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1、(10)申请公布号 CN 103909072 A (43)申请公布日 2014.07.09 CN 103909072 A (21)申请号 201310005120.6 (22)申请日 2013.01.07 B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/00(2006.01) (71)申请人 台湾暹劲股份有限公司 地址 中国台湾台中市 (72)发明人 邱文国 林良镇 (74)专利代理机构 北京科龙寰宇知识产权代理 有限责任公司 11139 代理人 孙皓晨 (54) 发明名称 电子元件清洗装置及其应用的作业设备 (57) 摘要 一种电子元件清洗装置，。
2、 在清洗槽配置有转 向机构、 承载机构及喷洒机构， 该转向机构具有至 少一基座， 并设有可驱动基座翻转变换方向的第 一驱动源， 该承载机构设有至少一供承置电子元 件的承置台， 该承置台并装配于转向机构的基座 上， 该承置台连结有驱动旋转的第二驱动源， 该喷 洒机构位于承载机构的下方， 并设有至少一可喷 洒流体的喷洒器， 用于对承置台上的电子元件喷 洒流体。 清洗作业时， 可利用转向机构带动承置台 翻转呈非朝上方向， 供喷洒机构对承置台上的电 子元件喷洒清洗流体， 不仅可以承置台自身旋转 的离心力将附着于电子元件上的流体及杂质向外 甩出， 并可利用承置台的摆置角度， 使流体及杂质 直接向下掉落，。
3、 提升清洗使用效能及缩减作业时 间。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 5 页 附图 8 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书5页 附图8页 (10)申请公布号 CN 103909072 A CN 103909072 A 1/1 页 2 1. 一种电子元件清洗装置， 其特征在于， 包含 ： 清洗槽 ； 转向机构 ： 装配于清洗槽， 并具有至少一基座， 以及设有能够驱动该基座翻转变换方向 的第一驱动源 ； 承载机构 ： 设有至少一供承置电子元件的承置台， 该承置台装设于转向机构的基座上， 在清洗作业时， 由转向机构的基座带动翻转。
4、呈非朝上方向， 该承置台连结有驱动旋转的第 二驱动源 ； 喷洒机构 ： 装配于清洗槽， 设有至少一能够喷洒流体的喷洒器， 该喷洒器对承载机构的 承置台上的电子元件喷洒流体。 2. 根据权利要求 1 所述的电子元件清洗装置， 其特征在于， 该清洗槽设有至少一排放 口， 用于排放清洗用的流体。 3. 根据权利要求 1 所述的电子元件清洗装置， 其特征在于， 该转向机构的第一驱动源 在清洗槽的外部以支撑架架设有马达， 该马达以传动结构驱动至少一位于清洗槽内部的基 座翻转。 4. 根据权利要求 3 所述的电子元件清洗装置， 其特征在于， 该转向机构的传动结构在 清洗槽的内部两侧以轴承座架设有旋转轴， 。
5、在该旋转轴装设有至少一基座， 旋转轴连结马 达。 5. 根据权利要求 1 所述的电子元件清洗装置， 其特征在于， 该承载机构的第二驱动源 在转向机构的基座底部装设有马达， 该马达连结至少一传动组， 该传动组连结驱动一穿伸 出基座的转轴旋转作动， 该转轴的一端装配有承置台。 6. 根据权利要求 5 所述的电子元件清洗装置， 其特征在于， 该承载机构的传动组是皮 带轮组。 7. 根据权利要求 1 所述的电子元件清洗装置， 其特征在于， 该承载机构的承置台设有 定位结构， 用于定位电子元件。 8. 根据权利要求 7 所述的电子元件清洗装置， 其特征在于， 该承载机构的定位结构于 承置台设有至少一吸附。
