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1、(10)申请公布号 CN 103748659 A (43)申请公布日 2014.04.23 CN 103748659 A (21)申请号 201280040911.6 (22)申请日 2012.08.27 2011-189115 2011.08.31 JP H01L 21/027(2006.01) B29C 59/02(2006.01) C09J 7/02(2006.01) C09J 133/06(2006.01) C09J 133/14(2006.01) (71)申请人 综研化学株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 上原谕 高桥孝德 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 3。
2、1100 代理人 冯雅 (54) 发明名称 压印模具固定用粘合片材、 压印装置及压印 方法 (57) 摘要 本发明提供一种压印模具固定用粘合片材， 它是能够以压印时不发生压印模具的剥离和偏离 的方式固定压印模具的粘合片材， 其在更换压印 模具时能够从压印装置的压力施加部剥离。本发 明的压印模具固定用粘合片材是用于使向被转印 体按压形成有微细的图案的压印模具并将该压印 模具的上述图案形状转印至上述被转印体的压印 装置的压印模具与压力施加部之间固定成为一体 的粘合片材， 其特征是， 包括 ： 基材， 设置在基材 的一表面上的粘合剂层 (A)， 和设置在基材的另 一表面上的粘合剂层(B) ； 粘合剂。
3、层(A)被用于粘 贴在压印装置的压力施加部， 粘合剂层 (B) 被用 于粘贴在压印模具 ； 粘合剂层 (B) 的 23时的粘 合力粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力 ； 粘合剂 层 (A) 的 23时的粘合力为 1 10N/25mm， 且在 80、 湿度 65下放置 7 小时后的粘合力为 1 30N/25mm ； 粘合剂层 (B) 的 23时的粘合力为 3 30N/25mm。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.02.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2012/071540 2012.08.27 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2013。
4、/031710 JA 2013.03.07 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 16 页 附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书16页 附图1页 (10)申请公布号 CN 103748659 A CN 103748659 A 1/2 页 2 1. 一种压印模具固定用粘合片材， 它是用于使向被转印体按压形成有微细的图案的压 印模具而将该压印模具的所述图案形状转印至所述被转印体的压印装置的压印模具与压 力施加部之间固定成为一体的粘合片材， 其特征在于， 包括 ： 基材， 设置在基材的一表面上的粘合剂层 (A)， 和设置在基材。
5、的另一表面上的粘 合剂层 (B) ； 粘合剂层 (A) 被用于粘贴在压印装置的压力施加部， 粘合剂层 (B) 被用于粘贴在压印 模具 ； 粘合剂层 (B) 的 23时的粘合力粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力 ； 粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力为 1 10N/25mm， 且在 80、 湿度 65下放置 7 小时 后的粘合力为 1 30N/25mm ； 粘合剂层 (B) 的 23时的粘合力为 3 30N/25mm。 2. 如权利要求 1 所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 它被用于压印时施加 于压印模具的压力是 0.1 50MPa 的压印装置。 3.如权利要求1或2所述的压印模。
