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1、(10)申请公布号 CN 104203467 A (43)申请公布日 2014.12.10 CN 104203467 A (21)申请号 201280072256.2 (22)申请日 2012.04.09 B23B 51/00(2006.01) B23B 27/14(2006.01) B23C 5/16(2006.01) (71)申请人 OSG 株式会社 地址 日本爱知县 (72)发明人 樱井正俊 户井原孝臣 (74)专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专 利商标事务所 11038 代理人 吕林红 (54) 发明名称 切削工具用硬质被膜及硬质被膜被覆切削工 具 (57) 摘要 本发明提供优越的。
2、耐磨性及耐熔敷性兼备的 切削工具用硬质被膜及硬质被膜被覆切削工具。 是第 1 被膜层 (24) 和第 2 被膜层 (26) 交替地层 叠2层以上的多层膜 ； 第1被膜层(24)由AgaCu1-a 构成 ； 第 2 被膜层 (26) 由包含 IVa 族元素、 Va 族 元素、 VIa 族元素、 Al 及 Si 中的至少 1 种元素的 氮化物、 氧化物、 碳化物、 碳氮化物或硼化物构成 ； 涉及第 1 被膜层 (24) 的原子比 a 处在 0.2 以上 0.4以下的范围内 ； 第1被膜层(24)与第2被膜层 (26) 的层叠周期 (d3) 处在 0.2nm 以上 100nm 以 下的范围内 ； 而。
3、且， 总膜厚 (D) 处在 0.2m 以上 10.0m 以下的范围内。所以， 通过在被膜中含有 Ag， 能够使摩擦系数及切削阻力减轻， 获得润滑性 及耐熔敷性优越并且高硬度的被膜。 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.10.09 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2012/059738 2012.04.09 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2013/153614 JA 2013.10.17 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 6 页 附图 4 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (1。
4、0)申请公布号 CN 104203467 A CN 104203467 A 1/1 页 2 1. 一种切削工具用硬质被膜， 被覆设置在切削工具的表面上 ； 其特征在于 ： 是第 1 被膜层和第 2 被膜层交替地层叠 2 层以上的多层膜 ； 该第 1 被膜层由 AgaCu1-a构成 ； 该第 2 被膜层由包含 IVa 族元素、 Va 族元素、 VIa 族元素、 Al 及 Si 中的至少 1 种元素 的氮化物、 氧化物、 碳化物、 碳氮化物或硼化物构成 ； 涉及上述第 1 被膜层的原子比 a 处在 0.2 以上 0.4 以下的范围内 ； 上述第 1 被膜层与上述第 2 被膜层的层叠周期处在 0.2。
