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1、(10)申请公布号 CN 103925214 A (43)申请公布日 2014.07.16 CN 103925214 A (21)申请号 201310012081.2 (22)申请日 2013.01.11 F04C 23/00(2006.01) (71)申请人 珠海格力电器股份有限公司 地址 519070 广东省珠海市前山金鸡西路珠 海格力电器股份有限公司 (72)发明人 李井泉 毛立宏 温子新 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代理人 魏晓波 (54) 发明名称 一种精抽泵机组及具有其的精抽系统 (57) 摘要 本发明提供了一种精抽泵机组， 包括罗茨真 空泵，。
2、 和与罗茨真空泵串联的前级泵 ； 其中， 前级 泵包括单级旋片真空泵和与单级旋片真空泵并联 的双级旋片真空泵。 上述精抽泵机组， 在潮湿工况 下， 由于双级旋片真空泵不受水蒸气的影响， 双级 旋片真空泵发挥主要作用， 避免了水蒸气对整个 精抽泵机组的真空度的影响 ； 双级旋片真空泵与 单级旋片真空泵并联， 则整个精抽泵机组的抽速 为双级旋片真空泵的抽速与单级旋片真空泵的抽 速的代数和， 提高了整个精抽泵机组的抽速。故 本发明提供的精抽泵机组， 避免了水蒸气对其真 空度的影响， 同时提高了该精抽泵机组的抽速。 本 发明还提供了一种具有上述精抽泵机组的精抽系 统。 (51)Int.Cl. 权利要求。
3、书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (10)申请公布号 CN 103925214 A CN 103925214 A 1/1 页 2 1. 一种精抽泵机组， 包括罗茨真空泵， 和与所述罗茨真空泵串联的前级泵 ； 其特征在 于， 所述前级泵包括单级旋片真空泵和与所述单级旋片真空泵并联的双级旋片真空泵。 2. 如权利要求 1 所述的精抽泵机组， 其特征在于， 所述单级旋片真空泵的数目为一个， 所述双级旋片真空泵的数目为一个。 3. 一种精抽系统， 包括待抽真空的待抽部件， 和与所述待抽部件相连通的。
4、精抽泵机组 ； 其特征在于， 所述精抽泵机组为如权利要求 1-2 中任意一项所述的精抽泵机组。 4. 如权利要求 3 所述的精抽系统， 其特征在于， 所述待抽部件为蒸发器。 5. 如权利要求 3 所述的精抽系统， 其特征在于， 所述待抽部件为冷凝器。 权 利 要 求 书 CN 103925214 A 2 1/3 页 3 一种精抽泵机组及具有其的精抽系统 技术领域 0001 本发明涉及抽真空技术领域， 更具体地说， 涉及一种精抽泵机组及具有其的精抽 系统。 背景技术 0002 需要真空环境时， 通常采用真空泵进行抽真空。 对于一些真空度要求较高的场合， 通常采用罗茨真空泵。例如， 在充氦检漏系统。
5、中， 精抽真空过程采用罗茨真空泵来完成。由 于罗茨真空泵的特性， 罗茨真空泵不能单独使用， 需配上前级泵串联组成机组， 以降低罗茨 真空泵的排出压力。 0003 目前， 由罗茨真空泵组成精抽泵机组有两种方案 ： 0004 第一种方案采用单级旋片真空泵 12 为前级泵， 即单级旋片真空泵 12 与罗茨真空 泵 11 进行串联组合， 如图 1 所示。由于单级旋片真空泵 12 抽速较大， 所以整个精抽泵机组 的抽速会较大， 生产效率较高。 但是， 在潮湿工况下， 即连续在潮湿的环境中抽真空， 亲水膜 较易附着水蒸气， 空气含水份较重， 在抽空过程中水蒸气持续进入单级旋片真空泵 12 并与 油混合， 。