6、件或夹扣件。 9. 根据权利要求 1 所述的电子元件清洗装置， 其特征在于， 该喷洒机构设有第一喷洒 器及第二喷洒器， 用于对电子元件喷洒流体。 10. 一种应用电子元件清洗装置的作业设备， 其特征在于， 包含 ： 机台 ； 至少一置料装置 ： 装配于机台上， 用于容置电子元件 ； 作业装置 ： 装配于机台上， 用于对电子元件执行预设作业 ； 如权利要求 1 所述的电子元件清洗装置 ： 用于清洗电子元件 ； 移料装置 ： 装置于机台上， 用于移载电子元件 ； 中央控制装置 ： 用于控制及整合各装置作动， 以执行自动化作业。 权 利 要 求 书 CN 103909072 A 2 1/5 页 3 。
7、电子元件清洗装置及其应用的作业设备 技术领域 0001 本发明提供一种可使承置电子元件的承置台摆置呈非朝上方向， 以供喷洒机构对 电子元件喷洒清洗流体时， 可使流体及杂质直接向下掉落， 进而提升清洗使用效能及缩减 作业时间的电子元件清洗装置。 背景技术 0002 在现今， 电子元件 （例如晶圆） 在制作过程中， 电子元件的表面均会附着有杂质、 污 垢等， 而影响电子元件的洁净度及品质， 为避免影响电子元件的制作合格率及品质， 业者以 清洗装置清洗附着于电子元件表面的杂质等， 以晶圆为例， 必须历经多道制程， 导致晶圆的 表面会附着杂质、 微粒或化合物等， 因此， 晶圆于不同制程的前后， 必须执。
8、行清洗表面作业， 例如将整片晶圆切割成复数个晶片后， 也或晶圆在进入热炉管以进行扩散或氧化制程前， 均需以清洗装置清洗晶圆， 以去除晶圆表面的杂质、 微粒或化合物等， 再将晶圆除湿干燥， 使得晶圆的表面具有高洁净度， 以提升晶圆制作品质。 0003 请参阅图1， 是一种晶圆清洗装置， 其于机台11上设有一上方具有开口121的清洗 槽 12， 该清洗槽 12 的底面一侧设有排放管 13， 用于排出清洗流体， 一装配固设于机台 11 上 的承载机构14， 其设有一由马达141驱动的旋转轴142， 旋转轴142的一端穿伸于清洗槽12 内， 并装配有可承置待清洗晶圆 15 的承置台 143， 一位于承。
9、载机构 14 上方的喷管 16， 用于 喷洒清洗流体 （如离子水或气体等） ； 于执行清洗晶圆 15 作业时， 可将待清洗的晶圆 15 放置 于承置台 143 上， 该承置台 143 即真空吸附待清洗的晶圆 15 定位， 承载机构 14 的马达 141 驱动旋转轴 142 旋转， 令旋转轴 142 带动承置台 143 及待清洗的晶圆 15 同步转动， 该喷管 16对承置台143上的待清洗晶圆15喷洒清洗流体， 以清洗附着于晶圆15表面的杂质、 微粒 或化合物等， 再利用承置台 143 旋转的离心力将晶圆 15 表面的清洗流体及杂质向外甩出， 清洗流体则经由排放管 13 排出 ； 然而， 由于承。
10、载待清洗晶圆 15 的承置台 143 朝向上方， 易 使喷管 16 喷洒的清洗流体滞留于待清洗的晶圆 15 上， 该清洗装置仅利用承置台 143 旋转 的离心力将附着于晶圆 15 上的流体及杂质甩出， 其旋干效率有限， 并增加作业时间， 再者， 承置台 143 带动晶圆 15 旋转时， 自晶圆 15 上被旋转甩出的清洗流体会撞击到清洗槽 12 的 内壁面， 而又喷溅回晶圆15的表面， 致使晶圆15无法迅速旋干表面， 不仅干燥效率不佳， 也 增加干燥作业时间， 造成降低生产效能的缺失。 发明内容 0004 针对现有技术的不足， 本发明的目的在于 ： 提供一种电子元件清洗装置， 解决现有 技术使晶。
11、圆无法迅速旋干表面， 不仅干燥效率不佳， 也增加干燥作业时间， 造成降低生产效 能的缺失。 0005 为实现上述目的， 本发明采用的技术方案是 ： 一种电子元件清洗装置， 其特征在 于， 包含 ： 0006 清洗槽 ； 说 明 书 CN 103909072 A 3 2/5 页 4 0007 转向机构 ： 装配于清洗槽， 并具有至少一基座， 以及设有能够驱动该基座翻转变换 方向的第一驱动源 ； 0008 承载机构 ： 设有至少一供承置电子元件的承置台， 该承置台装设于转向机构的基 座上， 在清洗作业时， 由转向机构的基座带动翻转呈非朝上方向， 该承置台连结有驱动旋转 的第二驱动源 ； 0009 。