5、nm 以上 100nm 以下的范围内 ； 而且， 总膜厚处在 0.2m 以上 10.0m 以下的范围内。 2. 一种硬质被膜被覆切削工具， 其特征在于 ： 该硬质被膜被覆切削工具在表面上被覆 设置了权利要求 1 所述的切削工具用硬质被膜。 权 利 要 求 书 CN 104203467 A 2 1/6 页 3 切削工具用硬质被膜及硬质被膜被覆切削工具 技术领域 0001 本发明涉及一种被覆设置在切削工具的表面上的切削工具用硬质被膜及设置了 该硬质被膜的硬质被膜被覆切削工具， 特别是涉及用于使耐磨性及耐熔敷性都提高的改 良。 背景技术 0002 在钻头、 螺丝攻等切削工具上， 为了使耐磨性提高而被。
6、覆设置硬质被膜。 作为此切 削工具用硬质被膜， 广泛使用 TiN 系、 TiCN 系、 TiAlN 系及 AlCrN 系的涂层， 为了进一步使其 性能提高， 不断地在谋求改良。例如， 记载于专利文献 1 的硬质层叠被膜就是如此。 0003 现有技术文献 0004 专利文献 0005 专利文献 1: 日本特开 2010-76082 号公报 发明内容 0006 发明所要解决的课题 0007 然而， 根据上述那样的现有技术形成了硬质被膜的切削工具， 当进行其切削加工 时， 根据被切削材料的种类、 切削条件， 存在耐熔敷性变得不充分的危险。即 , 有时会因被 切削材料的熔敷等造成工具的寿命变短， 存在。
7、改良的余地。 因此， 要求开发优越的耐磨性及 耐熔敷性兼备的切削工具用硬质被膜及硬质被膜被覆切削工具。 0008 本发明就是将以上的情况作为背景作出的， 其目的在于提供一种优越的耐磨性及 耐熔敷性兼备的切削工具用硬质被膜及硬质被膜被覆切削工具。 0009 用于解决课题的技术手段 0010 为了达到这样的目的， 本发明第 1 发明的要旨是， 一种被覆设置在切削工具的表 面上的切削工具用硬质被膜 ； 该切削工具用硬质被膜的特征在于 ： 是第 1 被膜层和第 2 被 膜层交替地层叠 2 层以上的多层膜 ； 该第 1 被膜层， 由 AgaCu1-a构成 ； 该第 2 被膜层， 由包含 IVa 族元素、。
8、 Va 族元素、 VIa 族元素、 Al 及 Si 中的至少 1 种元素的氮化物、 氧化物、 碳化物、 碳氮化物或硼化物构成 ； 涉及上述第 1 被膜层的原子比 a 处在 0.2 以上 0.4 以下的范围内 ； 上述第 1 被膜层与上述第 2 被膜层的层叠周期处在 0.2nm 以上 100nm 以下的范围内 ； 而且， 总膜厚处在 0.2m 以上 10.0m 以下的范围内。 0011 发明的效果 0012 这样根据上述第 1 发明， 是第 1 被膜层和第 2 被膜层交替地层叠 2 层以上的多层 膜 ； 该第 1 被膜层， 由 AgaCu1-a构成 ； 该第 2 被膜层， 由包含 IVa 族元素。
9、、 Va 族元素、 VIa 族元 素、 Al 及 Si 中的至少 1 种元素的氮化物、 氧化物、 碳化物、 碳氮化物或硼化物构成 ； 涉及上 述第1被膜层的原子比a处在0.2以上0.4以下的范围内 ； 上述第1被膜层与上述第2被膜 层的层叠周期处在0.2nm以上100nm以下的范围内 ； 而且， 总膜厚处在0.2m以上10.0m 以下的范围内。所以， 通过在被膜中含有 Ag， 能够使摩擦系数及切削阻力减轻， 获得润滑性 说 明 书 CN 104203467 A 3 2/6 页 4 及耐熔敷性优越并且高硬度的被膜。即 , 能够提供优越的耐磨性及耐熔敷性兼备的切削工 具用硬质被膜。 0013 从属。
10、于上述第 1 发明的本发明第 2 发明的要旨是， 在表面上被覆设置上述第 1 发 明的切削工具用硬质被膜的硬质被膜被覆切削工具。 如果这样做， 通过在被膜中含有Ag， 能 够使摩擦系数及切削阻力减轻， 获得润滑性及耐熔敷性优越并且高硬度的被膜。即 , 能够 提供优越的耐磨性及耐熔敷性兼备的硬质被膜被覆切削工具。 附图说明 0014 图 1 是从与轴心垂直的方向观看的作为本发明的硬质被膜被覆切削工具的一实 施例的钻头的正面图。 0015 图 2 是从设置切削刃的前端侧观看图 1 所示钻头的放大仰视图。 0016 图 3 是图 1 的钻头的主体的表面附近的放大剖视图， 是例示作为本发明的切削工 具。
