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1、10申请公布号CN104066581A43申请公布日20140924CN104066581A21申请号201380005992022申请日20130117201200990920120120JPB32B37/00200601B29C63/0220060171申请人富士胶片株式会社地址日本国东京都72发明人儿玉知启伊藤英明74专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人蒋亭54发明名称形成有光固化性树脂层的基板及其形成方法、静电电容型输入装置及图像显示装置57摘要本发明提供一种形成有光固化性树脂层的基板的制造方法，其包括在具有凹部或凸部区域的大致四边形的基板当中确定想要抑制层压缺陷的。
2、产生的凹部或凸部区域的工序；将所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长边与具有层压辊的层压机的压接部所成的角度A控制为189的工序；将所述基板的四个边当中最先完成所述层压机的压接部的通过的边与所述层压机的压接部所成的角度B控制为189的工序；以及使具有设于临时支撑体上的光固化性树脂层的感光性膜的与该临时支撑体相反一侧的表面、与所述基板的想要抑制层压时的缺陷的产生的凹部或凸部区域侧的表面相对置，在维持所述角A及角B的同时使之通过所述层压机而将两者压接的工序，根据本发明，可以利用简便的工序高品质地制造能够实现薄层/轻型化的静电电容型输入装置。30优先权数据85PCT国际申请进入国家阶段日2。
3、014071886PCT国际申请的申请数据PCT/JP2013/0507112013011787PCT国际申请的公布数据WO2013/108801JA2013072551INTCL权利要求书1页说明书24页附图3页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书24页附图3页10申请公布号CN104066581ACN104066581A1/1页21一种形成有光固化性树脂层的基板的形成方法，其特征在于，包括在具有至少1个凹部或凸部区域的大致四边形的基板当中确定想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的工序；将所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长边与具有层压辊的层压机。
4、的压接部所成的角度A控制为189的工序，其中，在不存在最长边的情况下则所述最长边表示最长轴，在具有多个最长边的情况下则所述最长边表示其中的一个边；将所述基板的四个边当中最先完成所述层压机的压接部的通过的边与所述层压机的压接部所成的角度B控制为189的工序，其中，在所述基板的两个边同时最先完成通过的情况下则所述最先完成所述层压机的压接部的通过的边表示其中的一个边；以及使具有设于临时支撑体上的光固化性树脂层的感光性膜的与该临时支撑体相反一侧的表面、与所述基板的想要抑制层压时的缺陷的产生的凹部或凸部区域侧的表面相对置，在维持所述角A及角B的同时使它们通过所述层压机而将两者压接的工序。2根据权利要求1。
5、所述的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法，其特征在于，所述基板的所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域为突起、槽及开口部当中的至少1种。3根据权利要求1或2所述的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法，其特征在于，将所述角A控制为585。4根据权利要求13中任一项所述的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法，其特征在于，将所述角B控制为585。5根据权利要求14中任一项所述的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法，其特征在于，在所述临时支撑体与光固化性树脂层之间具有热塑性树脂层。6一种形成有光固化性树脂层的基板，其特征在于，使用权利要求15中任一项所述的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法而形。
