单张薄膜的缺陷检查装置.pdf

本发明提供易于高精度地在整个薄膜面上光学地检查有翘曲等变形的单张薄膜的缺陷的装置。本发明的装置是一边输送单张薄膜一边检查缺陷的装置，在输送单张薄膜的方向上依次配置由上侧的浮动矫正辊及下侧的高度保持辊构成的一对辊、上下配置的一对送出辊及上下配置的一对接受辊，从而使单张薄膜水平地输送，在送出辊与接受辊之间上下地配置光源及摄像机，用于在单张薄膜上照射光，并接受其透过光而检查缺陷。

权利要求书
1、  一种单张薄膜的缺陷检查装置，是一边输送单张薄膜一边检查缺陷的装置，其特征在于：在输送单张薄膜的方向上依次配置由上侧的浮动矫正辊及下侧的高度保持辊构成的一对辊、上下配置的一对送出辊及上下配置的一对接受辊，从而使单张薄膜水平地输送，并在送出辊与接受辊之间上下地配置光源及摄像机，用于在单张薄膜上照射光，并接受其透过光而检查缺陷。

2、  如权利要求1所述的单张薄膜的缺陷检查装置，其特征在于：送出辊的外周部与接受辊的外周部的最短间隔是约5～30mm。

3、  如权利要求1所述的单张薄膜的缺陷检查装置，其特征在于：浮动矫正辊及/或高度保持辊的外周部与送出辊的外周部的最短间隔是约1～30mm。

4、  如权利要求1所述的单张薄膜的缺陷检查装置，其特征在于：送出辊及接受辊的直径是5～30mm。

5、  如权利要求1所述的单张薄膜的缺陷检查装置，其特征在于：浮动矫正辊及高度保持辊的直径是5～30mm。

6、  如权利要求1所述的单张薄膜的缺陷检查装置，其特征在于：在送出辊的后方侧部及/或接受辊的前方侧部，具有高度异常检测传感器以及使送出辊及/或接受辊上下移动的上下调整机构。

