《薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方法.pdf（17页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 103770429 A (43)申请公布日 2014.05.07 CN 103770429 A (21)申请号 201310029488.6 (22)申请日 2013.01.25 10-2012-0116074 2012.10.18 KR B32B 37/00(2006.01) H01L 51/56(2006.01) (71)申请人 三星显示有限公司 地址 韩国京畿道 (72)发明人 金学民 (74)专利代理机构 北京德琦知识产权代理有限 公司 11018 代理人 齐葵 罗正云 (54) 发明名称 薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置 的制造方法 (57) 摘要 本。
2、发明提供一种薄膜层压装置及利用它的有 机发光显示装置的制造方法。 所述薄膜层压装置， 用于在平面显示面板上层压薄膜， 所述平面显示 面板包括基板及在基板的一面上形成的显示部， 所述薄膜层压装置的特征在于， 包括 ： 工作台， 用 于在所述显示部相对于所述基板朝下的状态下支 撑所述平面显示面板 ； 及移送机器人， 用于在所 述显示部朝上的状态下支撑所述平面显示面板 后， 翻转所述平面显示面板， 使得所述显示部朝 下， 并以该翻转状态将所述平面显示面板转移到 所述工作台。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 3 页 说明书 8 页 附图 5 页 (19)中华人民共和国国家知识产。
3、权局 (12)发明专利申请 权利要求书3页 说明书8页 附图5页 (10)申请公布号 CN 103770429 A CN 103770429 A 1/3 页 2 1. 一种薄膜层压装置， 用于在平面显示面板上层压薄膜， 所述平面显示面板包括基板 及在基板的一面上形成的显示部， 所述薄膜层压装置的特征在于， 包括 ： 工作台， 用于在所述显示部相对于所述基板朝下的状态下支撑所述平面显示面板 ； 及 移送机器人， 用于在所述显示部朝上的状态下支撑所述平面显示面板后， 翻转所述平 面显示面板， 使得所述显示部朝下， 并以该翻转状态将所述平面显示面板转移到所述工作 台。 2. 根据权利要求 1 所述的。
4、薄膜层压装置， 其特征在于， 所述移送机器人包括 ： 臂， 包括相互隔开的多个支撑条及在所述多个支撑条的一侧与所述多个支撑条结合的 连接部 ； 关节部件， 与所述臂连接， 用于改变所述臂的位置 ； 以及 第一吸附部件， 配置于所述支撑条的一面上， 用于吸附所述平面显示面板， 其中所述支 撑条的所述一面供所述平面显示面板安置。 3. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 彼此相邻的多个支撑条之间的间距相同。 4. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述臂以所述关节部件为中心能够旋转。 5. 根据权利要求 4 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 当所述平面。
5、显示面板配置于所述臂上时， 所述臂配置为所述第一吸附部件朝上 ； 在所述平面显示面板配置于所述臂上并被所述第一吸附部件吸附后， 所述臂旋转， 使 得所述平面显示面板朝下。 6. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述移送机器人在使所述臂旋转使得所述显示部朝下后， 将所述平面显示面板移送到 所述工作台。 7. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述关节部件与所述连接部相连。 8. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述关节部件能够使所述臂上下左右移动。 9. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述多个支撑条中。
