模式来解决上述问题的。首先，操作人员需要登
陆系统，然后系统会记录并存储某一时间段被安装至晶圆加工设备中的“Lot”的数量
等信息，并将该信息与该操作人员的员工标识信息相对应，最终所有信息可在MES
(Manufacturing Execution System，制造执行系统)的历史数据库信息中查询。但是实
际上，当晶圆加工设备处于被某一操作人员预先登陆的情况下，任何操作人员都可以
搬运Lot并将其安装于晶圆加工设备的SMIF中，这样就存在EAP自动模式下的数据
记录不准确的问题。
针对上述的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
发明内容
本发明实施例提供了一种晶圆存放记录方法、设备和系统，以准确记录执行晶圆
存放的操作人员的操作信息。
根据本发明的一个方面，提供了一种晶圆存放记录方法，该方法包括：
接收执行晶圆存放操作的操作请求，其中，所述操作请求中携带有执行晶圆存放
操作的操作人员的标识信息；判断所述标识信息是否属于预设人员标识集合，其中，
所述预设人员标识集合包括预先设置的允许执行所述晶圆存放操作的操作人员的标识
信息；若判断出所述标识信息属于所述预设人员标识集合，则允许所述操作人员执行
所述晶圆存放操作，并在所述操作人员完成所述晶圆存放操作后，记录所述操作人员
执行所述晶圆存放操作的操作信息；若判断出所述标识信息不属于所述预设人员标识
集合，则禁止所述操作人员执行所述晶圆存放操作。
可选地，还包括：在所述记录所述操作人员执行所述晶圆存放操作的操作信息后，
所述方法还包括：记录所述操作人员的标识信息与所述操作信息之间的对应关系。
可选地，在记录所述操作人员的标识信息与所述操作信息之间的对应关系后，所
述方法还包括：通过所述操作人员的标识信息和所述对应关系查询所述操作人员执行
的所述晶圆存放操作的操作信息。
可选地，所述通过所述操作人员的标识信息和所述对应关系查询所述操作人员执
行的所述晶圆存放操作的操作信息包括：接收查询指令，其中，所述查询指令包括所
述操作人员的标识信息；根据所述操作人员的标识信息通过所述对应关系得到所述操
作人员执行的所述晶圆存放操作的操作信息，并展示所述操作信息。
根据本发明的一个方面，提供了一种晶圆存放记录设备，该设备包括：接收单元，
用于接收执行晶圆存放操作的操作请求，其中，所述操作请求中携带有执行晶圆存放
操作的操作人员的标识信息；判断单元，用于判断所述接收单元接收的所述标识信息
是否属于预设人员标识集合，其中，所述预设人员标识集合包括预先设置的允许执行
所述晶圆存放操作的操作人员的标识信息；第一处理单元，用于若所述判断单元判断
出所述标识信息属于所述预设人员标识集合，则允许所述操作人员执行所述晶圆存放
操作，并在所述操作人员完成所述晶圆存放操作后，记录所述操作人员执行所述晶圆
存放操作的操作信息；第二处理单元，用于若所述判断单元判断出所述标识信息不属
于所述预设人员标识集合，则禁止所述操作人员执行所述晶圆存放操作。
可选地，该设备还包括：记录单元，用于在所述第一处理单元记录所述操作人员
执行所述晶圆存放操作的操作信息后，记录所述操作人员的标识信息与所述操作信息
之间的对应关系。
可选地，该设备还包括：查询单元，用于在所述记录单元记录所述操作人员的标
识信息与所述操作信息之间的对应关系后，通过所述操作人员的标识信息和所述对应
关系查询所述操作人员执行的所述晶圆存放操作的操作信息。
可选地，所述查询单元包括：接收子单元，用于接收查询指令，其中，所述查询
指令包括所述操作人员的标识信息；处理子单元，用于根据所述接收子单元接收的操
作人员的标识信息通过所述对应关系得到所述操作人员执行的所述晶圆存放操作的操
作信息，并展示所述操作信息。
根据本发明的一个方面，提供了一种晶圆存放记录系统，该系统包括：射频电子
标签，用于发出执行晶圆存放操作的操作请求；晶圆存放记录设备，与所述射频电子
标签射频连接，包括上述晶圆存放记录设备。
可选地，所述电子标签为腕带式电子标签，所述腕带式电子标签佩戴在操作人员
的肢体上。
在本发明实施例中，通过接收执行晶圆存放操作的操作请求，并判断该操作请求
中的标识信息是否属于预设人员标识集合，若判断出该标识信息属于该预设人员标识
集合，则允许该操作人员执行该晶圆存放操作，并在该操作人员完成该晶圆存放操作
后，记录该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息；若判断出该操作人员信息不属
