老化测试装置以及用于该老化测试装置的负压冷却系统技术领域
用于老化测试装置的负压冷却系统以及使用该负压冷却系统的老化测
试装置，特别是一种用于开放式老化测试装置的负压冷却系统以及使用该
负压冷却系统的开放式老化测试装置。
背景技术
在电子元件(例如IC元件)制造过程中，电子元件制作完成之后，通常
会对电子元件进行老化测试，以测试电子元件的可靠度。老化测试是将电
子元件置放老化测试机台中进行加热，并于同时对电子元件进行电性测试，
而测试电子元件的可靠度是否符合标准。老化测试装置依照其内的老化测
试炉的架构可以分为封闭式老化测试装置与开放式老化测试装置两种，其
中，封闭式老化测试装置的老化测试炉在进行测试时是封闭而使外部空气
无法进入其内，开放式老化测试装置老化测试炉在进行测试时是开放而外
部空气可以进入其内。在进行老化测试时，借由外部空气不断地由老化测
试机台(或老化测试炉)的开放处(例如孔洞、开口等)进入老化测试炉中，
而达到对开放式老化测试装置进行散热冷却，避免热积聚于开放式老化测
试装置中，导致开放式老化测试装置中的元件(例如老化测试控制元件、老
化测试板、老化测试座等等)因过热而损害，而需要进行更换，造成测试成
本的增加，因此，对于开放式老化测试装置来说具有一个可以有效进行散
热冷却的冷却散热系统是很重要的。
参照图1，其为现有习知的开放式老化测试装置的冷却散热系统的示意
图。在现有习知的开放式老化测试装置中，老化测试板1上设置有多个可以
容置电子元件进行老化测试的老化测试座2，每一个老化测试座2都具有加
热器(图中未示)，用以对其上所容置的电子元件进行加热，并且每一个老
化测试座2上都设置有一个风扇3，用以持续地将老化测试座2上的热空气抽
出，避免热积聚老化测试板1、老化测试座2、以及待测电子元件(图中未示)
而对其造成损害。另外，在现有习知的开放式老化测试装置中还设置有风
扇(图中未示)，用以持续地将开放式老化测试装置外部的空气由空气入口
端4抽入开放式老化测试装置(或老化测试炉)中，并流经老化测试板1、老
化测试座2、以及待测电子元件等元件，而由空气出口端5排出，并同时将
风扇3由老化测试座2上抽出的热空气带走，而与外界空气形成循环以达到
散热冷却的效果。
然而，这样的冷却散热系统虽然可以对开放式老化测试装置(或老化测
试炉)进行散热冷却，但是由于越接近空气入口端4接触的空气是刚从外部
环境进入的空气，所以此处空气的温度较低，导致老化测试炉内越接近空
气入口端4的温度越低，而越接近空气出口端5接触的空气是已经过老化测
试板1上部分老化测试座2而被加热的空气，所以相对于空气入口端4的空气
温度，此处(即空气出口端5)空气的温度较高，导致老化测试炉内越接近空
气出口端5的温度越高。这样的温度差异导致老化测试炉内产生温度不均匀
的现象，并且因此导致老化测试炉内产生乱流，使得老化测试炉中的热空
气不易排出，而不易散热。其次，由于外部环境的空气在老化测试炉中的
流动方向与老化测试座2上由风扇3排出的热空气的流动方向是彼此垂直
的，也会使老化测试炉内因两个不同流动方向的气流相冲撞而产生乱流，
更增加了老化测试炉中的热空气排出与散热的困难度。这样的情况将会使
得老化测试装置中的元件的元件(例如老化测试控制元件、老化测试板、老
化测试座等等)再长时间的使用后，容易因为积热无法有效地排除而损坏，
而需要进行更换。如此一来，不但会造成测试效能的降低，更会因此导致
测试成本因频繁地更换零件而增加。另外，由于接近空气入口端4持续接触
的都是温度较低的空气，使得越接近空气入口端4的区域(或待测电子元件)
越不易加热，而需要加大该区域哪老化测试座2内加热器的功率，才能达到
预设的测试温度，导致测试成本的增加。由于接近空气出口端5持续接触的
都是温度较高的空气，使得越接近空气出口端5的区域(或待测电子元件)容
易蓄热而过热，容易造成零件或待测电子元件的损害，而增加了待测电子
元件因老化测试而损害的风险。
有鉴于此，亟需要一种冷却系统以及开放式老化测试装置，可以借由
外部环境的空气与老化测试装置内的热空气有效地循环交换，有效地排除
老化测试装置内的积热，而不易在老化测试炉内造成温度不均与产生乱流。
发明内容
本发明的一目的为解决上述现有习知开放式老化测试装置的冷却散热
系的缺点，而提供一种用于开放式老化测试装置的负压冷却系统，可以有