6、每一个的长度方向与所述连接部的长度方向相互垂直。 10. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述第一吸附部件由真空吸盘形成。 11. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 在所述平面显示面板配置于所述支撑条上时， 所述第一吸附部件吸附所述平面显示面 板使之固定于所述臂上 ； 在所述平面显示面板转移到工作台后， 所述第一吸附部件解除对 所述平面显示面板的吸附。 12. 根据权利要求 2 所述的薄膜层压装置， 其特征在于， 所述工作台包括 ： 主体部 ； 多个支撑肋， 配置于所述主体部的底面， 供所述平面显示面板安置 ； 多个收容部， 位于所述多个支撑肋之间。
7、， 能够收容所述多个支撑条中的每一个 ； 以及 权 利 要 求 书 CN 103770429 A 2 2/3 页 3 第二吸附部件， 配置于所述支撑肋的一面， 用于固定通过所述移送机器人转移的所述 平面显示面板。 13. 根据权利要求 12 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述收容部的深度比所述支撑条的高度大。 14. 根据权利要求 12 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述多个支撑肋之间的间距比所述支撑条的宽度大。 15. 根据权利要求 12 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述多个支撑肋与所述主体部形成为一体。 16. 根据权利要求 12 所述的薄膜层压装置， 其特征在于。
8、 ： 所述多个支撑肋独立于所述主体部形成后， 配置于所述主体部的底面。 17. 根据权利要求 12 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 在所述支撑条被收容于所述收容部后， 所述第二吸附部件吸附所述平面显示面板并固 定到所述支撑肋。 18. 根据权利要求 12 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 所述第二吸附部件吸附所述平面显示面板的所述基板， 所述平面显示面板配置为所述 显示部朝下。 19. 根据权利要求 12 所述的薄膜层压装置， 其特征在于 ： 在所述第二吸附部件吸附并固定所述平面显示面板后， 所述第一吸附部件解除对所述 平面显示面板的吸附。 20. 根据权利要求 19 所述的薄膜层压。
9、装置， 其特征在于 ： 在所述平面显示面板通过所述第二吸附部件固定于所述工作台后， 所述移送机器人移 动， 使得所述多个支撑条完全脱离所述多个收容部。 21. 一种有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 准备平面显示面板， 所述平面显示面板在基板上形成有显示部 ； 在所述显示部相对于所述基板朝上的状态下， 用移送机器人固定并支撑所述平面显示 面板 ； 使所述平面显示面板旋转， 使得所述显示部相对于所述基板朝下 ； 将所述平面显示面板固定并支撑于工作台 ； 以及 在所述显示部上层压薄膜。 22. 根据权利要求 21 所述的有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于， 所述移送。
10、机器人包括 ： 臂， 包括相互隔开的多个支撑条及在所述多个支撑条的一侧与所述多个支撑条结合的 连接部 ； 关节部件， 与所述臂连接， 用于改变所述臂的位置 ； 以及 第一吸附部件， 配置于所述支撑条的一面上， 用于吸附所述平面显示面板， 其中所述支 撑条的所述一面供所述平面显示面板安置。 23. 根据权利要求 22 所述的有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于， 用所述移送机器人固定并支撑所述平面显示面板的步骤包括以下步骤 ： 使所述臂处于所述第一吸附部件朝上的状态 ； 权 利 要 求 书 CN 103770429 A 3 3/3 页 4 将所述基板配置于所述第一吸附部件上 ； 以及 用所述。
11、第一吸附部件吸附所述基板， 从而将所述平面显示面板固定于所述臂。 24. 根据权利要求 23 所述的有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于， 使所述平面 显示面板旋转的步骤包括 ： 使所述臂旋转， 使得处于所述显示部朝上并且所述基板被所述第一吸附部件吸附状态 的所述平面显示面板中的所述显示部朝下。 25. 根据权利要求 22 所述的有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于， 所述工作台包括 ： 主体部 ； 多个支撑肋， 配置于所述主体部的底面， 供所述平面显示面板安置 ； 多个收容部， 位于所述多个支撑肋之间， 能够收容所述多个支撑条中的每一个 ； 以及 第二吸附部件， 配置于所述支撑肋的底。