7、  如权利要求1所述的单张薄膜的缺陷检查装置，其特征在于：辊的表面由硬度40～100的橡胶或树脂构成。

说明书单张薄膜的缺陷检查装置
技术领域
本发明涉及单张薄膜的缺陷检查装置。详细地说是涉及易于高精度地在整个薄膜面上光学地检查有翘曲等变形的单张薄膜的缺陷的装置。
背景技术
偏光板、相位差板等的光学薄膜等，作为连续薄膜或单张薄膜而产品化，并以各自的状态进行缺陷检查。
公知有在光学薄膜等透明薄膜上照射光，并接受其透过光，从而检查薄膜的缺陷的方法(参照例如专利文献1、专利文献2)。
在利用辊一边输送薄膜一边检查缺陷的方法中，检测树脂板那样的硬的片状物时，或利用辊将连续的薄膜保持张紧状态而检查时，是没有问题的，但光学薄膜等柔软的单张薄膜，由于周边挠曲，或在输送装置上翘曲或下垂，使检查缺陷的摄像机的焦点不对应作为被检查物的薄膜，往往漏掉缺陷。
作为矫正单张薄膜的变形而检查的方法，虽然可考虑利用透明的树脂板或玻璃板夹着该薄膜进行检查的方法、将周围固定成框状而进行检查的方法、吸附在吸附片上进行检查的方法或利用牵引工具牵引而进行检查的方法等，但存在夹入环境中的异物、不够平坦、不能全面检查、或矫正变形麻烦等问题。
专利文献1：特开平8-128968号公报
专利文献2：特开2001-349839号公报
发明内容
本发明的目的在于，提供易于高精度地在整个薄膜面上光学地检查有翘曲等变形的单张薄膜的缺陷的装置。
本发明者们为了解决上述课题而对单张薄膜的缺陷检查装置进行了深入研究，其结果发现，通过将单张薄膜大致水平地插入一对送出辊，可抑制输送地单张薄膜的前端部的翘曲或下垂，或通过在送出辊的前方设计由上侧的浮动矫正辊及下侧的高度保持辊构成的一对辊而使单张薄膜被大致水平地插入一对送出辊，其结果，单张薄膜可大致水平地在送出辊及接受辊之间输送，从而可高精度地在单张薄膜的整个面上检测缺陷，并最终完成了本发明。
即本发明，是边输送单张薄膜边检查缺陷的装置，该单张薄膜的缺陷检查装置，在输送单张薄膜的方向上依次配置由上侧的浮动矫正辊及下侧的高度保持辊构成的一对辊、上下配置的一对送出辊及上下配置的一对接受辊，从而使单张薄膜水平地输送，并在送出辊与接受辊之间上下地配置光源及摄像机，用于在单张薄膜上照射光，并接受其透过光而检查缺陷。
采用本发明，可易于高精度地在整个薄膜面上光学地检查有翘曲等变形的单张薄膜的缺陷。
图1是表示本发明的单张薄膜缺陷检查装置的一例的剖面示意图。
图2是表示与送出辊有关的高度异常检测传感器的示意图。
偏光板、相位差板、层叠它们等而构成的光学薄膜等，大多作为裁成与使用它们的液晶显示装置的大小一致的单张薄膜而产品化并加以处理。在这样的单张薄膜上，通常存在弯曲，虽然由于种类、大小、厚度或放置环境而使弯曲程度不同，但放置在平板上时可见约4～6mm的翘曲。并且将该薄膜的前端部从平板突出约30mm时，由于薄膜的弯曲状态，其前端大约垂下约3～12mm。
如果要在透明平板上或输送辊上检查该单张薄膜，则单张薄膜下垂、卷边或浮动而使摄像机的焦点与薄膜不一致，往往不能检查到缺陷。
但是，如果在能检查到希望检查的缺陷的焦点深度内则容许稍许的薄膜变形。使用焦距为50mm的标准透镜，而在缺陷像上容许有3～5μm左右的模糊时，光圈是4～5.6且有约1mm的焦点深度。即，通常，如果是1mm左右的翘曲或下垂，则可检查出其缺陷。
通过将单张薄膜大致水平地插入上下配置的一对辊，可将单张薄膜的翘曲或下垂控制在1mm左右。为了将单张薄膜大致水平地插入一对辊，可通过在其前面配置由上侧的浮动矫正辊及下侧的高度保持辊构成的一对辊而实现。
图1是表示本发明的单张薄膜缺陷检查装置的一例的剖面示意图。在输送要进行缺陷检查的单张薄膜1的方向(空心箭头所示)，依次配置由上侧的浮动矫正辊4及下侧的高度保持辊5构成的一对辊、上下配置的一对送出辊2及上下配置的一对接受辊3，从而使单张薄膜水平地输送。在送出辊与接受辊之间上下地配置光源6及摄像机7，用于在单张薄膜上照射光，并接受其透过光而检查缺陷。
通过设置由上侧的浮动矫正辊4及下侧的高度保持辊5构成的一对辊而可矫正单张薄膜1的浮动或下垂，并且将单张薄膜1大致水平地从送出辊2向接受辊3输送。
单张薄膜1利用辊夹持着输送，并在送出辊2与接受辊3之间进行缺陷检查。
图2是表示与送出辊有关的高度异常检测传感器的示意图。在送出辊2的后方侧部设置高度异常检测传感器8。当利用该传感器检测出输送的单张薄膜1的高度偏离设定值时，利用辊上下调整机构(未图示)上下调整辊，从而调整单张薄膜的高度。
该高度异常检测传感器及辊上下调整机构也可同样设置在接受辊3的前方侧部，而上下调整接受辊。
作为送出辊、接受辊、浮动矫正辊及高度保持辊的表面材质，可举出聚氨酯橡胶、氯丁橡胶·丁二烯橡胶、硅酮橡胶或树脂，最好使用聚氨酯橡胶。最好使用表面硬度为40～100的材料。另外，最好通过在送出辊上组合粘着式的去尘辊，消除由环境异物导致的误检测。
送出辊及接受辊的直径可以相同，也可不同，为了将薄膜的弹性变形设计到最小限度，辊的直径小些为好，约5～30mm，最好是约10～25mm。
浮动矫正辊及高度保持辊的直径可以相同，也可不同，约5～30mm，最好是约5～20mm。因为缩小浮动矫正辊和高度保持辊构成的夹持部与送出辊和接受辊构成的夹持部之间的间隔，单张薄膜的变形较小，交接可靠，所以浮动矫正辊及高度保持辊的直径小于送出辊的直径为好。
送出辊的外周部与接受辊的外周部的最短间隔，在约5～30mm的范围小些为好。如果有约5mm的间隔即可进行光的照射、接受。
浮动矫正辊及/或高度保持辊的外周部与送出辊的外周部的最短间隔是约1～30mm，最好是约1～20mm。
实施例1
如图1所示，配置有浮动矫正辊4、高度保持辊5、一对送出辊2及一对接受辊3。
浮动矫正辊及高度保持辊都是在直径15φmm的轴上卷绕2.5mm的硬度40的聚氨酯橡胶而成的直径20φmm的辊；一对送出辊及一对接受辊也都是在直径15φmm的轴上卷绕2.5mm的硬度40的聚氨酯橡胶而成的直径20φmm的辊。
送出辊间的间隙、接受辊间的间隙设定在要检查的单张薄膜的厚度以下。送出辊的外周部与接受辊的外周部的最短间隔设为5mm。又，浮动矫正辊的外周部与送出辊的外周部的最短间隔设为3mm。
在送出辊与接受辊之间的下部配置光源(メタハラ传送灯)，在上部配置CCD线路传感器[SCANTEC(注册商标)6000长濑产业(株)制造，像素：5000]。
使用该装置，输送单张的叠层光学薄膜(构成：保护薄膜/偏光薄膜/相位差薄膜/隔离薄膜，大小：310mm×385mm，厚度：0.4mm)，并在整个薄膜面上进行缺陷检查。
送出辊与接受辊之间的薄膜的变形(翘曲、下垂)约1mm。不会漏掉30μm的缺陷。
又，也没有发现保护薄膜或隔离薄膜的剥离。