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1、(10)申请公布号 CN 103575739 A (43)申请公布日 2014.02.12 CN 103575739 A (21)申请号 201310306386.4 (22)申请日 2013.07.19 160578/2012 2012.07.19 JP G01N 21/88(2006.01) G01N 35/02(2006.01) (71)申请人 东京威尔斯股份有限公司 地址 日本东京都 (72)发明人 柴田祐二 田中吉美 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 段承恩 杨光军 (54) 发明名称 外观检查装置及外观检查方法 (57) 摘要 本发明涉及外观检查装置及。
2、外观检查方法。 通过准确地拍摄工件来高精度地进行对工件的外 观检查。工件的外观检查装置 (20) 对由多面体构 成、 且具有引线 (Wa、 Wb、 Wc、 Wd) 的工件 (W) 进行外 观检查。外观检查装置 (20) 包括 : 吸附工件 (W) 并进行输送的输送嘴 (3) ; 对工件 (W) 照射照明光 的照明机构 (L1、 L2、 L3、 L4、 L5、 L5x、 L5y、 L6) ; 和 工件 (W) 的拍摄机构 (N1、 N2、 N3、 N4、 N5、 N6) 。照 明机构 (L5x) 从工件 (W) 的与基准面 (Ws0) 相反的 一侧对面 (Ws4) 从斜向照射光, 照明机构 (L。
3、5y) 从 工件 (W) 的与基准面 (Ws0) 相反的一侧对面 (Ws6) 从斜向照射光。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 14 页 附图 21 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书14页 附图21页 (10)申请公布号 CN 103575739 A CN 103575739 A 1/2 页 2 1. 一种外观检查装置, 对工件进行外观检查, 所述工件由具有基准面的多面体构成, 所 述基准面包括第 1 边和与第 1 边相对的第 2 边, 在基准面的第 1 边侧的区域设有与第 1 边 平行的多个突起物, 。
4、在基准面的第2边侧的区域设有与第2边平行的多个突起物, 所述外观 检查装置的特征在于, 包括 : 输送工件的输送机构 ; 对工件照射照明光的照明机构 ; 和 拍摄工件的突起物的拍摄机构, 照明机构包括第 1 照明机构和第 2 照明机构, 所述第 1 照明机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面, 从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光, 所述第 2 照明机构对 包括基准面的第 2 边的与基准面相邻的面, 从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光, 拍摄机构包括第 1 拍摄机构和第 2 拍摄机构, 所述第 1 拍摄机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面及第 1 边侧的突起物进行拍摄, 所。
5、述第 2 拍摄机构对包括基准面的 第 2 边的与基准面相邻的面及第 2 边侧的突起物进行拍摄。 2. 根据权利要求 1 所述的外观检查装置, 其特征在于, 突起物具有直线状的引线。 3. 根据权利要求 1 所述的外观检查装置, 其特征在于, 照明机构还具有第 3 照明机构和第 4 照明机构, 所述第 3 照明机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面, 从正面照射照明光, 所述第 4 照明机构对包括基准面的第 2 边的 与基准面相邻的面, 从正面照射照明光。 4. 根据权利要求 3 所述的外观检查装置, 其特征在于, 第 1 拍摄机构还对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面在由第 3 。