于该预设人员标识集合，则禁止所述操作人员执行所述晶圆存放操作，这样，由于操
作人员在进行晶圆存放的过程中需要先进行标识信息的判断，并在判断通过后才允许
执行晶圆存放操作，并记录操作信息，因此，能够准确获得执行晶圆操作的操作人员
的操作信息，从而保证操作信息的准确性。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发
明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图
中：
图1是根据本发明实施例的一种晶圆存放记录方法的流程示意图；
图2是根据本发明实施例的另一种晶圆存放记录方法的流程示意图；
图3是根据本发明实施例的一种晶圆存放记录设备的结构示意图；
图4是根据本发明实施例的另一种晶圆存放记录设备的结构示意图；
图5是根据本发明实施例的第三种晶圆存放记录设备的结构示意图；
图6是根据本发明实施例的第四种晶圆存放记录设备的结构示意图；
图7是根据本发明实施例的一种晶圆存放记录系统的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的
附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例
仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领
域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于
本发明保护的范围。
需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第
二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这
样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在
这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的
任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方
法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚
地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
根据本发明实施例，提供了一种晶圆存放记录方法，如图1所示，本发明实施例
的执行主体可以是晶圆存放记录设备，该方法可以包括如下步骤：
步骤S102，接收执行晶圆存放操作的操作请求。
其中，该操作请求中携带有执行晶圆存放操作的操作人员的标识信息。
在本发明一种可能的实现方式中，操作人员可以佩戴射频电子标签(例如佩戴在
手腕上)，当操作人员进行晶圆存放操作时，接收该射频电子标签发送的操作请求，由
于该操作请求中携带有执行晶圆存放操作的操作人员的标识信息，因此，可以获知当
前执行晶圆存放操作的操作人员的身份。
需要说明的是，该标识信息可以是操作人员的标识信息(如操作人员的员工号等)，
本发明对此不作限定，其他能够唯一识别该操作人员的标识信息也应落入本发明的保
护范围之内。
步骤S104，判断该标识信息是否属于预设人员标识集合。
其中，该预设人员标识集合包括预先设置的允许执行该晶圆存放操作的操作人员
的标识信息。
需要说明的是，该预设人员标识集合可以在不同的时间段设置不同的操作人员标
识信息，例如，在早上8点至12点和下午2点至6点设置的预设人员标识集合可以不
同，从而方便了晶圆制造流程中对操作人员的管理。
步骤S106，若判断出该标识信息属于该预设人员标识集合，则允许该操作人员执
行该晶圆存放操作，并在该操作人员完成该晶圆存放操作后，记录该操作人员执行该
晶圆存放操作的操作信息。
其中，在确定该标识信息属于该预设人员标识集合时，则表示当前允许该操作人
员执行晶圆存放操作，在本发明一种可能的实现方式中，该晶圆加工设备用来存放Lot
的腔体的入口包括活动闸门，操作人员的手腕上可以佩戴射频电子标签(如腕带式电
子标签)，当操作人员通过双手将装有晶圆的Lot移动至活动闸门达到第一预设距离
时，则可以接收到该射频电子标签发送的操作请求，在确定该操作请求携带的标识信
