液晶显示装置的制造方法.pdf

本发明涉及一种液晶显示装置的制造方法，其在对在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成多个像素并密封有液晶的液晶显示用基板的所述各像素施加了电场的状态，对所述液晶显示用基板照射规定波长的光，使得所述液晶的分子定向于规定方向，包括：将所述液晶显示用基板和灯体以相互相对的状态浸入到具有规定值以上的电阻率并对所述光具有充分的高透过率的透明液体中的步骤；和在对所述各像素施加了规定量的电场的状态下点亮所述灯体并对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光的步骤。

权利要求书
1.  一种液晶显示装置的制造方法，其在对在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成有多个像素并密封有液晶的液晶显示用基板的所述各像素施加了电场的状态下，对所述液晶显示用基板照射规定波长的光，使得所述液晶的分子定向于规定方向，其特征在于，包括进行如下步骤：
在使所述液晶显示用基板和灯体相互相对的状态下，将该液晶显示用基板和灯体一起浸入到具有规定值以上的电阻率并对所述光具有充分的高透过率的液态的冷却介质中以冷却所述液晶显示用基板的步骤；
一边冷却所述液晶显示用基板，一边在对所述各像素施加了规定量的电场的状态下点亮所述灯体，并对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光的步骤。

2.  如权利要求1所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于，所述液态的冷却介质为被冷却到规定温度的纯水。

说明书液晶显示装置的制造方法
本申请为下述申请的分案申请，
原申请的申请日（国际申请日）：2009年4月2日，
原申请的申请号：200980112848.0（国际申请号PCT/JP2009/056891），
原申请的发明名称：液晶显示装置的制造方法及其制造装置。
技术领域
本发明涉及一种在对封入有液晶的液晶显示用基板上施加电场的状态下照射紫外线使得液晶分子被定向于规定方向的液晶显示装置的制造方法，具体来说，涉及一种目的是为了防止液晶吸收紫外线后发热至高温以达到液晶分子的定向稳定化，同时提高液晶显示装置的制造效率的液晶显示装置的制造方法及其制造装置。
背景技术
以往的这样的液晶显示装置的制造方法为，在一对基板间封入液晶中混合了单体的液晶材料，在对该基板间施加电压使得液晶分子倾斜的状态下照射紫外线，聚合所述单体使其聚合体化，以规定液晶分子的定向方向（例如，参照专利文献1）。
这样的液晶显示装置的制造方法与通过摩擦处理定向膜使得液晶分子被定向于规定方向的方法相比，由于能够以非接触方式使得液晶分子定向，因此能够抑制缺陷的发生。
现有的专利文献
专利文献
专利文献1:日本特开2003-228050号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
但是，这种以往的液晶显示装置的制造方法中，有时液晶会吸收紫外线发热至80℃以上，恐怕会造成液晶的透过光和遮断光的切换功能消失而无法正确显示图像这样的不良情况。
对于液晶的发热问题，虽然能够对紫外线的照射时间进行分割即每隔一定的时间进行应对，但是这样会导致液晶显示装置的制造效率下降的问题。
因此，本发明为了解决这样的问题，其目的在于提供一种能够抑制液晶吸收紫外线发热至高温以获得液晶分子定向的稳定化，同时提高液晶显示装置的制造效率的液晶显示装置的制造方法及其制造装置。
解决问题的手段
为达到上述目的，第一发明涉及一种液晶显示装置的制造方法，其在对在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成有多个像素并密封有液晶的液晶显示用基板的所述各像素施加了电场的状态下，对所述液晶显示用基板照射规定波长的光，使得所述液晶的分子定向于规定方向，包括进行如下步骤：在使所述液晶显示用基板和灯体相互相对的状态下，将该液晶显示用基板和灯体一起浸入到具有规定值以上的电阻率并对所述光具有充分的高透过率的液态的冷却介质中以冷却所述液晶显示用基板的步骤；一边冷却所述液晶显示用基板，一边在对所述各像素施加了规定量的电场的状态下点亮所述灯体，并对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光的步骤。
通过这样的结构，将在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成多个像素并密封有液晶的液晶显示用基板和发射规定波长的灯体以相对的状态下浸入到具有规定值以上的电阻率并对所述光具有充分的高透过率的透明液体中，在对所述各像素施加了规定量的电场的状态下，点亮所述灯体并对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光，使得液晶的分子定向于规定方向。
又，所述液态的冷却介质为被冷却到规定温度的纯水，这样能够容易地获得具有规定值以上的电阻率并对所述光具有充分的高透过率的透明液体。
第二发明涉及一种液晶显示装置的制造方法，其在对在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成多个像素并密封有液晶的液晶显示用基板的所述各像素施加了电场的状态，对所述液晶显示用基板照射规定波长的光，使得所述液晶的分子定向于规定方向，其包括：使得所述液晶显示用基板的一面与冷却介质接触的步骤；在对所述各像素施加了规定量的电场的状态下对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光的步骤。
通过这样的结构，使得在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成多个像素并密封有液晶的液晶显示用基板的一面与冷却介质接触，在对所述各像素施加了规定量的电场的状态下对所述液晶显示用基板照射规定光量的规定波长的光，使得液晶的分子在规定方向定向。
在照射所述光的步骤中，从所述相对电极基板侧向所述液晶显示用基板照射光。这样，能够从相对电极基板侧对液晶显示用基板照射规定波长的光。
进一步的，在使所述液晶显示用基板的一面与冷却介质接触的步骤中，使得所述TFT基板的与所述相对电极基板侧相反侧的面与所述冷却介质接触。这样，使得液晶显示用基板的TFT基板的与相对电极基板侧相反侧的面与冷却介质接触以使得液晶显示用基板冷却。
在进行了对所述液晶显示用基板照射规定光量的光的步骤之后，进一步进行在除去了对所述各像素的电场施加的状态下对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光的步骤。这样，在对各像素施加了规定量的电场的状态下点亮灯体并对液晶显示用基板照射规定光量的光之后，在除去了对所述各像素的电场施加的状态下点亮灯体对液晶显示用基板照射规定光量的光。
第三发明涉及一种液晶显示装置的制造方法，其通过在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成多个像素，以对密封有液晶的液晶显示用基板的所述各像素施加电场的状态，对所述液晶显示用基板照射规定波长的光，使得所述液晶的分子在规定方向定向制造液晶显示装置，包括：将所述液晶显示用基板的一面与冷却介质接触的步骤；在对所述各像素施加规定值的电场的状态下对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光的步骤；所述光的照射经过规定时间之后，维持所述光的照射，并使得施加到所述各像素的电场的强度以规定的时间间隔变更的步骤。
通过这样的结构，在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成多个像素，使得密封有液晶的液晶显示用基板的一面与冷却介质接触，在对所述各像素施加了规定量的电场的状态下，对所述液晶显示用基板照射规定量的规定波长的光，所述光的照射经过规定时间之后，在维持所述光的照射的状态下，以规定的时间间隔变更施加到所述各像素的电场的强度，使得液晶分子定向于规定方向。
在进行了使得施加到各像素的电场以规定的时间间隔变更的步骤之后，以除去对各像素施加的电场的状态对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光。这样，照射规定波 长的光并以规定的时间间隔改变施加到各像素的电场强度之后，在除去了对各像素施加的电场的状态对液晶显示用基板照射规定光量的所述光。