12、面， 用于固定通过所述移送机器人转移的所述 平面显示面板。 26. 根据权利要求 25 所述的有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于 ： 所述收容部的深度比所述支撑条的高度大。 27. 根据权利要求 25 所述的有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于 ： 所述多个支撑肋之间的间距比所述支撑条的宽度大。 28. 根据权利要求 25 所述的有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于， 将所述平面显示面板固定并支撑于工作台的步骤包括以下步骤 ： 向所述工作台提升所述臂， 其中所述臂以所述显示部朝下的状态支撑着所述平面显示 面板 ； 用所述第二吸附部件吸附所述基板 ； 解除所述第一吸附部件对所述基板。
13、的吸附 ； 以及 使所述臂移动， 使得所述臂脱离所述多个收容部。 29. 根据权利要求 28 所述的有机发光显示装置的制造方法， 其特征在于， 向所述工作 台提升所述臂的步骤包括 ： 提升所述臂， 直至所述支撑条收容于所述收容部并且所述基板能够接触所述第二吸附 部件。 权 利 要 求 书 CN 103770429 A 4 1/8 页 5 薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方法 技术领域 0001 本发明的实施例涉及一种薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的制造方 法。 背景技术 0002 近年来， 显示装置表现出由可携带的薄型平板显示装置取代的趋势。在平板显示 装置中， 有机发光显。
14、示装置作为自发光显示装置不仅视角宽， 对比度优异， 还具有响应速度 快的优点， 因此作为下一代显示器装置倍受关注。 0003 有机发光显示装置具有中间层、 第一电极及第二电极。 中间层具有有机发光层， 当 向第一电极和第二电极施加电压时， 在有机发光层产生可见光。 发明内容 0004 本发明的主要目的在于提供一种薄膜层压装置及利用它的有机发光显示装置的 制造方法， 该薄膜层压装置及该制造方法能够在平面显示面板的显示部层压薄膜的工序中 避免显示部受到损伤。 0005 根据本发明一实施例的薄膜层压装置， 用于在平面显示面板上层压薄膜， 所述平 面显示面板包括基板及在基板的一面上形成的显示部， 所述。
15、薄膜层压装置的特征在于， 包 括 ： 工作台， 用于在所述显示部相对于所述基板朝下的状态下支撑所述平面显示面板 ； 及 移送机器人， 用于在所述显示部朝上的状态下支撑所述平面显示面板后， 翻转所述平面显 示面板， 使得所述显示部朝下， 并以该翻转状态将所述平面显示面板转移到所述工作台。 0006 所述移送机器人可包括 ： 臂， 包括相互隔开的多个支撑条 （support bar） 及在所 述多个支撑条的一侧与所述多个支撑条结合的连接部 ； 关节部件， 与所述臂连接， 用于改变 所述臂的位置 ； 以及第一吸附部件， 配置于所述支撑条的一面上， 用于吸附所述平面显示面 板， 其中所述支撑条的所述一。
16、面供所述平面显示面板安置。 0007 彼此相邻的支撑条之间的间距可相同。 0008 所述臂可以以所述关节部件为中心旋转。 0009 当所述平面显示面板配置于所述臂上时， 所述臂可处于所述第一吸附部件朝上的 状态 ； 在所述平面显示面板配置于所述臂上并被所述第一吸附部件吸附后， 所述臂旋转， 使 得所述平面显示面板朝下。 0010 所述移送机器人在使所述臂旋转使得所述显示部朝下后， 可将所述平面显示面板 移送到所述工作台。 0011 所述关节部件可与所述连接部相连。 0012 所述关节部件可使所述臂上下左右移动。 0013 在所述多个支撑条中的每一个的长度方向可与所述连接部的长度方向相互垂直。 。
17、0014 所述第一吸附部件可由真空吸盘形成。 0015 在所述平面显示面板配置于所述支撑条上时， 所述第一吸附部件可吸附所述平面 说 明 书 CN 103770429 A 5 2/8 页 6 显示面板使之固定于所述臂上 ； 在所述平面显示面板转移到工作台后， 所述第一吸附部件 可解除对所述平面显示面板的吸附。 0016 所述工作台可包括 ： 主体部 ； 多个支撑肋 （support rib） ， 配置于所述主体部的底 面， 供所述平面显示面板安置 ； 多个收容部， 位于所述多个支撑肋之间， 能够收容所述多个 支撑条中的每一个 ； 及第二吸附部件， 配置于所述支撑肋的一面， 用于固定通过所述移送。