息属于该预设人员标识集合时，该活动闸门开启，此时，操作人员将装有晶圆的Lot
通过腔体的入口放入晶圆加工设备中，当检测(如通过传感器检测)到Lot已经放置
在该晶圆加工设备对应的位置上时，则确定该操作人员完成该晶圆存放操作，并记录
该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息，当然，上述只是举例说明，本发明不作
限定。
需要说明的是，上述操作信息可以包括操作人员开始执行晶圆存放操作的时间，
也可以包括预设时间段内操作人员存放的Lot的数量(如在三小时内存放的Lot的数
量或者一个班次存放的Lot的数量)，还可以包括该操作人员执行晶圆存放操作的其他
信息，本发明对此不作限定。
另外，当该操作人员完成该晶圆存放操作后，该活动闸门则会关闭，以防止其他
被禁止执行晶圆存放操作的操作人员执行晶圆存放操作，一种可能的实现方式，该活
动闸门可以在该操作人员完成该晶圆存放操作并达到第二预设时间后关闭，以防止关
闭过快对操作人员造成误伤，另一种可能的实现方式，也可以在无法接收到当前操作
人员佩戴的射频电子标签的操作请求(如操作人员远离该活动闸门至预设距离)后关
闭，以防止在操作人员长时间执行晶圆存放操作的过程中，由于活动闸门的频繁开启
和关闭对活动闸门的损耗。上述只是举例说明，不作限定。
步骤S108，若判断出该标识信息不属于该预设人员标识集合，则禁止该操作人员
执行该晶圆存放操作。
其中，在确定该标识信息不属于该预设人员标识集合时，则该活动闸门不会开启，
从而禁止该操作人员执行晶圆存放操作，在一种优选的实现方式中，若禁止该操作人
员执行该晶圆存放操作，则发出提示信息，如通过报警器发出报警声或者通过报警灯
的常亮或闪烁进行提示。
在本发明实施例中，通过接收执行晶圆存放操作的操作请求，并判断该操作请求
中的标识信息是否属于预设人员标识集合，若判断出该标识信息属于该预设人员标识
集合，则允许该操作人员执行该晶圆存放操作，并在该操作人员完成该晶圆存放操作
后，记录该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息；若判断出该操作人员信息不属
于该预设人员标识集合，则禁止该操作人员执行该晶圆存放操作，这样，由于操作人
员在进行晶圆存放的过程中需要先进行标识信息的判断，并在判断通过后才允许执行
晶圆存放操作，并记录操作信息，因此，能够准确获得执行晶圆操作的操作人员的操
作信息，从而保证操作信息的准确性。
可选地，在记录该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息后，记录该操作人员
的标识信息与该操作信息之间的对应关系，这样，通过建立对应关系，从而将操作信
息与操作人员相关联，进而更加准确的获取到操作人员的操作信息，更加方便对操作
人员的管理。
可选地，在记录该操作人员的标识信息与该操作信息之间的对应关系后，通过该
操作人员的标识信息和该对应关系查询该操作人员执行的该晶圆存放操作的操作信
息，这样，能够方便查询操作人员对应的操作信息，提高了用户的体验。
在本发明一种可能的实现方式中，上述通过该操作人员的标识信息和该对应关系
查询该操作人员执行的该晶圆存放操作的操作信息包括以下实现方式：接收查询指令，
其中，该查询指令包括该操作人员的标识信息，并根据该操作人员的标识信息通过该
对应关系得到该操作人员执行的该晶圆存放操作的操作信息，并展示该操作信息。
其中，可以通过设置的人机交互界面将操作信息展示给查询人员，以方便查询人
员了解相关操作人员的操作信息。
在本发明实施例中，通过接收执行晶圆存放操作的操作请求，并判断该操作请求
中的标识信息是否属于预设人员标识集合，若判断出该标识信息属于该预设人员标识
集合，则允许该操作人员执行该晶圆存放操作，并在该操作人员完成该晶圆存放操作
后，记录该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息；若判断出该操作人员信息不属
于该预设人员标识集合，则禁止该操作人员执行该晶圆存放操作，这样，由于操作人
员在进行晶圆存放的过程中需要先进行标识信息的判断，并在判断通过后才允许执行
晶圆存放操作，并记录操作信息，因此，能够准确获得执行晶圆操作的操作人员的操
作信息，从而保证操作信息的准确性。
根据本发明实施例，提供了一种晶圆存放记录方法，如图2所示，该方法包括：
步骤S201，晶圆存放记录设备接收射频电子标签发送的操作请求。