效地利用外部环境的空气而去除老化测试装置内的积热，并且使得老化测
试炉内的温度可以均匀且不会产生乱流，从而避免老化测试装置的零件因
长时间处于过热的环境而导致损坏，以及防止待测电子元件因过热而损坏，
以降低老化测试的成本以及风险。
本发明的一目的为提供老化测试装置，该老化测试装置可以在进行老
化测试时，利用外部环境的空气有效地去除老化测试装置内的积热，而避
免老化测试装置的零件因长时间处于过热的环境而导致损坏，以及防止待
测电子元件因过热而损坏，从而降低老化测试的成本以及风险。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。根据
本发明的一目的，本发明提供一种用于老化测试装置的负压冷却系统符合
人体工学的电容笔，特别是一种用于开放式老化测试装置的负压冷却系统。
该用于老化测试装置的负压冷却系统包含横向抽风通道、集风区、以及主
抽风通道。横向抽风通道设置于老化测试装置中的老化测试板与老化测试
座上方，用以该老化测试装置的老化测试炉内的热空气由横向导出。集风
区设置于老化测试装置中，用以收集老化测试装置中的热空气。主抽风通
道设置于集风区与横向抽风通道之间，而连通集风区与横向抽风通道，用
以将由横向抽风通道横向导出的热空气传送至集风区，而由老化测试装置
排出到外部环境。横向抽风通道、主抽风通道、以及集风区形成负压通道，
而在由周围环境导入老化测试装置的空气流经老化测试板与老化测试座而
变成热空气之后，将该热空气由负压通道排出老化测试装置，而达到冷却
散热的效果，从而有效地将老化测试装置内的积热排除。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的用于老化测试装置的负压冷却系统，其中该横向抽风通道具有
至少一个抽风孔与二个第一阻风闸门，该抽风孔设置于该横向抽风通道底
部，用以将热空气导入该横向抽风通道中，该二个第一阻风闸门分别是设
置于该横向抽风通道两侧，用以控制该横向抽风通道内热空气流通速度，
以控制该横向抽风通道内的负压量。
前述的用于老化测试装置的负压冷却系统，其中该横向抽风通道更包
含对应该抽风孔而设置于该横向抽风通道底部的第二阻风闸门，用以控制
由该老化测试板与该老化测试座来的热空气进入该横向抽风通道的速度，
以控制该老化测试装置内的负压量。
前述的用于老化测试装置的负压冷却系统，其中该横向抽风通道更包
含风量计，该风量计设置于该横向抽风通道连接该主抽风通道的一端，用
以监测该横向抽风通道内的负压强度。
前述的用于老化测试装置的负压冷却系统，其中该集风区具有出风口，
用以将该集风区内的热空气排出。
前述的用于老化测试装置的负压冷却系统，其中该主抽风通道包含斜
向风扇，该斜向风扇倾斜向上地设置于该主抽风通道连接该集风区的一端，
用以将该横向抽风通道传递至该主抽风通道内的热空气抽出，而形成负压。
发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。根据本发
明的一目的，本发明提供一种老化测试装置，特别是一种开放式老化测试
装置。该老化测试装置包含老化测试炉、承载架、至少一个横向抽风通道、
集风区、以及主抽风通道。老化测试炉用以供带测元件于其中加热进行老
化测试，且为周围空气可以进入的开放式炉体。承载架设置于老化测试炉
内，用以承载老化测试板。每一横向抽风通道皆对应一个老化测试板而设
置于该老化测试板上方，用以将老化测试炉内(或该老化测试板上)的热空
气由横向导出。集风区设置于老化测试装置中，用以收集老化测试装置中
的热空气并将其排出。主抽风通道设置于集风区与每一横向抽风通道之间，
而连通该集风区与该横向抽风通道，用以将由该横向抽风通道横向导出的
热空气传送至集风区。借由横向抽风通道、主抽风通道、以及集风区所形
成的负压通道，可以将外部环境的空气导入老化测试装置中，并在该空气
经过老化测试板与老化测试座而变成热空气之后，将此热空气由该负压通
道排出老化测试装置外，而达到冷却散热的效果，借此，对老化测试装置
中的零件与待测电子元件进行散热，不但不会在其中产生妨碍散热的乱流，
也不会使得老化测试炉内的温度不均，而避免老化测试装置的零件因长时
间处于过热的环境而导致损坏，以及防止待测电子元件因过热而损坏，从
