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一种利用量子隧穿效应来实现纳米级跟进的装置,包括前推进装置、后推进装置、导轨,前推进装置、后推进装置安装在轨道上,前推进装置、后推进装置与轨道之间分别设有电磁锁,在前、后两个推进装置之间设有一对金属电极,一对金属电极分别安装在前推进装置的后表面与后推进装置前表面,两金属电极尖端之间的距离小于100纳米,前、后两个推进装置在轨道延伸方向向前推进实现纳米级跟进。本发明精度非常高,可用于高精度纳米级加工。