6、照明机构进行照 射时进行拍摄, 第 2 拍摄机构还对包括基准面的第 2 边的与基准面相邻的面在由第 4 照明 机构进行照射时进行拍摄。 5. 一种外观检查方法, 对工件进行外观检查, 所述工件由具有基准面的多面体构成, 所 述基准面包括第 1 边和与第 1 边相对的第 2 边, 在基准面的第 1 边侧的区域设有与第 1 边 平行的多个突起物, 在基准面的第2边侧的区域设有与第2边平行的多个突起物, 所述外观 检查方法的特征在于, 包括 : 由输送机构输送工件的输送工序 ; 由照明机构对工件照射照明光的照明工序 ; 和 由拍摄机构对工件的突起物进行拍摄的拍摄工序, 照明机构包括第 1 照明机构和。
7、第 2 照明机构, 所述第 1 照明机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面, 从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光, 所述第 2 照明机构对 包括基准面的第 2 边的与基准面相邻的面, 从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光, 拍摄机构包括第 1 拍摄机构和第 2 拍摄机构, 所述第 1 拍摄机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面及第 1 边侧的突起物进行拍摄, 所述第 2 拍摄机构对包括基准面的 第 2 边的与基准面相邻的面及第 2 边侧的突起物进行拍摄。 6. 根据权利要求 5 所述的外观检查方法, 其特征在于, 突起物具有直线状的引线。 7. 根据权利要求 5 所述的外观检。
8、查方法, 其特征在于, 权 利 要 求 书 CN 103575739 A 2 2/2 页 3 照明机构还具有第 3 照明机构和第 4 照明机构, 所述第 3 照明机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面, 从正面照射照明光, 所述第 4 照明机构对包括基准面的第 2 边的 与基准面相邻的面, 从正面照射照明光。 8. 根据权利要求 7 所述的外观检查方法, 其特征在于, 第 1 拍摄机构还对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面在由第 3 照明机构进行照 射时进行拍摄, 第 2 拍摄机构还对包括基准面的第 2 边的与基准面相邻的面在由第 4 照明 机构进行照射时进行拍摄。 权 利 要 。
9、求 书 CN 103575739 A 3 1/14 页 4 外观检查装置及外观检查方法 技术领域 0001 本发明涉及对具有引线的部件一边输送一边对其拍摄来进行外观检查的外观检 查装置及外观检查方法。 背景技术 0002 公知有如下的进行外观检查的外观检查装置 : 对由多个面形成的片形电子部件 (以下记作工件) 一边输送, 一边利用 LED 照明器等对工件的各面照射照明光, 并利用照相机 等进行拍摄, 通过图像处理程序来判定所拍摄的图像是否合格。 在这样的外观检查装置中, 在输送工件时, 希望尽量使作为拍摄对象的工件的各面露出。 0003 作为实现这种外观检查装置的机构, 公知有如下机构 : 。
10、例如通过输送嘴对载置于 台上的工件的上面抽真空来吸附该面, 使输送嘴上升后再使其沿水平方向移动。 由此, 如后 所述, 能够对除了由输送嘴吸附的面以外的所有面照射照明光来进行拍摄。 发明内容 0004 但是, 根据以往的外观检查装置, 虽然能对工件的各面进行外观检查, 但对设于工 件的特定面的引线进行可靠地检查的技术尚未研发出来。 0005 本发明是考虑到这些问题而做出的, 其目的在于提供一种能够对于设于工件的特 定面的引线高精度地可靠地进行外观检查的外观检查装置及外观检查方法。 0006 本发明提供一种外观检查装置, 对工件进行外观检查, 所述工件由具有基准面的 多面体构成, 所述基准面包括。
11、第 1 边和与第 1 边相对的第 2 边, 在基准面的第 1 边侧的区域 设有与第 1 边平行的多个突起物, 在基准面的第 2 边侧的区域设有与第 2 边平行的多个突 起物, 所述外观检查装置的特征在于, 包括 : 输送工件的输送机构 ; 对工件照射照明光的照 明机构 ; 和拍摄工件的突起物的拍摄机构, 照明机构包括第 1 照明机构和第 2 照明机构, 所 述第 1 照明机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面, 从与基准面相反的一侧斜向 地照射照明光, 所述第2照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面, 从与基准面 相反的一侧斜向地照射照明光, 拍摄机构包括第 1 拍摄机构和第 。