11、用硬质被膜的一实施例的硬质被膜的构成的图。 0017 图 4 是说明图 3 的硬质被膜的涂镀方法的一例的图。 0018 图 5 是合并表示在本发明者等为了验证本发明的效果而进行的钻孔试验中使用 的、 作为本发明的实施例的各试样的被膜构造及各自的试验结果的图。 0019 图 6 是合并表示在本发明者等为了验证本发明的效果而进行的钻孔试验中使用 的、 用于比较的各试验品的被膜构造及各自的试验结果的图。 具体实施方式 0020 本发明的切削工具用硬质被膜， 除了立铣刀、 钻头、 平面铣刀、 成形铣刀、 铰刀、 螺 丝攻等旋转切削工具外， 还可较好地应用于车刀等非旋转式的切削工具等各种各样的切削 工具。
12、的表面涂层。作为工具基材即设置硬质被膜的构件的材质， 虽然可以较好地使用超硬 合金、 高速工具钢， 但也可以是其它的材料， 例如在由金属陶瓷、 陶瓷、 多晶金刚石、 单晶金 刚石、 多晶 CBN、 单晶 CBN 等各种各样的材料构成的切削工具广泛应用本发明的切削工具用 硬质被膜。 0021 本发明的切削工具用硬质被膜， 是被覆设置在切削工具的一部分或全部的表面上 的硬质被膜， 最好在该切削工具上设置于与切削加工相关的刃部。如以被覆至少其刃部的 切削刃至前刃面的方式设置则更理想。 0022 上述 2 被膜层， 由包含 IVa 族元素、 Va 族元素、 VIa 族元素、 Al 及 Si 中的至少 。
13、1 种 元素的氮化物、 氧化物、 碳化物、 碳氮化物或硼化物或它们的相互固溶体构成。具体地说， 是由 TiN、 TiAlN、 TiAlCrVSiB、 TiSiO、 TiWC、 ZrVO、 ZrNbB、 HfTaCN、 NbN、 CrN、 MoSiC、 AlN、 AlCrSiCN、 SiN 等构成的被膜层。 0023 上述第1被膜层及第2被膜层的膜厚， 虽然与组成等对应地个别确定， 但在它们重 复层叠多层的场合， 可分别是一定的膜厚， 也可使膜厚连续地或分阶段地改变。上述第 1 被 膜层、 第2被膜层的各平均膜厚， 虽然根据涂镀的构件、 被膜的组成等而不同， 但例如0.1 90nm 左右的范围内。
14、是适当的。 0024 上述第 1 被膜层、 第 2 被膜层， 虽然可由例如电弧离子镀法、 离子束沉积法、 溅镀法、 PLD(Pulse Laser Deposition ； 脉冲激光沉积 ) 法、 IBAD(Ion Beam Assisted 说 明 书 CN 104203467 A 4 3/6 页 5 Deposition ； 离子束辅助沉积 ) 法等 PVD 法较好地设置， 但也可采用其它的成膜法。 0025 实施例 0026 下面， 根据附图详细地说明本发明的优选的实施例。关于在以下的说明中使用的 图， 各部分的尺寸比等未必正确地描绘。 0027 图1是表示作为本发明的硬质被膜被覆切削工。
15、具的一实施例的钻头10的图， 是从 与轴心 O 垂直的方向观看的正面图。图 2 是从设置切削刃 12 的前端侧 ( 即朝由箭头 II 所 示的方向 ) 观看图 1 所示钻头 10 的放大仰视图。这些图 1 及图 2 所示本实施例的钻头 10 是 2 片刃的螺旋钻头， 在轴心 O 方向一体地具备柄部 14 及主体 16。在该主体 16 上， 形成绕 轴心 O 右旋地螺旋的一对槽 18。在上述主体 16 的前端， 与上述一对槽 18 对应地设置一对 切削刃12， 通过上述钻头10从上述柄部14那一侧观看绕轴心O右旋地旋转驱动， 由上述切 削刃 12 在被切削材料上切削加工孔， 并且， 以对该孔进行。
