一种对版图进行DRC验证的方法技术领域
本发明涉及集成电路设计领域，具体而言涉及一种对版图
(layout)进行DRC验证的方法。
背景技术
在集成电路设计领域中，随着技术的发展，需要满足越来越多的
设计限制(design restriction)。在某些情况下，设计限制非常严格，
例如，为满足对通过常规版图设计方法得到的器件的性能
(performance)的要求，版图的每个图案均应满足on-grid(指图案
的边缘均在栅格上)，如图1所示。
通常情况下，在对版图进行DRC(Design Rule Check，设计规则
检查)时，版图中的每个图案均需满足on-grid，否则在DRC验证结
果中就会出现off-grid(指图案的边缘不在栅格上)的错误(error)，
此时需要对出现off-grid的图案进行修改使其满足on-grid的要求。
然而，随着技术的进步，on-grid的版图(指其中所有图案均满
足on-grid的版图)已经无法满足先进技术对器件速度的需求，在某
些情况下需要设计off-grid的版图(指其中至少部分图案为off-grid
的版图)以保证器件的性能。其中，图2示意了版图中图案为off-grid
的情况。
目前的实践是将版图网格的单位调小至下一级，例如：将版图的
网格(grid)由5nm调整到1nm，以满足实际需要，即满足对特定图
案的布置的要求并保证DRC验证时不出现off-grid错误。然而，这一
方法仅允许有限的特定图案是off-grid的，大多数图案仍需保持
on-still。
对于存在off-grid的图案的版图，如果使用现有的要求on-grid的
DRC文件(DRC deck)进行DRC验证，结果中必然会出现off-grid
错误。于是，如何使用现有的DRC文件对存在off-grid的图案的版图
进行DRC验证而同时保证不出现off-grid错误，成为了现有技术中亟
待解决的技术问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提出一种对版图进行DRC验证的
方法，该方法可以利用现有的DRC文件对存在off-grid的图案的版图
进行DRC验证而保证验证结果中不出现off-grid错误。
本发明的一个实施例提供一种对版图进行DRC验证的方法，所
述方法包括：
步骤S101：识别版图中的off-grid图案；
步骤S102：将所述版图中的每个所述off-grid图案按如下方式进
行转换：将所述off-grid图案的未在网格上的边向外延伸至相邻的网
格上以形成一个on-grid图案，并将所述off-grid图案的未在网格上的
边向内收缩至相邻的网格上以形成另一个on-grid图案；
步骤S103：对转换后的版图进行DRC验证。
示例性地，在所述步骤S101中，所述识别采用工具软件实现。
示例性地，在所述步骤S101中还包括对识别出的off-grid图案进
行标号的步骤。
示例性地，在所述步骤S102中，所述一个on-grid图案与所述另
一个on-grid图案构成一组on-grid图案，并且，在所述步骤S102中
还包括对经转换形成的每组on-grid图案进行标号的步骤。
示例性地，在所述步骤S102中，所述一个on-grid图案与所述另
一个on-grid图案在同一高度处的宽度之和为所述off-grid图案在相应
高度处的宽度的两倍。
示例性地，在所述步骤S102中，对所述off-grid图案的在网格上
的边不进行延伸或收缩操作。
示例性地，在所述步骤S102中，所述版图中原来的on-grid图案
保持不变。
示例性地，在所述步骤S103中，所述DRC验证采用基于on-grid
设计规则的DRC文件。
示例性地，在所述步骤S101与所述步骤S102之间还包括对所述
版图进行备份的步骤。
示例性地，所述备份通过工具软件自动实现。
本发明的对版图进行DRC验证的方法，由于包括识别版图中的
off-grid图案并将其转换为on-grid图案的步骤，因而允许在版图设计
时绘制off-grid图案，并且可以使用现有的DRC文件对该版图进行
DRC验证。
附图说明
本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附
图中示出了本发明的实施例及其描述，用来解释本发明的原理。
附图中：
图1为版图中图案为on-grid的示意性版图；
图2为版图中图案为off-grid的示意性版图；
图3为本发明的一个实施例的一种对版图进行DRC验证的方法
中进行图案转换的步骤的示意性原理图；
图4为本发明的一个实施例的一种对版图进行DRC验证的方法
的一种流程图。
具体实施方式
在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为
彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明
可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避
免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
应当理解的是，本发明能够以不同形式实施，而不应当解释为局
限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完
全，并且将本发明的范围完全地传递给本领域技术人员。在附图中，
为了清楚，层和区的尺寸以及相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附
图标记表示相同的元件。
在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本发
明的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”
也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术
语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、
整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其