而降低老化测试的成本以及风险。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的老化测试装置，其中每一该老化测试板皆设置有数个老化测试
座，每一该老化测试座皆包含加热器，用以对该老化测试座中放置的待测
元件进行加热，以及设置于该老化测试座上方的风扇，用以将该老化测试
座周边的热空气引导向该横向抽风通道而进行冷却散热。
前述的老化测试装置，其中该横向抽风通道具有至少一个抽风孔与二
个第一阻风闸门，该抽风孔设置于该横向抽风通道底部，用以将热空气导
入该横向抽风通道中，该二个第一阻风闸门分别是设置于该横向抽风通道
两侧，用以控制该横向抽风通道内热空气流通速度，以控制该横向抽风通
道内的负压量。
前述的老化测试装置，其中该横向抽风通道更包含对应该抽风孔而设
置于该横向抽风通道底部的第二阻风闸门，用以控制由该老化测试板与该
老化测试座来的热空气进入该横向抽风通道的速度，以控制该老化测试装
置内的负压量。
前述的老化测试装置，其中该横向抽风通道更包含风量计，该风量计
设置于该横向抽风通道连接该主抽风通道的一端，用以监测该横向抽风通
道内的负压强度。
前述的老化测试装置，其中该集风区具有出风口，用以将该集风区内
的热空气排出。
前述的老化测试装置，其中该主抽风通道包含斜向风扇，该斜向风扇
倾斜向上地设置于该主抽风通道连接该集风区的一端，用以将该横向抽风
通道传递至该主抽风通道内的热空气抽出，而形成负压。
前述的老化测试装置，其中该老化测试装置更包含老化测试区动单元，
用以驱动该老化测试装置进行老化测试。
因此，借由上述技术方案，本发明至少具有以下优点：本发明提供了
一种用于老化测试装置的负压冷却系统以及使用该负压冷却系统的老化测
试装置，可以有效地利用外部环境的空气而去除老化测试装置内的积热，
并且使得老化测试炉内的温度可以均匀且不会产生乱流，从而避免老化测
试装置的零件因长时间处于过热的环境而导致损坏，以及防止待测电子元
件因过热而损坏，以降低老化测试的成本以及风险。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的
技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和
其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附
图，详细说明如下。
附图说明
图1为现有习知的开放式老化测试装置的冷却散热系统的示意图。
图2A与图2B分别为本发明的一个实施例的用于老化测试装置的负压冷
却系统的侧视图与放大图。
图3A、图3B、图3C、以及图3D分别为本发明的一个实施例的使用本发
明的负压冷却系统的老化测试装置的立体图、仰视透视图、侧视图、以及
正视图。
【主要元件符号说明】
1：老化测试板 2：老化测试座
3：风扇 4：空气入口端
5：空气出口端 10：用于老化测试装置的负压冷却系统
12：横向抽风通道 14：集风区
16：主抽风通道 20：老化测试板
22：老化测试座 24：风扇
30：老化测试装置 32：老化测试炉
34：承载架 36：老化测试驱动元件
38：风扇 121：抽风孔
122：第一阻风闸门 123：第二阻风闸门
124：风量计 141：出风口
161：斜向风扇
具体实施方式
本发明的一些实施例详细描述如下。然而，除了该详细描述外，本发
明还可以广泛地在其他的实施例施行。亦即，本发明的范围不受已提出的
实施例的限制，而以本发明提出的专利要求的保护范围为准。其次，当本
发明的实施例图示中的各元件或步骤以单一元件或步骤描述说明时，不应
以此作为有限定的认知，即如下的说明未特别强调数目上的限制时本发明
的精神与应用范围可推及多数个元件或结构并存的结构与方法上。再者，
在本说明书中，各元件的不同部分并没有完全依照尺寸绘图，某些尺度与
其他相关尺度相比或有被夸张或是简化，以提供更清楚的描述以增进对本
发明的理解。而本发明所沿用的现有技艺，在此仅做重点式的引用，以助
本发明的阐述。
请同时参照图2A与图2B，图2A为本发明的一个实施例的用于老化测试
装置的负压冷却系统10的侧视图，图2A则为老化测试装置的负压冷却系统
10的一部分的放大图。用于老化测试装置的负压冷却系统10包含数个横向
