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1、(10)申请公布号 CN 103833096 A (43)申请公布日 2014.06.04 CN 103833096 A (21)申请号 201210491541.X (22)申请日 2012.11.27 C02F 1/20(2006.01) (71)申请人 友达光电股份有限公司 地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力 行二路 1 号 (72)发明人 刁仁康 (74)专利代理机构 上海波拓知识产权代理有限 公司 31264 代理人 杨波 (54) 发明名称 消泡剂添加装置及添加方法 (57) 摘要 一种消泡剂添加装置， 适于向将产生泡沫的 液面添加消泡剂， 其包括消泡剂容置箱、 控制装 置、 。
2、第一液位计及第二液位计。 控制装置连接于消 泡剂容置箱且用于控制消泡剂容置箱内的消泡剂 的流出。第一液位计且用于感测液面而获得第一 高度， 并将第一高度传送至控制装置。 第二液位计 用于感测液面或泡沫面而获得第二高度， 并将第 二高度传送至控制装置的第二液位计。当第一高 度小于第二高度时， 控制装置控制消泡剂容置箱 内的消泡剂流出至液面 ； 当第一高度等于第二高 度时， 控制装置控制消泡剂容置箱内的消泡剂停 止流出至液面。此消泡剂添加装置对泡沫进行实 时监控， 并实现实时添加和停止添加消泡剂。 本发 明还提供一种消泡剂添加方法。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图。
3、 3 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (10)申请公布号 CN 103833096 A CN 103833096 A 1/1 页 2 1. 一种消泡剂添加装置， 适用于向将产生泡沫的液面添加消泡剂， 其特征在于， 该消泡 剂添加装置包括 ： 消泡剂容置箱， 用于容置该消泡剂 ； 控制装置， 连接于该消泡剂容置箱， 用于控制该消泡剂容置箱内的该消泡剂的流出 ； 第一液位计， 连接于该控制装置， 用于感测该液面而获得第一高度， 并将该第一高度传 送至该控制装置 ； 以及 第二液位计， 连接于该控制装置， 用于感测该液面或该泡沫面。
4、而获得第二高度， 并将该 第二高度传送至该控制装置 ； 其中， 当该第一高度小于该第二高度时， 该控制装置控制该消泡剂容置箱内的该消泡 剂流出至该液面 ； 当该第一高度等于该第二高度时， 该控制装置控制该消泡剂容置箱内的 该消泡剂停止流出至该液面。 2. 如权利要求 1 所述的消泡剂添加装置， 其特征在于， 该第一液位计为非接触式液位 计。 3. 如权利要求 2 所述的消泡剂添加装置， 其特征在于， 该第一液位计为超音波液位计。 4. 如权利要求 1 所述的消泡剂添加装置， 其特征在于， 该第二液位计为非接触式液位 计。 5. 如权利要求 4 所述的消泡剂添加装置， 其特征在于， 该第二液位计。
5、为电容式液位计。 6. 如权利要求 1 所述的消泡剂添加装置， 其特征在于， 还包括导流装置， 连接于该消泡 剂容置箱， 用于将该消泡剂容置箱内的该消泡剂导流至该液面， 该控制装置连接于该导流 装置， 用于控制该导流装置与该消泡剂容置箱是否连通。 7. 一种消泡剂添加方法， 适用于向将产生泡沫的液面添加消泡剂， 其特征在于， 该消泡 剂添加方法包括 ： 利用第一液位计感测该液面， 进而获得第一高度， 并将该第一高度传送至控制装置 ； 利用第二液位计感测该液面或该泡沫面， 进而获得第二高度， 并将该第二高度传送至 该控制装置 ； 以及 利用该控制装置根据该第一高度和该第二高度控制消泡剂容置箱内的。
6、该消泡剂的流 出， 当该第一高度小于该第二高度时， 该控制装置控制该消泡剂容置箱内的该消泡剂的流 出至该液面 ； 当该第一高度等于该第二高度时， 该控制装置控制该消泡剂容置箱内的该消 泡剂停止流出至该液面。 8. 如权利要求 1 所述的消泡剂添加方法， 其特征在于， 该第一液位计为非接触式液位 计， 该第二液位计为非接触式液位计。 9. 如权利要求 2 所述的消泡剂添加方法， 其特征在于， 该第一液位计为超音波液位计， 该第二液位计为电容式液位计。 10. 如权利要求 2 所述的消泡剂添加方法， 其特征在于， 还包括利用导流装置将该消泡 剂容置箱内的该消泡剂导流至该液面， 并利用该控制装置控制。
