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1、10申请公布号CN104213092A43申请公布日20141217CN104213092A21申请号201310215089922申请日20130531C23C14/5020060171申请人信利光电股份有限公司地址516600广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋72发明人刘荫桐李建华吕以森林仁鑫陈健74专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人王宝筠54发明名称一种夹具57摘要本发明公开了一种在镀膜工序中用于装夹工件的夹具，包括第一支承杆，第一支承杆上设置有第一支承件；与第一支承杆平行设置的第二支承杆，第二支承杆上设置有第二支承件，第一支承件与第二支承件对应设置以装夹。
2、工件；连接件，第一支承杆与连接件固连，连接件上安装有定位杆，定位杆两端分别设置有定位端头，定位杆的轴线与第一支承杆长度方向的中心线垂直，第二支承杆上设置有安装孔，第二支承杆通过安装孔套设于定位杆上，定位杆上还套设有弹性件，第二支承杆与弹性件均位于两个定位端头之间。本夹具采用框架式结构，不仅节约了材料，而且令工件在加热时受热均匀，从而在对工件进行镀膜成膜时膜就会均匀，提高了产品良率。51INTCL权利要求书1页说明书5页附图3页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书5页附图3页10申请公布号CN104213092ACN104213092A1/1页21一种夹具，在镀膜。
3、工序中用于装夹工件（9），其特征在于，包括第一支承杆（6），所述第一支承杆（6）上设置有第一支承件（7）；与所述第一支承杆（6）平行设置的第二支承杆（4），所述第二支承杆（4）上设置有第二支承件（10），所述第一支承件（7）与所述第二支承件（10）对应设置以装夹所述工件（9）；连接件，所述第一支承杆（6）与所述连接件固连，所述连接件上安装有定位杆（5），所述定位杆两端分别设置有定位端头，所述定位杆（5）的轴线与所述第一支承杆（6）长度方向的中心线垂直，所述第二支承杆（4）上设置有安装孔，所述第二支承杆（4）通过所述安装孔套设于所述定位杆（5）上，所述定位杆（5）上还套设有弹性件（3），所述第二。
4、支承杆（4）与所述弹性件（3）均位于两个所述定位端头之间。2根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述第二支承件（10）为支承轮，所述支承轮的轮轴方向与所述第二支承杆（4）垂直。3根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述第二支承件（10）是用聚醚醚酮或聚四氟乙烯树脂制造而成的支承轮。4根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，还包括与所述第二支承杆（4）平行且固连的托杆（11），所述支承轮固连于所述第二支承杆（4）和所述托杆（11）之间，所述托杆（11）上与所述第一支承杆（6）相对的一个平面为倾斜面（111），并与所述支承轮形成装夹凹槽。5根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述第一支承杆（6。