16、切削加工时产生的切屑通过上述 槽 18 向柄部 14 那一侧排出的方式构成。 0028 图 3 是上述钻头 10 的主体 16 的表面附近的放大剖视图， 是例示作为本发明的切 削工具用硬质被膜的一实施例的硬质被膜22的构成的图。 上述钻头10， 例如是在高速工具 钢 ( 高速钢 ) 制的工具基材 ( 工具母材 )20 的表面上涂镀图 3 所示那样的硬质被膜 22 构 成的钻头。此硬质被膜 22， 例如图 3 所示那样， 是第 1 被膜层 24 和第 2 被膜层 26 在上述工 具基材 20 的表面上交替地层叠 2 层以上的多层膜。在图 3 中， 虽然表示出上述第 1 被膜层 24 构成设在上述。
17、工具基材 20 的表面上的最下层、 上述第 2 被膜层 26 构成与上述硬质被膜 22 的表面 ( 外表面 ) 相当的最上层的例， 但也可以是上述第 2 被膜层 26 构成最下层、 上述 第 1 被膜层 24 构成最上层的硬质被膜。 0029 上述第 1 被膜层 24， 由包含不可避的杂质的 AgaCu1-a构成。涉及此第 1 被膜层 24 的原子比 ( 混晶比 )a 处在 0.2 以上 0.4 以下的范围内 (0.2 a 0.4)。上述第 2 被膜 层 26， 是包含 IVa 族元素、 Va 族元素、 VIa 族元素、 Al 及 Si 中的至少 1 种元素的氮化物、 氧 化物、 碳化物、 碳。
18、氮化物或硼化物或它们的相互固溶体， 包含不可避的杂质。即 , 上述第 2 被膜层 26， 具体地说， 由 TiN、 TiAlN、 TiAlCrVSiB、 TiSiO、 TiWC、 ZrVO、 ZrNbB、 HfTaCN、 NbN、 CrN、 MoSiC、 AlN、 AlCrSiCN、 SiN 等构成。 0030 在上述硬质被膜 22， 最好上述第 1 被膜层 24 及第 2 被膜层 26 分别以预先确定了 的一定的膜厚 ( 平均膜厚 ) 形成。上述第 1 被膜层 24 及第 2 被膜层 26 各自的平均膜厚， 虽 然与涂镀的构件、 被膜的组成等对应地个别进行设定， 但最好上述第 1 被膜层 2。
19、4 的平均膜 厚 d1 在 0.1 90.0nm 的范围内适当地决定， 上述第 2 被膜层 26 的平均膜厚 d2 在 0.1 75.0nm 的范围内适当地决定。上述第 1 被膜层 24 与上述第 2 被膜层 26 的层叠周期 d3， 处在 0.2nm 以上 100nm 以下的范围内。上述第 1 被膜层 24 及上述第 2 被膜层 26 的层叠数 ( 第 1 被膜层 24 及第 2 被膜层 26 的层数的合计 )， 最好处在 30 6300 的范围内。即 , 上 述第 1 被膜层 24 及上述第 2 被膜层 26 各自的层数， 最好处在 15 3150 的范围内。上述 硬质被膜 22 的总膜厚。
20、 D， 处在 0.2m 以上 10.0m 以下的范围内。 0031 图 4 是说明上述硬质被膜 22 的涂镀方法的一例的图。上述硬质被膜 22 相对于上 述钻头 10 等的涂镀， 使用例如图 4 所示那样的溅镀装置 30， 通过控制器 36 的控制进行。最 好首先在作为前处理的腐蚀工序中， 由偏压电源 34 在配置在上述溅镀装置 30 的腔室 32 内 的上述工具基材 20 上施加负的偏压。由此， 正的氩离子 Ar+与上述工具基材 20 冲撞， 该工 说 明 书 CN 104203467 A 5 4/6 页 6 具基材 20 的表面被粗面化。 0032 接着， 在溅镀工序中， 在上述工具基材 。