第四发明涉及一种液晶显示装置的制造方法，其通过在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成多个像素，以对密封有液晶的液晶显示用基板的所述各像素施加电场的状态，对所述液晶显示用基板照射规定波长的光，使得所述液晶的分子在规定方向定向制造液晶显示装置，包括：将所述液晶显示用基板的一面与冷却介质接触的步骤；施加到所述各像素的电场的切换为打开·关闭·打开的切换，并依次为一个周期重复实行规定周期，在所述一个周期的最初的打开期间对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光的步骤。
通过这样的结构，在TFT基板和相对电极基板之间以矩阵状形成多个像素，将所述液晶显示用基板的一面与冷却介质接触，对所述各像素的电场施加的切换为打开-关闭-打开的切换，并以此为一个周期重复实行规定周期，在所述一个周期的最初的打开期间对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光，以使得液晶分子定向于规定方向。
在进行了对所述各像素施加的电场的切换施行了规定周期以后，进行以除去对所述各像素的电场施加的状态对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光的步骤。这样，在对所述各像素的电场施加的切换反复施行了规定周期以后，在除去了对所述各像素的电场施加的状态下对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光。
进一步的，所述冷却介质为被冷却到规定温度的水。这样通过被冷却到规定温度的水冷却液晶显示用基板的一面。
进一步的，所述灯体以多个并列的方式配置在与所述液晶显示用基板面平行的面内。这样，通过以多个并列的方式配置在与所述液晶显示用基板面平行的面内的灯体对液晶显示用基板照射规定波长的光。
更进一步的，所述灯体为闪光灯。这样，将水冷式闪光灯浸渍在液体中，通过液体使其冷却并照射规定波长的光。
进一步的，所述TFT基板具有在其上表面连续形成滤色器的COA(Color filter On Array)结构。这样，对具有在上表面连续形成滤色器的COA结构的TFT基板的液晶分子进行定向。
第五发明涉及一种液晶显示装置的制造装置，该液晶显示装置在一对基板间形成矩阵状的多个像素并在其中密封液晶，对形成在液晶显示用基板的至少相邻的两个边缘部处用于驱动所述像素的多个电极进行通电，在对所述各像素施加电场的状态下，以规定波长的 光照射所述液晶显示用基板使得所述液晶分子在规定方向定向，包括：基台，其中央形成与所述液晶显示用基板的一面接触并储存用于冷却的冷却介质的凹陷部，在包围该凹陷部的侧壁的上表面处吸着所述液晶显示用基板的一面的周边附近部并进行保持；探测器，其设置在所述基台的至少相邻的两个边缘部附近，并具有与保持在所述基台的液晶显示用基板的所述多个电极连接以进行通电的多个端子；光源装置，其设置在所述基台的上方，并对保持在所述基台的液晶显示用基板照射所述光。
通过这样的结构，在中央形成有的凹陷部的基台的包围该凹陷部的侧壁的上表面处吸附着在一对基板间形成矩阵状的多个像素并在其中密封液晶的所述液晶显示用基板的一面的周边附近部并进行保持，在上述凹陷部储存冷却介质并使该冷却介质与液晶显示用基板的一面接触以进行冷却，设置在所述基台的至少相邻的两个边缘部附近的探测器的多个端子与形成在液晶显示用基板的至少相邻的两个缘部的多个电极连接以进行通电，在对所述各像素施加了电场的状态下，通过设置在所述基台的上方的光源装置对液晶显示用基板照射规定波长的光，以使得液晶分子定向于规定方向。
第六发明涉及一种液晶显示装置的制造装置，该液晶显示装置在一对基板间形成矩阵状的多个像素并在其中密封液晶，对形成在液晶显示用基板的至少相邻的两个边缘部处用于驱动所述像素的多个电极进行通电，在对所述各像素施加电场的状态下，以规定波长的光照射所述液晶显示用基板使得所述液晶分子在规定方向定向，包括：基台，其中央形成与所述液晶显示用基板的一面接触并储存用于冷却的冷却介质的凹陷部，其上表面处吸着所述液晶显示用基板的一面的周边附近部并进行保持；多个线部，其张设于所述凹陷部的开口部侧，并支承保持于所述基台上的所述液晶显示用基板的所述一面；探测器，其设置在所述基台的至少相邻的两个边缘部附近，并具有与保持在所述基台的液晶显示用基板的所述多个电极连接以进行通电的多个端子；光源装置，其设置在所述基台的上方，并对保持在所述基台的液晶显示用基板照射所述光。
通过这样的结构，在中央形成有凹陷部的基台的上表面处吸着在一对基板间形成矩阵状的多个像素并在其中密封液晶的所述液晶显示用基板的一面的周边附近部并进行保持，通过张设于所述凹陷部的开口部侧的多个线部，支承保持于所述基台上的所述液晶显示用基板的所述一面，在凹陷部储存冷却介质并使该冷却介质与液晶显示用基板的一面接触以进行冷却，设置在所述基台的至少相邻的两个边缘部附近的探测器的多个端子，与形成在液晶显示用基板的至少相邻的两个缘部的所述多个电极连接以进行通电，通过设置在所述 基台的上方的光源装置，对保持在所述基台上的液晶显示用基板照射所述光，以使得液晶分子定向于规定方向。
又，该液晶显示装置的制造装置具有至少一个与所述多个线部交差架设的、并从下方支承所述多个线部的梁部。这样通过至少一个与所述多个线部交差架设的梁部从下方支承所述多个线部。
第七发明涉及一种液晶显示装置的制造装置，该液晶显示装置在一对基板间形成矩阵状的多个像素并在其中密封液晶，对形成在液晶显示用基板的至少相邻的两个边缘部处用于驱动所述像素的多个电极进行通电，在对所述各像素施加电场的状态下，以规定波长的光照射所述液晶显示用基板使得所述液晶分子在规定方向定向，包括：基台，其中央形成与所述液晶显示用基板的一面接触并储存用于冷却的冷却介质的凹陷部，其上表面处吸着所述液晶显示用基板的一面的周边附近部并进行保持；探测器，其设置在所述基台的至少相邻的两个边缘部附近，并具有与保持在所述基台的液晶显示用基板的所述多个电极连接以进行通电的多个端子；电压提供源，其通过所述探测器提供电压，对所述液晶显示用基板的各像素施加电场；光源装置，其设置在所述基台上方，对保持在所述基台的液晶显示用基板照射所述光；其中，在对所述各像素施加规定值的电场的状态下，当所述光源装置对所述液晶显示用基板照射所述光经过规定时间时，以规定的时间间隔改变由所述电压提供源施加到所述各像素的电场强度；所述电压提供源对所述各像素的电场的施加切换为打开·关闭·打开，以此作为一个周期重复实行规定周期，在所述一个周期的最初的打开期间通过所述光源装置对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光。
通过这样的结构，在中央形成有储存与液晶显示用基板的一面接触并进行冷却的冷却介质的凹陷部的基台的上表面处吸附保持着液晶显示用基板的一面的周边附近部，该液晶显示用基板是在一对基板间形成矩阵状的多个像素并在其中密封液晶，在液晶显示用基板的至少相邻的两个边缘部处形成有用于驱动所述像素的多个电极，设置在所述基台的至少相邻的两个边缘部附近探测器的多个端子与保持在所述基台的液晶显示用基板的所述多个电极连接并能进行通电，在利用电压提供源通过所述探测器提供电压，对所述液晶显示用基板的各像素施加了电场的状态下，通过设置在所述基台上方的光源装置，对保持在所述基台的液晶显示用基板照射所述光，当所述光源装置对所述液晶显示用基板照射所述光经过规定时间时，以规定的时间间隔改变由所述电压提供源施加到所述各像素的电场强度。通过所述电压提供源打开-关闭-打开切换对所述各像素的电场施加，以此作为一个周 期重复实行规定周期，在所述一个周期的最初的打开期间通过所述光源装置对所述液晶显示用基板照射规定光量的所述光。
又，在所述基台的凹陷部的开口部侧张设有多个线部，该多个线部支承保持于所述基台的所述液晶显示用基板的所述一面。这样，通过张设于所述基台的凹陷部的开口部侧的多个线部支承保持在基台的液晶显示用基板的一面。
进一步的，所述光源装置是由具有多个闪光灯的多个灯体单元以矩阵状设置形成的。这样，通过配置为矩阵状的多个灯体单元的多个闪光灯对液晶显示用基板照射规定波长的光。
而且，所述光源装置是形成为相对所述基台可在与该基台平行的面内相对移动的。这样，使得光源装置相对于基台在与该基台平行的面内进行相对移动。
又，所述光源装置使得在点亮规定波长的光之前使得多个闪光灯进行预放电。这样在规定波长的光点亮之前使得多个闪光灯进行预放电。
进一步的，所述多个闪光灯各自以规定的延迟时间依次点亮规定时间。这样，多个闪光灯各自以规定的延迟时间依次点亮规定时间。