5、）、所述第二支承杆（4）和所述托杆（11）均为不锈钢SUS316或经镀铬处理的合金钢。6根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述第一支承件（7）为弹性压片，每个所述弹性压片分别与两个或两个以上的所述支承轮对应设置。7根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述第一支承件（7）是经冲压成形后再热处理的不锈钢片。8根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述连接件包括第一连接杆（1）和第二连接杆（8），所述第一支承杆（6）的一端和所述第二支承杆（4）一端分别与所述第一连接杆（1）相连，所述第一支承杆（6）的另一端和所述第二支承杆（4）另一端分别与所述第二连接杆（8）相连。9根据权利要求1所述的夹具，。
6、其特征在于，所述连接件上安装有调节支座（2），所述定位杆（5）安装于所述调节支座（2）上，并且，所述连接件上设置有长形孔，所述调节支座（2）可滑动地设置于所述长形孔内，用于调节所述第一支承杆（6）和所述第二支承杆（4）之间的距离，同时，所述调节支座（2）上设置有用于与所述连接件固连的螺钉。10根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述连接件上设置有多个所述第一支承杆（6），且每个所述第一支承杆（6）分别与一个所述第二支承杆（4）对应布置。权利要求书CN104213092A1/5页3一种夹具技术领域0001本发明涉及触控产品制造领域，特别涉及一种夹具。背景技术0002OGS（ONEGLASSSO。
7、LUTION，单片式触控触摸屏是一种电容式触摸屏的结构，具体为在保护玻璃上直接形成ITO（INDIUMTINOXIDE，氧化铟锡）导电膜及传感器，从而令一块玻璃同时起到保护玻璃和触摸传感器的双重作用。其中，ITO导电膜是指采用磁控溅射的方法在透明有机薄膜材料上溅射透明氧化铟锡导电薄膜镀层，并经高温退火处理得到的高技术产品。低阻抗ITO导电膜可用于对导电性能要求比较高的领域，例如用于薄膜太阳能电池的透明电极、电致变色器件的电极材料或薄膜开关等领域。0003从技术层面来看，OGS技术较之目前主流的G/G（GLASS/GLASS，即双层玻璃）触控技术具备以下优势轻、薄、结构简单且透光性好；由于省掉一。
8、片玻璃基板以及贴合工序，因此利于降低生产成本，并且提高产品良率。但是，目前OGS技术面临感应线路的制程选择、兼做表面玻璃时该有的强度维持与质量稳定性和控制芯片的调校等技术问题，故良率提升困难，使得量产厂商较少。0004目前，OGS产业界还没找到提升生产效率和良率以及解决玻璃强化的好方法，对此，OGS业界一直存在是进行大片镀膜还是小片镀膜的争议。大片镀膜流程是指“玻璃先强化后镀膜”，然后采用激光进行切割加工，但激光切割非常慢而且设备投入成本非常高，激光切割后还要进行金刚砂轮修磨边。小片镀膜流程是指，先将玻璃通过金刚砂刀轮切割加工好所要的形状尺寸，然后再对玻璃进行强化、印刷外边框、镀膜及传感器等制。
9、程。小片镀膜流程中对小片玻璃的强化硬度可以比大片镀膜流程中制得的玻璃更高，但不论是大片镀膜流程还是小片镀膜流程均需要采用溅射镀膜的方式进行真空镀ITO膜、金属膜或绝缘膜。同时，由于真空镀ITO膜、金属膜或绝缘膜时采用溅射镀膜技术，在真空室内的各种控制要求非常精细，因此，良率最难提升的工序就是镀膜工序。0005目前，OGS产业界中采用溅射镀膜技术对玻璃进行镀膜，镀膜时，采用的夹具为铝合金制作的整板式结构，其中，铝合金在真空室内放气量大，产生干扰杂质气体影响镀膜质量，此外，整板式结构的夹具导致镀膜玻璃表面受热不均匀，最终镀膜的总良品率只有30左右。可见，OGS产业界中采用溅射镀膜时镀膜的良率很低，。
10、而且生产成本高居不下，量产受阻。0006因此，如何在对玻璃进行镀膜工序时提升产品良率，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。发明内容0007有鉴于此，本发明提供了一种夹具，通过框架式结构令工件在加热时受热均匀，提高镀膜工艺过程的产品良率。0008为实现上述目的，本发明提供如下技术方案说明书CN104213092A2/5页40009一种夹具，在镀膜工序中用于装夹工件，包括0010第一支承杆，所述第一支承杆上设置有第一支承件；0011与所述第一支承杆平行设置的第二支承杆，所述第二支承杆上设置有第二支承件，所述第一支承件与所述第二支承件对应设置以装夹所述工件；0012连接件，所述第一支承杆与所述连接件。
