定向仪的夹紧装置.pdf

定向仪的夹紧装置
    【技术领域】

    本发明涉及一种X射线检测仪器工装设备，具体说涉及一种用于测量晶体晶向偏差或晶棒加工晶面的晶向位置的X射线定向仪使用的夹紧装置。

    背景技术

    各种人工晶体需要在一定的晶向角加工成薄片，众所周知，其硬度高，造成加工费时费力，相对来说原材料价格也高。因此，需要在加工前测量晶体晶向偏差或待加工晶棒要加工晶面的晶向位置，以求定向准确，减少原材料的浪费。目前，加工厂家基本都采用定向仪来检测，常规的检测方法有两种，一种检测方法是晶棒切割前先在定向仪上检测，然后在定向仪上粘接到切割料板上，这种方法的缺点在于这只能纠正料板平面内的偏差角，与料板垂直平面内的偏差角永远也无法调整。当要求高精度切片时，仅这种偏差就能造成成品超差的情况。另一种检测方法是晶棒直接加工，将切割下来的切片拿到定向仪上检测，由检测出来的偏差角再算出晶棒相对加工基准的偏差角，再回到切割设备上，按照算出的偏差角调整晶棒。由于调整时的基准选择直接影响调整的结果，所以一次检测后调整加工的晶片，要再次检测，超差就要再次调整，再次检测，直至送检测的晶片为合格品。这种方法的缺点在于需要多次调整，多次检测，造成原材料的浪费，送检周期长。为解决现有检测方法存在的问题，发明人对现有定向仪做了改进，使改进后的定向仪能够做到晶棒一次定向即可加工。为此，改进后的定向仪需要有一种针对不同直径的晶棒进行可靠夹紧而完成一次定向的夹紧装置做为辅助设备来配套使用。

    【发明内容】

    针对现有晶棒加工检测方面存在的问题，本发明提供一种投入小，使用简单，方便可靠，与定向仪配套使用，能有效地实现夹紧晶棒，达到晶棒一次定向即可加工的目的，并且适用于不同直径晶棒的夹紧装置。

    解决上述问题采取的具体技术措施是：

    一种定向仪的夹紧装置，其特征在于：两侧各设有一个连接板(9)，两连接板(9)上设有成对的不同高度位置平行的孔(8)，两穿轴(1)通过平行孔(8)与能够将两连接板(9)连接成一体的螺母(5)的两端连接，设置在螺母(5)中间垂直位置上的螺钉(4)与螺母(5)连接，螺钉(4)的上端连接手钮(3)，下端连接法兰(2)，法兰(2)下面粘接橡胶垫(6)，两连接板(9)的下部分别设有安装孔(7)。

    本发明的有益效果：由于采用本结构能有效地实现夹紧晶棒的效果，使晶体晶向偏差和待加工晶棒要加工晶面的晶向位置的测量准确，减少原材料的浪费，投入小，使用简单，方便可靠，并且适用于不同直径晶棒的夹紧。

    【附图说明】

    图1为本发明的结构示意图；

    图2为图1的右视图。

    【具体实施方式】

    下面结合附图对本发明做进一步说明。

    一种定向仪的夹紧装置，如图1、图2所示，其特征在于：两侧各设有一个连接板9，两个连接板9上设有成对的不同高度位置平行的孔8，穿轴1穿过连接板9的某一高度位置的平行孔8与能够将两连接板9连接成一体的螺母5的两端连接，螺母5的两端制成孔状，当穿轴1插入连接板9的某一高度位置的平行孔8后，再插入螺母5的两侧的孔中时，可使螺母5处于不同的高度位置，以适合夹紧不同直径的晶棒，图1中间的点划线表示被夹紧的不同直径地晶棒形态。两连接板9的下部分别设有安装孔7，可以将本装置通过螺钉安装到调整晶棒角度的定向仪的样品台上。设置在螺母5中间垂直位置上的螺钉4旋入螺母5上，螺钉4的上端连接手钮3，下端连接法兰2，法兰2下面粘接橡胶垫6，旋转手钮3，螺钉4下面的橡胶垫6会夹紧晶棒。这样，就保证了晶棒与样品台上层的T型镶条保持检测后纠正的角度，无论是水平还是垂直放置，晶棒与承接晶棒的样品台的上层都不发生平移或旋转。此时，可将夹紧后的晶棒连同样品台上层的T型镶条从定向仪的样品台上取下来，拿到与定向仪配套使用的另一附属设备——粘接装置上，进行晶棒检测的下一道工序的操作。