12、2 拍摄机构, 所述第 1 拍摄 机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面及第 1 边侧的突起物进行拍摄, 所述第 2 拍摄机构对包括基准面的第 2 边的与基准面相邻的面及第 2 边侧的突起物进行拍摄。 0007 本发明的外观检查装置中, 突起物具有直线状的引线。 0008 本发明的外观检查装置中, 照明机构还具有第3照明机构和第4照明机构, 所述第 3 照明机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面, 从正面照射照明光, 所述第 4 照明 机构对包括基准面的第 2 边的与基准面相邻的面, 从正面照射照明光。 0009 本发明的外观检查装置中, 第 1 拍摄机构还对包括基准面的第 1。
13、 边的与基准面相 邻的面在由第 3 照明机构进行照射时进行拍摄, 第 2 拍摄机构还对包括基准面的第 2 边的 与基准面相邻的面在由第 4 照明机构进行照射时进行拍摄。 0010 本发明提供一种外观检查方法, 对工件进行外观检查, 所述工件由具有基准面的 说 明 书 CN 103575739 A 4 2/14 页 5 多面体构成, 所述基准面包括第 1 边和与第 1 边相对的第 2 边, 在基准面的第 1 边侧的区域 设有与第 1 边平行的多个突起物, 在基准面的第 2 边侧的区域设有与第 2 边平行的多个突 起物, 所述外观检查方法的特征在于, 包括 : 由输送机构输送工件的输送工序 ; 由。
14、照明机构 对工件照射照明光的照明工序 ; 和由拍摄机构对工件的突起物进行拍摄的拍摄工序, 照明 机构包括第 1 照明机构和第 2 照明机构, 所述第 1 照明机构对包括基准面的第 1 边的与基 准面相邻的面, 从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光, 所述第 2 照明机构对包括基准 面的第 2 边的与基准面相邻的面, 从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光, 拍摄机构包 括第 1 拍摄机构和第 2 拍摄机构, 所述第 1 拍摄机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相 邻的面及第 1 边侧的突起物进行拍摄, 所述第 2 拍摄机构对包括基准面的第 2 边的与基准 面相邻的面及第 2 边侧的突起物进行拍。
15、摄。 0011 本发明的外观检查方法中, 突起物具有直线状的引线。 0012 本发明的外观检查方法中, 照明机构还具有第3照明机构和第4照明机构, 所述第 3 照明机构对包括基准面的第 1 边的与基准面相邻的面, 从正面照射照明光, 所述第 4 照明 机构对包括基准面的第 2 边的与基准面相邻的面, 从正面照射照明光。 0013 本发明的外观检查方法中, 第 1 拍摄机构还对包括基准面的第 1 边的与基准面相 邻的面在由第 3 照明机构进行照射时进行拍摄, 第 2 拍摄机构还对包括基准面的第 2 边的 与基准面相邻的面在由第 4 照明机构进行照射时进行拍摄。 0014 如上所述, 根据本发明,。
16、 通过简单的照明方法, 能够对作为拍摄对象的突起物可靠 地照射照明光, 因此对工件的拍摄结果准确, 能够提高对工件的外观检查的精度。 附图说明 0015 图 1 是应用了本发明的外观检查装置的俯视图。 0016 图 2 是从图 1 的箭头 J 方向观察应用了本发明的第 2 外观检查部的示意图。 0017 图 3 是图 2 的工件的箭头 Jb 方向的向视放大图。 0018 图 4(a) (b) 是表示应用了本发明的对引线照射照明光的照射方法及引线的拍摄 方法的图。 0019 图 5(a) (b) 是应用了本发明的引线的外观检查的说明图。 0020 图 6 是表示工件的立体图。 0021 图 7(。
17、a) (b) (c) 是图 6 的工件的 P1、 P2、 P3 方向的向视图。 0022 图 8 是表示工件的内部电路的图。 0023 图 9 是作为比较例的外观检查装置的俯视图。 0024 图 10 是图 9 的旋转圆板的箭头 B 方向的向视图。 0025 图 11(a) (b) (c) (d) (e) (f) 是表示由线性送料器输送工件、 直到接着由输送 嘴吸附的说明图。 0026 图 12 是图 11(d) 的工件和输送嘴的放大图。 0027 图 13(a) (b) (c) (d) 是表示 LED 照明器的例子的说明图。 0028 图 14 是使用 LED 照明器的工件的拍摄方法的示意图。