7、该导流装置与该消泡剂容置 箱是否连通。 权 利 要 求 书 CN 103833096 A 2 1/4 页 3 消泡剂添加装置及添加方法 技术领域 0001 本发明涉及水处理技术， 且特别涉及一种消泡剂添加装置以及消泡剂添加方法。 背景技术 0002 半导体制造行业在进行产品制造时， 通常因为制程需要而使用大量的表面活性 剂。在水处理过程中， 产品上附着的表面活性剂会导致在水中不定时的出现大量的泡沫。 而添加消泡剂是有效抑制泡沫的方法。目前的消泡剂添加方式分为两种 ： 一种是手动添加 方式， 即在泡沫产生时以人工方式加入消泡剂 ； 另一种是以加液设备或桶槽方式连续不间 断加消泡剂。但是， 采用手。
8、动添加的方式会因为人工无法实时的观测水处理箱内的泡沫情 况导致不能及时进行消泡， 通过加液设备或桶槽方式连续不间断加消泡剂会在没有泡沫时 仍然继续添加消泡剂， 从而导致消泡剂的浪费。 此外， 现有技术也有用红外线方式感应泡沫 来做为添加消泡剂的控制手段， 但红外线方式感应泡沫存在受液位干扰或脏污的影响的问 题， 且在设置安装上也不适何水处理上应用。 发明内容 0003 本发明的目的在于， 提供一种消泡剂添加装置， 其能对液面产生的泡沫进行实时 监控， 并实现实时添加和停止添加消泡剂。 0004 本发明的另一目的在于， 提供一种消泡剂添加方法， 其能对液面产生的泡沫进行 实时监控， 并实现实时添。
9、加和停止添加消泡剂。 0005 本发明提供一种消泡剂添加装置， 适用于向将产生泡沫的液面添加消泡剂。消泡 剂添加装置包括消泡剂容置箱、 控制装置、 第一液位计及第二液位计。 泡剂容置箱用于容置 消泡剂。控制装置连接于消泡剂容置箱， 用于控制消泡剂容置箱内的消泡剂的流出。第一 液位计连接于控制装置， 用于感测液面而获得第一高度， 并将第一高度传送至控制装置。 第 二液位计连接于控制装置， 用于感测液面或泡沫面而获得第二高度， 并将第二高度传送至 控制装置。 其中， 当第一高度小于第二高度时， 控制装置控制消泡剂容置箱内的消泡剂流出 至液面 ； 当第一高度等于第二高度时， 控制装置控制消泡剂容置箱。
10、内的消泡剂停止流出至 液面。 0006 在本发明的一个具体实施方案中， 第一液位计为非接触式液位计。 0007 在本发明的一个具体实施方案中， 第一液位计为超音波液位计。 0008 在本发明的一个具体实施方案中， 第二液位计为非接触式液位计。 0009 在本发明的一个具体实施方案中， 第二液位计为电容式液位计。 0010 在本发明的一个具体实施方案中， 消泡剂添加装置还包括导流装置， 连接于消泡 剂容置箱， 用于将消泡剂容置箱内的消泡剂导流至液面。 控制装置连接于导流装置， 用于控 制导流装置与消泡剂容置箱是否连通。 0011 本发明还提供一种消泡剂添加方法， 适用于向将产生泡沫的液面添加消泡。
11、剂， 其 包括以下步骤。 利用第一液位计感测液面， 进而获得第一高度， 并将第一高度传送至控制装 说 明 书 CN 103833096 A 3 2/4 页 4 置。利用第二液位计感测液面或泡沫面， 进而获得第二高度， 并将第二高度传送至控制装 置。利用控制装置根据第一高度和第二高度控制消泡剂容置箱内的消泡剂的流出。其中， 当第一高度小于第二高度时， 控制装置控制消泡剂容置箱内的消泡剂的流出至液面 ； 当第 一高度等于第二高度时， 控制装置控制消泡剂容置箱内的消泡剂停止流出至液面。 0012 在本发明的一个具体实施方案中， 第一液位计为非接触式液位计， 第二液位计为 非接触式液位计。 0013 。
12、在本发明的一个具体实施方案中， 第一液位计为超音波液位计， 第二液位计为电 容式液位计。 0014 在本发明的一个具体实施方案中， 消泡剂添加方法还包括利用导流装置将消泡剂 容置箱内的消泡剂导流至液面， 并利用控制装置控制导流装置与消泡剂容置箱是否连通。 0015 本发明有益效果是， 本发明中的消泡剂添加装置及其添加方法， 通过第一液位计 感测液面而获得第一高度， 并通过第二液位计感测液面或泡沫面而获得第二高度， 在第一 高度小于第二高度时， 即说明液面有泡沫产生， 控制装置控制消泡剂容置箱对液面添加消 泡剂， 在第一高度等于第二高度时， 即说明液面没有泡沫产生， 控制装置控制消泡剂容置箱 停。