6、成。7一种形成有光固化性树脂层的基板，其特征在于，对于至少1个凹部或凸部区域而言，进行了光固化后，在与基板面垂直的方向上的所述凹部或凸部区域的投影面积的25倍相似放大区域内存在的针孔为3个/CM2以下。8一种静电电容型输入装置，其特征在于，使用权利要求6或7所述的形成有光固化性树脂层的基板而形成。9一种图像显示装置，其特征在于，具备权利要求8所述的静电电容型输入装置。权利要求书CN104066581A1/24页3形成有光固化性树脂层的基板及其形成方法、静电电容型输入装置及图像显示装置技术领域0001本发明涉及形成有光固化性树脂层的基板及其形成方法、使用所述形成有光固化性树脂层的基板制造的静电电。
7、容型输入装置及作为构成要素具备该静电电容型输入装置的图像显示装置。背景技术0002在便携电话、导航仪、个人电脑、售票机、银行的终端等电子机器中，近年来，在液晶装置等的表面配置输入板TABLET型的输入装置，通过在参照显示于液晶装置的图像显示区域中的指示图像的同时，使手指或触控笔等触碰显示有该指示图像的部位，来进行与指示图像对应的信息的输入。0003在此种输入装置触摸屏中，有电阻膜型、静电电容型等。但是，电阻膜型的输入装置是利用膜与玻璃的2片结构将膜按下而使之短路的结构，因此具有动作温度范围窄、对经时变化不耐受的缺点。0004与之不同，静电电容型的输入装置具有只要在仅仅一片的基板上形成透光性导电。
8、膜即可的优点。该静电电容型的输入装置中，例如有如下的类型，即，使电极图案沿彼此交叉的方向延伸，在手指等接触时，通过感测电极间的静电电容变化而检出输入位置例如参照下述专利文献1。0005另外，作为静电电容型的输入装置，还有如下的类型，即，对透光性导电膜的两端施加同相、同电位的交流电流，通过感测手指接触或靠近而形成电容器时流过的微弱电流来检出输入位置。作为此种静电电容型输入装置，公开了如下的静电电容型输入装置，即，具备多个第一透明电极图案，它们是将多个垫片PAD部分经由连接部分沿第一方向延伸而形成；以及多个第二透明电极图案，它们夹隔着层间绝缘层与所述第一透明电极图案电绝缘，由沿与第一方向交叉的方向。
9、延伸形成的多个垫片部分构成例如参照下述专利文献2。但是，由于该静电电容型输入装置在所制作的静电电容型输入装置上层叠前面板，因此会有静电电容型输入装置变厚、变重的问题。0006此外，公开了在前面板的非接触侧表面一体化地形成掩模层、感应电路、层间绝缘层的静电电容型触摸屏例如参照下述专利文献3。在该专利文献3中，有静电电容型触摸屏因将前面板与静电电容型输入装置一体化而可以实现薄层/轻型化的记载，然而对于详细的制造方法没有记载。0007另一方面，公开了如下的方法，即，作为第一及第二透明电极的材质使用ITO氧化铟锡，在进行利用真空蒸镀、液体抗蚀剂的图案化形成曝光/显影后，对没有被液体抗蚀剂覆盖的部分进行。
10、蚀刻处理，形成所需的透明电极图案例如参照专利文献4。但是，若利用该方法，则会有制造装置价格高、不容易降低成本的问题。0008另外，作为将包含单一或多个基板及排列在这些基板上而形成的电极图案的触摸屏主体与设于触摸屏主体的外侧靠近接触面的一侧的保护板玻璃或亚克力板粘接说明书CN104066581A2/24页4的方法，公开了如下的方法，即，使用压敏粘接性片材，防止在触摸屏主体与保护板之间产生空气层，从而防止由空气层界面的反射造成的亮度对比度降低的方法例如参照专利文献5；在减压下涂布固化性树脂而贴合的方法例如参照专利文献6。但是，由于压敏粘接片材价格高，因此附加的材料成本大，另外由于压敏粘接片材厚，因。
11、此还有难以实现薄层化、或粘接层厚度的均匀化的问题。0009此外，还公开了如下的透明电极图案的制造方法，即，利用丝网印刷、胶版印刷、喷墨印刷将作为第一及第二透明电极的材质的金属纳米粒子分散液加以图案化，其后进行烧成例如参照专利文献7。根据该制造方法，透明电极图案的制造简便，容易削减成本，另外可以在保护板中直接设置电导元件组电极图案或绝缘层，因此可以实现薄层/轻型化例如参照专利文献7。但是，即使利用该方法，也有电极图案的膜化或图案的直线性不充分的问题。0010现有技术文献0011专利文献0012专利文献1日本特开2007122326号公报0013专利文献2日本专利第4506785号公报0014专利。
12、文献3日本特开2009193587号0015专利文献4美国专利申请公开第20080264699号公报0016专利文献5日本特开2008083491号公报0017专利文献6日本特开2004325788号公报0018专利文献7日本特开2010146283号公报发明内容0019发明所要解决的问题0020另一方面，开发并发表了如下产品，即，在液晶或有机EL显示器上具备静电电容型触摸屏的智能手机或输入板PC中在前面板直接用手指接触的面中使用了以CORNING公司的GORILLA玻璃为代表的强化玻璃的产品。另外，在所述前面板的一部分中形成用于设置压敏并非借助静电电容变化、而是借助按压的机械性机构开关的开口。