18、机 器人转移的所述平面显示面板。 0017 所述收容部的深度可比所述支撑条的高度大。 0018 所述多个支撑肋之间的间距可比所述支撑条的宽度大。 0019 所述多个支撑肋可与所述主体部形成为一体。 0020 所述多个支撑肋可独立于所述主体部形成后， 配置于所述主体部的底面。 0021 在所述支撑条被收容于所述收容部后， 所述第二吸附部件可吸附所述平面显示面 板并固定到所述支撑肋。 0022 所述第二吸附部件可吸附所述平面显示面板的所述基板， 所述平面显示面板处于 所述显示部朝下的状态。 0023 在所述第二吸附部件吸附并固定所述平面显示面板后， 所述第一吸附部件解除对 所述平面显示面板的吸附。。
19、 0024 在所述平面显示面板通过所述第二吸附部件被固定于所述工作台后， 所述移送机 器人移动， 使得所述多个支撑条完全脱离所述多个收容部。 0025 本发明一实施例的有机发光显示装置的制造方法， 可包括以下步骤 ： 准备平面显 示面板， 所述平面显示面板在基板上形成有显示部 ； 在所述显示部相对于所述基板朝上的 状态下， 用移送机器人固定并支撑所述平面显示面板 ； 使所述平面显示面板旋转， 使得所述 显示部相对于所述基板朝下 ； 将所述平面显示面板固定并支撑于工作台 ； 以及在所述显示 部上层压薄膜。 0026 所述移送机器人可包括 ： 臂， 包括相互隔开的多个支撑条 （support ba。
20、r） 及在所 述多个支撑条的一侧与所述多个支撑条结合的连接部 ； 关节部件， 与所述臂连接， 用于改变 所述臂的位置 ； 以及第一吸附部件， 配置于所述支撑条的一面上， 用于吸附所述平面显示面 板， 其中所述支撑条的所述一面供所述平面显示面板安置。 0027 用所述移送机器人固定并支撑所述平面显示面板的步骤可包括以下步骤 ： 使所述 臂处于所述第一吸附部件朝上的状态 ； 将所述基板配置于所述第一吸附部件上 ； 及用所述 第一吸附部件吸附所述基板， 并将所述平面显示面板固定于所述臂。 0028 使所述平面显示面板旋转的步骤可包括 ： 使所述臂旋转， 使得处于所述显示部朝 上并且所述基板被所述第一。
21、吸附部件吸附状态的所述平面显示面板中的所述显示部朝下。 0029 所述工作台可包括 ： 主体部 ； 多个支撑肋 （support rib） ， 配置于所述主体部的底 面， 供所述平面显示面板安置 ； 多个收容部， 位于所述多个支撑肋之间， 能够收容所述多个 支撑条中的每一个 ； 以及第二吸附部件， 配置于所述支撑肋的底面， 用于固定通过所述移送 机器人转移的所述平面显示面板。 0030 所述收容部的深度可比所述支撑条的高度大。 0031 所述支撑肋之间的间距可比所述支撑条的宽度大。 0032 将所述平面显示面板固定并支撑于工作台的步骤可包括以下步骤 ： 向所述工作 说 明 书 CN 10377。
22、0429 A 6 3/8 页 7 台提升所述臂， 其中所述臂在所述显示部朝下的状态下支撑着所述平面显示面板 ； 用所述 第二吸附部件吸附所述基板 ； 解除所述第一吸附部件对所述基板的吸附 ； 以及使所述臂移 动， 使得所述臂脱离所述多个收容部。 0033 向所述工作台提升所述臂的步骤可包括 ： 提升所述臂， 直至所述支撑条收容于所 述收容部并且所述基板能够接触所述第二吸附部件。 0034 根据本发明的实施例， 在平面显示面板的显示部上层压薄膜的工序中能够避免显 示部受到损伤。 附图说明 0035 图 1 为示意地表示本发明一实施例的薄膜层压装置的结构图。 0036 图 2 为示意地表示图 1 。
23、所示薄膜层压装置的臂的俯视图。 0037 图 3 为示意地表示平面显示面板的剖视图。 0038 图 4 为表示通过移送机器人将平面显示面板转移到工作台的过程的剖视图。 0039 图 5 至图 10 为在平面显示面板上层压薄膜的各工序剖视图。 0040 图 11 为示意地表示使用本发明一实施例的薄膜层压装置制造的有机发光显示装 置的剖视图。 0041 符号说明 0042 1000 ： 薄膜层压装置 100 ： 移送机器人 0043 110 ： 臂 111 ： 支撑条 0044 112 ： 连接部 113 ： 第一吸附部件 0045 120 ： 关节部件 200 ： 工作台 0046 201 ： 。
