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本发明公开了一种高真空系统气液分离装置,包括真空泵,前置分离器、自吸泵和储料罐等,其特征在于在前置分离器进气口下侧设计有平衡管接口,平衡管接口的另一端与自吸泵出口管侧壁的接口连接,自吸泵入口与前置分离器的底部连接,自吸泵出口与前置分离器进气口均与储料罐连接,前置分离器的出气口与真空泵连接。本发明通过增设前置分离器并在分离器与自吸泵出口之间增设平衡管使前置分离器中的气体与液体进行分离,并由自吸泵将液。