6、导致单级旋片真空泵 12 的油乳化， 抽空能力下降， 导致无法正常抽空到工艺要求。 0005 第二种方案采用双级旋片真空泵 22 为前级泵， 即双级旋片真空泵 22 与罗茨真空 泵 21 进行串联组合， 如图 2 所示。由于双级旋片真空泵 22 不会受水蒸气的影响， 且其真空 度较低， 则该精抽泵机组的真空度也较低， 能够满足工艺要求。但是， 由于双级旋片真空泵 22 的抽速比较小， 则整个精抽泵机组的抽速较低， 导致生产效率较低。 0006 有上述两种方案可知， 在潮湿工况下， 现有的精抽泵机组不能同时具有较低的真 空度和较高的抽速。 0007 综上所述， 如何提供一种精抽泵机组， 以避免水。
7、蒸气对其真空度的影响， 同时提高 该精抽泵机组的抽速， 是目前本领域技术人员亟待解决的问题。 发明内容 0008 本发明的目的是提供一种精抽泵机组， 以避免水蒸气对其真空度的影响， 同时提 高该精抽泵机组的抽速。本发明的目的是提供一种具有上述精抽泵机组的精抽系统。 0009 为了实现上述目的， 本发明提供如下技术方案 ： 0010 一种精抽泵机组， 包括罗茨真空泵， 和与罗茨真空泵串联的前级泵 ； 其中， 前级泵 包括单级旋片真空泵和与单级旋片真空泵并联的双级旋片真空泵。 0011 优选的， 上述精抽泵机组中， 所述单级旋片真空泵的数目为一个， 所述双级旋片真 空泵的数目为一个。 0012 基。
8、于上述提供的精抽泵机组， 本发明还提供了一种精抽系统， 该精抽系统包括待 抽真空的待抽部件， 和与所述待抽部件相连通的精抽泵机组 ； 其中， 该精抽泵机组为上述任 意一项所述的精抽泵机组。 0013 优选的， 上述精抽系统中， 所述待抽部件为蒸发器。 说 明 书 CN 103925214 A 3 2/3 页 4 0014 优选的， 上述精抽系统中， 所述待抽部件为冷凝器。 0015 本发明提供的精抽泵机组， 在潮湿工况下， 最初单级旋片真空泵抽速较大， 随着受 水蒸气的影响， 单级旋片真空泵的抽真空能力逐渐下降， 由于双级旋片真空泵不受水蒸气 的影响， 此时双级旋片真空泵发挥主要作用， 从而避。
9、免了水蒸气对整个精抽泵机组的真空 度的影响 ； 同时， 由于双级旋片真空泵与单级旋片真空泵并联， 则整个精抽泵机组的抽速为 双级旋片真空泵的抽速与单级旋片真空泵的抽速的代数和， 很显然， 提高了整个精抽泵机 组的抽速。 故本发明提供的精抽泵机组， 避免了水蒸气对其真空度的影响， 同时提高了该精 抽泵机组的抽速。 附图说明 0016 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下， 还可以 根据这些附图获得其他。
10、的附图。 0017 图 1 为现有技术提供的精抽泵机组的一种结构框图 ； 0018 图 2 为现有技术提供的精抽泵机组的另一种结构框图 ； 0019 图 3 为本发明实施例提供的精抽泵机组的结构框图。 0020 上图 1-3 中 ： 0021 罗茨真空泵11、 单级旋片真空泵12、 罗茨真空泵21、 双级旋片真空泵22、 罗茨真空 泵 31、 单级旋片真空泵 32、 双级旋片真空泵 33。 具体实施方式 0022 本发明实施例提供了一种精抽泵机组， 避免了水蒸气对其真空度的影响， 同时提 高了该精抽泵机组的抽速。 0023 下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、。
11、 完 整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例， 都属于本发明保护的范围。 0024 请参考附图 3， 图 3 为本发明实施例提供的精抽泵机组的结构框图。 0025 本发明实施例提供的精抽泵机组， 包括罗茨真空泵 31， 和与罗茨真空泵 31 串联的 前级泵 ； 其中， 前级泵包括单级旋片真空泵32和与单级旋片真空泵32并联的双级旋片真空 泵 33。 0026 上述实施例提供的精抽泵机组， 单级旋片真空泵 32 与双级旋片真空泵 33 并联形 成一个组合泵体，。