18、。 0029 图 15 是从箭头 H 方向观察图 1 及图 9 的第 1 外观检查部的示意图。 0030 图 16(a) (b) (c) 是工件方向变换部的动作说明图。 说 明 书 CN 103575739 A 5 3/14 页 6 0031 图 17 是从图 9 的箭头 J 方向观察比较例的第 2 外观检查部的示意图。 0032 图 18(a) (b) 是表示工件的引线弯折的说明图。 0033 图 19(a) (b) (c) (d) 是表示工件的引线弯曲检查的原理的说明图。 0034 图 20 是比较例的引线弯曲了的工件的拍摄的说明图。 0035 图 21(a) (b) 是图 20 的拍摄图。
19、像的说明图。 0036 图 22 是比较例的姿势发生了变化的工件的拍摄的说明图。 0037 图 23(a) (b) 是图 22 的拍摄图像的说明图。 0038 附图标记的说明 0039 1 基台, 0040 2 旋转圆板, 0041 3 输送嘴, 0042 4 线性送料器, 0043 5 分离载置台, 0044 6 电特性测定部, 0045 7 第 1 外观检查部, 0046 8 工件方向变换部, 0047 9 第 2 外观检查部, 0048 10 不良工件排出部, 0049 11 合格品工件排出部, 0050 20 外观检查装置, 0051 90 比较例的第 2 外观检查部, 0052 10。
20、0 比较例的外观检查装置, 0053 L1, L2, L3, L4, L5, L5x, L5y, L6LED 照明器, 0054 1, 2, 5, 6 棱镜, 0055 N1, N2, N3, N4, N5, N6 照相机, 0056 W 工件, 0057 Wa、 Wb、 Wc、 Wd 引线。 具体实施方式 0058 以下, 参照附图说明本发明的实施方式。 0059 首先, 如图 1 所示, 外观检查装置 20 包括 : 水平设置的基台 1 ; 沿水平方向配置在 基台 1 的垂直方向上方的旋转圆板 2 ; 和以等间隔设置在旋转圆板 2 的外周部的多个输送 嘴 3。其中, 由旋转圆板 2 和输送。
21、嘴 3 构成输送机构。旋转圆板 2 与基台 1 之间由中心轴 2a 连接, 利用未图示的驱动机构的作用, 使旋转圆板 2 沿箭头 A(顺时针) 的方向绕中心轴 2a 间歇旋转。 0060 图 10 表示旋转圆板 2 的箭头 B 方向的向视图。如图 10 所示, 配置在旋转圆板 2 的外周部的输送嘴 3, 利用未图示的驱动机构的作用, 在箭头 C 及箭头 D 的方向 (垂直方向) 自由升降。 0061 此外, 如后所述, 输送嘴 3 利用未图示的抽真空机构的作用, 在其下端吸附工件 W。 说 明 书 CN 103575739 A 6 4/14 页 7 在该状态下, 在图 1 中旋转圆板 2 向箭。
22、头 A 方向旋转时, 吸附于输送嘴 3 下端的工件 W 被向 箭头 A 方向输送。 0062 在图 1 中, 在基台 1 之上设置有通过振动将工件 W 呈一列地向箭头 G 方向输送的 线性送料器4。 线性送料器4的终端点达到旋转圆板2的外缘部, 从该终端点观察在旋转圆 板 2 的中心轴 2a 方向的位置设有逐个载置工件 W 的分离载置台 5。 0063 从分离载置台 5 沿旋转圆板 2 的旋转方向 (箭头 A 方向) 、 即工件 W 的输送路径, 依 次设有 : 测定工件 W 的电特性的电特性测定部 6 ; 进行工件 W 的外观检查的第 1 外观检查部 7 ; 改变吸附于输送嘴 3 下端的工件。
23、 W 的面的方向的工件方向变换部 8 ; 进行工件 W 的外观 检查的第 2 外观检查部 9 ; 将基于电特性的测定及外观检查的结果而判定为不良的工件排 出的不良工件排出部 10 ; 和将基于电特性的测定及外观检查的结果而判定为合格品的工 件排出的合格品工件排出部 11。 0064 在图1中, 用黑圆点表示在下端吸附有工件W的输送嘴3, 此外, 用白圆点表示在下 端未吸附工件 W 的输送嘴 3。在从分离载置台 5 沿旋转圆板 2 的旋转方向 (箭头 A 方向) 到 合格品工件排出部 11 的范围, 输送嘴 3 在下端吸附有工件 W。此外, 外观检查装置 20 具有 对构成装置的各部进行控制的控。