13、部的产品已经上市。由于这些强化玻璃强度高、加工困难，因此要形成所述开口部，一般来说要在强化处理前形成开口部，之后进行强化处理。0021当想要在该具有开口部的强化处理后的基板上使用蚀刻用的液体抗蚀剂形成透明电极图案时，就会产生抗蚀剂成分从开口部中的泄漏、或抗蚀剂成分从需要将遮光图案形成至前面板的边界最大限度为止的掩模层中的玻璃端的溢出，从而会有污染基板背侧的问题。另外，在临时支撑体上形成了光固化性树脂层的使用干膜抗蚀剂形成掩模层或透明电极图案的方法中，存在有在所述的开口部周边产生皱纹状的缺陷、或在遮光性的掩模层的厚度差的部分残留气泡的问题。0022本发明的目的在于，提供可以利用简便的工序高品质地。
14、制造能够实现薄层/轻型化的静电电容型输入装置的形成有光固化性树脂层的基板及其形成方法、使用所述形成有光固化性树脂层的基板制造的静电电容型输入装置及使用了该静电电容型输入装置的图像显示装置。说明书CN104066581A3/24页50023用于解决问题的方法00241一种形成有光固化性树脂层的基板的形成方法，其特征在于，0025包括0026在具有至少1个凹部或凸部区域的大致四边形的基板当中确定想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的工序；0027将所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长边其中，在不存在最长边的情况下则表示最长轴。另外，在具有多个最长边的情况下则表示其中的一个边与具有层压。
15、辊的层压机的压接部所成的角度A控制为189的工序；0028将所述基板的四个边当中最先完成所述层压机的压接部的通过的边其中，在所述基板的两个边同时最先完成通过的情况下则表示其中的一个边与所述层压机的压接部所成的角度B控制为189的工序；以及0029使具有设于临时支撑体上的光固化性树脂层的感光性膜的与该临时支撑体相反一侧的表面、与所述基板的想要抑制层压时的缺陷的产生的凹部或凸部区域侧的表面相对置，在维持所述角A及角B的同时使它们通过所述层压机而将两者压接的工序。003021中记载的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法优选所述基板的想要抑制所述层压缺陷的产生的凹部或凸部区域是突起、槽及开口部当中的至。
16、少1种。003131或2中记载的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法优选将所述角A控制为585。0032413中任一项记载的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法优选将所述角B控制为585。0033514中任一项记载的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法优选在所述临时支撑体与光固化性树脂层之间具有热塑性树脂层。00346一种形成有光固化性树脂层的基板，其特征在于，使用15中任一项记载的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法形成。00357一种形成有光固化性树脂层的基板，其特征在于，对于至少1个凹部或凸部区域，在进行光固化时，在来自相对于基板面垂直方向的所述凹部或凸部区域的投影面积的25倍相似放大区。
17、域内存在的针孔为3个/CM2以下。00368一种静电电容型输入装置，其特征在于，使用6或7中记载的形成有光固化性树脂层的基板制造。00379一种图像显示装置，其特征在于，具备8中记载的静电电容型输入装置。0038发明效果0039根据本发明，可以提供能够利用简便的工序高品质地制造能够实现薄层/轻型化的静电电容型输入装置的形成有光固化性树脂层的基板及其形成方法、使用所述形成有光固化性树脂层的基板制造的静电电容型输入装置及使用了该静电电容型输入装置的图像显示装置。附图说明0040图1是表示本发明的静电电容型输入装置的构成的剖面图。0041图2是表示本发明的第一透明电极图案及第二透明电极图案的一例的说。
18、明图。说明书CN104066581A4/24页60042图3是表示形成有开口部的强化处理玻璃的一例的俯视图。0043图4是表示形成有掩模层的前面板的一例的俯视图。0044图5是表示形成有掩模层及第一透明电极图案的前面板的一例的俯视图。0045图6是表示形成有掩模层及第一、第二透明电极图案的前面板的一例的俯视图。0046图7是表示形成有掩模层、第一、第二透明电极图案、以及其他的导电性要素的前面板的一例的俯视图。0047图8是表示感光性膜的构成的一例的剖面简图。0048图9是分别表示层压机的压接部与想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长边所成的角度A以及与基板的最先完成所述层压机的压接部的通。