进一步的，在所述基台的凹陷部的底面具有多个光电传感器。这样通过设置于所述基台的凹陷部的底面的多个光电传感器检测液晶显示用基板的透过光。
又，在所述基台的凹陷部的底面具有喷出口和排出口，该喷出口喷出所述冷却介质并吹附到被吸着保持的所述液晶显示用基板的一面，该排出口排出所述冷却介质。这样，冷却介质从设置于基台凹陷部底面的喷出口喷出并吹附到被吸附保持的液晶显示用基板的一面，并从设置于所述凹陷部的底面的排出口排出。
进一步的，具有将所述液晶显示用基板相对于所述基台搬入和搬出的传送装置。这样可通过传送装置将液晶显示用基板相对于基台搬入和搬出。
所述传送装置吸附所述液晶显示用基板的与所述基台侧相反的面并进行搬送。这样，通过传送装置吸附液晶显示用基板的与基台侧相反侧的面进行搬送。
又，在所述基台的侧方所述液晶显示用基板的搬入和搬出侧设有气刀，该气刀对所述液晶显示用基板的一面喷出压缩气体，并将附着的冷却介质去掉。这样可通过设置于所述基台的侧方的所述液晶显示用基板的搬入和搬出侧的气刀，对所述液晶显示用基板的一面喷出压缩气体，并将附着的冷却介质吹走。
进一步的，所述冷却介质为被冷却到规定温度的水。这样可通过被冷却到规定温度的水对液晶显示用基板的一面进行冷却。
第八发明涉及一种一种液晶显示装置的制造装置，该液晶显示装置在一对基板间形成矩阵状的多个像素并在其中密封液晶，在对所述各像素施加电场的状态下，以规定波长的光照射所述液晶显示用基板使得所述液晶分子在规定方向定向，包括：基台，其中央形成与所述液晶显示用基板的一面接触并储存用于冷却的冷却介质的凹陷部，上表面吸着所述液晶显示用基板的一面的周边附近部并进行保持；光源装置，其设置在所述基台的上方，具有发出所述光的多个闪光灯，该多个闪光灯设置在具有大小对应于所述液晶显示用基板的至少显示区域的开口的反射器的内部，且该光源装置的开口中具有遮断特定波长的光的透过的纵横并列为方形的多个滤光镜；其中所述光源装置以规定的步骤移动所述滤光镜阵排列间距的整数倍距离，并每移动一个步骤即点亮所述多个闪光灯。
通过这样的结构，在基台的上表面吸附保持在一对基板间形成矩阵状的多个像素并在其中密封液晶的液晶显示用基板的一面的周边附近部，在对液晶显示用基板的所述各像素施加了电场的状态下在形成于基台的凹陷部的中央储存冷却介质，使该冷却介质与所述液晶显示用基板的一面接触来冷却液晶显示用基板，光源装置具有发出所述光的多个闪光灯，该多个闪光灯设置在具有大小对应于所述液晶显示用基板的至少显示区域的开口的反射器的内部，且在所述开口中具有阻断特定波长的光的透过的纵横排列的方形的多个滤光镜，所述光源装置以规定的步骤移动所述滤光镜阵排列间距的整数倍距离，并每移动一步即点亮所述多个闪光灯，使得液晶分子定向于规定方向。
又，所述多个滤光镜阻断波长大约为300nm以下的紫外线的透过。这样，通过多个滤光镜阻断大约为300nm以下的紫外线的透过。
进一步的，在所述多个滤光镜之间，设置有支承各滤光镜的边缘部的支承部件。这样通过设置在多个滤过镜之间的支承部件对各滤光镜的边缘部进行支承。
进一步的，所述光源装置在点亮之前使得所述多个闪光灯进行预放电。这样可在规定波长的光点亮之前使得多个闪光灯预放电。
发明效果
根据技术方案1或3所涉及的液晶显示装置的制造方法的发明，可通过液体冷却灯体同时冷却液晶显示用基板，并能够抑制液晶吸收规定波长的光发热至高温。从而，能够使得液晶分子的定向稳定化，能稳定制造显示品质较高的液晶显示装置。又，由于不需要对规定波长的光的照射进行时间分割，因此能够提高液晶显示用基板的制造效率。
又，根据技术方案2所涉及的发明，容易获得具有规定值以上的电阻率并对紫外线具有充分高的透过率的透明液体。
进一步的，通过技术方案4涉及的发明，能够从相对电极基板侧对液晶显示用基板照射规定波长的光。这样，例如，由具有上表面连续形成滤色器的COA(Color filter On Array)结构的TFT基板所构成的液晶显示用基板的液晶定向可以容易进行。
接着，根据技术方案5所涉及的发明，能够使得液晶显示用基板的TFT基板的与相对电极基板侧相反侧的面与冷却介质接触以冷却液晶显示用基板，并进行液晶分子的定向。这样，在进行由具有例如COA结构的TFT基板所构成的液晶显示用基板的液晶定向处理时，灯体设置在相对电极基板侧，因此所采用的灯体可以是非防水型的，也可采用一般的便宜的灯体。
进一步的，根据技术方案6的发明，能够使得定向于规定方向液晶分子固定，防止在施加到像素的电场除去之后液晶分子返回到初始状态。这样，就可实现液晶分子定向的更加稳定化。
又，根据技术方案7涉及的液晶显示装置的制造方法的发明，可通过冷却介质冷却液晶显示用基板，抑制液晶吸收规定波长的光发热至高温。从而，能够实现液晶分子的定向稳定化，稳定制造显示品质高的液晶显示装置。又，由于不需要对规定波长的光的照射进行时间分割，因此可提高液晶显示装置的制造效率。进一步的，规定波长的光的照射经过规定时间之后，在维持该光的照射的状态下，使得施加到各像素的电场的方向以规定的时间间隔改变，这样，液晶层中的单体摇动容易朝着液晶层的厚度方向扩散，从而在基板的内侧表面容易形成定向层。这样，能够缩短液晶显示用基板的定向处理时间，提高液晶显示装置的制造效率。
进一步的，根据技术方案9涉及的液晶显示装置的制造方法的发明，可通过冷却介质冷却液晶显示用基板，抑制液晶吸收规定波长的光发热至高温。从而，能够使得液晶分子的定向稳定化，稳定制造显示品质高的液晶显示装置。又，由于不需要对规定波长的光的照射进行时间分割，因此能够提高液晶显示装置的制造效率。进一步的，对施加到各像素的电场进行打开-关闭-打开的切换，以此为一个周期反复实行规定周期，在一个周期的最初的打开期间，对液晶显示用基板照射规定光量的规定波长的光，因此，液晶层中的单体被摇动而容易向着液晶层的厚度方向扩散，易于在基板的内侧表面形成定向层。这样，能够缩短液晶显示用基板的定向处理时间，提高液晶显示装置的制造效率。
接着，根据技术方案8或10所涉及的发明，可固定定向于规定方向上的液晶分子，防止在去除了施加于像素的电场之后液晶分子返回到初始状态。从而使得液晶分子的定向更加稳定化。
又，根据技术方案11所涉及的发明，可采用冷却到规定温度的水作为冷却介质，从而能够容易安全卫生地处理冷却介质。
根据技术方案12的发明，能够对较宽的液晶显示用基板均匀地照射规定波长的光。这样，能够确保液晶分子的定向的均匀性。
根据技术方案13的发明，能够使用通用的灯体，使得装置的制造成本降低。
根据技术方案14的发明，能够容易地进行由具有上表面连续形成滤色器的COA(Color filter On Arra)结构的TFT基板构成的液晶显示用基板的液晶定向。
进一步的，根据技术方案15涉及的液晶显示装置的制造装置等发明，能够通过冷却介质冷却液晶显示基板，抑制液晶吸收规定波长的光发热至高温。从而，能够使得液晶分子的定向稳定化，能稳定制造显示品质高的液晶显示装置。又，由于不需要对规定波长的光的照射进行时间分割，因此能够提高液晶显示装置的制造效率。
根据技术方案16涉及的液晶显示装置的制造装置的发明，能够通过冷却介质冷却液晶显示基板，抑制液晶吸收规定波长的光发热至高温。从而，能够使得液晶分子的定向稳定化，能稳定制造显示品质高的液晶显示装置。又，由于不需要对规定波长的光的照射进行时间分割，因此能够提高液晶显示装置的制造效率。进一步的，由于通过线部从下方支承吸附保持在基台上的液晶显示用基板，因此能够抑制液晶显示用基板的弯曲。又，由于液晶显示用基板不是通过销来固定的，因此，不会造成销周边部的液晶部分地由于销压而移动，导致销周边的定向状态或聚合体的分布改变。这样，能够使得液晶分子的定向更加稳定化。
又，根据技术方案17的发明，能够抑制线部的弯曲，进一步抑制液晶显示用基板的弯曲。这样液晶分子的定向能进一步的稳定。此时，由于支承液晶显示用基板的是线部，因此液晶显示用基板和线部的接触为线接触，可使冷却介质与基板的一面大致均等地接触。这样，能够大致均等地冷却液晶显示用基板的一面，抑制液晶的定向不均发生。
进一步的，根据技术方案18涉及的液晶显示装置的制造装置的发明，能够通过冷却介质冷却液晶显示基板，抑制液晶吸收规定波长的光发热至高温。从而，能够使得液晶分子的定向稳定化，稳定制造显示品质高的液晶显示装置。又，由于不需要对规定波长的光的照射进行时间分割，因此能够提高液晶显示装置的制造效率。进一步的，在对各像素施加了规定量的电场的状态下，对液晶显示用基板的规定波长的光的照射经过规定时间之后，以规定的时间间隔改变施加到各像素的电场的强度，或打开-关闭-打开切换对各像素的电场施加，以此为一个周期重复实行规定周期，在一个周期的最初的打开期间，由于对 液晶显示用基板照射规定光量的所述光，因此液晶层中的单体摇动易于向液晶层的厚度方向扩散，从而容易在基板的内侧表面形成定向层。从而，可缩短液晶显示用基板的定向处理时间，提高液晶显示装置的制造效率。