12、喷洒机构 ： 装配于清洗槽， 设有至少一能够喷洒流体的喷洒器， 该喷洒器对承载机 构的承置台上的电子元件喷洒流体。 0010 所述的电子元件清洗装置中， 该清洗槽设有至少一排放口， 用于排放清洗用的流 体。 0011 所述的电子元件清洗装置中， 该转向机构的第一驱动源在清洗槽的外部以支撑架 架设有马达， 该马达以传动结构驱动至少一位于清洗槽内部的基座翻转。 0012 所述的电子元件清洗装置中， 该转向机构的传动结构在清洗槽的内部两侧以轴承 座架设有旋转轴， 在该旋转轴装设有至少一基座， 旋转轴连结马达。 0013 所述的电子元件清洗装置中， 该承载机构的第二驱动源在转向机构的基座底部装 设有马。
13、达， 该马达连结至少一传动组， 该传动组连结驱动一穿伸出基座的转轴旋转作动， 该 转轴的一端装配有承置台。 0014 所述的电子元件清洗装置中， 该承载机构的传动组是皮带轮组。 0015 所述的电子元件清洗装置中， 该承载机构的承置台设有定位结构， 用于定位电子 元件。 0016 所述的电子元件清洗装置中， 该承载机构的定位结构于承置台设有至少一吸附件 或夹扣件。 0017 所述的电子元件清洗装置中， 该喷洒机构设有第一喷洒器及第二喷洒器， 用于对 电子元件喷洒流体。 0018 为实现上述目的， 本发明采用的技术方案是 ： 0019 一种应用电子元件清洗装置的作业设备， 其特征在于， 包含 ：。
14、 0020 机台 ； 0021 至少一置料装置 ： 装配于机台上， 用于容置电子元件 ； 0022 作业装置 ： 装配于机台上， 用于对电子元件执行预设作业 ； 0023 上述电子元件清洗装置 ： 用于清洗电子元件 ； 0024 移料装置 ： 装置于机台上， 用于移载电子元件 ； 0025 中央控制装置 ： 用于控制及整合各装置作动， 以执行自动化作业。 0026 与现有技术相比较， 本发明具有的有益效果是 ： 0027 本发明提供一种电子元件清洗装置， 在清洗作业时， 可利用转向机构带动承置台 翻转呈非朝上方向， 供喷洒机构对承置台上的电子元件喷洒清洗流体， 不仅可以承置台自 身旋转的离心力。
15、将附着于电子元件上的流体及杂质向外甩出， 并可利用承置台的摆置角 度， 使流体及杂质直接向下掉落， 达到提升清洗使用效能及缩减作业时间的实用效益。 0028 本发明提供一种电子元件清洗装置， 其在清洗槽配置有转向机构、 承载机构及喷 洒机构， 该转向机构的第一驱动源带动承置电子元件的承置台翻转呈非朝上方向， 于承置 台带动电子元件旋转时， 自电子元件上被旋转甩出的清洗流体撞击到清洗槽的内壁面， 并 说 明 书 CN 103909072 A 4 3/5 页 5 不会喷溅回电子元件的表面， 而会直接掉落于清洗槽的内底面， 进而可使电子元件迅速旋 干表面， 以缩减干燥作业时间， 达到提升干燥使用效能。
16、的实用效益。 0029 本发明提供一种电子元件清洗装置， 其在清洗槽配置有转向机构、 承载机构及喷 洒机构， 当转向机构的第一驱动源带动承置电子元件的承置台翻转呈非朝上方向时， 可使 附着于电子元件上的部份粉尘杂质直接向下掉落， 以减少电子元件上的杂质， 进而缩减清 洗作业时间， 达到提升清洗使用效能的实用效益。 0030 本发明提供一种应用电子元件清洗装置的作业设备， 包含机台、 至少一置料装置、 作业装置、 清洗装置、 移料装置， 以及用于控制整合各装置作动而执行自动化作业之中央控 制装置， 该置料装置装配于机台上， 用于容置电子元件， 该作业装置装配于机台上， 用于对 电子元件执行预设作。
17、业， 该移料装置装配于机台上， 用于移载电子元件， 该清洗装置于清洗 槽配置有转向机构、 承载机构及喷洒机构， 用于清洗电子元件， 达到提升清洗使用效能及缩 减作业时间的实用效益。 附图说明 0031 图 1 是现有晶圆清洗装置的示意图 ； 0032 图 2 是本发明电子元件清洗装置的示意图 ； 0033 图 3 是本发明电子元件清洗装置的使用示意图 （一） ； 0034 图 4 是本发明电子元件清洗装置的使用示意图 （二） ； 0035 图 5 是本发明电子元件清洗装置的使用示意图 （三） ； 0036 图 6 是本发明电子元件清洗装置的使用示意图 （四） ； 0037 图 7 是本发明电子。