13、止对液面添加消泡剂， 从而使得本发明消泡剂装置及其添加方法对液面产生的泡沫进行 实时监控， 并实现实时添加和停止添加消泡剂。 0016 上述说明仅是本发明技术方案的概述， 为了能够更清楚了解本发明的技术手段， 而可依照说明书的内容予以实施， 并且为了让本发明的上述和其他目的、 特征和优点能够 更明显易懂， 以下特举较佳实施例， 并配合附图， 详细说明如下。 附图说明 0017 图 1 是本发明的实施例的消泡剂添加装置的结构示意图。 0018 图 2 是本发明的实施例的消泡剂添加装置无需添加消泡剂的液面感测示意图。 0019 图 3 是本发明的实施例的消泡剂添加装置需添加消泡剂的液面感测示意图。。
14、 具体实施例 0020 为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效， 以下结合 附图及较佳实施例， 对本发明的具体本实施例、 结构、 特征及其功效， 详细说明如后。 0021 图 1 是本发明的实施例的消泡剂添加装置的结构示意图。请参考图 1， 本实施例 中， 消泡剂添加装置 100 包括消泡剂容置箱 110、 第一液位计 120、 第二液位计 130、 控制装 置 140。消泡剂容置箱 110 内容置有消泡剂 112， 消泡剂添加装置 100 适用于向水处理系统 200 的将会产生泡沫的液面实时添加消泡剂 112， 以消除产生的泡沫。 0022 图 2 是本发明的实施例的消。
15、泡剂添加装置无需添加消泡剂的液面感测示意图。如 图 2 所示， 此时， 水处理系统 200 的液面 210 没有泡沫产生。图 3 是本发明的实施例的消泡 剂添加装置需添加消泡剂的液面感测示意图。如图 3 所示， 此时， 水处理系统 200 的液面 210 有泡沫 220 产生。换句话说， 图 3 中同时存在液面 210 及泡沫面 222， 且泡沫面 222 位 于液面 210 的上方。为了更好的说明消泡剂添加装置 100， 请一并参阅图 1 至图 3。 0023 承上述， 消泡剂添加装置100的第一液位计120连接于控制装置140。 第一液位计 120 用于感测水处理系统 200 内的液面 2。
16、10， 进而获得第一高度 H1。同时， 第一液位计 120 说 明 书 CN 103833096 A 4 3/4 页 5 将第一高度 H1传送至控制装置 140。本实施例中， 第一液位计 120 为非接触式液位计， 例如 超声波液位计。超声波液位计感测液位高度为熟知技术， 在此不再赘述。 0024 第二液位计 130 连接于控制装置 140。第二液位计 130 用于感测水处理系统 200 内的液面 210 或泡沫面 222， 进而获得第二高度 H2。图 3 中所示第二高度 H2为泡沫面 222 的高度。同时， 第二液位计 130 将第二高度 H2传送至控制装置 140。本实施例中， 第二液位 。
17、计 130 为接触式液位计， 例如电容式液位计。电容式液位计感测液位高度为熟知技术， 在此 不再赘述。 0025 可以理解的是， 当水处理系统 200 的液面 210 没有泡沫 220 产生时， 如图 2 所示， 第二液位计 130 感测到的是水处理系统 200 内的液面 210。因此， 第二液位计 130 获得第 二高度 H2为液面 210 的高度， 即第二液位计 130 获得第二高度 H2 和第一液位计 120 获得 第一高度 H1相同。换句话说， 当第二高度 H2等于第一高度 H1时， 即说明液面 210 上没有泡 沫 220 产生。当水处理系统 200 的液面 210 产生泡沫 220。
18、 时， 如图 3 所示， 第二液位计 130 感测到的是水处理系统 200 内的泡沫面 222。因此， 第二液位计 130 获得第二高度 H2为泡 沫面 222 的高度。换句话说， 当第二高度 H2 大于第一高度 H1时， 即说明液面 210 上有泡沫 220 产生。 0026 控制装置 140 连接于消泡剂容置箱 110。控制装置 140 根据来自第一液位计 120 的第一高度H1和第二液位计140的第二高度H2来控制消泡剂容置箱110内的消泡剂112的 流出。具体地， 当控制装置 140 接收到的第一高度 H1小于第二高度 H2时， 控制装置 140 控 制消泡剂容置箱 110 内的消泡剂。