12、 作为前级泵与罗茨真空泵 31 进行串联组合。需要抽真空时， 同时开启单 级旋片真空泵 32 和双级旋片真空泵 33 进行精抽作业， 二者进行功能互补。气体先经过罗 茨真空泵31， 再经过前级泵。 当待抽部件内的压强高于40Pa时， 单级旋片真空泵32发挥主 要作用， 解决双级旋片真空泵 33 抽速慢的问题， 即使在空气湿度较大时， 亦可将待抽部件 内的压强迅速降至接近 40Pa， 之后双级旋片真空泵 33 发挥主要作用， 解决单级旋片真空泵 32 的真空度受水蒸气影响的问题， 将压力降至 40Pa 以下。 说 明 书 CN 103925214 A 4 3/3 页 5 0027 本发明实施例提。
13、供的精抽泵机组， 在潮湿工况下， 最初单级旋片真空泵 32 抽速较 大， 随着受水蒸气的影响， 单级旋片真空泵 32 的抽真空能力逐渐下降， 由于双级旋片真空 泵33不受水蒸气的影响， 此时双级旋片真空泵33发挥主要作用， 从而避免了水蒸气对整个 精抽泵机组的真空度的影响 ； 同时， 由于双级旋片真空泵 33 与单级旋片真空泵 32 并联， 则 整个精抽泵机组的抽速为双级旋片真空泵 33 的抽速与单级旋片真空泵 32 的抽速的代数 和， 很显然， 提高了整个精抽泵机组的抽速。 故， 本发明提供的精抽泵机组， 避免了水蒸气对 其真空度的影响， 同时提高了该精抽泵机组的抽速。 0028 同时， 本。
14、发明实施例提供的精抽泵机组， 在正常工况下， 单级旋片真空泵 32 的抽 速较大， 可使压力快速降至 40Pa 左右， 双级旋片真空泵 33 可使压力进一步降低， 降低整个 精抽泵机组的真空度。 0029 优选的， 上述实施例提供的精抽泵机组中， 单级旋片真空泵 32 的数目为一个， 双 级旋片真空泵 33 的数目为一个。当然， 在一些特殊场合， 单级旋片真空泵 32 的数目和双级 旋片真空泵 33 的数目还可为其他值， 例如， 需要大幅提高精抽泵机组的抽速时， 可优先选 择增加单级旋片真空泵 32 的数目。本发明实施例对单级旋片真空泵 32 的数目以及双级旋 片真空泵 33 的数目不作具体地。
15、限定。 0030 基于上述实施例提供的精抽泵机组， 本发明实施例还提供了一种精抽系统， 该精 抽系统包括待抽真空的待抽部件， 和与待抽部件相连通的精抽泵机组 ； 其中， 该精抽泵机组 为上述实施例所述的精抽泵机组。 0031 由于本发明实施例提供的精抽系统具有上述实施例提供的精抽泵机组， 上述实施 例提供的精抽泵机组具有上述技术效果， 则本发明实施例提供的精抽系统也具有相应的技 术效果， 本文不再赘述。 0032 由于上述实施例提供的精抽泵机组能够避免水蒸气对其真空度的影响， 所以内部 具有水蒸气的待抽部件优先选择本发明实施例提供的精抽泵机组。具体的， 待抽部件为蒸 发器或者冷凝器。当然， 待抽部件还可为其他部件， 例如， 内部没有水蒸气的部件。本发明 实施例对待抽部件的类型不作具体地限定。 0033 对所公开的实施例的上述说明， 使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。 对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的， 本文中所定义的 一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下， 在其它实施例中实现。 因此， 本发明 将不会被限制于本文所示的这些实施例， 而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一 致的最宽的范围。 说 明 书 CN 103925214 A 5 1/1 页 6 图 1 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 103925214 A 6 。