一种晶棒表面浆料回收的前处理装置技术领域
本发明属于应用于新能源行业,用于切片后辅材的回收利用,具体涉及一种晶棒表面浆料回收的前处理装置。
背景技术
现有硅片切割后都是用自来水冲洗晶棒,将晶棒表面的浆料冲洗干净,其表面粘附的浆料约有4-5KG,浆料包括碳化硅和聚乙二醇,冲洗后废液都进入污水处理站,产生浪费。
发明内容
本发明的目的在于克服现有的技术缺点,提供一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,通过本装置可以对晶棒表面浆料的回收进行前置处理步骤,再进行回收利用,节约了资源,降低了成本,避免了浪费和污染。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,包括脱胶车、浸泡槽壁和浆料回收桶,所述脱胶车包括车架,所述车架为框架结构,车架底部设有四个车轮,车架顶部设有操作平台,所述操作平台上向内凹陷的设有矩形结构的第一凹槽,所述浸泡槽壁固定在操作平台上,包绕在第一凹槽外部,与第一凹槽结合形成一个完整的浸泡槽,所述浸泡槽的体积为110L;
所述第一凹槽上放液口,放液口通过放液管道与浆料回收桶相连接,所述放液口上设有阀门。
上述一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,其中,所述前处理装置的前处理方法如下:
(1)在浸泡槽中注入50KG的水;
(2)将1刀长度为900mm的含有浆料的晶棒浸没在水中,5min后将晶棒取出;
(3)重复步骤(2)的操作,此时,晶棒表面浆料中的聚乙二醇溶解在水中,浆料中的碳化硅悬浮在水中,形成浑浊的浸泡液;
(4)24h后,打开晶棒表面浆料回收的前处理装置的阀门,将浸泡液通过放液管道收集至浆料回收桶中;
(5)重复步骤(1)(2)(3)(4)的操作,直至浆料回收桶中的浸泡液达到1t,此时,将收集到的浆料进行回收处理即可。
有益效果:
通过本发明是通过脱胶车改造而成,结构简单,制作方便,可以对晶棒表面浆料的回收进行前置处理步骤,再进行回收利用,每1吨浸泡液可收集到20%的浆料,其中含有100kg聚乙二醇和100kg碳化硅,节约了资源,降低了成本,避免了浪费和污染。
附图说明
图1为本发明结构图。
图2为本发明剖视图。
具体实施方式
如图所示一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,包括脱胶车1、浸泡槽壁2和浆料回收桶3,所述脱胶车1包括车架4,所述车架4为框架结构,车架4底部设有四个车轮5,车架4顶部设有操作平台6,所述操作平台6上向内凹陷的设有矩形结构的第一凹槽7,所述浸泡槽壁2固定在操作平台6上,包绕在第一凹槽7外部,与第一凹槽7结合形成一个完整的浸泡槽8,所述浸泡槽8的体积为110L;
所述第一凹槽7上放液口9,放液口9通过放液管道10与浆料回收桶3相连接,所述放液口9上设有阀门11。
本发明一种晶棒表面浆料回收的前处理装置的前处理方法如下:
(1)在浸泡槽中注入50KG的水;
(2)将1刀长度为900mm的含有浆料的晶棒浸没在水中,5min后将晶棒取出;
(3)重复步骤(2)的操作,此时,晶棒表面浆料中的聚乙二醇溶解在水中,浆料中的碳化硅悬浮在水中,形成浑浊的浸泡液;
(4)24h后,打开晶棒表面浆料回收的前处理装置的阀门,将浸泡液通过放液管道收集至浆料回收桶中;
(5)重复步骤(1)(2)(3)(4)的操作,直至浆料回收桶中的浸泡液达到1t,此时,将收集到的浆料进行回收处理即可。
通过本发明是通过脱胶车改造而成,结构简单,制作方便,可以对晶棒表面浆料的回收进行前置处理步骤,再进行回收利用,每1吨浸泡液可收集到20%的浆料,其中含有100kg聚乙二醇和100kg碳化硅,节约了资源,降低了成本,避免了浪费和污染。
这里本发明的描述和应用是说明性的,并非想将本发明的范围限制在上述实施例中,因此,本发明不受本实施例的限制,任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。