19、过的边所成的角度B的说明图。0049图10是表示在本发明中将基板与感光性膜层压的方式的一例的简图。具体实施方式0050以下，对本发明的形成有光固化性树脂层的基板及其形成方法、静电电容型输入装置及图像显示装置进行说明。以下记载的构成要件的说明有基于本发明的代表性实施方式进行的情况，然而本发明并不限定于此种实施方式。而且，本申请说明书中所谓“”是以将记载于其前后的数值作为下限值及上限值包含的意味使用的。0051形成有光固化性树脂层的基板的形成方法0052本发明的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法以下有时简称为“本发明的形成方法”。，其特征在于，0053包括0054在具有至少1个凹部或凸部区域的大。
20、致四边形的基板当中确定想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的工序；0055将所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长边其中，在不存在最长边的情况下则表示最长轴。另外，在具有多个最长边的情况下则表示其中的一个边与具有层压辊的层压机的压接部所成的角A控制为189的工序；0056将所述基板的四个边当中最先完成所述层压机的压接部的通过的边其中，在所述基板的两个边同时最先完成通过的情况下则表示其中的一个边与所述层压机的压接部所成的角B控制为189的工序；以及0057使具有设于临时支撑体上的光固化性树脂层的感光性膜的与该临时支撑体相反一侧的表面、与所述基板的想要抑制层压时的缺陷的产生的凹部或凸部。
21、区域侧的表面相对置，在维持所述角A及角B的同时使所述层压机通过而将两者压接的工序。0058像这样，通过在使用具有设于临时支撑体上的光固化性树脂层的感光性膜利用辊层压机压接时，将基板相对于层压辊的压接部倾斜地压接而形成，就可以在想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的附近抑制皱纹状的缺陷或气泡的产生，还可以抑制针孔的产生。0059本发明的感光性膜0060对本发明的形成方法中所用的本发明的感光性膜进行说明。本发明的感光性膜至少具有临时支撑体和光固化性树脂层。说明书CN104066581A5/24页70061根据需要，也可以在临时支撑体与光固化性树脂层之间具有热塑性树脂层，此外，可以在光固化性树脂层。
22、与热塑性树脂层之间设置中间层、或在光固化性树脂层的表面设置保护膜等而合适地构成。0062本发明中所用的感光性膜既可以是负型材料也可以是正型材料。00630064作为临时支撑体，可以使用具有挠曲性、且在加压下或在加压及加热下不产生明显的变形、收缩或伸长的材料。作为此种支撑体的例子，可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、三乙酸纤维素膜、聚苯乙烯膜、聚碳酸酯膜等，其中特别优选双轴拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。0065对于临时支撑体的厚度，没有特别限制，一般为5200M的范围，从处置容易度、通用性等方面考虑，特别优选10150M的范围。0066另外，临时支撑体也可以是透明的，还可以含有染料化硅、氧化铝溶胶、铬。
23、盐、锆盐等。0067另外，对于本发明的临时支撑体，可以利用日本特开2005221726记载的方法等赋予导电性。00680069本发明的感光性膜可以根据其用途向光固化性树脂层中加入添加物。即，在掩模层的形成中使用所述感光性膜的情况下，使光固化性树脂层中含有着色剂。另外，在本发明的感光性膜具有导电性光固化性树脂层的情况下，可以在所述光固化性树脂层中含有导电性纤维等。0070在本发明的感光性膜为负型材料的情况下，优选在光固化性树脂层中含有碱可溶性树脂、聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系。0071作为本发明中所用的感光性膜中所含的碱可溶性树脂，可以使用日本特开201195716号公报的0025段、。
24、日本特开2010237589号公报的00330052段中记载的聚合物。0072作为所述聚合性化合物，可以使用日本专利第4098550号的00230024段中记载的聚合性化合物。0073作为所述聚合引发剂或聚合引发体系，可以使用日本特开201195716号公报中记载的00310042中记载的聚合性化合物。0074掩模层着色剂0075另外，在将本发明中所用的感光性膜作为掩模层使用的情况下，可以在光固化性树脂层中使用着色剂。作为本发明中所用的着色剂，可以合适地使用公知的着色剂有机颜料、无机颜料、染料等。而且，本发明中，除了黑色着色剂以外，还可以使用红色、蓝色、绿色等颜料的混合物等。0076在将所述光。