6、具固定用粘合片材， 其特征在于， 它被用于辊式压印 装置。 4.如权利要求13中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 它被用于 将形成有纳米级尺寸的图案的压印模具和压力施加部之间固定成一体。 5.如权利要求14中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 所述粘合 剂层 (B) 含有光吸收剂和 / 或光稳定剂。 6.如权利要求15中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 粘合剂层 (A) 中的粘合剂的粘合力为 1 10N/25mm。 7.如权利要求6所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 粘合剂层(A)中的粘合 剂是使 ( 甲基 ) 丙烯酸单体与具有交联。
7、性官能团的单体共聚而得的丙烯酸类共聚物。 8.如权利要求15中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 粘合剂层 (A) 中的构成粘合剂的聚合物的重均分子量为 80 万 180 万。 9. 如权利要求 1 5 中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 粘合剂 层 (A) 中的粘合剂是使相对于全部单体 100 重量份包含 0.5 20 重量份的含硅氧烷单体 的单体进行共聚而得的丙烯酸 - 硅氧烷类共聚物。 10. 如权利要求 1 5 中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 粘合剂 层 (A) 的凝胶比率为 70 95。 11. 如权利要求 1 5 中任一项所述。
8、的压印模具固定用粘合片材， 其特征在于， 粘合剂 层 (A) 中， 相对于粘合剂 100 重量份含有 1 20 重量份的硅油。 12. 一种压印装置， 它是向被转印体按压形成有微细的图案的压印模具而将该压印模 具的所述图案形状转印至所述被转印体的压印装置， 其特征在于， 在将直接接触所述被转印体的所述压印模具与能施加压力的压力施加部之间通过权 利要求 1 11 中任一项所述的压印模具固定用粘合片材固定成一体时， 使粘合剂层 (B) 位于所述粘合片材的基材的所述压印模具侧， 使粘合剂层 (A) 位于该 基材的压力施加部侧。 13. 如权利要求 12 所述的压印装置， 其特征在于， 所述压力施加部。
9、是辊式。 14.一种将压印模具固定在压印装置的方法， 其特征在于， 将权利要求111中任一项 权 利 要 求 书 CN 103748659 A 2 2/2 页 3 所述的压印模具固定用粘合片材的粘合剂层 (A) 粘贴在压力施加部， 再将压印模具粘贴在 所述压印模具固定用粘合片材的粘合剂层 (B) 上。 15.一种将压印模具从压印装置取下的方法， 其特征在于， 将权利要求111中任一项 所述的压印模具固定用粘合片材的粘合剂层 (A) 从压力施加部剥离。 权 利 要 求 书 CN 103748659 A 3 1/16 页 4 压印模具固定用粘合片材、 压印装置及压印方法 技术领域 0001 本发明。
10、涉及用于固定压印中使用的压印模具的双面粘合片材以及使用该粘合片 材的压印装置和压印方法。 背景技术 0002 半导体和光学元件的制造中， 为了形成电路结构等， 进行压印操作， 即、 将具有特 定的图案形状的压印模具按压在热塑性树脂或热固性树脂上， 通过加热或紫外线照射， 将 其图案形状转印至各材料。 0003 上述压印操作中， 使用具备用于将压印模具按压在树脂上的压力施加部的装置， 该装置中在压力施加部上固定有压印模具。 作为用于保持的手段， 已知使用双面粘合片材。 另一方面， 压印操作中， 压印模具破损的情况下、 或者在图案不同的半导体材料或光学元件 的制造中需要更换压印模具， 因而较好是压。
11、印模具能够从压力施加部拆卸的结构。 因而， 压 印操作时， 人们期望一种具有压印模具不会自压力施加部剥离、 发生偏离的粘合力， 且在更 换压印模具时能够将压印模具不留残胶地从压力施加部取下的双面粘合片材。但是， 粘合 剂粘贴于被粘体后， 随着时间的经过， 粘合力容易升高， 难以担保再剥离性。 0004 作为解决这种问题的粘合片材， 已知将具有含有压敏型粘合剂和侧链结晶性聚合 物的粘合剂层的胶粘带用于压印模具的保持， 在更换压印模具时， 使粘合片材达到侧链结 晶性聚合物的 Tg 以上的温度以使含有侧链结晶性聚合物的粘合剂层的粘合力降低， 从而 将压印模具从压力施加部剥离 ( 例如参照专利文献 1。