24、主体部 211 ： 支撑肋 0047 52、 52a、 52b、 52c ： 有源层 具体实施方式 0048 下面， 参照附图所示的本发明的实施例， 对本发明的结构及作用进行详细说明。 0049 图 1 为示意地表示本发明一实施例的薄膜层压装置的结构图。 0050 参照图 1， 本发明的一实施例的薄膜层压装置 1000 可包括移送机器人 100 和工作 台 200。其中， 所述移送机器人 100 包括臂 110、 关节部件 120 和第一吸附部件 113 ； 所述工 作台 200 包括主体部 201、 支撑肋 211 和第二吸附部件 212。 0051 移送机器人 100 用于接收并吸附从其他。
25、设备传送过来的平面显示面板， 然后将吸 附的平面显示面板转移到工作台。 0052 移送机器人 100 可具备臂 110、 关节部件 120 及第一吸附部件 113。 0053 图 2 为示意地表示图 1 所示薄膜层压装置的臂的俯视图。 0054 参照图 1 及图 2， 臂 110 可具备支撑条 111 和连接部 112。臂 110 能够接收从有机 发光显示装置的制造设备转移过来的面板 （图 3 中的 10） ， 并将其吸附并支撑。 0055 支撑条 111 可为多个。作为一个例子， 如图 1 所示， 支撑条 111 可为四个。本发明 并不局限于此， 可有两个以上的支撑条 111。 0056 多。
26、个支撑条 111 彼此隔开， 多个支撑条 111 之间的间距均可相同。 说 明 书 CN 103770429 A 7 4/8 页 8 0057 支撑条 111 的一面可为平面， 从而能够安置平面显示面板 10。如图 1 及图 2 所示， 支撑条 111 可为四棱柱形状。但本发明并不局限于此， 支撑条 111 也可为一面是平面的多 棱柱或半圆柱。 0058 多个支撑条 111 配置为其平面均朝向相同的方向， 并且多个支撑条 111 的平面配 置在同一个平面上。由此， 多个支撑条 111 相互隔开配置， 从而使平面显示面板 10 能够配 置在多个支撑条 111 的平面上。 0059 在支撑条 11。
27、1 的平面上可配置有第一吸附部件 113。在各支撑条 111 的平面上可 配置有多个第一吸附部件 113。 0060 第一吸附部件 113 用于吸附配置在支撑条 111 上的平面显示面板 10， 并将所述平 面显示面板 10 固定在臂 110 上。第一吸附部件 113 可为真空吸盘。在平面显示面板 10 固 定在工作台 200 后， 第一吸附部件 113 可解除对平面显示面板 10 的吸附。由此臂 110 可与 平面显示面板 10 分离。对此将在后面描述。 0061 多个支撑条 111 的一端可与连接部 112 连接。连接部 112 的长度方向垂直于支撑 条 111 的长度方向。多个支撑条 1。
28、11 可沿连接部 112 的长度方向相互隔开而配置。多个支 撑条 111 可独立于连接部 112 而形成后， 多个支撑条 111 结合到连接部 112 上， 此外多个支 撑条 111 也可与连接部 112 形成为一体。 0062 关节部件 120 与臂 110 连接， 从而能够使臂 110 旋转， 并且使臂 110 上升或下降， 或前后左右来改变位置。 0063 关节部件 120 可由第一部件 121、 第二部件 122、 第三部件 123 及固定部件 125 组 成。 固定部件125位于地面上， 起到将移送机器人100固定于地面的作用。 第一部件121的 一端结合在固定部件125， 另一端与。
29、第二部件122相连。 第二部件122与第一部件121相连， 能够进行上下左右运动。第三部件 123 的一端与第二部件 122 相连， 另一端与臂 110 的连 接部 112 相连。第三部件 123 能够以第二部件 122 为中心进行上下左右运动。连接部 112 可旋转地与第三部件 123 相连， 从而臂 110 能够以第三部件 123 为中心轴进行旋转。即， 如 图 1 所示， 臂 110 可处于第一吸附部件 113 朝上的状态 ； 在臂 110 以第三部件 123 为中心旋 转后， 如图 4 所示， 可处于第一吸附部件 113 朝下的状态。 0064 工作台 200 可包括主体部 201、 。
30、收容部 213 及支撑肋 211。工作台 200 起到如下作 用 ： 对由移送机器人 100 转移过来的平面显示面板 10 进行吸附及固定， 在进行在平面显示 面板 10 上层压薄膜的工序的期间支撑平面显示面板 10。 0065 多个支撑肋 211 配置于主体部 201 的底面。多个支撑肋 211 相互隔开而配置在主 体部 201 的底面， 多个支撑肋 211 之间的间距可相同。多个支撑肋 211 之间的间距可大于 支撑条 111 的宽度。 0066 支撑肋 211 的一面可为平面， 从而能够安置平面显示面板 10。如图 1 及图 4 所示， 支撑肋 211 可为四棱柱形。柱的一面与主体部 2。