25、固化性树脂层作为黑色的掩模层使用的情况下，从光学浓度的观点考虑，优选含有黑色着色剂。作为黑色着色剂，例如可以举出炭黑、钛黑、氧化铁、石墨等，其中优选炭黑。0077在将所述光固化性树脂层作为白色的掩模层使用的情况下，可以使用日本特开20057765公报的0015或0114段中记载的白色颜料，其中，优选二氧化钛。为了作为说明书CN104066581A6/24页8其他的颜色的掩模层使用，也可以混合使用日本专利第4546276号公报的01830185等段中记载的颜料、或染料。具体来说，可以合适地使用日本特开200517716号公报的段落编号00380054中记载的颜料及染料、日本特开200436144。
26、7号公报的段落编号00680072中记载的颜料、日本特开200517521号公报的段落编号00800088中记载的着色剂等。0078所述着色剂优选为颜料、更优选为炭黑、二氧化钛最好作为分散液使用。该分散液可以通过将预先混合所述着色剂与颜料分散剂而得的组合物添加到后述的有机溶剂或载色剂中并分散来制备。所述所谓载色剂是指涂料处于液体状态时使颜料分散的介质的部分，包含作为液状且与所述颜料结合而形成涂膜的成分粘合剂、和将其溶解稀释的成分有机溶剂。0079作为分散所述颜料时使用的分散机，没有特别限制，例如可以举出朝仓邦造著、颜料的百科辞典、第一版、朝仓书店、2000年、438项中记载的捏合机、辊磨机、磨。
27、碎机ATTRITOR、高速研磨机SUPERMILL、溶解器、均质搅拌机、砂磨机等公知的分散机。此外也可以借助该文献310页记载的机械的磨碎利用摩擦力进行微粉碎。0080本发明中所用的着色剂从分散稳定性的观点考虑优选数均粒径为0001M01M的着色剂，更优选001M008M的着色剂。而且，这里所说的所谓“粒径”是指将粒子的电子显微镜照片图像设为相同面积的圆时的直径，另外所谓“数均粒径”是针对多个粒子求出所述的粒径，是指这100个的平均值。0081对于含有着色剂的光固化性树脂层的层厚，从与其他层的厚度差的观点考虑，优选为05100M，更优选为0850M，特别优选为110M。作为本发明的着色感光性树。
28、脂组合物的固体成分中的着色剂的含有率，没有特别限制，然而从充分地缩短显影时间的观点考虑，优选为1570质量，更优选为2060质量，进一步优选为2550质量。0082本说明书中所说的所谓全部固体成分是指从着色感光性树脂组合物中除去溶剂等后的不挥发成分的总质量。0083导电性光固化性树脂层导电性纤维0084另外，在将本发明中所用的感光性膜用于透明电极图案等的形成的情况下，可以将以下的导电性纤维等用于光固化性树脂层中。0085作为导电性纤维的结构，没有特别限制，可以根据目的适当地选择，然而优选为实心结构及空心结构的任意一种。0086这里，有时将实心结构的纤维称作“线”，有时将空心结构的纤维称作“管”。
29、。另外，有时将平均短轴长度为5NM1,000NM、平均长轴长度为1M100M的导电性纤维称作“纳米线”。0087另外，有时将平均短轴长度为1NM1,000NM、平均长轴长度为01M1,000M、具有空心结构的导电性纤维称作“纳米管”。0088作为所述导电性纤维的材料，只要具有导电性，就没有特别限制，可以根据目的适当地选择，然而优选金属及碳的至少任意一种，在它们当中，所述导电性纤维特别优选金属纳米线、金属纳米管、以及碳纳米管的至少任意一种。0089对于含有导电性纤维的光固化性树脂层的层厚，从涂布液的稳定性、涂布时的干说明书CN104066581A7/24页9燥、图案化时的显影时间等工艺适应性的观。
30、点考虑，优选为0120M，更优选为0518M，特别优选为115M。对于所述导电性纤维相对于包括所述导电性纤维的光固化性树脂层的全部固体成分的含量，从导电性和涂布液的稳定性的观点考虑，优选为00150质量，更优选为00530质量，特别优选为0120质量。而且，在使用所述感光性膜形成绝缘层的情况下，从维持绝缘性的观点考虑，光固化性树脂层的层厚优选为015M，更优选为033M，特别优选为052M。0090透明保护层0091在使用所述感光性膜形成透明保护层的情况下，从发挥足够的表面保护能力的观点考虑，光固化性树脂层的层厚优选为0510M，更优选为085M，特别优选为13M。0092光固化性树脂层中的添。
31、加剂0093此外，所述光固化性树脂层也可以使用添加剂。作为所述添加剂，例如可以举出日本专利第4502784号公报的0017段、日本特开2009237362号公报的00600071段中记载的表面活性剂、日本专利第4502784号公报的0018段中记载的热阻聚剂、以及日本特开2000310706号公报的00580071段中记载的其他添加剂。0094另外，作为利用涂布制造本发明的感光性膜时的溶剂，可以使用日本特开201195716号公报的00430044段中记载的溶剂。0095虽然以上以本发明的感光性膜为负型材料的情况为中心进行了说明，然而所述感光性膜也可以是正型材料。在所述感光性膜为正型材料的情况。