其中，该操作请求中携带有执行晶圆存放操作的操作人员的标识信息。
在本发明一种可能的实现方式中，操作人员可以佩戴射频电子标签(例如佩戴在
手腕上)，当操作人员进行晶圆存放操作时，晶圆存放设备接收该射频电子标签发送的
操作请求，由于该操作请求中携带有执行晶圆存放操作的操作人员的标识信息，因此，
可以获知当前执行晶圆存放操作的操作人员的身份。
需要说明的是，该标识信息可以是操作人员的标识信息(如操作人员的员工号等)，
本发明对此不作限定，其他能够唯一识别该操作人员的标识信息也应落入本发明的保
护范围之内。
步骤S202，晶圆存放记录设备判断该操作请求中携带的操作人员的标识信息是否
属于预设人员标识集合。
其中，该预设人员标识集合包括预先设置的允许执行该晶圆存放操作的操作人员
的标识信息。
需要说明的是，该预设人员标识集合可以在不同的时间段设置不同的操作人员标
识信息，例如，在早上8点至12点和下午2点至6点设置的预设人员标识集合可以不
同，从而方便了晶圆制造流程中对操作人员的管理。
在判断结果为是时，执行步骤S203至步骤S207；在判断结果为否时，执行步骤
S208。
步骤S203，晶圆存放记录设备允许操作人员执行晶圆存放操作。
步骤S204，在确定该操作人员完成该晶圆存放操作后，晶圆存放记录设备记录该
操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息。
其中，在确定该标识信息属于该预设人员标识集合时，则表示当前允许该操作人
员执行晶圆存放操作，在本发明一种可能的实现方式中，该晶圆加工设备用来存放Lot
的腔体的入口包括活动闸门，操作人员的手腕上可以佩戴射频电子标签(如腕带式电
子标签)，当操作人员通过双手将装有晶圆的Lot移动至活动闸门达到第一预设距离
时，则晶圆存放记录设备可以接收到该射频电子标签发送的操作请求，在确定该操作
请求携带的标识信息属于该预设人员标识集合时，该晶圆存放记录设备控制该活动闸
门开启，此时，操作人员将装有晶圆的Lot通过腔体的入口放入晶圆加工设备中，当
检测(如通过传感器检测)到Lot已经放置在该晶圆加工设备对应的位置上时，则晶
圆存放记录设备确定该操作人员完成该晶圆存放操作，并记录该操作人员执行该晶圆
存放操作的操作信息，当然，上述只是举例说明，本发明不作限定。
需要说明的是，上述操作信息可以包括操作人员开始执行晶圆存放操作的时间，
也可以包括预设时间段内操作人员存放的Lot的数量(如在三小时内存放的Lot的数
量或者一个班次存放的Lot的数量)，还可以包括该操作人员执行晶圆存放操作的其他
信息，本发明对此不作限定。
另外，当该操作人员完成该晶圆存放操作后，该晶圆存放记录设备控制该活动闸
门关闭，以防止其他被禁止执行晶圆存放操作的操作人员执行晶圆存放操作，一种可
能的实现方式，该活动闸门可以在该操作人员完成该晶圆存放操作并达到第二预设时
间后关闭，以防止关闭过快对操作人员造成误伤，另一种可能的实现方式，也可以在
无法接收到当前操作人员佩戴的射频电子标签的操作请求(如操作人员远离该活动闸
门至预设距离)后关闭，以防止在操作人员长时间执行晶圆存放操作的过程中，由于
活动闸门的频繁开启和关闭对活动闸门的损耗。上述只是举例说明，不作限定。
步骤S205，该晶圆存放记录设备记录该操作人员的标识信息与该操作信息之间的
对应关系。
步骤S206，晶圆存放记录设备接收查询指令。
其中，可以通过设置的人机交互界面将操作信息展示给查询人员，以方便查询人
员了解相关操作人员的操作信息。
步骤S207，晶圆存放记录设备根据该查询指令中的操作人员的标识信息通过该对
应关系得到该操作人员执行的该晶圆存放操作的操作信息，并展示该操作信息。
其中，可以通过设置的人机交互界面将操作信息展示给查询人员，以方便查询人
员了解相关操作人员的操作信息。
步骤S208，晶圆存放记录设备禁止该操作人员执行该晶圆存放操作。
其中，在确定该标识信息不属于该预设人员标识集合时，则该活动闸门不会开启，
从而禁止该操作人员执行晶圆存放操作，在一种优选的实现方式中，若禁止该操作人
员执行该晶圆存放操作，则发出提示信息，如通过报警器发出报警声或者通过报警灯
的常亮或闪烁进行提示。
在本发明实施例中，通过接收执行晶圆存放操作的操作请求，并判断该操作请求
中的标识信息是否属于预设人员标识集合，若判断出该标识信息属于该预设人员标识
集合，则允许该操作人员执行该晶圆存放操作，并在该操作人员完成该晶圆存放操作