31、01 结合， 柱的另一面可供平面显示面板 10 安置。但本发明并不局限于此， 支撑肋 211 可为一面是平面的多棱柱。 0067 多个支撑肋 211 相对于其长度方向， 相互平行地配置于主体部 201 的底面。朝向 地面的支撑肋 211 的底面均配置在同一个假想平面上。由此， 在多个支撑肋 211 的底面上 能够配置平面显示面板 10。 0068 在多个支撑肋 211 的底面可配置有第二吸附部件 212。在各支撑肋 211 的底面可 说 明 书 CN 103770429 A 8 5/8 页 9 配置有多个第二吸附部件 212。 0069 第二吸附部件 212 用于吸附配置在支撑肋 211 的底。
32、面上的平面显示面板 10， 并将 所述平面显示面板 10 固定于工作台 200。第二吸附部件 212 可为真空吸盘。由于第二吸附 部件212吸附并固定平面显示面板10， 因此能够避免平面显示面板10掉在地面。 为了使第 二吸附部件 212 吸附并固定平面显示面板 10， 支撑肋 211 和 / 或主体部 201 可包括排气导 管 202。通过该排气导管 202， 空气能够排出到外部。 0070 图 3 为示意地表示平面显示面板的剖视图。 0071 参照图 3， 平面显示面板 10 可具备基板 50 和显示部 50a。 0072 在基板 50 上设置有包括有机发光元件的显示部 50a。基板 50。
33、 不仅可以使用玻璃 材料的基板， 还可以使用诸如丙烯酸类等各种塑料材料的基板， 进一步还可以使用金属板。 根据需要， 在基板 50 上还可以进一步具备缓冲层 （未图示） 。 0073 显示部 50a 可具备多个有机发光元件。显示部 50a 的有机发光元件包括像素电 极、 与所述像素电极相对的对电极、 设置在像素电极和对电极之间的至少包括发光层的中 间层。像素电极可设置为透明电极或反射电极。当设置为透明电极时， 可由 ITO、 IZO、 ZnO 或 In2O3形成 ； 当设置为反射电极时， 可包括 ： 由 Ag、 Mg、 Al、 Pt、 Pd、 Au、 Ni、 Nd、 Ir、 Cr 或它 们的化。
34、合物等形成的反射膜 ； 和在所述反射膜上由 ITO、 IZO、 ZnO 或 In2O3形成的膜。对电 极也可设置为透明电极或反射电极， 当设置为透明电极时， 可包括 ： 由 Li、 Ca、 LiF/Ca、 LiF/ Al、 Al、 Mg 或它们的化合物沉积形成的、 朝向像素电极和对电极之间的中间层的膜 ； 和在所 述膜上由 ITO、 IZO、 ZnO 或 In2O3等用于形成透明电极的物质形成的辅助电极或汇流电极 线 （bus electrode line） 。而当设置为反射电极时， 可通过沉积 Li、 Ca、 LiF/Ca、 LiF/Al、 Al、 Mg 或它们的化合物而设置。像素电极和对电。
35、极之间的中间层可由低分子有机物或高分 子有机物形成。在使用低分子有机物时， 可由空穴注入层 （HIL ： hole injection layer） 、 空穴传输层 （HTL ： hole transport layer） 、 有机发光层 （EML ： emission layer） 、 电子传输 层 （ETL ： electron transport layer） 、 电子注入层 （EIL ： electron injection layer） 等 形成为单层结构或层压形成为复合结构。可使用的有机材料有多种材料， 主要有 ： 铜酞菁 （CuPc ： copper phthalocyanine。
36、） 、 N,N- 二 （萘 -1- 基） -N,N- 二苯基 - 联苯胺 （N,N-Di（n aphthalene-1-yl） -N,N-diphenyl-benzidine ： NPB） 、 三 -8- 羟基喹啉铝 （tris-8-hydroxy quinoline aluminum， Alq3） 等。这些低分子有机物可通过利用掩模的真空沉积等方式形 成。当由高分子有机物形成时， 中间层可具有大致包括空穴传输层 （HTL） 及发光层 （EML） 的结构。此时， 所述空穴传输层使用 PEDOT（聚 （3,4- 乙烯二氧噻吩） ； Poly(3,4-Ethylene dioxythiophene。