32、下，在光固化性树脂层中例如可以使用日本特开2005221726记载的材料等，然而并不限定于此。00960097可以设于本发明的感光性膜的临时支撑体与着色感光性树脂层之间的热塑性树脂层优选为碱可溶性。热塑性树脂层是为了可以吸收基底表面的凹凸也包括由已经形成的图像等造成的凹凸等。而担负作为缓冲材料的作用的材料，优选具有可以与对象面的凹凸对应地变形的性质。0098热塑性树脂层优选为作为成分含有日本特开平572724号公报中记载的有机高分子物质的形态，特别优选为含有选自基于维卡VICAT法具体来说，是基于美国材料试验法ASTMD1235的聚合物软化点测定法得到的软化点约为80以下的有机高分子物质中的至。
33、少1种的形态。0099具体来说，可以举出聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃、乙烯与乙酸乙烯酯或其皂化物等的乙烯共聚物、乙烯与丙烯酸酯或其皂化物的共聚物、聚氯乙烯或氯乙烯与乙酸乙烯酯或其皂化物等的氯乙烯共聚物、聚偏氯乙烯、偏氯乙烯共聚物、聚苯乙烯、苯乙烯与甲基丙烯酸酯或其皂化物等的苯乙烯共聚物、聚乙烯基甲苯、乙烯基甲苯与甲基丙烯酸酯或其皂化物等的乙烯基甲苯共聚物、聚甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸丁酯与乙酸乙烯酯等的甲基丙烯酸酯共聚物、乙酸乙烯酯共聚物尼龙、共聚尼龙、N烷氧基甲基化尼龙、N二甲基氨基化尼龙等聚酰胺树脂等有机高分子。0100热塑性树脂层的层厚优选为330M。在热塑性树脂层的层厚小于3M的情况下，层压时。
34、的追随性不充分，从而会有无法完全地吸收基底表面的凹凸的情况。另外，在层厚大于30M的情况下，在向临时支撑体上形成热塑性树脂层时的干燥除去溶剂中会说明书CN104066581A8/24页10增加负荷、或在热塑性树脂层的显影中需要时间，从而有使得工艺适应性恶化的情况。作为所述热塑性树脂层的层厚，更优选为425M，特别优选为520M。0101热塑性树脂层可以通过涂布含有热塑性的有机高分子的调制液等方式来形成，涂布等时所用的调制液可以使用溶剂来调制。对于溶剂，只要是可以溶解构成该层的高分子成分的溶剂就没有特别限制，例如可以举出甲乙酮、环己酮、丙二醇单甲醚乙酸酯、正丙醇、2丙醇等。01020103在本发。
35、明中所用的感光性膜中，出于防止涂布多个层时及涂布后的保存时的成分的混合的目的，优选设置中间层。作为中间层，优选日本特开平572724号公报中作为“分离层”记载的具有氧阻断功能的氧阻断膜，曝光时的灵敏度提升，可以减少曝光机的时间负荷，提高生产性。0104作为所述中间层及保护膜，可以适当地使用日本特开2006259138号公报的00830087及0093段中记载的材料。01050106本发明的感光性膜可以依照日本特开2006259138号公报的00940098段中记载的感光性转印材料的制作方法来制作。0107具体来说，在形成具有热塑性树脂层以及中间层的本发明的感光性膜的情况下，可以通过如下操作来合。
36、适地制作，即，在临时支撑体上涂布与热塑性的有机高分子一起还溶解有添加剂的溶解液热塑性树脂层用涂布液并干燥而设置热塑性树脂层后，在该热塑性树脂层上涂布向不溶解热塑性树脂层的溶剂中加入树脂或添加剂而调制的调制液中间层用涂布液并干燥而层叠中间层，在该中间层上再涂布使用不溶解中间层的溶剂调制的着色感光性树脂层用涂布液并干燥而层叠着色感光性树脂层。0108本发明的静电电容型输入装置的制造方法0109如上所述，本发明的静电电容型输入装置使用在临时支撑体上具有光固化性树脂层的感光性膜形成。0110在使用所述感光性膜形成所述掩模层、绝缘层及透明保护层、或使用导电性光固化性树脂层时的第一透明电极图案、第二透明电。
37、极图案及导电性要素等永久材料的情况下，在将感光性膜层压在基板上后，曝光成必需的图案样式，通过在负型材料的情况下，将非曝光部分显影处理而除去，在正型材料的情况下，将曝光部分显影处理而除去，就可以得到图案。此时，显影可以是将热塑性树脂层和光固化性层利用不同的显影液显影除去，也可以利用相同的显影液除去。根据需要，也可以组合刷子或高压喷射等公知的显影设备。在显影后，根据需要，也可以进行后曝光、后烘烤。0111另外，为了提高后面的转印工序中的借助层压的感光性树脂层的密合性，可以预先对基板前面板的非接触面实施表面处理。作为所述表面处理，优选实施使用了硅烷化合物的表面处理硅烷偶联处理。作为硅烷偶联剂，优选具。