21、20 的表面上交替地形成上述第 1 被膜层 24 及第 2 被膜层 26。例如， 在上述第 2 被膜层 26 的形成中， 通过由电源 40 在构成该第 2 被 膜层 26 的 TiAl 等的靶材 38 上施加负的一定的偏压 ( 例如 -50 -60V 左右 )， 并且， 由上 述偏压电源 34 在工具基材 20 上施加负的一定的偏压 ( 例如 -100V 左右 )， 氩离子 Ar+与上 述靶材 38 冲撞， 由此， TiAl 等构成物质被轰出。在上述腔室 32 内， 除了氩气外， 还以规定 的流量导入氮气 (N2)、 碳氢化合物气体 (CH4、 C2H2) 的反应气体， 其氮原子 N、 碳原子。
22、 C 与从 上述靶材 38 轰出的 TiAl 等结合， 成为 TiAlN 等， 作为上述硬质被膜 22 中的第 2 被膜层 26 等附着在上述工具基材 20 的表面上。或者， 分别与 Ti、 Al 等的单体对应地构成靶材， 使用 这些多个靶材同时地进行溅镀， 形成由 TiAlN 等构成的上述第 2 被膜层 26。在上述溅镀工 序中， 也可使得在上述工具基材 20 上施加正的电压。通过如以上那样做， 使上述第 1 被膜 层 24 和上述第 2 被膜层 26 交替地附着在上述工具基材 20 的表面上， 在该工具基材 20 的 表面上形成上述硬质被膜 22。 0033 接下来， 说明本发明者等为了验。
23、证本发明的效果而进行的钻孔试验。图 5 及图 6， 是合并表示在此试验中使用的本发明品及试验品的被膜构造和各自的试验结果 ( 加工孔 数及判定 ) 的图。图 5 表示作为本发明的实施例的本发明品 1 14 的构造及试验结果， 图 6 表示用于比较的作为现有技术的试验品 1 9 的构造及试验结果。本发明者等在工具直 径的超硬钻头上涂镀图5至图6所示各被膜构造及膜厚的硬质被膜， 制作作为试 样的本发明品114及试验品19， 对于各试验品在以下的切削条件下进行了切削试验。 图 5 所示本发明品 1 14 与应用了本实施例的硬质被膜 22 的本发明品相当， 图 6 所示试 验品 1 9 与应用了不满足。
24、本发明的必要条件的 ( 从权利要求 1 的必要条件脱离的 ) 硬质 被膜的非发明品相当。图 5 及图 6 中的 “A 层” 、“B 层” ， 分别与上述第 1 被膜层 24、 第 2 被 膜层 26 对应。图 5 及图 6 所示加工孔数， 是侧面磨损宽度 0.2mm 时的孔数， 合格判定基准 是侧面磨损宽度 0.2mm 时的加工孔数在 20 孔以上。 0034 加工条件 0035 . 工具形状 :超硬钻头 0036 . 被切削材料 : 因科镍合金 ( 注册商标 )718 0037 . 切削机械 : 立型 M/C 0038 . 切削速度 :10m/min 0039 . 进给速度 :0.1mm/r。
25、ev 0040 . 加工深度 :33mm( 尽头 ) 0041 . 台阶量 : 无台阶 0042 . 切削油 : 油性 0043 如图 5 所示， 上述本发明品 1 14 是都是第 1 被膜层 (A 层 )24 和第 2 被膜层 (B 层 )26 交替地层叠 2 层以上的多层膜， 第 1 被膜层 (A 层 )24 由 AgaCu1-a构成， 第 2 被膜层 (B 层 )26 由包含 IVa 族元素、 Va 族元素、 VIa 族元素、 Al 及 Si 中的至少 1 种元素的氮化物、 氧化物、 碳化物、 碳氮化物或硼化物构成， 涉及上述第 1 被膜层 24 的原子比 a 处在 0.2 以上 0.4。