24、制部 12。 0065 图 6 示出工件 W 的立体图。工件 W 具有 : 由多面体构成的主体, 该多面体由被非导 电性的介电体覆盖的多个面构成 ; 和作为从主体的一面即第 1 基准面 (也简单记作基准面) Ws0 突出的突起物的直线状的引线 Wa、 Wb、 Wc、 Wd。各引线 Wa、 Wb、 Wc、 Wd 都是由导电性材料 (例如铜等金属) 构成。 0066 构成工件W的主体的各面中的、 相邻的面所成的角为大致直角。 与第1基准面Ws0 相邻的 4 个面包括位于引线 Wc、 Wd 侧的第 1 面 Ws1、 位于引线 Wa、 Wb 侧的第 3 面 Ws3、 位于 引线 Wb、 Wd 侧的第 。
25、4 面 Ws4、 位于引线 Wa、 Wc 侧的第 6 面 Ws6。第 1 面 Ws1 与第 3 面 Ws3 相 对, 同样, 第 4 面 Ws4 与第 6 面 Ws6 相对。 0067 此外, 从与第 1 基准面 Ws0 相对的第 5 面 Ws5 朝向第 1 基准面 Ws0 地形成有凹部 Wg。该凹部 Wg 贯穿第 4 面 Ws4 与第 6 面 Ws6 之间, 由此, 第 5 面 Ws5 被分割为面齐平的 2 个部分, 即第 5x 面 Ws5x 和第 5y 面 Ws5y。此外, 将工件 W 以第 1 基准面 Ws0 朝上的方式从 第 6 面 Ws6 侧 (图 6 中的箭头 P2 方向) 观察时。
26、的形状为, 凹部 Wg 朝向下方。形成凹部 Wg 的 内侧的面 Wgx、 Wgy 及第 2 面 Ws2 也均是与其相邻的所有面呈大致直角。将从图 6 中的箭头 P1、 P2、 P3 的各方向观察以上的各面所得的图分别示于图 7(a) 、(b) 、(c) 。 0068 如图 6 及图 7 所示, 在作为第 4 面 Ws4 与第 5x 面 Ws5x 的边界的边及作为第 4 面 Ws4 与第 5y 面 Ws5y 的边界的边, 沿倾斜方向实施微小的切削加工, 即实施倒角做成 Wsx、 Wsy。由于工件 W 的形状是对称形状, 因此为了区别引线 Wa、 Wc 与引线 Wb、 Wd 而实施该倒 角。 00。
27、69 由于倒角 Wsx、 Wsy 的面积与构成工件 W 的各面的面积相比极小, 因此第 4 面 Ws4 与第 5x 面 Ws5x 所成的角及第 4 面 Ws4 与第 5y 面 Ws5y 所成的角也可以说是大致直角。 0070 图 8 示出工件 W 的内部电路。在图 6 及图 7 中, 通过形成凹部 Wg, 从而在工件 W 形 成 2 处突出部 Wx、 Wy。工件 W 的内部电路被收纳于这些突出部 Wx、 Wy 内。在图 8 中, 突出 部 Wx 内的电路包括发光二极管 Dw, 其阳极与引线 Wa 连接, 阴极与引线 Wb 连接。此外, 突出 部 Wy 内的电路包括光敏晶体管 Qw, 其集电极与。
28、引线 Wc 连接, 发射极与引线 Wd 连接。而且, 说 明 书 CN 103575739 A 7 5/14 页 8 在图 6 中在凹部 Wg 内的相对的面 Wgx 与 Wgy, 设有未图示的孔, 突出部 Wx 内的发光二极管 Dw 与突出部 Wy 内的光敏晶体管 Qw 的基极隔着这些孔而相对。 0071 由此, 在图 8 中, 若在引线 Wa 与引线 Wb 之间施加电压以使引线 Wa 的电位高于引 线 Wb 的电位, 则发光二极管 Dw 发光, 该光 WL 经由上述孔而传递到光敏晶体管 Qw 的基极, 光敏晶体管 Qw 的集电极与发射极之间导通。即, 若预先在引线 Wc 与引线 Wd 之间施。
29、加电压 以使引线 Wc 的电位高于引线 Wd 的电位, 则电流从引线 Wc 流向引线 Wd。此外, 若有不透光 的物体进入凹部Wg内, 则即使发光二极管Dw发光, 该光被物体遮挡而无法传递到光敏晶体 管 Qw 的基极, 光敏晶体管 Qw 的集电极与发射极之间不导通。即, 该工件 W 可以作为检测是 否有物体进入工件 W 的凹部 Wg 内的传感器来使用。关于具有这种功能的工件 W, 在市场上 以光断续器等名称销售。 0072 接着, 说明由这样的结构构成的外观检查装置 20 的作用。在图 1 中, 工件 W 由线 性送料器 4 输送, 并被输送嘴 3 吸附。将从箭头 F 方向观察此时状态而得的立。
30、体图示于图 11。在图 11(a) 中, 工件 W 被供给到未图示的零件送料器, 借助由控制部 12 的控制的未图 示的转移机构的作用, 被转移到线性送料器 4, 然后借助未图示的排列机构的作用而规整成 面的方向都相同, 在线性送料器 4 上成 W0、 W1、的一列状态, 通过振动沿箭头 G 的方向 输送。 0073 在该情况下, 从图1的箭头F观察到的工件W的面为第6面Ws6, 且第1基准面Ws0 朝上。此外, 在分离载置台 5 之上未载置工件 W, 输送嘴 3 在分离载置台 5 的上方离开、 停止 于初始位置。接着, 在成一列状态输送的工件 W0、 W1、的开头的工件 W0 到达线性送料 。