38、有与感光性树脂相互作用的官能团的材料。例如利用喷淋器喷送20秒的硅烷偶联液N氨基乙基氨基丙基三甲氧基硅烷03质量水溶液、商品名KBM603、信越化学株制，进行纯水喷淋清洗。之后，利用加热使之反应。也可以使用加热槽，还可以利用层压机的基板预加热来促进反应。说明书CN104066581A109/24页110112另外，也可以将本发明的感光性膜作为剥离材料使用，形成第一透明电极层、第二透明电极层及其他的导电性构件。该情况下，在使用本发明的感光性膜进行图案化后，在基板整面形成透明导电层，其后通过连同所堆积的透明导电层一起进行本发明的光固化性树脂层的溶解除去，就可以得到所需的透明导电层图案剥离法。011。
39、3使用本发明的感光性膜形成永久材料的情况0114对于使用本发明的感光性膜形成永久材料的情况，以形成掩模层黑色的方法为例，对使用本发明的感光性膜的图案化方法进行说明。0115形成所述掩模层的方法可以举出如下的方法，即，具有从本发明的感光性膜中除去所述覆盖膜的覆盖膜除去工序、将除去了所述覆盖膜的所述感光性转印材料的所述感光性树脂层转印到基板上的转印工序、将转印到基板上的所述感光性树脂层曝光的曝光工序、将曝光了的感光性树脂层显影而得到图案图像的显影工序。0116转印工序0117所述转印工序是将除去了所述覆盖膜的所述感光性膜的所述光固化性树脂层转印到基板上的工序。0118光固化性树脂层向基板表面的转印。
40、贴合是通过将光固化性树脂层叠加在基板表面并加压、加热而进行。在贴合中，只要可以实施后述的层压方法，则可以使用任意的层压机，可以使用层压机、真空层压机、以及可以进一步提高生产性的自动开料层压机等公知的层压机。另外，层压机只要具有至少1个层压辊即可，可以用层压辊和任意的夹压面夹住而加压。其中，优选所述任意的夹压面也为层压辊那样的所谓轧辊型的层压机。0119本发明中，作为所述层压辊，从抑制气泡等缺陷的产生的观点考虑，也可以优选使用在辊宽度方向上中央部分的直径大于端部的直径的中凸辊。0120另外，本发明中，作为所述层压辊优选使用橡胶辊，例如优选肖氏A硬度为50HS以上的，更优选60HS以上的，特别优选。
41、70HS以上的。0121层压方法0122本发明的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法中，使用具有如下特征的层压方法，即，包括在具有至少1个凹部或凸部区域的大致四边形的基板当中确定想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的工序；将所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长轴其中，在具有多个最长边的情况下则为其中的一个边与具有层压辊的层压机的压接部所成的角度A控制为189的工序；将所述基板的最先完成通过所述压接部的边其中，在所述基板的两个边同时最先完成通过的情况下则为其中的一个边与所述层压机的压接部所成的角度B控制为189的工序；以及使具有设于临时支撑体上的光固化性树脂层的感光性膜的与该临时支。
42、撑体相反一侧的表面、与所述基板的想要抑制层压时的缺陷的产生的凹部或凸部区域侧的表面相对置，在维持所述角A及角B的同时使所述层压机通过而将两者压接的工序。0123本发明的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法中首先在具有至少1个凹部或凸部区域的大致四边形的基板当中确定想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域。在想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域在基板中具有多个凹部或凸部区域的情况下，可以任意地选择1个。另外，也可以对于具有多个凹部或凸部区域的基板，将面积最大的凹部或凸部区域作为想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域来确定。说明书CN104066581A1110/24页120124所述凹部或凸部区。
43、域既可以仅由凹部构成，也可以仅由凸部构成，还可以是同时具有凹部和凸部的凹凸区域。0125本发明的形成有光固化性树脂层的基板的形成方法中，优选所述基板的所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域为突起、和/或槽、和/或开口部。0126基板只要是具有至少1个凹部或凸部区域的大致四边形就没有特别限制，在本说明书中，所谓大致四边形，是指具有至少4个边。即，基板既可以将角部修饰为弧状，也可以具有角，还可以设置比所述4个边短的直线。0127所述凹部或凸部区域从基板表面算起的高度没有特别限制，只要是因层压而有缺陷的产生的程度的高度就可以应用本发明的形成方法。虽然根据应用本发明的形成方法的用途而定，然而例如所。