18、元件清洗装置的使用示意图 （四） ； 0038 图 8 是本发明电子元件清洗装置应用于作业设备的示意图。 0039 附图标记说明 ： 机台 11 ； 清洗槽 12 ； 开口 121 ； 排放管 13 ； 承载机构 14 ； 马达 141 ； 旋转轴 142 ； 承置台 143 ； 晶圆 15 ； 喷管 16 ； 清洗装置 20 ； 清洗槽 21 ； 排放口 211 ； 转向机 构 22 ； 支撑架 221 ； 马达 222 ； 轴承座 223 ； 旋转轴 224 ； 基座 225 ； 承载机构 23 ； 马达 231 ； 皮 带轮组232 ； 转轴233 ； 承置台234 ； 吸附件235 ；。
19、 扣具236 ； 喷洒机构24 ； 第一喷洒器241 ； 第 二喷洒器 242 ； 晶圆 30 ； 机台 40 ； 作业装置 50 ； 第一置料装置 60 ； 第二置料装置 70 ； 移料装 置 80。 具体实施方式 0040 为使贵审查委员对本发明作更进一步的了解， 兹举一较佳实施例并配合图式， 详 述如后 ： 0041 请参阅图 2， 本发明电子元件清洗装置 20 包含清洗槽 21、 转向机构 22、 承载机构 23 及喷洒机构 24， 该清洗槽 21 是一内部具容置空间的容器， 并于侧板或底板设有至少一 排放口， 用于排放清洗用的流体， 于本实施例中， 该清洗槽 21 是一上开口式的中空。
20、容器， 并 开设有排放口 211， 用于排出清洗用的流体 ； 该转向机构 22 具有至少一基座， 并设有可驱动 基座翻转变换方向的第一驱动源， 于本实施例中， 第一驱动源于清洗槽 21 的外部以支撑架 221 架设有马达 222， 马达 222 以传动结构驱动至少一位于清洗槽 21 内部的基座旋转， 于本 实施例中， 该传动结构于清洗槽 21 的内部两侧以轴承座 223 架设有旋转轴 224， 并于旋转 说 明 书 CN 103909072 A 5 4/5 页 6 轴 224 上装设有至少一基座 225， 另该旋转轴 224 的一端连结马达 222， 使马达 222 可经由 旋转轴 224 而。
21、带动基座 225 旋转 ； 该承载机构 23 设有至少一供承置电子元件的承置台， 该 承置台并装配于转向机构 22 的基座 225 上， 以于清洗作业时， 由转向机构 22 的基座 225 带 动翻转呈非朝上方向， 另该承置台连结有驱动旋转的第二驱动源， 于本实施例中， 第二驱动 源于转向机构 22 的基座 225 底部设有马达 231， 马达 231 以一为皮带轮组 232 的传动组连 结驱动一穿伸出基座 225 的转轴 233 旋转作动， 转轴 233 的一端则装配有承置台 234， 承置 台 234 设有定位结构， 用于定位待清洗的电子元件， 更进一步， 该定位结构可于承置台 234 设。
22、有吸附件， 而以真空吸附方式定位待清洗的电子元件， 也或于承置台 234 的周侧装设有 夹扣件， 用于夹持定位待清洗的电子元件， 于本实施例中， 定位结构于承置台 234 设有吸附 件 235， 用于真空吸附待清洗的电子元件定位， 并于顶面的周侧设有复数个为扣具 236 的夹 扣件， 用于夹掣待清洗的电子元件定位 ； 该喷洒机构 24 位于承载机构 23 的下方， 并设有至 少一可喷洒流体的喷洒器， 用于对承置台 234 上的电子元件喷洒流体， 于本实施例中， 于清 洗槽21的内部且位于承载机构23的下方处设有第一喷洒器241及第二喷洒器242， 第一喷 洒器 241 对承置台 234 上的待。