26、 以下的范围内， 上述第 1 被膜层 24 与上述第 2 被膜层 26 的层叠周期 d3 处在 0.2nm 以 上 100nm 以下的范围内， 而且， 总膜厚 D 处在 0.2m 以上 10.0m 以下的范围内。即 , 应 说 明 书 CN 104203467 A 6 5/6 页 7 用了满足本发明的权利要求1的必要条件的硬质被膜22。 如从图5所示试验结果可以得知 的那样， 在应用了这样的本实施例的硬质被膜 22 的本发明品 1 14 中， 不论是哪个试样， 侧面磨损宽度 0.2mm 时的加工孔数都在 20 孔以上， 满足合格基准。 0044 可以得知， 特别是在上述第1被膜层24由Ag0.。
27、4Cu0.6构成、 上述第2被膜层26由AlN 构成、 上述第 1 被膜层 24 的平均膜厚是 0.5nm、 上述第 2 被膜层 26 的平均膜厚是 36.5nm、 层叠周期是 37.0nm、 层数是 150、 总膜厚是 2.8m 的本发明品 4， 加工孔数成为 41， 在上述 第 1 被膜层 24 由 Ag0.3Cu0.7构成、 上述第 2 被膜层 26 由 CrN 构成、 上述第 1 被膜层 24 的平 均膜厚是5.0nm、 上述第2被膜层26的平均膜厚是10.0nm、 层叠周期是15.0nm、 层数是400、 总膜厚是 3.0m 的本发明品 2， 加工孔数成为 36， 在上述第 1 被膜。
28、层 24 由 Ag0.4Cu0.6构成、 上述第 2 被膜层 26 由 ZrNbB 构成、 上述第 1 被膜层 24 及第 2 被膜层 26 的平均膜厚都是 0.1nm、 层叠周期是 0.2nm、 层数是 2000、 总膜厚是 0.2m 的本发明品 12， 加工孔数成为 36， 在上述第 1 被膜层 24 由 Ag0.4Cu0.6构成、 上述第 2 被膜层 26 由 TiSiO 构成、 上述第 1 被膜 层 24 的平均膜厚是 5.0nm、 上述第 2 被膜层 26 的平均膜厚是 0.1nm、 层叠周期是 5.1nm、 层 数是3200、 总膜厚是8.2m的本发明品13， 加工孔数成为35， 。
29、不论是哪一个， 侧面磨损宽度 0.2mm 时的加工孔数都成为 35 孔以上， 表现出特别良好的切削性能。 0045 如图 6 所示， 上述试验品 1 的上述第 1 被膜层 24 由 Ag0.1Cu0.9构成， 脱离了作为本 发明的权利要求 1 的必要条件的 Ag 的原子比 a 是 0.2 以上 0.4 以下的范围。上述试验品 2的上述第1被膜层24由Ag0.5Cu0.5构成， 脱离了作为本发明的权利要求1的必要条件的Ag 的原子比 a 是 0.2 以上 0.4 以下的范围。上述试验品 3 的层叠周期是 0.1nm， 脱离了作为 本发明的权利要求 1 的必要条件的层叠周期 0.2nm 以上 10。
30、0nm 以下的范围。上述试验品 4 的层叠周期是 101.0nm， 脱离了作为本发明的权利要求 1 的必要条件的层叠周期 0.2nm 以 上 100nm 以下的范围。上述试验品 5 的总膜厚是 10.1m， 脱离了作为本发明的权利要求 1 的必要条件的总膜厚 0.2m 以上 10.0m 以下的范围。上述试验品 6 的上述第 1 被膜层 24 由 Ag0.1Cu0.9构成， 脱离了作为本发明的权利要求 1 的必要条件的 Ag 的原子比 a 是 0.2 以上 0.4 以下的范围。上述试验品 7 的上述第 1 被膜层 24 由 Ag0.5Cu0.5构成， 脱离了作为 本发明的权利要求 1 的必要条件。