44、述凹部或凸部区域的从基板表面算起的高度优选为10NM10MM，更优选为20NM10MM。0128在所述凹部或凸部区域是处于基板中的突起、槽、开口部的情况下，这些突起、槽、开口部有属于使用光刻胶材料等预先在基板上图案化而成的先行像素PRECEDINGPIXELS的情况、属于利用物理研磨或化学蚀刻等形成的情况。0129对于所述突起的高度及槽的深度，在属于使用光刻胶材料等预先在基板上图案化而成的先行像素的情况下，有时为数十NM到数十M。另外，有时先行像素的宽度为十M左右数CM，有时还设置数十M左右的锥形，都可以应用本发明的形成方法。0130另外，所述开口部的厚度与基板的厚度同等，有时为数百M到数MM。
45、，而在此种情况下也可以应用本发明的形成方法。0131另外，本发明的形成方法中，将所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长边其中，在不存在最长边的情况下则表示最长轴。另外，在具有多个最长边的情况下则表示其中的一个边与具有层压辊的层压机的压接部所成的角A控制为189。所述角A的范围为189，优选为288，更优选为387，特别优选为585，更特别优选为1080。而且，虽然也要兼顾后述的角A与角B的差，然而在本发明的形成方法中，在特别重视通过提高层压速度效率来抑制缺陷的产生的情况下，也优选将角A控制为7585。0132在所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长边不存在的情况下，如上所述。
46、以所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长轴为基准。这里，所谓“凹部或凸部区域的最长边不存在”，是指例如为圆形、楕圆形、或由其他曲线构成的形状，此种形状下的所谓凹部或凸部区域的最长轴，是指连结该凹部或凸部区域的任意的2处的端部的线段达到最长的线段。另外，本发明中，在“凹部或凸部区域的最长边不存在”的情况下，也可以包括任意的凹部或凸部区域的最长边的长度为该凹部或凸部区域的最长轴的长度的50以下的情况。0133作为角A的控制方法或用于在维持角B的同时使层压机通过的方法没有特别限制，可以通过将基板预先设定为所需的角度而在搬送辊上搬送、或将所述具有层压辊的层压机设为轧辊而搬送来实现。0134本。
47、发明的形成方法中，将具有层压辊的层压机的压接部与基板的四个边当中最先完成所述层压机的压接部的通过的边其中，在所述基板的两个边同时最先完成通过的情况下则表示其中的一个边所成的角B控制为189，在维持该角B的同时保持角度说明书CN104066581A1211/24页13地将基板与感光性膜压接。所述角B的范围为189，优选为145，更优选为230，特别优选为320度。另外，根据用途也优选控制为1080。从提高层压速度效率的观点考虑，所述基板的四个边当中最先完成所述层压机的压接部的通过的边优选为基板的最短边。0135作为角B的控制方法或用于在维持角B的同时通过层压机的方法没有特别限制，可以通过将基板预。
48、先设定为所需的角度而在搬送辊上搬送、或将所述具有层压辊的层压机设为轧辊而搬送来实现。0136角A与角B的关系没有特别限制。例如在所述基板的四个边当中最先完成所述层压机的压接部的通过的边与所述想要抑制层压缺陷的产生的凹部或凸部区域的最长边平行的情况下，从提高层压速度效率的观点考虑，角A与角B的差优选为45以内，更优选为10以内，进一步优选为3以内，特别优选为1以内，尤其优选为05。0137另外，在反复2次以上地进行本发明的形成方法的情况下，在将第二层的光感光性膜层压在层压有第一层的光感光性膜的基板也包括从层压有第一层的光感光性膜的基板中除去了临时支撑体、或光固化、或任意地蚀刻的基板上时，会有使得。
49、层压有第一层的光感光性膜的基板的凹部或凸部区域的凹凸被放大的情况。该情况下，也可以应用本发明的形成方法。另外，在将第二层的光感光性膜层压在层压有第一层的光感光性膜的基板上时，第一层的角A与第二层的角A优选为10以内，更优选为3以内，特别优选为1以内，尤其优选为05。另外，第一层的角B与第二层的角B优选为10以内，更优选为3以内，特别优选为1以内，尤其优选为05。0138然后，本发明的形成方法中使具有设于临时支撑体上的光固化性树脂层的感光性膜的与该临时支撑体相反一侧的表面与所述基板的想要抑制层压时的缺陷的产生的凹部或凸部区域侧的表面相对置，在维持所述角A及角B的同时，通过所述层压机而将两者压接。0139所述层压方法中的搬送速度只要不违反本发明的主旨就没有特别限制，然而例如优选为0310M/分钟，更优选为055M/分钟，在基板为小型基板时，优选为033M/分钟，特别优选为0425M/。