12、)。 0005 但是， 进行照射紫外线的光压印的情况下， 来自光源的辐射热最大也只达到 80 左右。 因而， 在使用利用热使粘合力降低的胶粘带来保持压印模具的情况下， 在压印操作中 压印模具可能会从压力施加部剥离。特别是， 作为压力施加部使用辊式的压力施加部的情 况下， 还必须考虑辊的辐射热的蓄热。 0006 因此， 需要一种即使在压印操作中产生的热的存在下粘合力也不降低、 压印模具 的更换容易的胶粘带。 0007 现有技术文献 0008 专利文献 0009 专利文献 1: 日本专利特开 2011-1520 号 发明内容 0010 发明所要解决的技术问题 0011 本发明的目的是提供一种压印模。
13、具固定用粘合片材， 它是能够以压印时不发生压 印模具的剥离和偏离的方式固定压印模具的粘合片材， 其在更换压印模具时能够从压印装 置的压力施加部剥离。 0012 解决技术问题所采用的技术方案 0013 本发明是例如下述 1 15 的发明。 说 明 书 CN 103748659 A 4 2/16 页 5 0014 1 一种压印模具固定用粘合片材， 它是用于使向被转印体按压形成有微细的图 案的压印模具而将该压印模具的上述图案形状转印至上述被转印体的压印装置的压印模 具与压力施加部之间固定成为一体的粘合片材， 其特征是， 包括 ： 基材， 设置在基材的一表 面上的粘合剂层 (A)， 和设置在基材的另一。
14、表面上的粘合剂层 (B) ； 粘合剂层 (A) 被用于粘 贴在压印装置的压力施加部， 粘合剂层 (B) 被用于粘贴在压印模具 ； 粘合剂层 (B) 的 23 时的粘合力粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力 ； 粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力为 1 10N/25mm， 且在80、 湿度65下放置7小时后的粘合力为130N/25mm ； 粘合剂层(B)的 23时的粘合力为 3 30N/25mm。 0015 2 如 1 所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征是， 它被用于压印时施加于压 印模具的压力是 0.1 50MPa 的压印装置。 0016 3 如 1 或 2 所述的压印模具固定用粘合片材。
15、， 其特征是， 它被用于辊式压印 装置。 0017 4 如 1 3 中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征是， 它被用于 将形成有纳米级尺寸的图案的压印模具和压力施加部之间固定成一体。 0018 5 如 1 4 中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征是， 上述粘合 剂层 (B) 含有光吸收剂和 / 或光稳定剂。 0019 6 如 1 5 中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征是， 粘合剂层 (A) 中的粘合剂的粘合力为 1 10N/25mm。 0020 7 如 6 所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征是， 粘合剂层 (A) 中的粘合剂 是使 ( 甲基 ) 丙烯酸单体与。
16、具有交联性官能团的单体共聚而得的丙烯酸类共聚物。 0021 8 如 1 5 中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征是， 粘合剂层 (A) 中的构成粘合剂的聚合物的重均分子量为 80 万 180 万。 0022 9 如 1 5 中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征是， 粘合剂层 (A)中的粘合剂是使相对于全部单体100重量份包含0.520重量份的含硅氧烷单体的单 体进行共聚而得的丙烯酸 - 硅氧烷类共聚物。 0023 10如15中任一项所述的压印模具固定用粘合片材， 其特征是， 粘合剂层 (A) 的凝胶比率为 70 95。 0024 11如15中任一项所述的压印模具固定用粘合片。
17、材， 其特征是， 粘合剂层 (A) 中， 相对于粘合剂 100 重量份含有 1 20 重量份的硅油。 0025 12 一种压印装置， 它是向被转印体按压形成有微细的图案的压印模具而将该压 印模具的上述图案形状转印至上述被转印体的压印装置， 其特征是， 在将直接接触上述被 转印体的上述压印模具与能施加压力的压力施加部之间通过 1 11 中任一项所述的 压印模具固定用粘合片材固定成一体时， 使粘合剂层 (B) 位于上述粘合片材的基材的上述 压印模具侧， 使粘合剂层 (A) 位于该基材的压力施加部侧。 0026 13 如 12 所述的压印装置， 其特征是， 上述压力施加部是辊式。 0027 14 一。