抽风通道12、集风区14、以及主抽风通道16。每一横向抽风通道12皆对应
一个老化测试板20，而设置于该老化测试板20与其上的老化测试座22上方，
用以将老化测试装置的老化测试炉内的热空气由横向导出，即将老化测试
板20与老化测试座22借由设置于每一个老化测试座22上的风扇24所抽出的
热空气由纵向流动改变成横向流动，并将其内横向流动的空气与由风扇24
所抽出而纵向流动的热空气隔开，并免不同流动方向(纵向流动与横向流
动)的空气彼此碰撞而产生乱流。在本实施例中，用于老化测试装置的负压
冷却系统10虽然具有数个横向抽风通道12，但是并不以此为限，而是可以
视老化测试装置中的老化测试板的数量而增减，但是每一老化测试板的上
方都必须相对设置有横向抽风通道12，亦即本发明的用于老化测试装置的
负压冷却系统10都至少具有一个横向抽风通道12。
横向抽风通道12的底部具有数个抽风孔121，用以供老化测试炉中的热
空气进入横向抽风通道12中，使得由每一老化测试座22上方设置的风扇24
所抽出而纵向(向上)流动的热空气，通过抽风孔121而进入横向抽风通道12
中，而被横向导出。横向抽风通道12底部设置的抽风孔121数量，可以依照
需求增减，在本发明中并不加以限制。其次，在横向抽风通道12的两侧(前
侧与后侧)分别设置有第一阻风闸门122，而分别控制与调节横向抽风通道
12两侧(前侧与后侧)通道口的开口大小，借此，可以分别控制进入横向抽
风通道12的空气量与排出横向抽风通道12的热空气量，从而控制横向抽风
通道12内热空气(或空气)流通速度、排出量、以及排出速度，进而控制横
向抽风通道12内的负压量。另外，横向抽风通道12底部对应每一抽风孔121
皆设置有一个第二阻风闸门123，分别用以控制与调节每一抽风孔121的大
小，借此，控制与调节由老化测试板20与老化测试座22来的热空气进入横
向抽风通道的数量与速度，即控制与调节由每一老化测试座22上方设置的
风扇24所抽出而纵向(向上)流动的热空气进入横向抽风通道的数量与速
度，从而控制老化测试装置(或老化测试炉)中的热空气(即老化测试板20与
老化测试座22周围的热空气)进入横向抽风通道12内数量与速度，进而控制
横向抽风通道12内的负压量。以控制老化测试装置(或老化测试炉)内(即老
化测试板20与老化测试座22周围)的负压量。再者，在本发明的用于老化测
试装置的负压冷却系统10中，可以在每一横向抽风通道12连接主抽风通道
16的一端设置风量计124，用以监测每一横向抽风通道12排出热空气的数量
与速度，从而监测每一横向抽风通道12内的负压强度，而进行调控。
集风区14设置于老化测试装置中，用以收集老化测试装置中的热空气
并将其排出，即收集老化测试装置中各个元件(例如驱动元件、处理器等)
在运作时所产生的热空气以及老化测试板20与老化测试座22上的风扇24所
抽出的热空气，并将其排出老化测试装置外。集风区14具有出风口141，用
以将集风区14所收集的热空气排出老化测试装置外。
主抽风通道16设置于每一横向抽风通道12与集风区14之间，而连通集
风区14与横向抽风通道12，用以将由横向抽风通道12横向导出的热空气传
送至集风区14，即将每一风扇24由老化测试板20与老化测试座22抽出并导
入横向抽风通道12的热空气传送至集风区14，而借由集风区14的出风口141
将其由老化测试装置排出到外部环境。主抽风通道16设置有数个斜向风扇
161，每一斜向风扇161皆对应一个横向抽风通道12，倾斜向上地设置于主
抽风通道16连接集风区14的一端，用以将横向抽风通道12传递至主抽风通
道16内的热空气不断地抽出，而形成负压。借此，横向抽风通道12、主抽
风通道16、以及集风区14可以形成负压通道，使得外部环境的空气可以不
断地流入老化测试装置中，并且在由周围环境导入老化测试装置的空气流
经老化测试板20与老化测试座22而变成热空气之后，将该热空气由此负压
通道持续排出老化测试装置，而达到冷却散热的效果，从而形成可以持续
利用老化测装置周边的空气与老化测试装置中的热空气进行交换的负压冷
却系统，以有效地将老化测试装置内的积热排除。虽然，在本实施例中，
主抽风通道16设置有数个斜向风扇161，但是并不以此为限，而使可以依照
老化测试板20与过横向抽风通道12的数量进行增减，但是由于每一斜向风