根据技术方案19所涉及的发明，通过线部从下方支承吸着保持在基台上的液晶显示用基板可以抑制液晶显示用基板的弯曲。这样能够使得液晶分子的定向更加稳定化。
又，根据技术方案20涉及的发明，容易控制灯体的点亮，对于尺寸较大的液晶显示用基板也能够统一照射规定波长的光。从而，能够提高液晶显示装置的制造效率。
进一步的，根据技术方案21涉及的发明，可对于尺寸较大的液晶显示用基板均匀照射规定波长的光。从而，液晶显示用基板的显示区域整体的液晶分子的定向能够在大致一定的方向上排列整齐。
根据技术方案22涉及的发明，能够高速点亮闪光灯。从而，通过规定波长的光的照射提高液晶定向处理的效率。
又，根据技术方案23涉及的发明，能够分散规定波长的光的照射能量。从而，进一步抑制液晶显示用基板的液晶的温度上升。
进一步的，根据技术方案24涉及的发明，可检查液晶显示用基板的点亮状态。此时，将通过预放电发出白色光的闪光灯作为背光使用的话，由于不需要设置其他背光，因此装置的结构能够简化。
又，根据技术方案26涉及的发明，能够安全方便的进行尺寸较大的液晶显示用基板的搬入和搬出作业。
进一步的，根据技术方案27涉及的发明，吸引附着于液晶显示用基板的冷却介质不会导致液晶显示用基板面的吸附不良。从而，不用担心液晶显示用基板在搬出过程中落下而破损。
根据技术方案28涉及的发明，可以吹掉附着于液晶显示用基板一面的冷却介质并对基板进行急速干燥。
根据技术方案29涉及的发明，可采用冷却到规定温度的水作为冷却介质，从而安全卫生地使用冷却介质。
根据技术方案30所涉及的液晶显示装置的制造装置的发明，通过冷却介质对液晶显示用基板的一面进行冷却，以抑制液晶吸收规定波长的光发热至高温。又，具有光源装置，该光源装置在反射器的内部设置发出规定波长的光的多个闪光灯，该反射器具有大小与液晶显示装置的至少显示区域对应的开口，同时该光源装置在所述开口内设有阻断特定波长 的光的透过的纵横排列的方形的多个滤光镜。该光源装置以规定步骤移动所述滤光镜的排列间隔的整数倍距离，每移动一步即使得多个闪光灯点亮，由此对大面积的基板均匀照射规定波长的光。从而，能够使得液晶显示用基板的显示区域整体的液晶分子的定向稳定化。
进一步的，根据技术方案31所涉及的发明，能够通过滤光镜阻断波长大约为300nm以下的紫外线的透过，防止液晶受到紫外线的损害。
进一步的，根据技术方案32涉及的发明，使得容易在反射器的开口部安装多个滤光镜。
根据技术方案33涉及的发明，可将通过预放电发出白色光的闪光灯作为背光使用，同时可高速点亮闪光灯。从而，提高由紫外线照射进行的液晶定向处理的效率。
附图说明
图1是显示根据本发明的液晶显示装置的制造装置的第一实施方式的俯视图。
图2是显示用于第一实施方式的液体显示用基板的一个构成例的俯视图。
图3是对第一实施方式的液晶显示装置的制造方法进行说明的流程图。
图4是显示根据本发明的液晶显示装置的制造装置的第二实施方式的主视图。
图5为图4的O-O线截面箭头方向视图。
图6为图4的部分截面俯视图。
图7为图4的侧面图。
图8是显示用于第二实施方式的制造装置的液晶显示用基板的一个构成例的俯视图。
图9是图8的液晶显示基板的中心线截面图。
图10是图5的P-P线截面箭头视图。
图11是第二实施方式的制造装置所使用的光源装置的驱动电路的一个构成例的示意图。
图12是驱动图11的光源装置的时序图。
图13是显示采用第二实施方式的制造装置进行的液晶显示装置的制造方法的流程图。
图14是说明采用对准拍摄装置进行液晶显示用基板和探测器的对准的示意图。
图15是显示根据本发明的液晶显示装置的制造装置的第三实施方式的截面图。
图16是图15的Q-Q线截面箭头方向视图。
图17是显示搭载在第三实施方式的制造装置的基台上液晶显示用基板通过多个线部和梁部支承的状态的截面图。
图18为显示根据本发明的液晶显示装置的制造装置的第四实施方式的概略结构的俯视图。
图19是图18的R-R线截面箭头方向视图。
图20为采用第四实施方式的制造装置所进行的液晶显示装置的制造方法的流程图。
图21为显示图20的液晶显示装置的制造方法的液晶定向状态的示意图。
图22为显示图20的液晶显示装置的制造方法中电压提供源和光源装置之间的驱动时机的其他实施例的时序图。
图23是放大显示根据本发明的液晶显示装置的制造装置的第五实施方式的主要部分的图，也是显示光源装置的部分截面仰视图。
图24是显示图23的光源装置的适当移动实例的示意图。
图25是显示在图24所示的光源装置的移动中照度分布的分析结果的示意图。
图26是显示图23的光源装置的不适当移动实例的示意图。
图27是显示在图26所示的光源装置的移动中照度分布的分析结果的示意图。
符号说明
3…第一灯体
4…第二灯体
5、27…液晶显示用基板
13、28…像素
19…液体
21…基台
22…探测器
23…光源装置
24…传送装置
26…气刀
29…显示区域
30…TFT基板
31…相对电极基板
32…电极
36…凹陷部
37…侧壁部
39…喷出口
42…光电传感器
47…端子
48、48a～48d…闪光灯
49…灯体单元
50…反射器
50a…反射器的开口
65…线部
67…梁部
72…液晶分子
73…紫外线
74…滤光镜
75…支承部材。
具体实施方式
下面，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。图1为显示根据本发明的液晶显示装置的制造装置的第一实施方式的俯视图。该液晶显示装置的制造装置，在对在TFT基板和相对的电极基板之间封有液晶的液晶显示用基板施加了电场的状态下，照射紫外线，使得液晶分子被定向于规定方向，其具有，点亮检查装置1，水槽2，第一灯体3，第二灯体4。
所述点亮检查装置1对封入液晶的液晶显示用基板5进行点亮检查，其装置主体6内具有：可动部7，基台8，探针单元9，对准用拍摄装置10，背光灯11，点亮检查用拍摄装置12。又，这里所采用的液晶显示基板5具有滤色器在TFT基板的上部连续排列形成的COA（Color filter On Array）结构，如图2所示，中央部由多个像素13排列成矩阵状构成显示区域14，三个边缘部5a、5b、5c附近具有由多个电极15并列构成的多个电极组16以对所述多个像素13提供驱动信号。
所述可动部7支承后面所叙述的基台8和探针单元9，其通过图未示的移动机构在图1的XY平面内作X轴方向移动，在后述的水槽2上，在同一图的深度方向（Z轴方向）移动。
又，所述可动部7的内侧设有基台8。在图1中，该基台8例如通过装载机将在箭头A方向传送过来的液晶显示用基板5载置在其上表面并对该液晶显示用基板5进行吸附保持，与被载置的液晶显示用基板5的显示区域14对应，在中央部设置矩形的开口部17以使得后述的背光11的光能够通过。又，在所述开口部17的与箭头A正交的两边中的内侧的边和与箭头A平行的两边中的一侧的边（在图1中为右侧的边）各自的侧方，在基台8的上表面，固定设置有图未示的多个定位销，通过该定位销能够限制基台8上载置的液晶显示用基板5的相互正交的两边缘部5b，5c以便能将液晶显示用基板5定位在规定位置。进一步的，基台8的对角线方向上，设置有和所述定位销对应的图未示的可动销，这样能够推压与被载置的液晶显示用基板5的所述两个边缘部5b，5c相反侧的边缘部5a，5d，将液晶显示用基板5按压至定位销来进行定位。这样，通过图示省略的升降机构，基台8在可动部7内部升降。
进一步的，在所述开口部17的与图1的箭头A正交的两边中的内侧的一边和与箭头a平行的两边各自的侧方的可动部7的上方处，设置有多个探针单元9。该探针单元9用于从设置在外部的图未示的电源将偏置电压提供给液晶显示用基板5的多个像素13，并具有与形成在液晶显示用基板5的三个边缘部5a～5c的附近的多个电极15接触的多个探针，使得各个探针升降，从而使得探针的顶端部能够和液晶显示用基板5的电极15接触、分离。又，所述多个探针单元9能够一体地绕着与Z轴平行的轴转动，并能使所述各探针顶端部对准液晶显示用基板5的多个电极15。
又，在所述基台8的四个角部的附近设有通过支承部件18保持在装置主体6上的对准用拍摄装置10。对准用拍摄装置10是对液晶显示用基板5的电极15和探针单元9的探针顶端部进行拍摄，以使得所有的探针顶端部正确地定位在电极15上的装置，例如CCD拍摄装置等，其能够通过图形匹配来进行对准的自动调整。又，所述支承部件18沿着例如其长轴方向滑动，在对液晶显示用基板5进行点亮检查的时候，能够退避到后述的点亮检查用拍摄装置12的视野以外。