18、种将压印模具固定在压印装置的方法， 其特征是， 将 1 11 中的任一 项所述的压印模具固定用粘合片材的粘合剂层 (A) 粘贴在压力施加部， 再将压印模具粘贴 在上述压印模具固定用粘合片材的粘合剂层 (B) 上。 0028 15 一种将压印模具从压印装置取下的方法， 其特征是， 将 1 11 中的任一 说 明 书 CN 103748659 A 5 3/16 页 6 项所述的压印模具固定用粘合片材的粘合剂层 (A) 从压力施加部剥离。 0029 发明的效果 0030 本发明的压印模具固定用粘合片材能够以压印时不发生压印模具的剥离和偏离 的方式将压印模具固定， 且还具有耐久性。此外， 在更换压印模。
19、具时， 能够不留残胶地从压 印装置的压力施加部剥离。 附图说明 0031 图 1 是使用本发明的压印模具固定用粘合片材的压印装置的部分示意图。 具体实施方式 0032 以下， 对本发明进行详细的说明。 0033 本发明是一种压印模具固定用粘合片材， 它是用于使向被转印体按压形成有微细 的图案的压印模具而将该压印模具的上述图案形状转印至上述被转印体的压印装置的压 印模具与压力施加部之间固定成为一体的粘合片材， 其特征是， 包括 ： 基材， 设置在基材的 一表面上的粘合剂层 (A)， 和设置在基材的另一表面上的粘合剂层 (B) ； 粘合剂层 (A) 被用 于粘贴在压印装置的压力施加部， 粘合剂层 。
20、(B) 被用于粘贴在压印模具 ； 粘合剂层 (B) 的 23时的粘合力粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力 ； 粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力为 1 10N/25mm， 且在 80、 湿度 65下放置 7 小时后的粘合力为 1 30N/25mm ； 粘合剂层 (B) 的 23时的粘合力为 3 30N/25mm。 0034 此外， 本说明书中， ( 甲基 ) 丙烯酸酯是指丙烯酸酯和 / 或甲基丙烯酸酯。 0035 本发明的压印模具固定用粘合片材可用于通常的压印装置， 被用于将压印模具固 定在压印时施加于压印模具的压力优选为0.150MPa、 更优选230MPa的压印装置的压 力施加部。即使。
21、施加上述压力， 压印模具在压印时也不会从压力施加部脱离。 0036 本发明的压印模具固定用粘合片材较好是被用于将形成有纳米级尺寸的图案的 压印模具固定在压印装置的压力施加部。纳米级尺寸的图案是指， 较好是在 10nm 50m 的一定的周期内重复的、 具有50nm1000nm的高度的线、 圆柱、 蛾眼、 圆锥、 多棱锥、 微透镜 等形状的凹凸图案。 0037 此外， 本发明的压印模具固定用粘合片材可用于将压印模具固定在台座式压印装 置、 辊式压印装置中任一装置的压力施加部， 但由于在产生辐射热的条件下也能够使用， 所 以优选用于将压印模具固定在辊式的压印装置的压力施加部。 0038 这样使粘贴于。
22、压力施加部的粘合剂层(A)比粘贴于压印模具的粘合剂层(B)的粘 合力弱是因为， 压印时要求与被施加压力的压印模具的粘合牢固， 另一方面， 要求与压力施 加部的粘合具有再剥离性。 0039 (1) 粘合剂层 (A) 0040 上述粘合剂层 (A) 被用于粘贴在压印装置的压力施加部。 0041 粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力为 1 10N/25mm， 优选 23时的粘合力为 2 8N/25mm。通过使粘合力在上述范围内， 即使在施加于压印模具的压力为 0.1 50MPa 的压 印时， 也能够在压印模具不从压力施加部脱离、 偏离的情况下发挥压印模具固定力。此外， 通过使上述温度下的粘合力在上述。
23、范围内， 即使在光压印时的最大达到 80的来自光源的 说 明 书 CN 103748659 A 6 4/16 页 7 辐射热的存在下， 压印过程中粘合剂层 (A) 的粘合力也不会变为无法固定压印模具的值。 0042 此外， 粘合剂层 (A) 具有再剥离性， 80、 湿度 65下放置 7 小时后的粘合力 ( 以 下也称为 “剥离力” ) 为 1 30N/25mm， 优选 2 20N/25mm， 更优选 3 15N/25mm。如果剥 离力在上述范围内， 则更换压印模具时能够不留残胶地将压印模具从压力施加部取下。 0043 为了使粘合剂层 (A) 的在上述温度范围内的粘合力和剥离力在上述范围内， 可。