扇161都必须对应一个横向抽风通道12，所以在本发明的用于老化测试装置
的负压冷却系统10的主抽风通道16都具有至少一个斜向风扇161。另外，虽
然本实施例中，每一横向抽风通道12仅对应一个斜向风扇161，但是在本发
明其他实施例中，为了增加对每一横向抽风通道的抽风量与抽风速率，可
以对应同一个横向抽风通道同时设置数个(例如2个、3个或更多)斜向风扇
161，而增加每一横向抽风通道的负压值。
当进行老化测试时，开放式老化测试装置因为其老化测试炉为开放式
的炉体，所以周围环境的空气会由老化测试装置的周围或是底部进入老化
测试炉中，并且流经老化测试板20与老化测试座22，而对老化测试板20与
老化测试座22进行冷却散热。当这些外部环境进入的空气流经老化测试板
20与老化测试座22之后会变成热空气，然后，被每一老化测试座22上设置
的风扇24向上抽出而向上流动(即纵向流动)，并且通过横向抽风通道12底
部的抽风孔121进入横向抽风通道12中。借由主抽风通道16的斜向风扇161
不断地抽风而在横向抽风通道12与主抽风通道16形成负压，而持续地将通
过抽风孔121进入横向抽风通道12的热空气横向导入主抽风通道16，并经由
主抽风通道16传送入集风区14，再由集风区14的出风口排出老化测试装置
外。
借此，老化测试装置内(特别是老化测试炉内)的热空气可以与老化测
试装置周围的(冷)空气持续地交换，而可以对老化测试装置进行有效地冷
却散热。另外，由于老化测试装置中的热空气都是先以纵向流动进入横向
抽风通道12，再于横向抽风通道12中横向流动至主抽风通道16与集风区14，
在被排出老化测试装置，所以在老化测试装置中横向流动的空气与纵向流
动的空气分别被分隔于横向抽风通道12的内部与外部，而不会彼此相冲撞
而产生乱流，所以可以有效地对老化测试装置进行散热冷却而不会有积热
的产生。因此，本发明的用于老化测试装置的负压冷却系统10并不会如同
知开放式老化测试装置的冷却散热系统一样，会在老化测试炉中因有不同
流动方向的空气相冲撞而产生乱流，所以不会造成同一老化测试板上不同
区域的温度有所差异，更不为因为此温度差异导致部分老化测试座不易加
热达到预定温度，而造成测试成本的提升，以及部分老化测试座容易积热
而超出预定温度，而容易造成老化测试装置的元件(老化测试板、老化测试
座等)与待测电子元件的损坏。有鉴于此，相较于现有习知开放式老化测试
装置的冷却散热系统，本发明的用于老化测试装置的负压冷却系统10确实
可以有效地利用外部环境的空气而去除老化测试装置内的积热，并且使得
老化测试炉内的温度可以均匀且不会产生乱流，从而避免老化测试装置的
零件因长时间处于过热的环境而导致损坏，以及防止待测电子元件因过热
而损坏，以降低老化测试的成本以及风险。
再者，本发明进一步提供一种使用前述负压冷却系统的(开放式)老化
测试装置。请同时参照图3A、图3B、图3C、以及图3D，其分别为本发明的
一个实施例的使用本发明的负压冷却系统10的老化测试装置30的立体图、
仰视透视图、侧视图、以及正视图。老化测试装置30包含老化测试炉32、
二个承载架34、由数个横向抽风通道12、集风区14与主抽风通道16所组成
的负压冷却系统10、以及二个分别对应不同承载架34的老化测试驱动元件
36。老化测试炉32为周围空气可以进入的开放式炉体，用以供待测元件于
其中加热进行老化测试，两个承载架34则设置于老化测试炉32中，用以承
载老化测试板20进行老化测试。此两个承载架34分列于老化测试炉32两侧，
而空出老化测试装置30的中间区域做为集风区14。二个老化测试驱动元件
36分别用以控制与驱动不同承载架34上的老化测试板20进行老化测试。此
二个老化测试驱动元件36分别对应不同承载架34而分列于老化测试炉32两
侧，而将集风区14夹于两者之间，而每一个老化测试驱动元件36都设置有
风扇38，用以将老化测试驱动元件36所产生的热空气抽出，而传送至集风
区14，从而经由出风口141排出老化测试装置30。每一个老化测试板20上同
样设置有数个老化测试座22，用以承载待测电子元件进行老化测试。每一
老化测试座22内都设置有一个加热器(图中未示)，而其上都设置有可以将
热空气向上抽出的风扇24。
每一个横向抽风通道12皆对应一个老化测试板20而设置于该老化测试
