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本发明提供能够高均匀性地对基板供给显影液、抑制成品率的降低的显影装置、显影方法和存储介质。显影装置包括:基板保持部,其水平地保持表面涂布有抗蚀剂并被曝光后的基板;表面处理液雾化机构,其使用于提高显影液对上述基板的浸润性的表面处理液雾化;第一喷雾喷嘴,其将已雾化的上述表面处理液向上述基板喷雾;和显影液喷出喷嘴,其向已喷雾上述表面处理液的基板喷出显影液进行显影。雾化的表面处理液与保持液状的表面处理液相。