23、清洗电子元件喷洒清洗流体 （如离子水） ， 用于清洗电子元件， 第二喷洒器 242 对承置台 234 上的待清洗电子元件喷洒干燥流体 （如干燥用的气体） ， 用于 干燥电子元件。 0042 请参阅图 3， 该清洗装置 20 应用于清洗晶圆 30， 由于承载机构 23 的承置台 234 朝 向上方， 而可供移料装置 （图未示出） 将待清洗的晶圆 30 放置于承置台 234 的吸附件 235 上， 承置台234以吸附件235真空吸附待清洗的晶圆30， 并以复数个扣具236将待清洗的晶 圆 30 夹扣定位 ； 请参阅图 4， 于待清洗的晶圆 30 定位于承置台 234 后， 转向机构 22 以马达 。
24、222 驱动旋转轴 224 转动， 旋转轴 224 即带动基座 225 及承置台 234 翻转作动， 令承置待清 洗晶圆 30 的承置台 234 翻转呈朝向下方， 使待清洗的晶圆 30 面对于喷洒机构 24， 由于待 清洗的晶圆 30 朝向下方， 而可使附着于晶圆 30 上的部份粉尘杂质利用重力作用而掉落于 清洗槽 21， 以减少待清洗晶圆 30 上的杂质 ； 请参阅图 5， 该承载机构 23 的马达 231 经由皮 带轮组 232 驱动转轴 233 转动， 该转轴 233 带动承置台 234 及待清洗的晶圆 30 同步旋转， 该喷洒机构 24 以第一喷洒器 241 对旋转中的待清洗晶圆 30。
25、 喷洒清洗流体， 以清洗附着于 晶圆30表面上的杂质、 微粒或化合物等， 并使晶圆30利用旋转的离心力将流体及杂质向外 甩出， 由于待清洗的晶圆30朝向下方， 当部份被甩出的清洗流体撞击到清洗槽21的内壁面 时， 并不会喷溅回晶圆 30 上， 而会直接向下流入至清洗槽 21 的内底面， 再由清洗槽 21 的排 放口 211 排出 ； 请参阅图 6， 于清洗晶圆 30 完毕后， 喷洒机构 24 的第一喷洒器 241 停止喷 洒清洗流体， 并以第二喷洒器 242 对晶圆 30 喷洒干燥流体， 用于吹干晶圆 30， 由于承载机 构 23 的转轴 233 仍带动承置台 234 及晶圆 30 旋转， 而。
26、可持续利用离心力将表面的清洗流 体向外甩出， 进而迅速将晶圆 30 上的清洗流体甩干， 以缩短干燥作业时间， 达到提升干燥 效能的实用效益 ； 请参阅图 7， 于晶圆 30 干燥后， 该转向机构 22 的马达 222 经由旋转轴 224 带动基座 225 及承置台 234 翻转作动， 令承置台 234 翻转朝向上方， 使已清洗的晶圆 30 朝 向上方， 以供取料。 0043 请参阅图8， 本发明的清洗装置20应用于作业设备， 以切割设备为例， 其于机台40 配置有作业装置 50、 第一置料装置 60、 第二置料装置 70、 清洗装置 20、 移料装置 80， 以及用 于控制整合各装置作动而执行。
27、自动化作业之中央控制装置， 该移料装置 80 于第一置料装 说 明 书 CN 103909072 A 6 5/5 页 7 置60处取出待切割的电子元件 （如晶圆） ， 并移载至作业装置50处， 作业装置50对电子元件 执行切割作业， 于切割完毕后， 移料装置 80 将已切割的电子元件移载至清洗装置 20 处， 清 洗装置 20 清洗电子元件完毕后， 移料装置 80 则将已清洗的电子元件移载至第二置料装置 70 处收置， 中央控制装置用于控制及整合各装置作动， 以执行自动化作业， 达到提升作业效 能的实用效益。 说 明 书 CN 103909072 A 7 1/8 页 8 图 1 说 明 书 附。
28、 图 CN 103909072 A 8 2/8 页 9 图 2 说 明 书 附 图 CN 103909072 A 9 3/8 页 10 图 3 说 明 书 附 图 CN 103909072 A 10 4/8 页 11 图 4 说 明 书 附 图 CN 103909072 A 11 5/8 页 12 图 5 说 明 书 附 图 CN 103909072 A 12 6/8 页 13 图 6 说 明 书 附 图 CN 103909072 A 13 7/8 页 14 图 7 说 明 书 附 图 CN 103909072 A 14 8/8 页 15 图 8 说 明 书 附 图 CN 103909072 A 15 。