19、 112 流出至水处理系统 200 的液面 210。当控制装置 140 接收到的第一高度 H1等于第二高度 H2时， 控制装置 140 控制消泡剂容置箱 110 内的消泡剂 112停止流出至水处理系统200的液面。 例如， 控制装置140可以利用控制阀等实现对消泡 剂容置箱 110 内的消泡剂 112 流出的控制。 0027 优选的， 本实施例的消泡剂添加装置 100 还包括导流装置 150。导流装置 150 例 如是导流管。导流装置 150 连接于消泡剂容置箱 110。导流装置 150 用于将消泡剂容置箱 110 内的消泡剂 112 导流至液面 210。控制装置 140 连接于导流装置 15。
20、0， 用于控制导流装 置 150 与消泡剂容置箱 110 是否连通。当第一高度 H1小于第二高度 H2时， 控制装置 140 使 导流装置 150 与消泡剂容置箱 110 连通， 以使得消泡剂 112 经导流装置 150 流至液面 210。 当第一高度 H1等于第二高度 H2时， 控制装置 140 使导流装置 150 与消泡剂容置箱 110 不连 通， 以使得消泡剂 112 停止流出。 0028 本发明还提供了一种使用消泡剂添加装置 100 的消泡剂添加方法， 其包括以下步 骤。 0029 首先， 利用第一液位计 120 感测液面 210， 进而获得第一高度 H1， 并将第一高度 H1 传送至。
21、控制装置 140。同时， 利用第二液位计 130 感测液面 210 或泡沫面 222， 进而获得第 二高度 H2， 并将第二高度 H2传送至控制装置 140。然后， 利用控制装置 140 根据第一高度 H1 和第二高度 H2控制消泡剂容置箱 110 内的消泡剂 112 的流出。具体地讲， 当第一高度 H1小 于第二高度 H2时， 控制装置 140 控制消泡剂容置箱 110 内的消泡剂 112 的流出至液面 210 ； 当第一高度 H1等于第二高度 H2时， 控制装置 140 控制消泡剂容置箱 110 内的消泡剂 112 停 止流出至液面 210。 0030 优选的， 消泡剂添加方法还包括利用导。
22、流装置 150 将消泡剂容置箱 110 内的消泡 说 明 书 CN 103833096 A 5 4/4 页 6 剂112导流至液面210， 并利用控制装置140控制导流装置150与消泡剂容置箱110是否连 通。 0031 综上所述， 消泡剂添加装置及其添加方法， 通过第一液位计120感测液面210而获 得第一高度 H1， 并通过第二液位计 130 感测液面 210 或泡沫面 222， 从而获得第二高度 H2。 在第一高度 H1小于第二高度 H2时， 控制装置 140 根据第一高度 H1与第二高度 H2判断液面 210上有泡沫220产生， 将控制消泡剂容置箱110内的消泡剂112流出至液面210。
23、进行消泡 处理。在第一高度 H1等于第二高度 H2时， 控制装置 140 根据第一高度 H1与第二高度 H2判 断液面 210 上没有泡沫 220 产生， 将控制消泡剂容置箱 110 内的消泡剂 112 停止流到液面 210。因此， 消泡剂装置 100 及添加方法可以对液面 210 上长生的泡沫 220 进行实时监控， 并实现实时添加和停止添加消泡剂 112。 0032 以上所述， 仅是本发明的较佳实施例而已， 并非对本发明作任何形式上的限制， 虽 然本发明已以较佳实施例揭露如上， 然而并非用以限定本发明， 任何熟悉本专业的技术人 员， 在不脱离本发明技术方案范围内， 当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰 为等同变化的等效实施例， 但凡是未脱离本发明技术方案内容， 依据本发明的技术实质对 以上实施例所作的任何简单修改、 等同变化与修饰， 均仍属于本发明技术方案的范围内。 说 明 书 CN 103833096 A 6 1/3 页 7 图 1 说 明 书 附 图 CN 103833096 A 7 2/3 页 8 图 2 说 明 书 附 图 CN 103833096 A 8 3/3 页 9 图 3 说 明 书 附 图 CN 103833096 A 9 。