板20上方。每一横向抽风通道12底部则设置有数个抽风孔121、对应抽风孔
121设置于横向抽风通道12底部的第二阻风闸门123、二个分别设置于横向
抽风通道12的两侧(前侧与后侧)的第一阻风闸门122、以及风量计124，其
中，第一阻风闸门122与第二阻风闸门123用以控制横向抽风通道12内的负
压量，关于横向抽风通道12的详细说明，已经在前文揭示，所以于此不再
赘述。集风区14设置于老化测试装置30中，且具有设置于老化测试装置30
中间位置的出风口141，除了收集老化测试炉中的热空气之外，也可以收集
老化测试驱动元件36所产生的热空气，并将其排出老化测试装置外，同样
的，关于集风区14的详细说明，已经于前文揭示，所以于此不再赘述。主
抽风通道16则设置于每一横向抽风通道12与集风区14之间，而连通横向抽
风通道12与集风区14，且主抽风通道16具有数个斜向风扇161，每一斜向风
扇161皆对应一个横向抽风通道12，而设置于主抽风通道16与横向抽风通道
12连接的一端，用以将横向抽风通道12传递至主抽风通道16内的热空气抽
出，而形成负压，关于主抽风通道16的详细说明，已经在前文揭示，所以
在此不再赘述。在本实施例中，每两个斜向风扇161并排设置而对应每一横
向抽风通道12，意即每一横向抽风通道12对应两个斜向风扇161，但是不以
此为限，而是可以依照横向抽风通道所需要的抽风量、抽风速率、以及负
压值而予以增减。
借由此负压冷却系统10，老化测试装置30在进行老化测试时，由于老
化测试炉32为开放式的炉体，所以周围环境的空气会由老化测试装置30的
周围或是底部进入老化测试炉32中，并且分别不同流经不同承载架34上的
老化测试板20与老化测试座22，而对老化测试板20与老化测试座22进行冷
却散热。当这些外部环境进入的空气流经老化测试板20与老化测试座22之
后会变成热空气，然后，被每一老化测试座22上设置的风扇24向上抽出而
向上流动(即纵向流动)，并且通过横向抽风通道12底部的抽风孔121进入横
向抽风通道12中。借由主抽风通道16的斜向风扇161不断地抽风而在横向抽
风通道12与主抽风通道16形成负压，而持续地将通过抽风孔121进入横向抽
风通道12的热空气横向导入主抽风通道16，并经由主抽风通道16传送入集
风区14，再由集风区14的出风口排出老化测试装置外。于此同时，每一个
老化测试驱动元件36所产生的热空气都借由风扇38抽出至传送至集风区
14，而一并经由出风口141排出老化测试装置30。借此，老化测试装置30内
(包含是老化测试炉32内与老化测试驱动元件36所产生)的热空气可以与老
化测试装置周围的(冷)空气持续地交换，而可以对老化测试装置进行有效
地冷却散热，并且借由向抽风通道12分隔横向流动的空气与纵向流动的空
气避免在老化测试炉32中产生乱流，所以老化测试炉32内各个区域的温度
不会产生太大的差异，而可以有效地对老化测试装置进行散热冷却而不会
有积热的产生，从而避免老化测试装置的零件因长时间处于过热的环境而
导致损坏，以及防止待测电子元件因过热而损坏，以降低老化测试的成本
以及风险。
有鉴于上述实施例，本发明提供了一种用于老化测试装置的负压冷却
系统以及使用该负压冷却系统的老化测试装置，可以有效地利用外部环境
的空气而去除老化测试装置内的积热，并且使得老化测试炉内的温度可以
均匀且不会产生乱流，从而避免老化测试装置的零件因长时间处于过热的
环境而导致损坏，以及防止待测电子元件因过热而损坏，以降低老化测试
的成本以及风险。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式
上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发
明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可
利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，
但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施
例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范
围内。