24、例 举以下方法 ： 0044 (i) 作为粘合剂层 (A) 中所使用的粘合剂， 使用粘合力弱的粘合剂的方法 ； 0045 (ii) 调整粘合剂层 (A) 中所使用的粘合剂的重均分子量的方法 ； 0046 (iii) 作为粘合剂层 (A) 中所使用的粘合剂， 使用丙烯酸 - 硅氧烷类共聚物的方 法 ； 0047 (iv) 调整粘合剂层 (A) 的凝胶比率的方法 ； 0048 (v) 使粘合剂层 (A) 含有硅油的方法。这些方法可单独实施， 也可组合起来实施。 0049 (i) 作为粘合剂层 (A) 中所使用的粘合剂， 使用粘合力弱的粘合剂的方法 0050 作为粘合剂层 (A) 中所使用的粘合剂，。
25、 通过采用粘合力弱的粘合剂， 可将粘合 剂层 (A) 的粘合力和剥离力调整至上述范围内。粘合力弱的粘合剂是指粘合力为 1 10N/25mm 的粘合剂。 0051 作为粘合力弱的粘合剂， 可例举通常作为再剥离性粘合剂销售的粘合剂， 例如可 例举使 ( 甲基 ) 丙烯酸丁酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 2- 乙基己酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸异辛酯、 ( 甲 基 ) 丙烯酸苄酯等 ( 甲基 ) 丙烯酸单体与具有羧基、 羟基、 氨基、 酰胺基等交联性官能团的 单体共聚而得的丙烯酸类聚合物。作为聚合物的重均分子量， 通常为 20 万 80 万。作 为这样的粘合剂的市售品， 可例举综研化学株式会社 ( 綜研化。
26、学社 ) 制的 SK-DYNE1473H、 SK-DYNE1439U 等。 0052 (ii) 调整粘合剂层 (A) 中的粘合剂的重均分子量的方法 0053 通过使粘合剂的重均分子量为 80 万 180 万、 优选 100 万 150 万， 可将粘合剂 层 (A) 的粘合力和剥离力调整至上述范围内。 0054 为了达到这样的重均分子量， 例如可例举将引发剂的量调节至相对于 100 重量份 的粘合剂为大于 0.01 重量份且在 0.1 重量份以下的方法。 0055 (iii)作为粘合剂层(A)中所使用的粘合剂， 使用丙烯酸-硅氧烷类共聚物的方法 0056 作为粘合剂层 (A) 中所使用的粘合剂，。
27、 通过使用丙烯酸硅氧烷类共聚物， 可将 粘合剂层 (A) 的粘合力和剥离力调整至上述范围内。 0057 丙烯酸硅氧烷类共聚物可通过使 79.5 99 重量份的丙烯酸丁酯、 丙烯酸 2- 乙 基己酯、 丙烯酸异辛酯、 丙烯酸苄酯等单体， 0.5 5 重量份的具有羧基、 羟基、 氨基、 酰胺基 等交联性官能团的单体， 与 0.5 20 重量份的硅氧烷大分子等含硅氧烷单体共聚而获得 (将聚合中所用的全部单体记作100重量份)。 硅氧烷大分子的分子量优选为60010000。 作为丙烯酸硅氧烷类共聚物的重均分子量， 优选 20 万 80 万。 0058 作为硅氧烷大分子的市售品， 可例举 Silapla。
28、ne FM-0711(JNC 株式会社 ( 社 ) 制 )、 X-22-174DX( 信越有机硅株式会社 ( 信越社 ) 制 ) 等。 0059 (iv) 调整粘合剂层 (A) 的凝胶比率的方法 0060 通过调整粘合剂层 (A) 的凝胶比率， 可将粘合剂层 (A) 的粘合力和剥离力调整至 说 明 书 CN 103748659 A 7 5/16 页 8 上述范围内。 0061 作为粘合剂， 可使用公知的粘合剂、 优选丙烯酸类粘合剂 ( 例如综研化学株式会 社制的 SK-DYNE1882)。 0062 粘合剂层 (A) 的凝胶比率优选为 70 95， 更优选 80 90。为了使凝胶比 率的值在上。
29、述范围内， 优选使硬化剂的含量相对于粘合剂层 (A) 中的粘合剂 100 重量份为 0.1 5.0 重量份， 更优选 0.5 2.5 重量份。作为固化剂， 可使用异氰酸酯类固化剂、 环氧 类固化剂等。此外， 还可使用固化促进剂， 优选使固化促进剂含量相对于粘合剂层 (A) 中的 粘合剂 100 重量份为 0.01 1.0 重量份， 更优选 0.05 0.5 重量份。作为固化促进剂， 可 使用公知的有机锡化合物 ( 例如日东化成株式会社 ( 日東化成社 ) 制的 NEOSTANNU-860)。 0063 (v) 使粘合剂层 (A) 含有硅油的方法 0064 通过使粘合剂层 (A) 含有硅油， 可。