11、固连，所述连接件上安装有定位杆，所述定位杆两端分别设置有定位端头，所述定位杆的轴线与所述第一支承杆长度方向的中心线垂直，所述第二支承杆上设置有安装孔，所述第二支承杆通过所述安装孔套设于所述定位杆上，所述定位杆上还套设有弹性件，所述第二支承杆与所述弹性件均位于两个所述定位端头之间。0013优选地，在上述夹具中，所述第二支承件为支承轮，所述支承轮的轮轴方向与所述第二支承杆垂直。0014优选地，在上述夹具中，所述第二支承件是用聚醚醚酮或聚四氟乙烯树脂制造而成的支承轮。0015优选地，在上述夹具中，还包括与所述第二支承杆平行且固连的托杆，所述支承轮固连于所述第二支承杆和所述托杆之间，所述托杆上与所述第。
12、一支承杆相对的一个平面为倾斜面，并与所述支承轮形成装夹凹槽。0016优选地，在上述夹具中，所述第一支承杆、所述第二支承杆和所述托杆均为不锈钢SUS或经镀铬处理的合金钢。0017优选地，在上述夹具中，所述第一支承件为弹性压片，每个所述弹性压片分别与两个或两个以上的所述支承轮对应设置。0018优选地，在上述夹具中，所述第一支承件是经冲压成形后再热处理的不锈钢片。0019优选地，在上述夹具中，所述连接件包括第一连接杆和第二连接杆，所述第一支承杆的一端和所述第二支承杆一端分别与所述第一连接杆相连，所述第一支承杆的另一端和所述第二支承杆另一端分别与所述第二连接杆相连。0020优选地，在上述夹具中，所述连。
13、接件上安装有调节支座，所述定位杆安装于所述调节支座上，并且，所述连接件上设置有长形孔，所述调节支座可滑动地设置于所述长形孔内，用于调节所述第一支承杆和所述第二支承杆之间的距离，同时，所述调节支座上设置有用于与所述连接件固连的螺钉。0021优选地，在上述夹具中，所述连接件上设置有多个所述第一支承杆，且每个所述第一支承杆分别与一个所述第二支承杆对应布置。0022从上述的技术方案可以看出，本发明实施例提供的夹具在镀膜工序中用于装夹工件时，第一支承杆、第二支承杆和连接件构成支承框架，并通过调节弹性件的弹性长度调节第一支承杆和第二支承杆之间的距离，从而令第一支承件和第二支承件配合对工件进行装夹。与现有技。
14、术中整板式的夹具相比，本夹具采用框架式结构，即夹具中用于安装工件的位置全部掏空，不仅节约了材料，而且令工件在加热时受热均匀，从而在对工件进行镀膜成膜时膜就会均匀，提高了产品良率。附图说明0023为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现说明书CN104213092A3/5页5有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。0024图1为本发明实施例提供的夹具的正视图；0025图2为本发明实施例提供的夹具的轴测图；0026图3为本发。
15、明实施例提供的夹具的局部结构示意图。0027其中，1为第一连接杆，2为调节支座，3为弹性件，4为第二支承杆，5为定位杆，6为第一支承杆，7为第一支承件，8第二连接杆，9为工件，10为第二支承件，11为托杆，111为倾斜面，12为第三连接杆。具体实施方式0028本发明公开了一种夹具，通过框架式结构令工件在加热时受热均匀，提高镀膜工艺过程的产品良率。0029下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本。