进一步的，在对应所述开口部17的基台8的下方设有背光11。该背光11从载置在基台8上的液晶显示用基板5的背面侧对液晶显示用基板5照射白色光以便能够进行液晶显示用基板5的点亮检查，其例如是冷阴极放电管等。
在对应所述开口部17的基台8的上方，设有点亮检查用拍摄装置12。该点亮检查用拍摄装置12为CCD拍摄装置等，用于拍摄液晶显示用基板5的表面以检查液晶显示用基板5是否存在不点亮部分。
在所述点亮检查装置1的侧边设置有水槽2。该水槽2存储有具有规定值以上的电阻率并对紫外线具有充分高的透过率的透明液体19，开放该水槽2的上部，可从上方将液晶显示用基板5浸入到液体19中。又，水槽2的侧面连接有图未示的液体19的循环管道，通过设置在外部的泵使得液体19在水槽2内循环，通过设置在中途的冷却器将液体19的温度保持为一定。又，在液体19的一部分通过紫外线的照射被离子化可能导致液体19的电阻率下降的情况下，可以在所述循环管道上连接离子交换器进行离子交换以维持规定值以上的电阻率。
此时，作为液体19可采用包含电阻率（比电阻）大约为1×105Ωcm以上，最好是大约为1×106Ωcm以上的蒸馏水和离子交换水的纯水。又，也可以是防冻液。
在所述水槽2上方，与被搬送来的液晶显示用基板5相对地设置第一紫外线（UV）灯体3。该第一灯体3是例如细长状的水冷式氙闪光灯，用于对向各像素13施加了电场的液晶显示用基板5照射含有紫外线的规定波长的光，使得液晶分子定向于规定方向。而且，第一灯体3在液晶显示用基板5的面上平行并列设置有多根，以便对所述光对液晶显示用基板5的面均匀地照射上述光。又，第一灯体3通过图未示的灯体移动机构，与设置在下方的可动部一起沿着Z轴方向移动，并与载置在基台8上的液晶显示用基板5一同浸入充满水槽2的液体19中。又，所述光的波长大约为300nm～1100nm，理想的是大约300nm～400nm，更理想的是，大约300nm～400nm和大约800nm～1100nm。在以下说明中，对所述光为“紫外线”的情形进行说明。
在所述水槽2上方，在第一灯体3的侧方设置有第二灯体4。该第二灯体4用于使得通过第一灯体3照射紫外线而被定向于规定方向的液晶分子的该定向状态固定，其对去除了对各像素13的电场施加的液晶显示用基板5照射规定光量的与第一灯体3相同的紫外线。而且，该第二灯体4和第一灯体3相同，由例如细长形状的水冷式氙闪光灯构成，并通过水槽内设置的传送机构从基台8传送并在设置在下方的液晶显示用基板5的面上平行并列排列多根，以能对液晶显示用基板5的面均匀照射紫外线。又，第二灯体4通过图未示的其他的移动机构，能够和设置在下方的升降台20一起沿着Z轴方向升降，并和载置在升降台20上的液晶显示用基板5一起从液体19上浮起，能通过卸载搬出液晶显示用基板5。又，所述第一和第二灯体3，4不限于水冷式氙闪光灯，也可是其他连续发光的水冷式灯体。
接着参考图3的流程图，对这样结构的第一实施方式的液晶显示装置的制造装置的动作和采用这样的装置进行的液晶显示装置的制造方法进行说明。
首先，在步骤S1中，液晶显示用基板5以相对电极基板侧为上方，通过图未示的装载器在图1所示的箭头A方向上被传送，并载置于点亮检查装置1的基台8上。此时液晶显示用基板5通过可动销在对角线方向按压两个边缘部5a、5d，相反侧的两个边缘部5b、5c与设置于基台8上的定位销均等地抵接而定位，之后被吸附并保持于基台8上。这样，对设置于液晶显示用基板5的边缘部附近的多个电极15和探针单元9的探针顶端部的位置进行粗调。
在步骤S2中，启动对准用拍摄装置10。同时，基台8上升到使得对准用拍摄装置10能够对液晶显示用基板5的电极15和探针单元9的探针顶端部进行拍摄的位置。此时，通过基于该拍摄图像的图形匹配，多个探针单元9整体被一体旋转，使得所述电极15和探针顶端部一致，从而进行电极15和探针顶端部的正确对位。这样，两者的位置对准结束后，探针单元9使得探针下降令探针顶端部和所述电极15接触。
在步骤S3中，进行液晶显示用基板5的点亮检查。具体来说，启动点亮检查用拍摄装置12，从外部设置的电源将偏置电压提供给所述电极15以对液晶显示用基板5的各像素13施加规定的电场。进一步的，背光11被点亮将白色光照射到液晶显示用基板5的背面。又，使支承部件18沿着其长轴方向的滑动，使得对准用拍摄装置10退避到点亮检查用拍摄装置12的视野以外。在这样的状态下，通过点亮检查用拍摄装置12对液晶显示用基板5的透过光进行拍摄，进行点亮检查。
在步骤S4中，基于点亮检查用拍摄装置12的拍摄图像判定是否有点亮不良。此处，如果检测出点亮不良判定为“是”，则进行到步骤S5，判定液晶显示用基板5为不合格品并搬出。
另一方面，在步骤S4中，如果没有检测到点亮不良，即判定为“否”，则进行到步骤S6。
在步骤S6中，背光11熄灭，对准用拍摄装置10和点亮检查用拍摄装置12被关闭驱动。又，液晶显示用基板5通过可动部7的移动机构和可动部7一起在图1所示的X轴方向上水平传送，在水槽2上方安置于第一灯体3的下方位置，并等待被浸入水槽2内的液体19中。
在步骤S7中，液晶显示用基板5和第一灯体3通过各移动机构一起下降，并浸入到具有规定值以上电阻率且对于紫外线具有充分高的透过率的透明的液体19（例如，纯水）中。此时，通过液体用电阻率测定器测定液体19的电阻率，确认电阻率为规定值以上。如果电阻率比规定值小，则通过离子交换器等待电阻率的恢复。又，开始液体19的循环， 其相对于基板面的流速为约1m/sec，并将液体19的温度冷却到大约为24℃。在液晶显示用基板5和第一灯体3在Z方向下降时，第二灯体4和与该灯体相对设置的升降台20一起下降。
在步骤S8中，在对液晶显示用基板5的各像素13施加了规定量的电场的状态下，点亮第一灯体3对液晶显示用基板5照射规定光量的紫外线。这样，使得液晶分子被定向于规定方向。此时，通常液晶吸收紫外线而发热，但是由于本发明中通过液体19对液晶显示用基板5进行冷却，液晶的温度大致维持在24℃左右。又，所述电场和紫外线的照射量可预先通过实验设定为适当的值。
在步骤S9中，在去除对液晶显示用基板5的各像素13的电场施加的状态下，点亮第二灯体4对液晶显示用基板5照射规定光量的紫外线，在步骤S8中，使得被定向于规定方向的液晶分子的定向状态固定。具体来说，在步骤S8中的定向处理结束后，探针上升，探针顶端部离开液晶显示用基板5的电极15。接着，液晶显示用基板5通过传送机构移动到升降台20上，和第二灯体4相对配置。在这一状态下，点亮第二灯体4，对液晶显示用基板5照射比步骤S8中更多光量的紫外线，使得液晶分子的定向状态固定。此时，液晶显示用基板5由于通过液体19被冷却，因此可以将液晶的温度抑制在大致24℃左右。又，液晶显示用基板5被移动到升降台20时，第一灯体3和可动部7一起上升，第一灯体3就这样停止在上升位置，可动部7进一步通过移动机构在X轴方向移动，并返回到点亮检查装置1的规定位置。
在步骤S10中，液晶的定向处理全部结束之后，停止液体19的循环。同时，第二灯体4和升降台20一起上升，液晶显示用基板5从液体19中取出。然后液晶显示用基板5通过卸载器被搬出，结束本发明的液晶显示装置的制造方法的所有步骤。
又，能够通过步骤S8中的第一灯体3的紫外线照射获得液晶分子的稳定定向的时候，可以省略步骤S9。
又，步骤S8和步骤S9的紫外线照射可以仅通过第一灯体3进行。此时，在步骤S8的紫外线照射完成之后，也可在去除对液晶显示用基板5的各像素13的电场施加的状态下采用第一灯体3进行步骤S9的紫外线照射。
在所述第一实施方式中，对第一和第二灯体3，4构成为可以升降，在紫外线照射时下降而设置在液体19中的情形进行了说明，但是本发明不限于此，各灯体也可固定设置在水槽2的液体19中。此时，液晶显示用基板5以相对电极基板侧为下方进行搬送，并从下侧照射紫外线。
图4为显示本发明的液晶显示装置的制造装置的第二实施方式的主视图，图5是图4的O-O线的截面图，图6为图4的部分截面俯视图，图7为图4的右视图。该液晶显示装置的制造装置的第二实施方式具有：基台21，探测器22，光源装置23，传送装置24，对准拍摄装置25，和气刀26。
此处所采用的液晶显示用基板27和第一实施方式的相同，具有滤色器在TFT上部连续形成的COA(Color filter On Array)结构，如图8所示，中央部形成有多个像素28排列成矩阵状的显示区域29，如图9所示，相比TFT基板30的尺寸，相对电极基板31的尺寸更大。而且，在相对电极基板31的TFT基板30侧的面31a上相互相邻的至少两个边缘部31b，31c（参照图8）设有，具有多个电极32的用于向所述多个像素28提供驱动信号的多个电极组33。又，在图9中，符号34表示液晶层，符号35表示密封材料。
