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1、(10)申请公布号 CN 103336079 A (43)申请公布日 2013.10.02 CN 103336079 A *CN103336079A* (21)申请号 201310253033.2 (22)申请日 2013.06.24 G01N 30/06(2006.01) (71)申请人 亚翔系统集成科技 （苏州） 股份有限 公司 地址 215126 江苏省苏州市苏州工业园区方 达街 33 号 (72)发明人 杨政谕 (74)专利代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理 事务所 ( 普通合伙 ) 11411 代理人 曾少丽 (54) 发明名称 一种空气质量检测装置 (57) 摘要 本发明公开了一种。
2、空气质量检测装置， 包括 离子色谱仪， 所述离子色谱仪包括流动相容器， 所 述流动相容器连接有进气管， 所述进气管的进气 端设有高压电弧发生器或负离子发生器， 该发明 使用流动相收集待测气体之前先对待测气体进行 预处理， 使待测气体离子化， 易溶于水， 该发明可 以检测到 CF4、 NF3、 SF6等现有离子色谱仪不能检 测的杂质气体， 具有检测范围广、 精度高， 并能减 少生产环境中安装的检测装置数量和种类， 可以 降低生产成本的优点。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书。
3、2页 附图1页 (10)申请公布号 CN 103336079 A CN 103336079 A *CN103336079A* 1/1 页 2 1. 一种空气质量检测装置， 包括离子色谱仪， 其特征在于， 所述离子色谱仪包括流动相 容器， 所述流动相容器连接有进气管， 所述进气管的进气端设有高压电弧发生器或负离子 发生器。 2. 根据权利要求 1 所述的一种空气质量检测装置， 其特征在于， 所述流动相容器至少 为两组。 权 利 要 求 书 CN 103336079 A 2 1/2 页 3 一种空气质量检测装置 技术领域 0001 本发明涉及芯片制造技术领域， 特别涉及一种空气质量检测装置。 背景。
4、技术 0002 公知的， 在生产电子芯片时会滤去空气中的灰尘杂质， 以防止其影响芯片的质量。 但是， 随着科技的进步， 芯片的最小线宽变得越来越小。 当芯片的最小线宽到达十纳米级的 时候， 空气中的杂质气体分子也会对芯片生产产生不利影响， 往往在超微型芯片的生产环 境中空气中杂质气体浓度需要保持在 1ppb 以下。 0003 在实际生产环境中， 对芯片质量有害的杂质气体种类繁多。现有技术所公开的做 法是使用不同的检测装置来分别检测不同种类的气体， 例如 ： 使用离子色谱仪来检测 NH3、 HCL、 HF 等易溶于水的气体浓度， 使用红外光谱仪来检测 CF4、 NF3、 SF6、 C3F8等全氟。
5、化碳气体 浓度， 使用总硫分析仪来检测 SO2、 H2S 等气体。其中检测精确度最高的是离子色谱仪。 0004 受上述现有设备检测气体种类的限制， 要想全面地检测生产环境中的杂质气体浓 度就需要同时安装多种检测设备， 成本高昂。 发明内容 0005 为解决上述技术问题， 本发明提供了一种空气质量检测装置， 以达到使用一台装 置同时检测不同类别的杂质气体浓度， 减少生产成本的目的。 0006 为达到上述目的， 本发明的技术方案如下 ： 0007 一种空气质量检测装置， 包括离子色谱仪， 所述离子色谱仪包括流动相容器， 所述 流动相容器连接有进气管， 所述进气管的进气端设有高压电弧发生器或负离子发。
6、生器。 0008 优选的， 所述流动相容器至少为两组。 0009 通过上述技术方案， 本发明提供的一种空气质量检测装置在使用流动相收集待 测气体之前先对待测气体进行预处理， 使待测气体离子化 （易溶于水） ， 该发明可以检测到 CF4、 NF3、 SF6等现有离子色谱仪不能检测的杂质气体， 具有检测范围广、 精度高， 并能减少生 产环境中安装的检测装置数量和种类， 可以降低生产成本的优点。 附图说明 0010 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。 0011 图 1 为本发明实施例所公开的一种空气质量检测装置的结构示。
7、意图。 具体实施方式 0012 下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、 完 整地描述。 0013 根据图 1， 本发明提供了一种空气质量检测装置， 包括离子色谱仪 （1） ， 离子色谱 说 明 书 CN 103336079 A 3 2/2 页 4 仪包括流动相容器 （2） ， 流动相容器连接有进气管 （3） ， 进气管的进气端设有用来对待测气 体进行预处理的高压电弧发生器 （4） ， 经过预处理后， 待测气体被离子化， 易溶于水。 0014 流动相容器中装有用于采集待测气体的流动相， 优选的， 流动相为高纯水。 为方便 轮换使用， 流动相容器为两组。 0015 。
8、待测气体经过预处理之后， 输入流动相容器中与高纯水接触， 并溶于高纯水。 之后 将溶有待测气体的高纯水输入离子色谱仪进行分析， 最后待测气体中的组分种类和浓度显 示在离子色谱仪的显示屏上。 0016 其中， 用来对待测气体进行预处理的机构， 也可以是负离子发生器或等离子处理 器或火焰喷射器等能使待测气体离子化的机构。 0017 本发明提供的一种空气质量检测装置在使用流动相收集待测气体之前先对待测 气体进行预处理， 使待测气体离子化 （易溶于水） ， 该发明可以检测到 CF4、 NF3、 SF6等现有离 子色谱仪不能检测的杂质气体， 具有检测范围广、 精度高， 并能减少生产环境中安装的检测 装置数量和种类， 可以降低生产成本的优点。 0018 对所公开的一种空气质量检测装置实施例的上述说明， 使本领域专业技术人员能 够实现或使用本发明。 对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易 见的， 本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下， 在其它实施 例中实现。 因此， 本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例， 而是要符合与本文所公开 的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。 说 明 书 CN 103336079 A 4 1/1 页 5 图 1 说 明 书 附 图 CN 103336079 A 5 。