30、将粘合剂层 (A) 的粘合力和剥离力调整至上述 范围内。 0065 作为粘合剂， 可使用公知的粘合剂、 优选丙烯酸类粘合剂 ( 例如综研化学株式会 社制的 SK-DYNE1882)。 0066 作为粘合剂层 (A) 中含有的硅油， 没有特别限定， 但优选具有与粘合剂的相容性 的硅油。粘合剂层 (A) 中的硅油的含量相对于粘合剂层 (A) 中的粘合剂 100 重量份优选为 1 20 重量份， 更优选 2 10 重量份。 0067 作为硅油的市售品， 可例举信越有机硅株式会社制的 KF-96L-0.65cs、 KF-96L-1cs 等， 从与粘合剂的相容性的观点考虑， 优选 KF-96L-0.65。
31、cs。 0068 (2) 粘合剂层 (B) 0069 粘合剂层 (B) 被用于粘贴于压印模具。 0070 粘合剂层 (B) 的 23时的粘合力为 3 30N/25mm， 优选 23时的粘合力为 5 25N， 更优选 23时的粘合力为 7 20N。 0071 作为构成粘合剂层 (B) 的粘合成分， 可使用通常的丙烯酸类粘合剂、 橡胶类粘合 剂。作为丙烯酸类粘合剂的例子， 可例举使 ( 甲基 ) 丙烯酸丁酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 2- 乙基 己酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸异辛酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸苄酯等单体与具有羧基、 羟基、 氨基、 酰胺基等 交联性官能团的单体共聚而得的聚合物。作为这样的粘。
32、合剂的市售品， 可例举综研化学株 式会社 ( 綜研化学社 ) 制的 SK-DYNE1882、 SK-DYNE1986H 等。 0072 此外， 从防止光压印时的粘合剂层(B)的脆化的观点考虑， 粘合剂层(B)优选含有 光吸收剂和 / 或光稳定剂。 0073 相对于 100 重量份的粘合剂， 优选使用 0.1 10 重量份的光吸收剂， 更优选使用 1 5 重量份 ； 优选使用 0.1 10 重量份的光稳定剂， 更优选使用 1 5 重量份。 0074 作为光吸收剂， 可使用公知的光吸收剂 ( 例如汽巴公司 ( 社 ) 制的 TINUVIN109、 TINUVIN99-2)。作为光稳定剂， 可使用公。
33、知的光稳定剂 ( 例如汽巴公司制的 TINUVIN123、 TINUVIN144)。 0075 (3) 基材 0076 作为构成粘合片材的基材， 可使用树脂制膜、 纸、 金属箔、 布、 无纺布等。 0077 作为树脂制膜， 可例举聚乙烯膜、 聚丙烯膜、 聚丁烯膜、 聚丁二烯膜、 聚甲基戊烯 膜、 聚氯乙烯膜、 氯乙烯共聚物膜、 聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、 聚萘二甲酸乙二醇酯膜、 聚对 说 明 书 CN 103748659 A 8 6/16 页 9 苯二甲酸丁二醇酯膜、 聚氨酯膜、 乙烯乙酸乙烯酯共聚物膜、 离子键树脂膜、 乙烯 ( 甲基 ) 丙烯酸共聚物膜、 乙烯(甲基)丙烯酸酯共聚物膜、 聚苯。
34、乙烯膜、 聚碳酸酯膜、 聚酰亚胺膜 等。 0078 作为本发明中使用的基材， 从操作性的观点来看， 优选树脂制膜， 从耐热性、 材料 获得性的观点考虑， 更优选聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。此外， 对于树脂制膜， 可实施电晕处 理和等离子体处理等能提高与粘合剂层的密合性的处理。 0079 (4) 粘合片材 0080 本发明的粘合片材包括 ： 基材， 设置在基材的一表面上的粘合剂层 (A)， 和设置在 基材的另一表面上的粘合剂层 (B)。粘合剂层 (A) 的厚度通常为 10 50m， 优选 15 40m。 粘合剂层(B)的厚度通常为1050m， 优选1540m。 基材的厚度通常为10 150m， 优选。
35、 10 100m。 0081 上述粘合片材中， 粘合剂层 (A) 的 23时的粘合力比粘合剂层 (B) 的 23时的粘 合力小。这样使粘合片材的粘合剂层的粘合力在各表面具有差别， 并通过将粘合力更高的 粘合剂层 (B) 用于压印模具的粘贴， 从而能够在面对压印时的压力也不会脱离的情况下固 定压印模具， 并且通过将粘合力较低的粘合剂层 (A) 用于粘贴于压力施加部， 从而能够容 易地将压力施加部侧的粘合剂层剥离， 进行压印模具的更换。 0082 也可以在粘合剂层 (A) 的不与基材接触的表面、 及粘合剂层 (B) 的不与基材接触 的表面分别层压保护片材。保护片材优选是对树脂制膜实施了剥离处理的保。