16、发明保护的范围。0030请参阅图1图3，图1为本发明实施例提供的夹具的正视图，图2为本发明实施例提供的夹具的轴测图，图3为本发明实施例提供的夹具的局部结构示意图。0031本发明实施例提供的夹具，在镀膜工序中用于装夹工件9，包括第一支承杆6、第二支承杆4和连接件，其中，第一支承杆6上设置有第一支承件7，第二支承杆4上设置有第二支承件10，第二支承杆4与第一支承杆6平行设置，第一支承件7与第二支承件10对应设置以装夹工件9（定位和夹紧的整个过程合起来称为“装夹”），第一支承杆6与连接件固连，连接件上安装有定位杆5，定位杆5两端分别设置有定位端头，定位杆5的轴线与第一支承杆6长度方向的中心线垂直，第。
17、二支承杆4上设置有安装孔，第二支承杆4通过安装孔套设于定位杆5上，定位杆5上还套设有弹性件3，第二支承杆4与弹性件3均位于两个定位端头之间。0032其中，弹性件3可以是压缩弹簧、拉伸弹簧或簧片等，此处优选为压缩弹簧；定位杆5可以是螺栓、螺柱或其它杆状连接件，此处优选为螺栓；定位杆5两端的定位端头可以是螺栓的端头和螺母，也可以是固连于螺杆两端的螺母，或其它定位结构。本领域技术人员对此可以进行多种设计，故本发明对上述具体连接结构不作具体限定。0033本发明实施例提供的夹具在镀膜工序中用于装夹工件9时，第一支承杆6、第二支承杆4和连接件构成支承框架，并通过调节弹性件3的弹性形变调节第一支承杆6和第二。
18、支承杆4之间的距离，从而令第一支承杆6和第二支承杆4配合对工件9进行装夹。在将工件9装夹在夹具上时，具体操作为扳动第二支撑杆4，压缩（或拉伸）弹性件3，从而扩大第一支承杆6和第二支承杆4之间的距离，再将工件9放到第一支承件7和第二支承件10之间，然后松开第二支撑杆4，弹性件3复原，从而夹紧工件9。与现有技术中整板式的夹具相比，本夹具采用框架式结构，即夹具中用于安装工件9的位置全部掏空，使装在夹具上的工件镀膜面及背面不受遮挡，在真空室内此装夹方式令工件9受热均匀。在保证夹具强度的说明书CN104213092A4/5页6前提下，本夹具用的材料大幅减少，从而由夹具材料带入真空室的杂质气体相应大幅减少。
19、，不仅节约了制造夹具的材料，而且令工件9在加热时受热均匀，从而在对工件9进行镀膜成膜时膜就会均匀，提高了产品良率。0034本发明提供的一个具体实施例中，如图1所示，第二支承件10为支承轮，以便于减小支撑件与工件之间的接触面积，利于受热均匀，且避免夹具对工件9的镀膜位置产生影响。其中，支承轮的轮轴方向与第二支承杆4垂直，并且，支承轮通过托杆11安装到第二支承杆4上。具体如图3所示，托杆11与第二支承杆4平行，支承轮位于第二支承杆4和托杆11之间，托杆11、支承轮和第二支承杆4通过螺栓紧固连接。进一步地，托杆11上与第一支承杆6相对的一个平面为倾斜面111，并与支承轮形成装夹凹槽，以对工件9进行方。
20、便且可靠地定位。其中，优选第二支承件10是用PEEK（POLYETHERETHERKETONE，聚醚醚酮）或铁氟龙制造而成的支承轮。PEEK即聚醚醚酮，铁氟龙即聚四氟乙烯树脂，聚醚醚酮和聚四氟乙烯树脂均具有自润滑性和易加工性，而且均具有较高的耐热性，在高温下不易挥发出气体。0035此外，如图1和图2所示，第一支承件7为弹性压片，每个弹性压片分别与两个或两个以上的支承轮对应设置。具体地，弹性压片的中心固连到第一支承杆6上，且弹性压片的两端分别为用于夹装工件9的弹性端。优选第一支承件7是经冲压成形后再热处理的不锈钢片，进一步地，优选第一支承杆6、第二支承杆4和托杆11均为不锈钢SUS316或经镀铬。
21、处理的合金钢。其中，不锈钢SUS316的塑性、韧性、冷变性和焊接工艺性能均良好，而且高温强度较好。0036可见，本发明提供的夹具通过科学的选材，使得夹具在真空室内溅射镀膜时不会产生干扰镀膜工艺的杂质气体。并且本夹具的结构采用框架式构造，材料用量很少，材料本身表面吸附及内藏的杂质气体一氧化碳、二氧化碳、氧气等非常少，不干扰溅射靶材溅射出来的粒子产生。在一个具体实施例中，工件9为需要镀膜的玻璃，此时，夹具夹压玻璃两端的部位保持线接触状态，玻璃加热及镀膜的粒子受阻挡的机会降到最少，在玻璃表面成膜处均匀，同时也有利玻璃受热均匀。从而，在镀膜时，夹具与玻璃的接触部位不影响靶材溅射出来的粒子打向基片成膜。。