37、)） ， 发光层使用 PPV（聚对苯撑乙烯， Poly-Phenylene vinylene） 类及聚芴 （Polyfluorene） 类等高分子有机物。 0074 如上所述， 由于在基板50上形成显示部50a， 因此在平面显示面板10的一面， 显示 部 50a 外露， 在另一面， 基板 50 外露。如图 1 所示， 臂 110 处于第一吸附部件 113 朝上的状 态， 在第一吸附部件 113 上可安置基板 50， 第一吸附部件 113 吸附基板 50 并将平面显示面 板 10 固定到支撑条 111。由于臂 110 不是支撑平面显示面板 10 的显示部 50a 而是支撑基 板 50， 因此在通。
38、过移送机器人 100 转移平面显示面板 10 时， 能够避免臂 110 对显示部 50a 造成的损伤。 0075 图 4 为表示通过移送机器人将平面显示面板转移到工作台的过程的剖视图。 说 明 书 CN 103770429 A 9 6/8 页 10 0076 平面显示面板 10 配置在臂 110 上。其中， 所述臂 110 处于第一吸附部件 113 位于 支撑条 111 上面的状态， 所述第一吸附部件 113 吸附基板 50。即， 平面显示面板 10 的显示 部50a朝上。 然后， 如图4所示， 臂110旋转， 使得平面显示面板10位于支撑条111的下面， 此时， 显示部 50a 朝下。 00。
39、77 在保持平面显示面板 10 翻转的状态下， 移送机器人 100 位于工作台 200 的下面， 并将平面显示面板 10 转移到工作台 200。更为具体地， 移送机器人 100 使平面显示面板 10 位于工作台 200 的下面后， 提升所述臂 110， 使得多个支撑条 111 收容到工作台 200 的收容 部 213 中。 0078 由于所形成的收容部 213 的深度 h1 比支撑条 111 的厚度 h2 大， 且收容部 213 的 宽度 w1 比支撑条 111 的宽度 w2 大， 因此支撑条 111 能够收容到收容部 213 中。 0079 移送机器人 100 向工作台 200 提升臂 11。
40、0， 直至基板 50 与工作台 200 的第二吸附 部件 212 接触。第二吸附部件 212 可为真空吸盘。第二吸附部件 212 吸附基板 50， 从而将 平面显示面板 10 固定到工作台 200。 0080 图 5 至图 10 为在平面显示面板上层压薄膜的各工序剖视图。 0081 首先， 参照图 5， 平面显示面板 10 配置在臂 110 的上面， 此时基板 50 位于显示部 50a 的下面。第一吸附部件 113 吸附基板 50， 从而将平面显示面板 10 固定到臂 110 上。此 时在平面显示面板 10 中， 显示部 50a 朝向工作台 200， 基板 50 朝向地面。 0082 图 6a。
41、 及图 7a 为移送机器人 100 的侧视图， 图 6b 及图 7b 为移送机器人 100 的主 视图。 0083 参照图 6a 及图 6b， 臂 110 在图 5 所示位置旋转 180。由此， 在平面显示面板 10 中， 显示部 50a 朝向地面， 基板 50 朝向工作台 200。由于第一吸附部件 113 吸附基板 50， 因 此即使臂 110 旋转 180， 平面显示面板 10 也不会掉在地面。 0084 接下来， 参照图7a及图7b， 移送机器人100在臂110旋转180的状态下将臂110 向工作台 200 提升。 0085 接下来， 参照图8， 移送机器人100进一步提升臂110并将平。
42、面显示面板10固定到 工作台 200。即， 移送机器人 100 向工作台 200 提升臂 110， 并使支撑条 111 收容于收容部 213 中。移送机器人 100 继续提升臂 110， 直至基板 50 与工作台 200 的第二吸附部件 212 接触。与第二吸附部件 212 接触的基板 50 被第二吸附部件 212 吸附并固定到工作台 200。 0086 之后， 如图 9 所示， 平面显示面板 10 处于固定在工作台 200 的状态， 而臂 110 则脱 离收容部 20。更为具体地， 在平面显示面板 10 固定于工作台 200 之后， 第一吸附部件 113 解除对基板 50 的吸附， 从而分离。
43、基板 50 和臂 110。然后， 臂 110 沿着收容部 213 的长度方 向后退并脱离工作台 200。 0087 然后， 如图 10 所示， 在平面显示面板 10 的显示部 50a 上层压薄膜。更为具体地， 在平面显示面板 10 中， 基板 50 被第二吸附部件 212 吸附并固定， 显示部 50a 朝向地面。在 此状态下， 载置台 （stage） 310 和薄膜 300 附着在显示部 50a 的一端， 辊轮 320 向显示部 50a 对薄膜 300 进行加压， 从而将薄膜 300 层压到显示部 50a 上。如此在显示部 50a 的下面层 压薄膜 300 时， 更能保持薄膜 300 绷紧的状。