36、护片材。 0083 (5) 粘合片材的制造方法 0084 对粘合片材的制造方法没有特别限定， 可以按照以下方式进行。 0085 将构成粘合剂层 (A) 的全部成分混合， 通过棒涂法、 逗点式涂布 ( 日文 ： ) 等公知的方法将混合物涂布在基材的一个表面。然后， 以 50 120的温度使粘合 剂层 (A) 干燥 1 10 分钟。接着， 通过与粘合剂层 (A) 相同的方法， 在基材的具有粘合剂 层 (A) 的表面的相反侧的表面涂布将构成粘合剂层 (B) 的全部成分混合而得的混合物。然 后， 以 50 120的温度使粘合剂层 (B) 干燥 1 10 分钟。 0086 (6) 压印装置 0087 压。
37、印装置是指向被转印体按压形成有微细的图案的压印模具而将该压印模具的 上述图案形状转印至上述被转印体的装置。 0088 本发明的压印装置中， 压印模具通过本发明的粘合片材被固定于压力施加部。具 体而言， 压印装置中， 在将直接接触被转印体的上述压印模具与能施加压力的压力施加部 之间通过本发明的压印模具固定用粘合片材固定成一体时， 使粘合剂层 (B) 位于上述粘合 片材的基材的上述压印模具侧， 使粘合剂层 (A) 位于该基材的压力施加部侧。 0089 作为压力施加部， 没有特别限定， 可例举单叶式 ( 日文 ： 毎葉式 )( 台座式 ) 和辊 式， 优选辊式。这样， 粘合片材中与压力施加部接触的粘。
38、合剂层具有再剥离性， 与压印模具 接触的粘合剂的粘合力强， 所以即使实施对压印模具施加高压力的压印操作， 压印模具也 不会从粘合片材剥离， 且粘合片材的耐久性也好。另一方面， 更换压印模具时， 由于粘合剂 层 (A) 具有再剥离性， 所以能够将压印模具从压力施加部剥离。 0090 这样的将压印模具固定在压印装置的方法可通过将本发明的压印模具固定用粘 合片材的粘合剂层 (A) 粘贴在压力施加部， 再将压印模具粘贴在上述压印模具固定用粘合 说 明 书 CN 103748659 A 9 7/16 页 10 片材的粘合剂层 (B) 上来实施。此外， 更换压印模具时， 通过将本发明的压印模具固定用粘 合。
39、片材的粘合剂层 (A) 从压力施加部剥离， 从而将压印模具从压印装置取下。 0091 通过本发明的固定压印模具的方法和取下压印模具的方法， 能够在压印模具破损 时等容易地更换压印模具。 0092 实施例 0093 下面， 基于实施例对本发明进行更具体的说明， 但本发明并不限定于这些实施例。 0094 0095 对于由实施例和比较例所得的各个压印模具固定用粘合片材， 用 20kg 的转印辊 将粘合剂层 (a-1) (a-20) 层压在树脂制压印模具 ( 所使用的模具的周期为 300nm、 图案 的高度为 150nm)。接着， 获得层压压印模具固定用粘合片材后的树脂制压印模具。 0096 对于上述。
40、各个层压压印模具固定用粘合片材后的树脂制压印模具， 使用上述转印 辊将粘合片材的粘合剂层 (b-1) 和 (b-2) 粘贴在宽度为 250mm 的辊压印用辊 (SUS 制 ) 的 辊面上。 0097 0098 以 1.0MPa 将上述压印装置的辊按压在 Lexan 膜 ( 日文 ： )( 转 印区域:宽210mm、 长420m)上， 以能够均匀地涂布转印树脂PAK-02(东洋合成株式会社制) 的状态开动流水线 ( 输送速度为 1m/ 秒， 东芝机械株式会社 ( 東芝機械社 ) 制 )。然后， 一 边开动流水线一边连续进行紫外线照射 (50mW/cm2)， 一边使树脂固化一边进行连续 7 小时 。
41、的辊压印 ( 辊表面温度为 60 80 ( 用 A&D 株式会社 ( 社 ) 制的红 外线放射温度计 AD-5617WP 测定 )， 获得 60m 的成型膜。然后， 将树脂制压印模具从辊取 下。 0099 此外， 用同样的方法进行连续 14 小时的辊压印， 然后将树脂制压印模具从辊剥 离。 0100 实施例和说明书中的各物性的数值是通过下述的测定方法测得的值。 0101 0102 23时的粘合力和在 80、 湿度 65下放置 7 小时后的粘合力是按照 JISZ0237 以拉伸角度 90、 剥离速度 300mm/ 分钟测得的值。 0103 0104 使用凝胶渗透色谱法 (GPC)， 求出基于标准。