22、在同样的镀膜线上用此夹具使镀膜工序总良品率大幅提升由原来的约30升到约65以上，为量产打下了基础。但本领域技术人员容易理解的是，本发明在上述实施例中，对第二支承件10和第一支承件7的具体设计方案并不局限于此例如，第二支承件10还可以为球形零件或柱形零件等其他形状，而且第二支承件10的安装方式还可以是直接与第二支承杆4进行卡接；例如，第一支承件7还可以是一端固连到第一支承杆6上且另一端为用于夹装工件9的弹性端；此外，第一支承件7和第二支承件10还可以均设置为支承轮的形式。由于工件11的尺寸有不同的误差，用于压紧工件11两端的支承件要作成弹性，上述实施例中将第一支承件7和第二支承件10分别设置为支。
23、承轮和弹性压片的形式，可以防止正偏差尺寸的工件装夹后，造成负偏差尺寸的工件受到夹紧力不够而松动。但是，本发明对此并不做具体限定。0037在上述实施例中，连接件包括第一连接杆1和第二连接杆8，第一支承杆6的一端和第二支承杆4一端分别与第一连接杆1相连，第一支承杆6的另一端和第二支承杆4另一端分别与第二连接杆8相连。为了进一步保证夹具的紧固结构，第一连接杆1与第二连接杆8之间还通过第三连接杆12固连，如图1所示，第三连接杆12的两端分别与第一连接杆1与第二连接杆8固连。但是，本领域技术人员容易想到其它的将第一支承杆6和第二说明书CN104213092A5/5页7支承杆4固连的方式，例如，第一连接杆。
24、1和第二连接杆8交错地设置于第一支承杆6和第二支承杆4的中间段，以对第一支承杆6和第二支承杆4的相对位置进行固定即可，同时再将第一支承件7和第二支承件10分别设置在第一支承杆6和第二支承杆4上。因此，本发明对此并不做具体限定。0038为了进一步优化上述技术方案，第一连接杆1和第二连接杆8上分别安装有调节支座2，定位杆5安装于调节支座2上，并且，第一连接杆1和第二连接杆8上分别设置有长形孔，调节支座2可滑动地设置于长形孔内，用于调节第一支承杆6和第二支承杆4之间的距离，同时，调节支座2上设置有用于与第一连接杆1或第二连接杆8固连的螺钉。从而，夹具可根据需要调节第一支承杆6和第二支承杆4之间的距离。
25、，以装夹不同规格尺寸的工件9，并且，根据夹具上设置的第二支承件10和第一支承件7的数量，同一规格的玻璃可装夹一片到多片。0039为了进一步优化上述技术方案，连接件上设置有多个第一支承杆6，且每个第一支承杆6分别与一个第二支承杆4对应布置，即连接件上设置有多对对应设置的第一支承杆6和第二支承杆4，从而装夹更多的工件9同时进行镀膜工艺，提高生产效率。进一步地，第一支承杆6和第二支承杆4分别通过螺钉与连接件可拆卸连接，从而通过拆卸相应的第一支承杆6和第二支承杆4，进一步适应对尺寸更大的工件9进行装夹。但是本领域技术人员容易理解的是，第一支承杆6和第二支承杆4分别与连接件可拆卸连接的方式有多种，并不局。
26、限于螺钉连接，还可以为螺栓连接、卡扣紧固或铆接等。此外，在夹具中，某些位置的第一支承杆6或第二支承杆4与连接件之间的连接也可为不可拆卸的，例如位于夹具最上端的第一支承杆6与连接件之间的连接。因此，本发明对此并不做具体限定。0040对于本发明实施例提供的夹具，可应用于OGS产业界中采用溅射镀膜技术对玻璃进行镀膜的工艺中，尤其针对中小片OGS玻璃（15以下）在真空镀ITO膜、金属膜、绝缘膜时装夹玻璃用，以提高产品良率。0041对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。说明书CN104213092A1/3页8图1说明书附图CN104213092A2/3页9图2说明书附图CN104213092A3/3页10图3说明书附图CN104213092A10。