所述基台21吸附液晶显示用基板27并对其进行保持，如图5和图10所示，在其中央部形成凹陷部36，可存储作为接触液晶显示用基板27的一面并进行冷却的冷却介质的被冷却到大致24°左右的冷却水，例如生活用水，工业供水或纯水等，包围凹陷部36的侧壁部37的上表面形成为平滑面，该上表面上形成有多个吸引喷出口38，从各吸引喷出口38吸引空气使得液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a的周边附近部吸附在所述侧壁部37的上表面，并从各吸引喷出口38喷出空气使得液晶显示用基板27上浮。又，所述各吸引喷出口38分别连接图未示的管道。进一步的，这些管道的末端集成为一体与两个系统的切换阀连接，该切换阀的一方连接于图未示的吸引泵，另一方连接于图未示的空气压缩机。此时，在液晶显示用基板27吸附保持于基台21上的时候，切换阀切换到吸引泵侧从吸引喷出口38吸引空气。又，在进行液晶显示用基板27和后述的探测器22的对准粗调时，以及在搬出液晶显示用基板27时，切换阀切换到空气压缩机侧，并从所述各吸引喷出口38喷出空气使得液晶显示用基板27上浮。
此处，在所述凹陷部36的底面，具有多个喷出口39以及排出冷却水的图未示的排出口，该喷出口39将冷却水喷出，并吹附到吸附保持在基台21上的液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a。另外，如图5所示，上述排出口与多个排水沟40连接设置，所述多个排水沟40纵横交错地设置。又，所述各喷出口39设置在被排水沟40包围的多个岛41的内侧，并如图10所示将供水通路63的一侧作为各喷出口39。而且，在该供水通路63的另一端连接有图未示的供水管道，该供水管道的末端连接到从图未示的储水箱将冷却水吸上的供水泵。又，排出口连接有图未示的排水管，该排水管的末端连接于储水箱，可使得冷却水循环使用。
又，在所述凹陷部36的底面的所述各岛41内，设有多个光电传感器42。该光电传感器42检查液晶显示用基板27的点亮状态，并接收液晶显示用基板27的透过光。
进一步的，所述凹陷部36底面的所述排水沟40内设有多个提升销43。这些提升销43支承液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a并一起升降，各提升销43的顶端位置形成为大致相同的高度。又，对提升销43的周围进行防漏水处理，使得冷却水无法通过提升销43漏出。
包围所述基台21而设置的框状的探测器保持部64的至少相邻的两个边缘部64a、64b（参考图5）上设有探测器22。探测器22并列设有多个探测器单元22a，探测器单元22a具有与形成于液晶显示用基板27的边缘部的多个电极32连接以进行通电的多个端子47，由于这些多个端子47的顶端部比基台21的所述侧壁部37的上表面更向上方突出（参考图10），可使其与载置于基台21上的液晶显示用基板27的相对电极基板31上所形成的多个电极32接触。多个端子47是能自由伸缩的触销，使得其被施加来自外部的按压力之后缩短，在去除按压力的时候恢复到原来的状态，多个端子47以大致固定的压力与载置于基台21上的液晶显示用基板27的多个电极32接触。从而，探测器保持部64形成为能在X轴，Y轴方向移动，并可以其中心为轴旋转，使得探测器22的端子47可与液晶显示用基板27的电极32对准。
又，所述基台21和探测器保持部64收纳在设置包围它们的筐体44的内侧，通过形成在筐体44的侧面的搬入搬出口45，液晶显示用基板27可在基台21上被搬入搬出。又，该搬入搬出口45上设置有在图7中用虚线所示的箭头方向转动以对搬入搬出口45进行开闭的遮光器46，其在紫外线照射过程中关闭以防止紫外线泄漏到外部。
所述基台21的上方设置有光源装置23。该光源装置23对保持在基台21上的液晶显示用基板27照射含有紫外线的规定波长的光，如图6所示，其具有矩阵状设置的多个灯体单元49，该灯体单元49具有多个闪光灯48。又，所述光的波长和第一实施方式一样为大约300nm～1100nm，理想的是大约300nm～400nm，更理想的是，大约300nm～400nm和大约800nm～1100nm。在以下说明中，对所述光是“紫外线”的情形进行说明。所述灯体单元49包括：例如四个闪光灯48，和反射器50，该反射器50包围这些闪光灯48，其下表面侧开口，并对从闪光灯48发射的光进行多重反射使所述光均匀化后从所述开口放出。该反射器50的后端部形成为可以从前端部分离脱卸，以便于更换闪光灯48。
又，光源装置23通过图未示的移动单元，能在与基台21的上表面的平行的面内在X轴，Y轴方向上移动，在闪光灯48点亮状态下，在所述面内以规定振幅进行前后左右（X 轴，Y轴方向）的摇动，使得紫外线也能均匀地照射到与相邻的灯体单元49之间对应的液晶显示用基板27的面的区域。
进一步的，所述四个闪光灯48，连接有图11所示的驱动电路，以规定的时间间隔对同一图中所示的开关晶体管51a～51d进行打开/关闭驱动，以各自规定的延迟时间依次点亮四个闪光灯48规定的时间。
此处，参考图12的流程图对所述四个闪光灯48的点亮进行说明。
首先，如果提供例如AC200V的交流电压，该交流电压通过图11所示的AD/DC变换器52变换为直流。这样，电容器53中存储如图12（a）所示的规定的电荷。又，对各闪光灯48a～48d提供如该图（b）所示的微弱的电流，各闪光灯48a～48d进行预放电（シマ－放電）（预备点亮）。在该预放电状态下，由于闪光灯48放出白色光，因此闪光灯48可作为液晶显示用基板27的点亮检查用背光使用。接着，如果向开关晶体管51a提供如该图（c）所示的A闪光脉冲，则开关晶体管51A被驱动为打开，并将DC电压提供给闪光灯48a，闪光灯48a仅以例如Tw=200μs点亮。之后，如该图(d)～(f)所示对B～D闪光脉冲各自延迟时间Td被依次提供给开关晶体管51b～51d。这样，开关晶体管51b～51d依次进行打开/关闭驱动，和上述相同闪光灯48b～48d分别仅以例如Tw=200μs依次点亮。这样，仅以规定时间重复提供A～D闪光脉冲依次点亮闪光灯48a～48d，得到规定的照射光量。
在所述基台21的侧方，设有传送装置24。该传送装置24将液晶显示用基板27相对于基台21搬入和搬出，是具有多个臂部54的机器人，该多个壁部54吸附液晶显示用基板27的基台21侧的相反侧的面，即相对电极基板31的上表面31d（参考图9）并进行保持。该传送装置24在图7所示的导轨上沿着Y轴方向前进后退，其头部56以旋转轴57为中心进行360°旋转。又，各臂部54的下表面在形成有多个吸盘和位于各吸盘中心部的吸引口58。进一步的，如图5所示，各吸引口58与形成于臂部54内部的沟道59连接，例如通过连接于形成在例如各臂部54的根基部的孔穴60（参考图6）的未图示的管以其他的泵进行吸引。
所述基台21的上方设有对准拍摄装置25。该对准拍摄装置25检测设置于液晶显示用基板27上的对准标记以对液晶显示用基板27的电极32和探测器22的端子47进行对准，对准拍摄装置25固定于探测器保持部64上，与探测器保持部64一起在X轴，Y轴方向移动，以探测器保持部64的中心为轴旋转。
所述基台21的液晶显示用基板27的搬入和搬出侧设有气刀26。该气刀26对液晶显示用基板27的一面，即TFT基板30的背面30a（参考图6）喷射压缩空气以对附着的冷却水吹拂并使其快速干燥，该气刀26通过配管连接到图未示的空气压缩机。又，喷射的气体不限于空气也可以是氮气或氩气等惰性气体。
接着，参考图13的流程图对这样的结构的第二实施方式的液晶显示装置的制造装置的动作，和液晶显示装置的制造方法进行说明。
首先，在步骤S11中，将液晶显示用基板27的相对电极基板31的上表面31d吸附在臂部54的下表面，通过传送装置24在Y轴方向搬送液晶显示用基板27，并使其位于基台21上。
在步骤S12中，提升销43上升使得其顶端抵接到液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a。提升销43的顶端抵接于液晶显示用基板27时，其通过图未示的传感器检测，并解除传送装置24的臂部54对液晶显示用基板27的吸附。这样，液晶显示用基板27从传送装置24交付到提升销43。传送装置24在液晶显示用基板27的交付完成之后在Y轴方向移动退避到原先的位置。