31、器 4 的终端点、 即分离载置台 5 的紧跟前位置时, 如图 11(b) 所示, 借助基于控制部 12 的 控制的未图示的分离载置机构的作用, W0 被从线性送料器 4 载置到分离载置台 5。此时, 线 性送料器 4 的振动停止, 线性送料器 4 上的后续工件 W1、 W2、不被输送而保持停止状 态。 0074 接着, 如图 11(c) 所示, 借助基于控制部 12 的控制的未图示的驱动机构的作用, 输送嘴 3 从初始位置向箭头 C 的方向下降, 在输送嘴 3 的下端与载置于正下方的分离载置 台 5 上的工件 W0 的第 1 基准面 Ws0 抵接的位置停止。 0075 然后, 如图 11(d)。
32、 所示, 沿箭头 E 的方向进行抽真空, 工件 W0 的第 1 基准面 Ws0 被输送嘴 3 的下端吸附。图 12 示出此时的工件 W0 与输送嘴 3 的放大图。在图 12 中, 在输 送嘴 3 内, 形成有一端通过未图示的开关与真空源连通的吸引通路 3a, 吸引通路 3a 的另一 端在输送嘴 3 的下端作为吸引孔 3b 而开口。 0076 在图 11(d) 中, 借助基于控制部 12 的控制的未图示的开关的作用, 吸引通路 3a 与真空源连通, 向图 12 的箭头 E 方向进行抽真空。由此, 吸引孔 3b 吸附工件 W0 的第 1 基 准面 Ws0。 0077 接着, 如图 11(e) 所示。
33、, 借助基于控制部 12 的控制的未图示的驱动机构的作用, 输送嘴 3 向箭头 D 方向上升, 返回到初始位置并停止。此时, 由于正在向箭头 E 方向进行抽 真空, 因此工件 W0 保持着被输送嘴 3 吸附的状态上升。然后, 借助基于控制部 12 的控制的 未图示的驱动机构的作用, 图 1 所示的旋转圆板 2 向箭头 A 的方向旋转。由此, 如图 11 (f) 所示, 吸附着工件 W0 的输送嘴 3 向箭头 A1 的方向旋转, 工件 W0 被输送到图 9 的电特性测 定部 6 而停止。 说 明 书 CN 103575739 A 8 6/14 页 9 0078 同时, 未吸附工件 W 的输送嘴 。
34、3 向箭头 A2 的方向旋转, 到达分离载置台 5 的正上 方, 如图 11(a) 所示那样停止在初始位置。其后, 重复图 11(a) (f) 的动作。 0079 如此被输送嘴 3 吸附的、 图 1 中的工件 W(在图 11 中为工件 W0) 被输送到电特性 测定部6而停止。 接着, 借助基于控制部12的控制的未图示的驱动机构的作用, 未图示的电 压源及测定器与引线 Wa、 Wb、 Wc、 Wd 连接, 进行图 8 的突出部 Wx 内的电路 (发光二极管 Dw) 及突出部 Wy 内的电路 (光敏晶体管 Qw) 的电特性的测定。当测定结束时, 在图 1 中, 借助基 于控制部 12 的控制的未图。
35、示的驱动机构的作用, 旋转圆板 2 向箭头 A 的方向旋转, 工件 W 被输送嘴 3 吸附并输送到第 1 外观检查部 7 而停止。 0080 接着, 在第 1 外观检查部 7 进行工件 W 的外观检查。关于外观检查的方法, 以下详 细说明。工件 W 的外观检查是对主体的各面中的作为检查对象的被检查面的检查及 4 根引 线 Wa、 Wb、 Wc、 Wd 的检查。图 6 及图 7 中列举了被检查面, 为第 1 面 Ws1、 第 2 面 Ws2、 第 3 面 Ws3、 第 4 面 Ws4、 第 5 面 Ws5(第 5x 面 Ws5x 和第 5y 面 Ws5y) 、 第 6 面 Ws6。这些被检查 面。
36、及 4 根引线的外观检查是通过如下这样而进行 : 对作为检查对象的部位照射照明光, 并 利用照相机进行拍摄而取得拍摄图像, 通过图像处理程序判断该拍摄图像是否合格。 0081 作为照明器惯常使用的有使用发光二极管的 LED 照明器。图 13 示出其例子。图 13(a) 、(b) 是以环状照明器的名称在市场上销售的 LED 照明器的主视图和侧视图。如图 13(a) 所示, LED 照明器 L 是在中央部设置环状空间 LH 而形成的框 Lf 内, 将许多发光二极 管 Le 配置成多个 (在此为 2 个) 的同心圆状而形成。 0082 此外, 如图 13(b) 所示, 各个发光二极管 Le 照射光的。
