机械手测试平台.pdf

摘要
申请专利号：	CN201510451507.3	申请日：	2015.07.27
公开号：	CN106404430A	公开日：	2017.02.15
当前法律状态：	撤回	有效性：	无权
法律详情：	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01M 99/00申请公布日:20170215\|\|\|公开
IPC分类号：	G01M99/00(2011.01)I	主分类号：	G01M99/00
申请人：	沈阳拓荆科技有限公司
发明人：	续震
地址：	110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层
优先权：
专利代理机构：	沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229	代理人：	李绪岩
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内容摘要

一种机械手测试平台，包括机械手平台(1)、机械手(2)和移动支架(3)。机械手(2)处于机械手平台(1)上。移动支架(3)在机械手平台(1)平面滑动。本发明结构紧凑合理，当需要测试机械手时可以移动支架到正确位置，通过测试装置进行测试，以满足使用要求。

权利要求书

1.一种机械手测试平台，其特征在于：包括机械手平台(1)、
机械手(2)和移动支架(3)；机械手(2)处于机械手平台(1)上，
移动支架(3)在机械手平台(1)平面滑动。

说明书

机械手测试平台

技术领域

本发明涉及一种测试平台，尤其是一种机械手测试平台。

背景技术

机械手是半导体设备上非常关键的部件，它的精度会决定传片的重复性和可靠性。半导体设备在装调时，经常发现机械手在运行过程中重复性和可靠性有问题，因此在安装机械手之前必须对机械手精度进行测试(X、Y、Z方向)，以保证机械手安装、运行稳定，精度可以重复。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明提供了一种机械手测试平台。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种机械手测试平台，包括机械手平台(1)、机械手(2)和移动支架(3)。机械手(2)处于机械手平台(1)上。移动支架(3)在机械手平台(1)平面滑动。

本发明的有益效果及特点：结构紧凑合理，当需要测试机械手时可以移动支架到正确位置，通过测试装置进行测试，以满足使用要求。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示：一种机械手测试平台，包括机械手平台1、机械手2和移动支架3。机械手2处于机械手平台1上。移动支架3在机械手平台1平面滑动。

使用时，机械手2安装在平台(1)，测试装置安装移动支架3上。当需要测试机械手时可以将移动支架3移动到正确位置，通过测试装置进行测试，以满足使用要求。