在步骤S13中，如图10所示，使提升销43在Z轴方向下降将液晶显示用基板27载置于基台21上。液晶显示用基板27载置于基台21上之后，通过图未示的传感器检测，通过控制单元进行控制以驱动图未示的空气压缩机，并将切换阀切换到空气压缩机侧，凹陷部36的侧壁部37的上表面的吸引喷出口38喷出气体使得液晶显示用基板27上浮。在此状态下，通过图未示的按压销在其对角线方向上按压液晶显示用基板27，使其在该对角线方向上与基台21的相邻的两个边缘部上所设置的图未示的定位用凸部抵接。这样，液晶显示用基板27设置在基台21的规定位置，液晶显示用基板27的电极32和探测器22的端子47之间进行对准粗调。之后，所述切换阀切换到吸引泵侧，从吸引喷出口38吸引使得液晶显示用基板27吸附保持在凹陷部36的侧壁部37的上表面。此时，探测器保持部64上所设置的探测器22的多个端子47被液晶显示用基板27按压，压接于液晶显示基板27的相对电极基板31的边缘部所设置的多个电极32。
在步骤S14，驱动对准拍摄装置25为打开，拍摄设置于液晶显示用基板27的四个角部的对准标记61。此时，如图14（a）所示，对准标记61偏离对准拍摄装置25的视野62的中心时，基于对准标记6的拍摄图像通过图未示的控制单元，计算对准标记61偏离对准拍摄装置25的视野62中心的偏离量，即X轴，Y轴方向的偏离量和旋转角度，根据这些偏离量和旋转角度使探测器保持部64在X轴，Y轴方向移动并旋转，如该图（b）所 示以使得对准标记61位于对准拍摄装置25的视野62的中心。这样，探测器22的端子47可相对于液晶显示用基板27的电极32正确对准。
在步骤S15中，驱动光源装置23。此时，首先将微弱电流提供给多个灯体单元49的各闪光灯48a～48d，使各闪光灯48a～48d进行预放电。然后各闪光灯48a～48d放出白色光。同时，通过探测器22从图未示的信号源对液晶显示用基板27的多个电极32进行通电，对多个像素28施加规定量的电场以对各像素28进行打开驱动。这样，白色光可以透过液晶显示用基板27，该透过光由设置在基台21的凹陷部36的底面的多个光电传感器42检测，以确认液晶显示用基板27的点亮状态。
在步骤S16中，如果确认液晶显示用基板27的整体点亮，则驱动供水泵从储水箱中泵取冷却水，该冷却水从设置在基台21的凹陷部36的底面的喷出口39喷出，并吹拂到液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a。之后，冷却水通过排水沟40从排出口排出并返回到储水箱，通过另外设置的冷却器冷却到规定温度（例如，大约24℃）以进行循环利用。
在步骤S17中，在对各像素28施加了规定量的电场的状态下，以延迟时间Td将图12(c)～(f)所示的A～D闪光脉冲依次提供给图11所示的各开关晶体管51a～51d，各闪光灯48a～48d依次点亮时间Tw。此时，A～D闪光脉冲以规定时间反复提供直到得到规定的照射光量。这样，不会如使闪光灯48a～48d同时点亮的情况那样，集中提供大量的照射能量，能够分散照射能量，可进一步地抑制液晶的发热。又，在步骤S17的执行中，光源装置23在X轴，Y轴方向以规定振幅摇动，使得紫外线也均匀照射到与相邻的灯体单元49之间对应的液晶显示用基板27的区域。这样，液晶显示用基板27的显示区域29中的液晶分子也被均匀定向于规定方向。
在步骤S18中，在除去对各像素28的电场施加的状态下，和步骤S17一样对液晶显示用基板27照射规定光量的紫外线。这样，各像素28的液晶分子的定向状态固定，可防止在除去了施加到各像素28的电场之后液晶分子返回到初始状态，从而可以使得液晶分子的定向稳定化。
在步骤S19中，在对光源装置23进行关闭驱动后，供水泵停止，基台21的凹陷部36内的冷却水排出。
在步骤S20中，将传送装置24在Y轴方向移动使臂部54位于基台21的上方。接着，停止基台21的吸引泵，解除液晶显示用基板27对凹陷部36的侧壁部37的上表面的吸附。
在步骤S11中，切换切换阀同时驱动空气压缩机，从吸引喷出口38喷出气体使得液晶显示用基板27上浮。之后，上升提升销43，提起液晶显示用基板27直到使得相对电极基板31的上表面31d与臂部54的下表面抵接。液晶显示用基板27与臂部54抵接的情况由传感器检测到时，驱动传送装置24的吸引泵使得液晶显示用基板27吸附于臂部54的下表面，液晶显示用基板27从提升销43交付到传送装置24。又，一旦液晶显示用基板27的交付结束，提升销43下降到规定位置。
在步骤S22中，传送装置24在Y轴方向移动搬出液晶显示用基板27。此时，从设置于基台21的搬入和搬出侧的气刀喷出压缩空气，对附着在液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a上的冷却水进行吹拂以干燥基板。
又，在所述第二实施方式中，对在步骤S18中，在除去了对各像素28的电场施加的状态下对液晶显示用基板27照射规定光量的紫外线的情况进行了说明，但是本发明不限于此，在步骤S17中，当液晶的定向能够充分稳定时，可省略步骤S18。
又，在第二实施方式中，虽然对在围绕基台21能移动地设置的框状的探测器保持部64上设置探测器22的情况进行了说明，但是本发明不限于此，探测器22可以设置在基台21的至少两个相邻的边缘部上并在能X轴，Y轴方向上移动，且可以探测器22的中心为轴旋转。此时，对准拍摄装置25可以设置为可对液晶显示用基板27的电极32和探测器22的端子47的顶端部两者进行观察。又，所述步骤S13中，若液晶显示用基板27的电极32和探测器22的端子47可在规定的容许范围内对准，则探测器22也可固定设置在基台21的边缘部。此时，可省略步骤S14，并且可以不需要对准拍摄装置25。
进一步的，在第二实施方式中，虽然对液晶显示用基板27的多个电极32设置在相对电极基板31侧的情况进行了说明，但是本发明不限于此，其也可设置在TFT基板30侧。此时，探测器22在液晶显示用基板27载置于基台21时，预先退避到基台21的侧方的待机位置，当液晶显示用基板27载置于基台21时，使探测器22移动到基板的多个电极上方为止，并使探测器22的各端子47从上方与各电极接触。
虽然在所述第二实施方式中，说明了使TFT基板30的背面30a接触冷却水的情况，但是本发明不限于此，也可使得相对电极基板31的上表面31d接触冷却水。此时，光源装置23设置于基台21的凹陷部36的底面，可采用防水型的闪光灯48。
在第二实施方式中，虽然对使用冷却水作为冷却介质的情况进行了说明，但是本发明不限于此，只要能够接触基板的一面进行冷却，可以是防冻液等各种物质。
在以上说明中，虽然说明了TFT基板30具有COA结构的情况，但是本发明不限于此，只要是能够通过紫外线照射控制液晶分子的定向的结构都可采用。
图15是显示根据本发明的液晶显示装置的制造装置的第三实施方式的截面图。此处，与第二实施方式相同的要素赋予相同的符号，仅对与第二实施方式不同的部分进行说明。
该第三实施方式中，在第二实施方式的凹陷部36的开口部侧张设有多个线部65。此处，所述多个线部65与吸附保持于基台21的液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a抵接，并从下方支承液晶显示用基板27，其是张设于线部保持框66的上端部的例如金属制的线部或金属网，该线部保持框66围绕各岛部41突设于凹陷部36内。
这样，液晶显示用基板27设置到基台21的规定位置时，如图16所示，液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a通过在凹陷部36的开口部侧张设于线部保持框66的上端部的多个线部65从下方被支承。从而抑制液晶显示用基板27的弯曲。
又，在第三实施方式中，虽然说明了在凹陷部36的开口部侧张设多个线部65的情况，但是本发明不限于此，如图17所示，也可具有至少一个梁部67，其与多个线部65交差地架设在线部保持框66的对边之间，并从下方支承多个线部65。这样，可抑制线部65的弯曲，并可进一步抑制液晶显示用基板27的弯曲。又，此时，由于与液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a接触的是多个线部65，因此可维持TFT基板30的背面30a和多个线部65的线接触，这样通过冷却水对液晶显示用基板27冷却的冷却效率也维持为与仅依靠线部65支承液晶显示用基板27时大致相同的效率。
图18是显示本发明的液晶显示装置的制造装置的第四实施方式的概略结构的主要部分放大俯视图，图19为图18的R-R线截面图。此处，和第二以及第三实施方式相同的要素赋予相同的符号，仅对与第二和第三实施方式不同的部分进行说明。
在该第四实施方式中，通过探测器22对液晶显示用基板27的各电极32提供电压，并具有向液晶显示用基板27的各像素28施加电场的电压提供源68，通过该电压提供源68可产生直流电压和以规定时间间隔变动电压值的交流电压或脉冲电压。
接着，参考图20的流程图对这样构成的第四实施方式的液晶显示装置的制造装置的动作，和液晶显示装置的制造方法进行说明。
首先，在步骤S31中，如图19的虚线所示，使得提升销43上升在其端部接收从外部向箭头A方向搬入的液晶显示用基板27。