37、方向即光路 Ra、 Rb, 相对于 与空间 LH 的中心垂直的基准线 Lo, 以很小的角 向基准线 Lo 侧倾斜。由此, 能够实现在 基准线 Lo 附近聚光的明亮的照明, 因此被广泛使用。 0083 对于以同样的结构, 以方型照明器的名称在市场上销售的 LED 照明器的例子, 图 13(c) 、(d) 分别示出其主视图和侧视图。如图 13(c) 所示, LED 照明器 Lv 是在中央部设 有正方形空间 LHv 而形成的框 Lfv 内, 将许多发光二极管 Le 配置成多列 (在此为 2 列) 的正 方形状而形成。此外, 如图 13(d) 所示, 各个发光二极管 Le 照射光的方向即光路 Rav、。
38、 Rbv 与上述的LED照明器L同样, 相对于与空间LH的中心垂直的基准线Lo, 以很小的角向基 准线 Lo 侧倾斜。由此, 能够实现在基准线 Lo 附近聚光的明亮的照明, 因此被广泛使用。 0084 作为示意图, 图 14 示出使用 LED 照明器 L 的工件 W 的拍摄方法。在图 14 中, 工件 W 如图 11(f) 所示, 被输送嘴 3 吸附。此外, 拍摄对象为工件 W 的第 1 面 Ws1。 0085 将 LED 照明器 L 配置在与作为拍摄对象面的第 1 面 Ws1 相对的成为工件主体外侧 的位置, 将照明光如光路 Ra、 Rb 那样向第 1 面 Ws1 照射。并且, 将作为拍摄机。
39、构的照相机 N 配置在从工件W观察比LED照明器L更远的位置, 从照相机N穿过LED照明器L的中央部的 空间 LH, 从与第 1 面 Ws1 相对的成为工件主体外侧的方向, 由拍摄路径 Np 拍摄第 1 面 Ws1。 0086 由实现这样的拍摄方法的多个LED照明器及照相机构成图1的第1外观检查部7。 0087 如上所述, 在图 1 中载置于分离载置台 5 上的工件 W 如图 11 所示被输送嘴 3 吸附 后, 通过图 1 所示的旋转圆板 2 向箭头 A 方向的间歇旋转而被输送, 经过电特性测定部 6 到 达第 1 外观检查部 7。 0088 对于第 1 外观检查部 7 的结构和拍摄工件 W 。
40、进行外观检查的方法, 在图 15 示出从 箭头 H 方向观察图 1 的第 1 外观检查部 7 而得的示意图来进行说明。在图 15 中, 单点划线 说 明 书 CN 103575739 A 9 7/14 页 10 所包围的部分是第1外观检查部7。 在此, 如上所述, 工件W的面的方向被规整为 : 从图1的 箭头 F 观察到的面为第 6 面 Ws6、 且第 1 基准面 Ws0 朝上。因此, 对于如图 11 (e) 那样被输 送嘴 3 吸附的工件 W, 在图 1 中旋转圆板 2 向箭头 A 的方向间歇旋转而到达第 1 外观检查部 7 的时刻, 图 1 的箭头 Ha 方向成为第 1 面 Ws1(参照图。
41、 15) 。 0089 在第 1 外观检查部 7, 被检查面即作为拍摄对象的工件 W 的面是第 1 面 Ws1、 第 2 面 Ws2、 第 3 面 Ws3。 0090 在图 15 中, 在与第 1 面 Ws1 相对的成为工件 W 的主体外侧的位置, 与图 14 同样地 配置有作为照明机构的 LED 照明器 L1 和作为拍摄机构的照相机 N1, 该 LED 照明器 L1 对第 1 面 Ws1 照射照明光 Ra1、 Rb1, 该照相机 N1 由拍摄路径 N1p 拍摄第 1 面 Ws1。 0091 此外, 在工件 W 的下侧配置有作为照明机构的 LED 照明器 L2 和作为拍摄机构的照 相机 N2,。
42、 所述 LED 照明器 L2 对第 2 面 Ws2 照射照明光 Ra2、 Rb2, 所述照相机 N2 从与第 2 面 Ws2 相对的成为工件主体外侧的方向, 由拍摄路径 N2p 拍摄第 2 面 Ws2。 0092 在此, 与工件 W 的正下方的空间的大小、 即图 1 中的基台 1 的上面与输送嘴 3 的下 端之间的空间的大小相比, 照相机N2的体积非常大, 因此, 无法在工件W的正下方的空间配 置照相机 N2。 0093 为此, 在工件 W 的正下方位置、 即与第 2 面 Ws2 相对的成为工件 W 的主体外侧的位 置仅配置 LED 照明器 L2, 照相机 N2 以与照相机 N1 沿同一方向并。
43、列的方式配置在照相机 N1 的大致正下方位置。与此对应地, 在第 2 面 Ws2 的正下方位置, 用于将第 2 面 Ws2 和照相机 N2 的拍摄路径 N2p 变换大致 90方向的直角棱镜 2 配置在 LED 照明器 L2 的下侧。 0094 此外, 在与第 3 面 Ws3 相对的成为工件 W 的主体外侧的位置, 配置有对第 3 面 Ws3 照射照明光 Ra3、 Rb3 的作为照明机构的 LED 照明器 L3。并且, 出于与照相机 N2 同样的理 由, 由拍摄路径 N3p 拍摄第 3 面 Ws3 的作为拍摄机构的照相机 N3, 在图 9 中基台 1 的内部配 置成朝向可拍摄上方的方向。与此对应。