31、的 Ag 的原子比 a 是 0.2 以上 0.4 以下的范围。上述试验 品8的层叠周期是0.1nm， 脱离了作为本发明的权利要求1的必要条件的层叠周期0.2nm以 上100nm以下的范围， 并且， 总膜厚是0.15m， 脱离了作为本发明的权利要求1的必要条件 的总膜厚 0.2m 以上 10.0m 以下的范围。本试验品 9 的总膜厚是 10.1m， 脱离了作为 本发明的权利要求 1 的必要条件的总膜厚 0.2m 以上 10.0m 以下的范围， 并且， 上述第 1 被膜层 24 由 Ti0.4B0.6ON 构成， 不满足该第 1 被膜层由 AgaCu1-a构成的本发明的权利要求 1 的必要条件。如。
32、从图 6 所示试验结果可以得知的那样， 在这些试验品 1 9 中， 不论是哪一 个， 侧面磨损宽度 0.2mm 时的加工孔数都不足 20， 与上述本发明品 1 14 相比切削性能较 差。这可以认为是因为， 在不满足本发明的权利要求 1 的必要条件的硬质被膜， 耐熔敷性不 充分， 熔敷、 剥离等导致寿命提前。 0046 这样构成本实施例， 因为是第1被膜层24和第2被膜层26交替地层叠2层以上的 多层膜， 第 1 被膜层 24 由 AgaCu1-a构成， 第 2 被膜层 26 由包含 IVa 族元素、 Va 族元素、 VIa 族元素、 Al 及 Si 中的至少 1 种元素的氮化物、 氧化物、 碳。
33、化物、 碳氮化物或硼化物构成， 涉 及上述第 1 被膜层 24 的原子比 a 处在 0.2 以上 0.4 以下的范围内， 上述第 1 被膜层 24 与 说 明 书 CN 104203467 A 7 6/6 页 8 上述第 2 被膜层 26 的层叠周期 d3 处在 0.2nm 以上 100nm 以下的范围内， 而且， 总膜厚 D 处 在0.2m以上10.0m以下的范围内， 所以， 通过在被膜中含有Ag， 能够使摩擦系数及切削 阻力减轻， 获得润滑性及耐熔敷性优越并且高硬度的被膜。即 , 能够提供优越的耐磨性及 耐熔敷性兼备的作为切削工具用硬质被膜的硬质被膜 22。 0047 根据本实施例， 因为。
34、是上述硬质被膜 22 被覆设置在表面上的钻头 10， 所以， 通过 在被膜中含有 Ag， 能够使摩擦系数及切削阻力减轻， 获得润滑性及耐熔敷性优越并且高硬 度的被膜。即 , 能够提供优越的耐磨性及耐熔敷性兼备的作为硬质被膜被覆切削工具的钻 头 10。 0048 以上， 根据附图详细地说明了本发明的优选的实施例， 但本发明不限于此， 在不脱 离其宗旨的范围内能够施加各种各样的变更进行实施。 0049 附图标记说明 ： 0050 10: 钻头 ( 硬质被膜被覆切削工具 )、 12: 切削刃、 14: 柄部、 16: 主体、 18: 槽、 20: 工具基材、 22: 硬质被膜 ( 切削工具用硬质被膜 )、 24: 第 1 被膜层、 26: 第 2 被膜层、 30: 溅 镀装置、 32: 腔室、 34: 偏压电源、 36: 控制器、 38: 靶材、 40: 电源。 说 明 书 CN 104203467 A 8 1/4 页 9 图 1 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 104203467 A 9 2/4 页 10 图 4 说 明 书 附 图 CN 104203467 A 10 3/4 页 11 图 5 说 明 书 附 图 CN 104203467 A 11 4/4 页 12 图 6 说 明 书 附 图 CN 104203467 A 12 。