在步骤S32中，如图19中的实线所示，使得提升销43在Z轴方向下降将液晶显示用基板27载置于基台21上。此时，提升销43进一步下降，离开液晶显示用基板27的 TFT基板30的背面30a。液晶显示用基板27载置于基台21时，通过图未示的传感器检出，并通过图未示的控制单元进行控制驱动图未示空气压缩机，同时将通路切换阀切换到空气压缩机侧，从基台21的上表面21a的吸引喷出口38喷出空气使得液晶显示用基板27上浮。在此状态下，通过图未示的按压销在对角线方向按压液晶显示用基板27，以在该对角线方向抵接于设置于基台21的相邻两个边缘部上的图未示的定位用突部。这样，液晶显示用基板27设置在基台21的规定位置处，可对液晶显示用基板27的电极32和探测器22的端子47进行对准粗调。之后，将所述切换阀切换到吸引泵侧，从吸引喷出口38吸引并将液晶显示用基板27吸附保持在基台21的上表面21a。此时，探测器保持部64上设置的探测器22的多个端子47通过液晶显示用基板27被按下，与设置于液晶显示用基板37的相对电极基板31的边缘部的多个电极32压接。又，液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a通过在凹陷部36的开口部侧张设于线部保持框66的上端部的多个线部65从下方被支承。这样，可抑制液晶显示用基板27的弯曲。
在步骤S33中，通过图未示的对准拍摄装置拍摄设置在液晶显示用基板27的四个角落处的对准标记，在X轴，Y轴方向移动探测器保持部64并使其旋转来进行对位，以使得对准标记和对准拍摄装置的视野的中心一致。
在步骤S34中，从电源提供源68通过探测器22向液晶显示用基板27的多个电极32提供规定的电压。这样，在图21（b）所示的TFT基板30的像素电极69和相对电极基板31的相对电极70之间施加电压，从而对多个像素28施加规定值的电场。此时，在该图21(a)所示的液晶材料中以一定的比例混合的单体与液晶分子72一样变动，如图21（b）所示朝向与液晶分子72的排列方向相同的方向。
在步骤S35中，驱动供水泵从储水箱中将冷却水提取上来，该冷却水从设置于基台21的凹陷部36的底面的喷出口39沿如图19所示的箭头方向喷出，吹附到液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a。此时，液晶显示用基板27的TFT基板30的背面30a和多个线部65进行线接触，因此被吹附到TFT基板30的背面30a上的冷却水均等地喷到TFT基板30的面对凹陷部36的部分的大致整个表面，从而可高效率地冷却液晶显示用基板27。冷却水之后通过排水沟从排出口排出返回到储水箱，通过另设的冷却器冷却到规定温度（例如，大约24℃）并循环使用。
在步骤S36中，如图21（c）所示，在对各像素28施加了规定值的电场的状态下打开驱动光源装置23以点亮闪光灯48，并对液晶显示用基板27照射规定量的紫外线73。这样，单体71交联聚合成聚合体，在液晶显示用基板27的内侧表面生长而形成由聚合体 结构构成的定向层。此时，液晶层34中的单体71的扩散速度为固定，因此变成聚合体结构的反应速度由该扩散速度所限制。即，液晶显示用基板27的液晶层34中的单体71在厚度方向上扩散到达基板面，在该内侧表面侧形成聚合体结构为止的时间依赖于单体71的扩散速度。
因此，本发明中，在步骤S37，如果所述紫外线73的照射经过规定时间，在维持紫外线73的照射的状态下施加到各像素28的电场强度以规定的时间间隔以交流或是脉冲的方式变更。这样，液晶分子72和单体71一起动摇，单体71容易向着液晶层34的厚度方向扩散。
在步骤S38中，如图21（d）所示，以去除了对各像素28的电场施加的状态对液晶显示用基板27照射规定光量的紫外线73。这样，各像素28的液晶分子72的定向被固定，可防止施加到各像素28的电场去除之后表面层的液晶分子72回到初始状态，使得液晶分子的定向稳定化。
在步骤S39中，关闭驱动光源装置23，停止供水泵，对基台21的凹陷部36内的冷却水进行排水。
在步骤S40中，停止基台21的吸引泵，解除基台21的上表面21a对液晶显示用基板27的吸附。接着，切换切换阀同时驱动空气压缩机，从吸引喷出口38喷出空气使得液晶显示用基板27上浮。之后，使得提升销43上升，将液晶显示用基板27交付到图未示的搬送用机器人（例如，第二实施方式的传送装置24）的臂部，并搬出到外部。另一方面，对液晶显示用基板27的交付结束之后，提升销43下降到规定的位置。
又，所述第四实施方式中，对在步骤S38中在对各像素28施加的电场被去除的状态下以规定光量的紫外线照射液晶显示用基板27的情况进行了说明，但是本发明不限于此，在步骤S37中，在能够使得液晶分子72的定向充分稳定的情况下，可省略步骤S38。
又，在所述第四实施方式中对以下这样的情况进行了说明，即在步骤S36中在对各像素28施加了规定量电场的状态下对液晶显示用基板27照射规定光量的紫外线73，在步骤S37中当光源装置23的紫外线73的照射经过了规定时间之后，在维持紫外线73的照射的状态下使得通过电压提供源68对各像素28施加的电场强度以规定施加间隔变更的情况，但是本发明不限于此，也可例如如图22（a）所示，通过电压提供源68以规定时间间隔对液晶进行打开·关闭·打开驱动，以切换对各像素28的电场施加，并以此为一个周期重复执行规定周期。此时，在驱动液晶的所述一个周期的最初的打开驱动期间，可依次点亮多个闪光灯（在图22中，采用8个闪光灯）。这些闪光灯48的依次点亮是通过以 时间间隔Td依次提供脉冲宽度Tw的闪光灯电压（参照该图（c）），并与其同步地对各闪光灯48依次提供闪光灯触发脉冲（参照该图（b））来进行的。这样，在液晶驱动周期的一个周期的最初的打开驱动期间内，闪光灯48依次点亮，紫外线73照射到液晶显示用基板27，基板表面侧的单体交联并聚合体化，形成定向层，接着，通过液晶驱动电压从打开到关闭以及从关闭到打开的切换，液晶分子被摇动，促进了未反应的单体向液晶层34的厚度方向的扩散。然后，通过重复这些动作，可促进定向层的形成缩短液晶显示用基板的定向处理时间。
图23显示本发明的液晶显示装置的制造装置的第五实施方式的要部放大图，其是表示光源装置的部分截面仰视图。此处，和第二、第三实施方式相同的要素赋予同样的符号，对与第二～第四实施方式不同的部分进行说明。
该第五实施方式中，如图23所示，液晶显示装置的制造装置具有光源装置23，该光源装置23在反射器50内部具有发出紫外线的多个闪光灯48，该反射器50具有大小与液晶显示用基板27的至少显示区域29对应的开口50a，该光源装置23还包括在紫外线的射出侧纵横并列设置的方形的多个滤光镜74，这些滤光镜74选择性透过规定波长的紫外线，对图16所示的保持在基台21上的液晶显示用基板27的至少显示区域29的整个面照射紫外线。具体来说，滤光镜74用于遮断对液晶具有破环作用的波长大约为300nm以下的紫外线，其缘部通过设置在各滤光镜74之间的支承部件75支承。然后，光源装置23以规定的步位（例如6步）在纵横方向（X轴和Y轴方向）上移动滤光镜74的排列间距的整数倍的距离，并且每移动一步就点亮多个闪光灯48。又，该闪光灯48如果被提供微弱的电流则进行预放电（预备点亮）并发出白色光，也可将闪光灯48作为液晶显示用基板27的点亮检查用背光来使用。
该光源装置23，在紫外线照射液晶显示用基板27的至少显示区域29的整面的时候，如图24所示，在X轴和Y轴方向上以规定的步骤（例如，6步）移动滤光镜74的排列间距的整数倍距离（在图24中相当于滤光镜74的排列间距）。具体来说，光源装置23如图24所示，在同图沿着X轴从左向右移动6步之后，沿着Y轴从上往下移动1步，再沿着X轴从右向左移动6步之后，沿着Y轴从上往下移动1步。之后，进行上述相同的动作，曲折移动相当于滤光镜74的排列间距的距离。然后，反向沿着所述路径返回到原先的位置。此时，光源装置23每移动一步即被点亮控制使得多个闪光灯48点亮。这样，如图25所示，可对液晶显示用基板27的显示区域29的整个面均匀照射紫外线，使得液晶分子在规定方向均匀定向。
另一方面，如图26所示，使得光源装置23在X轴方向和Y轴方向移动三步相当于滤光镜74的排列间隔的一半的距离，每移动一步就点亮多个闪光灯48，此时的液晶显示用基板27的显示区域29上的照度分布如图27所示。这样，如果光源装置23在X轴方向和Y轴方向的移动距离不合适的话，相比于图25的情况其照度的分布不均匀。
又，在第五实施方式中，对使光源装置23曲折状移动的情况进行了说明，本发明不限于此，只要光源装置23的最大移动量是与滤光镜74的排列间隔的整数倍相等的距离，可以是螺旋状等任何状态。