44、地, 在与第 3 面 Ws3 相对的成为工件 W 的主体外侧 的位置, 用于将第 3 面 Ws3 和照相机 N3 的拍摄路径 N3p 变换大致 90方向的直角棱镜 3 配置在 LED 照明器 L3 的右侧。 0095 以下记载通过具有以上结构的第 1 外观检查部 7 来拍摄工件 W 的各面、 进行外观 检查的顺序。 0096 在图 1 中, 当被输送嘴 3 吸附的工件 W 随着旋转圆板 2 的间歇旋转而到达第 1 外 观检查部 7 并停止时, 利用控制部 12 的控制, 在图 15 中, LED 照明器 L1 点亮, 对第 1 面 Ws1 照射照明光 Ra1、 Rb1。然后, 照相机 N1 由。
45、拍摄路径 N1p 拍摄第 1 面 Ws1。在这期间, LED 照 明器 L2 及 L3 灭灯, 照相机 N2 及 N3 不动作。 0097 接着, 利用图 1 中的控制部 12 的控制, 在图 15 中, LED 照明器 L1 灭灯, 接着 LED 照 明器 L2 点亮, 对第 2 面 Ws2 照射照明光 Ra2、 Rb2。接着, 照相机 N2 由拍摄路径 N2p 拍摄第 2 面 Ws2。在这期间, LED 照明器 L1 及 L3 灭灯, 照相机 N1 及 N3 不动作。 0098 接着, 利用图 1 中的控制部 12 的控制, 在图 15 中, LED 照明器 L2 灭灯, 接着 LED 照。
46、 明器 L3 点亮, 对第 3 面 Ws3 照射照明光 Ra3、 Rb3。接着, 照相机 N3 由拍摄路径 N3p 拍摄第 3 面 Ws3。在这期间, LED 照明器 L1 及 L2 灭灯, 照相机 N1 及 N2 不动作。 0099 通过以上的顺序, 工件 W 的第 1 面 Ws1、 第 2 面 Ws2、 第 3 面 Ws3 被拍摄。 0100 拍摄到的各面的图像在图 1 中的控制部 12 的控制下被传送到未图示的图像处理 说 明 书 CN 103575739 A 10 8/14 页 11 机构, 由图像处理程序判定是否合格, 由此进行外观检查。 0101 如此, 在第 1 外观检查部 7 。
47、中工件 W 的第 1 面 Ws1、 第 2 面 Ws2、 第 3 面 Ws3 的外观 检查结束时, 利用图 1 的控制部 12 的控制, 在图 15 中, 第 1 外观检查部 7 的 LED 照明器 L1、 L2、 L3 全部灭灯, 照相机 N1、 N2、 N3 全部停止动作。并且, 在图 1 中, 旋转圆板 2 向箭头 A 方 向旋转, 被输送嘴 3 吸附的工件 W 被朝向工件方向变换部 8 输送。工件 W 到达工件方向变 换部 8 时, 利用控制部 12 的控制, 进行工件 W 的方向变换。 0102 图 16(a) 示出在图 1 中工件 W 到达工件方向变换部 8 而旋转圆板 2 停止的。
48、状态 下的区域 I 的放大透视图。对于被输送嘴 3 吸附的工件 W 以下述朝向停止 : 从箭头 Ia 的方 向观察旋转圆板 2 的外方、 即图 1 的工件方向变换部 8 时, 可看到第 1 面 Ws1。在此, 利用 未图示的驱动机构的作用, 工件 W 经过图 16(b) 如图 16(c) 所示, 被方向变换为 : 从箭头 Ia 的方向观察旋转圆板 2 的外方、 即图 1 中的工件方向变换部 8 时, 可看到第 4 面 Ws4 的朝 向。 0103 这样完成工件 W 的方向变换时, 在图 1 中利用控制部 12 的控制, 旋转圆板 2 向箭 头 A 的方向旋转, 被输送嘴 3 吸附的工件 W 到。
49、达第 2 外观检查部 9 而停止。接着, 利用控制 部 12 的控制, 对工件 W 的各面中的、 除了在第 1 外观检查部 7 进行过外观检查的面以外的 面进行外观检查。图 2 示出从箭头 J 的方向观察第 2 外观检查部 9 而得的示意图。如上所 述, 利用在图 1 中工件方向变换部 8 的作用而变换了方向的工件 W, 在到达第 2 外观检查部 9 的时刻, 从箭头 Ja 的方向观察时可看到第 4 面 Ws4。在图 2 中单点划线所包围的部分是 第 2 外观检查部 9。 0104 由第 2 外观检查部 9 进行外观检查的工件 W 的面即成为拍摄对象的被检查面是第 4 面 Ws4、 第 5 面 Ws5、 第 6 面 Ws6。在图 2 中, 关于作为对这些各面照射照明光的照明机构 的 LED 照明器 L4、 L5、 L6 及作为拍。