它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。
在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。
为了彻底理解本发明，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详
细的结构，以便阐释本发明的技术方案。本发明的较佳实施例详细描
述如下，然而除了这些详细描述外，本发明还可以具有其他实施方式。
本发明的一个实施例提供一种对版图进行DRC验证的方法。具
体地，该方法可以用on-grid的DRC文件(deck)对存在off-grid的
图案的版图进行DRC验证。
该方法允许集成电路设计者绘制复杂的存在off-grid的图案的版
图，来代替原本要求的图案均为on-grid的版图。而在进行DRC验证
时，不需要对on-grid设计规则进行改变。
下面，参照图3以及图4来描述本发明的一个实施例的一种对版
图进行DRC验证的方法。其中，图3为本发明的一个实施例的一种
对版图进行DRC验证的方法中进行图案转换的步骤的示意性原理
图；图4为本发明的一个实施例的一种对版图进行DRC验证的方法
的一种流程图。
本发明实施例的对版图进行DRC验证的方法包括如下步骤：
步骤A1：识别版图中的off-grid图案。
其中，off-grid图案指图案的边不在grid上的图案。
在本实施例中，识别版图中的off-grid图案的方法可以为采用工
具软件实现，也可以为采用其他合适的方法。
其中，off-grid图案也可称作特别尺寸设计的图案(special size
design pattern)。在本步骤中，可以包括对识别出的off-grid图案进行
标号的步骤。示例性地，可以将off-grid图案按如下方式进行标号：
SP1、SP2……SPn。
步骤A2：将所述版图中的每个所述off-grid图案按如下方式转换
为两个on-grid图案：将所述off-grid图案的未在网格(grid)上的边
向外延伸至相邻的网格上以形成一个on-grid图案，并将所述off-grid
图案的未在网格(grid)上的边向内收缩至相邻的网格上以形成另一
个on-grid图案，如图3所示。
其中，对于所述off-grid图案的在网格(grid)上的边不进行延
伸或收缩操作，如图3所示。并且，版图中原来的on-grid图案(如
果有的话)保持不变。
经过上述转换，形成的两个on-grid图案在同一高度处的宽度之
和为所述off-grid图案在相应高度处的宽度的两倍，如图3所示。
其中，由每个所述off-grid图案转换而来的两个on-grid图案可以
称作一组on-grid图案，该组on-grid图案将在进行DRC验证的过程
中代替版图中原来存在的off-grid图案，从而避免在验证结果中出现
off-grid错误。
在本步骤中，可以包括对经转换形成的每组on-grid图案进行标
号的步骤。示例性地，可以将on-grid图案按如下方式进行标号：W1、
W2……Wn，以分别与SP1、SP2……SPn相对应。
转换而来的每组on-grid图案与版图中原本存在的其他on-grid图
案的表现形式完全一致，因此，无需对现有的DRC文件(DRC deck)
进行改变，即可完成DRC验证。
在本实施例中，在执行步骤A1或步骤A2之前，还可以包括对
转换前的版图进行备份的步骤。在转换之前对版图进行备份，主要作
用是以便将转换前的版图作为后续芯片制造时所使用的版图，另一个
原因则是保证在转换出错时可以利用备份的版图进行再次操作。示例
性地，对转换前的版图进行备份的步骤可以人工手动实现，也可以通
过工具软件自动实现。其中，通过工具软件自动实现备份可以提高效
率。
步骤A3：对转换后的版图进行DRC验证。
其中，转换后的版图是指根据步骤A2形成的版图。步骤A3可
以根据现有的各种进行DRC验证的步骤进行，在此并不进行限定。
在本实施例中，进行DRC验证时仍可以采用的现有的DRC文件
(DRC deck)，该DRC文件基于on-grid设计规则，即，要求进行
DRC验证的每个图案均为on-grid图案，否则进行off-grid报错。其
中，采用现有的DRC文件进行验证可以省去重新开发全新的DRC文
件的麻烦，从而节省成本。当然，该DRC验证也可以采用其他的基
于on-grid设计规则的DRC文件进行，在此并不进行限定。
本发明实施例的对版图进行DRC验证的方法，由于包括识别版
图中的off-grid图案并将其转换为on-grid图案的步骤(步骤A1和
A2)，因而允许在版图设计时根据需要绘制off-grid图案，并且可以
使用现有的DRC文件对该版图进行DRC验证。
其中，图4示出了本发明实施例的对版图进行DRC验证的方法
的一种流程图，用于简要示出该对版图进行DRC验证的方法的典型
流程。该方法包括：
在步骤S101中，识别版图中的off-grid图案；
在步骤S102中，将所述版图中的每个所述off-grid图案按如下方
式进行转换：将所述off-grid图案的未在网格上的边向外延伸至相邻
的网格上以形成一个on-grid图案，并将所述off-grid图案的未在网格
上的边向内收缩至相邻的网格上以形成另一个on-grid图案；
在步骤S103中，对转换后的版图进行DRC验证。
本发明已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述
实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述
的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本发明并不局
限于上述实施例，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修
改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。本发明的
保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。