42、聚苯乙烯换算得出的重均分子量 (Mw)。 0105 测定条件 0106 装置 ： HLC-8120GPC( 东曹株式会社 ( 東 （株） ) 制 ) 0107 色谱柱 ： 使用以下的五连柱。 0108 TSK-GEL HXL-H( 保护柱、 东曹株式会社制 ) 0109 TSK-GEL G7000HXL( 东曹株式会社制 ) 0110 TSK-GEL GMHXL( 东曹株式会社制 ) 0111 TSK-GEL GMHXL( 东曹株式会社制 ) 0112 TSK-GEL G2500HXL( 东曹株式会社制 ) 0113 样品浓度 ： 用四氢呋喃稀释至 1.0mg/cm3 说 明 书 CN 103。
43、748659 A 10 8/16 页 11 0114 流动相溶剂 ： 四氢呋喃 0115 流速 ： 1.0cm3/ 分钟 0116 柱温 ： 40 0117 0118 将 23下熟化 7 天后的粘合剂组合物约 0.1g( 采集重量 ) 采取至采样瓶中， 添加 乙酸乙酯 30cc 并振荡 4 小时后， 用 200 目的不锈钢制金属网过滤该采样瓶中的内容物， 将 金属网上的残留物在 100下干燥 2 小时后测定干燥重量， 通过下式求出。 0119 数学式 1 0120 凝胶比率 ( ) ( 粘合剂组合物的干燥重量 / 粘合剂组合物的采集重量 )100 0121 0122 辊压印时的压印模具的脱落通。
44、过目视来观察， 按照以下的基准进行评价。 0123 ： 压印操作中， 层压压印模具固定用粘合片材后的树脂制压印模具没有从辊剥 离。 0124 ： 压印操作中， 层压压印模具固定用粘合片材后的树脂制压印模具从辊剥离。 0125 0126 辊压印时的压印模具的偏离通过目视来观察， 按照以下的基准进行评价。 0127 ： 压印操作中， 层压压印模具固定用粘合片材后的树脂制压印模具在辊表面上 的位置没有偏离。 0128 ： 压印操作中， 层压压印模具固定用粘合片材后的树脂制压印模具在辊表面上 的位置发生偏离。 0129 0130 辊压印后后的胶残留通过目视来观察， 按照以下的基准进行评价。 0131 。
45、： 压印操作后， 将层压压印模具固定用粘合片材后的树脂制压印模具从辊剥离 时， 在辊表面没有残留粘合剂。 0132 ： 压印操作后， 将层压压印模具固定用粘合片材后的树脂制压印模具从辊剥离 时， 在辊表面残留有粘合剂。 0133 0134 在连续7小时辊压印后和连续14小时辊压印后， 将层压压印模具固定用粘合片材 后的树脂制压印模具从辊剥离， 通过目视来观察与辊表面接触的粘合剂层的状态， 按照以 下的基准进行评价。 0135 ： 粘合剂层的状态没有变化。 0136 ： 粘合剂层稍微脆化。 0137 ： 粘合剂层脆化。 0138 实施例 1 0139 在烧杯中添加 100g( 固体成分量 ) 粘。
46、合剂 ( 商品名 SK-DYNE1473H、 综研化学株式 会社制 )、 0.77g( 固体成分量 ) 异氰酸酯类固化剂 ( 商品名 L-45、 综研化学株式会社制 )， 充分混合后涂布在 PET 间隔物 ( 商品名 MRF38、 三菱树脂株式会社 ( 三菱樹脂社 ) 制 ) 上， 使其于 90干燥 3 分钟， 制得粘合剂层 (a-1)。同样地， 在烧杯中添加 100g( 固体成分量 ) 粘合剂 ( 商品名 SK-DYNE1882、 综研化学株式会社制 )、 0.55g( 固体成分量 ) 异氰酸酯类固 说 明 书 CN 103748659 A 11 9/16 页 12 化剂 (L-45)、 0。
47、.016g( 固体成分量 ) 环氧类固化剂 ( 商品名 E-5XM、 综研化学株式会社制 )， 充分混合后涂布在 PET 间隔物 (MRF38) 上， 使其于 90干燥 3 分钟， 制得粘合剂层 (b-1)。 然后， 将粘合剂层 (a-1) 层压在 PET 膜 (Lumirror60T38、 东丽株式会社制 ) 的一个表面， 将 粘合剂层 (b-1) 层压在另一表面， 从而制得压印模具固定用粘合片材。 0140 使用上述压印模具固定用粘合片材来进行上述压印操作， 结果没有发现树脂制压 印模具的剥离等不良情况。连续压印 14 小时后， 将树脂制压印模具从辊剥离， 结果是背面 的粘合剂破碎。但是， 没有发现粘合剂对辊的转粘等的污染。 0141 实施例 2 0142 在烧杯中添加 100g( 固体成分量 ) 粘合剂 ( 商品名 SK-DYNE1473H)、 0.77g( 固 体成分量 ) 异氰酸酯类固化剂 (L-45)， 充分混合后涂布在 PET 间隔物 (MRF38) 上， 使其于 90干燥 3 分钟， 制得粘合剂层 (a-2)。同样地， 在烧杯中添加 100g( 固体成分量 ) 粘合剂 (SK-DYNE1882)、 0.55g( 固体成分量 ) 异氰酸酯。