44、态， 从而防止在薄膜 300 和显示部 50a 之间产生 气泡， 提高薄膜 300 的附着精度。 0088 如此， 根据本发明一实施例的薄膜层压装置， 通过移送机器人 100 吸附平面显示 说 明 书 CN 103770429 A 10 7/8 页 11 面板 10 的基板 50 而非吸附显示部 50a 并进行转移， 并且通过工作台 200 吸附及固定基板 50并进行层压工序， 因此能够避免移送机器人100或工作台200对显示部50a造成的损伤。 0089 图 11 为示意地表示使用本发明一实施例的薄膜层压装置制造的有机发光显示装 置的剖视图。 0090 参照图 11， 有源矩阵型的所述有机发。
45、光显示装置形成在基板 50 上。所述基板 50 可由透明材料例如玻璃材料、 塑料材料或金属材料形成。在整个所述基板 50 上形成有诸如 缓冲层的绝缘膜 51。 0091 如 图 11 所 示， 在 所 述 绝 缘 膜 51 上 形 成 有 薄 膜 晶 体 管 （TFT ； Thin flim transistor） 和有机发光元件 （OLED） 。 0092 在所述绝缘膜 51 的上表面形成有按照规定图案排列的半导体有源层 52。所述半 导体有源层 52 被栅极绝缘膜 （gate insulator film） 53 填埋。所述有源层 52 可由 p 型或 n 型半导体构成。 0093 在所述。
46、栅极绝缘膜 （gate insulator film） 53 的上表面与所述有源层 52 对应的 部分形成有 TFT 的栅电极 54。并且形成有覆盖所述栅电极 54 的层间绝缘膜 55。在形成 所述层间绝缘膜 55 之后， 通过干法蚀刻等蚀刻工序蚀刻所述栅极绝缘膜 （gate insulator film） 53 和层间绝缘膜 55 以形成接触孔， 从而使所述有源层 52 的一部分露出。 0094 然后， 在所述层间绝缘膜 55 上形成源电极 56/ 漏电极 57， 所述源电极 56/ 漏电极 57 通过接触孔与露出的有源层 52 相接。形成覆盖所述源电极 56/ 漏电极 57 的保护膜 58。
47、， 通过蚀刻工序使所述漏电极 57 的一部分露出。为了使保护膜 58 平整， 在所述保护膜 58 的 上面还可进一步形成另外的绝缘膜 59。 0095 另外， 所述有机发光元件 （OLED） 用于随着电流的流动， 发出红、 绿、 蓝光， 从而显示 规定的图像信息， 在所述保护膜 58 上形成有第一电极 61。所述第一电极 61 与 TFT 的漏电 极 57 电连接。 0096 此外， 形成覆盖所述第一电极 61 的像素限定膜 60。在该像素限定膜 60 上形成规 定的开口后， 在由该开口限定的区域内形成包括发光层的有机层62。 并且在有机层62的上 部形成第二电极 63。 0097 所述像素限。
48、定膜60用于划分各像素， 由有机物形成， 使形成有第一电极61的基板 表面尤其使保护层 59 的表面平整。 0098 所述第一电极 61 和第二电极 63 彼此绝缘， 对包括发光层的有机层 62 施加不同极 性的电压， 从而使之发光。 0099 所述包括发光层的有机层 62 可使用低分子或高分子有机物。当使用低分子有机 物时， 可由空穴注入层 （HIL ： Hole Injection Layer） 、 空穴传输层 （HTL ： Hole Transport Layer） 、 发光层 （EML ： Emission Layer） 、 电子传输层 （ETL ： Electron Transpor。
49、t Layer） 、 电 子注入层 （EIL ： Electron Injection Layer） 等形成为单层结构或层压形成为复合结构， 可使用的有机材料有多种材料， 主要有 ： 铜酞菁 （CuPc ： copper phthalocyanine） 、 N,N- 二 （萘 -1- 基） -N,N- 二苯基联苯胺 （N,N-Di （naphthalene-1-yl） -N,N-diphenyl-benzidin e ： NPB） 、 三 -8- 羟基喹啉铝 （tris-8-hydroxy quinoline aluminum ： Alq3） 。 0100 在形成这种有机发光膜之后， 可采用同样的沉积工序形成第二电极 63。 0101 另外， 所述第一电极 61 起到阳极作用， 所述第二电极 63 起到阴极作用。当然， 第 说 明。