后，记录该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息；若判断出该操作人员信息不属
于该预设人员标识集合，则禁止该操作人员执行该晶圆存放操作，这样，由于操作人
员在进行晶圆存放的过程中需要先进行标识信息的判断，并在判断通过后才允许执行
晶圆存放操作，并记录操作信息，因此，能够准确获得执行晶圆操作的操作人员的操
作信息，从而保证操作信息的准确性。
需要说明的是，对于上述方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的
动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，
因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员
也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不
一定是本发明所必须的。
根据本发明实施例，提供一种晶圆存放记录设备30，如图3所示，该设备30可
以包括：
接收单元31，用于接收执行晶圆存放操作的操作请求，其中，该操作请求中携带
有执行晶圆存放操作的操作人员的标识信息；
判断单元32，用于判断该接收单元31接收的标识信息是否属于预设人员标识集
合，其中，该预设人员标识集合包括预先设置的允许执行该晶圆存放操作的操作人员
的标识信息；
第一处理单元33，用于若该判断单元32判断出该标识信息属于该预设人员标识
集合，则允许该操作人员执行该晶圆存放操作，并在该操作人员完成该晶圆存放操作
后，记录该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息；
第二处理单元34，用于若该判断单元32判断出该标识信息不属于该预设人员标
识集合，则禁止该操作人员执行该晶圆存放操作。
可选地，如图4所示，该设备30还可以包括：
记录单元35，用于在该第一处理单元33记录该操作人员执行该晶圆存放操作的
操作信息后，记录该操作人员的标识信息与该操作信息之间的对应关系。
可选地，如图5所示，该设备30还可以包括：
查询单元36，用于在该记录单元35记录该操作人员的标识信息与该操作信息之
间的对应关系后，通过该操作人员的标识信息和该对应关系查询该操作人员执行的该
晶圆存放操作的操作信息。
可选地，如图6所示，该查询单元36可以包括：
接收子单元361，用于接收查询指令，其中，该查询指令包括该操作人员的标识
信息；
处理子单元362，用于根据该接收子单元361接收的操作人员的标识信息通过该
对应关系得到该操作人员执行的该晶圆存放操作的操作信息，并展示该操作信息。
需要说明的是，所属本领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，
上述描述的晶圆存放记录设备的具体工作过程和描述，可以参考前述方法实施例中的
对应过程，在此不再赘述。
根据本发明实施例，提供一种晶圆存放记录系统，如图7所示，该系统包括：
射频电子标签71，用于发出执行晶圆存放操作的操作请求；
晶圆存放记录设备72，与该射频电子标签射频71连接，包括上述图3至图6中
任一描述的晶圆存放记录设备。
可选地，该电子标签为腕带式电子标签，该腕带式电子标签佩戴在操作人员的肢
体上。
采用上述晶圆存放记录系统，通过晶圆存放记录设备接收执行晶圆存放操作的操
作请求，并判断该操作请求中的标识信息是否属于预设人员标识集合，若判断出该标
识信息属于该预设人员标识集合，则允许该操作人员执行该晶圆存放操作，并在该操
作人员完成该晶圆存放操作后，记录该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息；若
判断出该操作人员信息不属于该预设人员标识集合，则禁止该操作人员执行该晶圆存
放操作，这样，由于操作人员在进行晶圆存放的过程中需要先进行标识信息的判断，
并在判断通过后才允许执行晶圆存放操作，并记录操作信息，因此，能够准确获得执
行晶圆操作的操作人员的操作信息，从而保证操作信息的准确性。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人
员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润
饰也应视为本发明的保护范围。