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提供含有含氟化碳基的烷氧基硅烷衍生物、水、和醇与表面活性剂中的一方或两方,根据需要进一步含有四烷氧基硅烷和聚烷氧基聚硅氧烷中的一方或两方的防水防油防污处理液及其制备方法。此外,同时提供使防水防油防污处理液与基材的表面接触,通过基材的表面的活性氢基团与烷氧基甲硅烷基的缩合反应,形成与基材的表面键合的含氟化碳基的化合物的涂膜的防水防油防污性处理方法以及通过该方法对表面进行防水防油防污性处理而得到的物品。