硅片的脱胶预清洗工艺.pdf

硅片的脱胶预清洗工艺
    【技术领域】

    本发明涉及到用于太阳能发电的硅片，尤其涉及到硅片的脱胶预清洗工艺。

    背景技术

    众所周知，利用太阳能进行发电是当今世界开发清洁能源的方向，硅片是吸收、传递太阳能的核心材料。

    硅片由硅棒切割而成，参见图1、图2所示，其切割过程为：将硅棒3用AB胶粘在磨砂玻璃2上，磨砂玻璃2和线切割模板1同样用AB胶粘接，然后，用专用切割设备将硅棒切割成0.18毫米左右的硅片。切割而成的硅片需要进行脱胶预清洗和后续清洗，最后对硅片表面制绒。脱胶是否彻底直接影响到后续清洗与制绒质量。目前，业内普遍采用的预清洗脱胶工艺，其步骤为：先热水喷淋，然后，用热水或有机酸去脱除AB胶胶粘剂。这种脱胶方法的缺点是：由于热水喷淋具有一定的压力，容易使硅片产生碎片，影响到硅片质量；而且，喷淋之后干燥得很快，影响到后续清洗，不易将硅片表面杂质清洗掉；此外，喷淋水和有机酸需要排放，而排放必须达标，这样就增加了治污成本。

    【发明内容】

    本发明所要解决的技术问题是：提供一种可防止硅片破裂、使得硅片表面不易干燥、并能降低加工成本的硅片的脱胶预清洗工艺。

    为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：硅片的脱胶预清洗工艺，其步骤为：将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中，加热至70～90℃，并配以每升硅棒切割液约5～8瓦功率密度的超声波，经过3～5分钟清洗，脱去硅片上的AB胶。

    所述硅棒切割液的主要成份为聚乙二醇和二乙二醇。

    本发明的有益效果是：采用硅棒切割液配以一定功率密度的超声波使硅片脱胶，既可确保不会产生碎片，保证了硅片的表面质量，又彻底脱除硅片上的AB胶；并且，硅片表面不易干燥，从而不会影响到后续地清洗和制绒。除此之外，硅棒切割液可以回收，使得本发明所述的脱胶工艺，不但环保，而且还大大降低了处理成本。

    【附图说明】

    图1是背景技术中硅棒胶接结构示意图。

    图2是图1的侧视结构示意图。

    图1至图2中：1、线切割模板，2、磨砂玻璃，3、硅棒。

    【具体实施方式】

    实施例一：

    将硅棒切割成的硅片之后，硅片上粘有用于胶接的AB胶，将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中，加热至70℃，配以每升硅棒切割液8瓦功率密度的超声波，经过5分种的清洗，胶去硅片上的AB胶。

    实施例二：

    将硅棒切割成硅片之后，硅片上粘有用于胶接的AB胶，将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中，加热至80℃，配以每升硅棒切割液6.5瓦功率密度的超声波，经过4分种的清洗，胶去硅片上的AB胶。

    实施例三：

    将硅棒切割成硅片之后，硅片上粘有用于胶接的AB胶，将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中，加热至90℃，配以每升硅棒切割液5瓦功率密度的超声波，经过3分种的清洗，胶去硅片上的AB胶。