本发明涉及一种净化PH3、AsH3的浸渍活性炭，尤其涉及一种氢气流中净化PH3、AsH3的浸渍活性炭。 国内外用于净化PH3、AsH3污染物的浸渍活性炭有二元（Cu，Cr）和三元（Cu，Cr，Ag）浸渍炭。但二元或三元浸渍活性炭都局限使用于空气中净化PH3、AsH3等污染物。目前，高新技术如新型半导体材料MOVPE（金属有机物气相外延）技术的工艺尾气系氢气流中带有PH3、AsH3污染物，净化氢气流中PH3、AsH3等污染物国内外没有专用催化剂，大都采用德国Drger公司的DrgerB3P3罐作为代用品，此罐用于PH3、AsH3污染物的净化过程中，使用寿命短，价格昂贵。
本发明的目的是提供一种氢气流中净化PH3、AsH3污染物的专用浸渍活性炭，此活性炭具有较长的寿命。
为了实现上述目的，本发明的浸渍活性炭是以煤质颗粒活性炭为载体，其浸渍组分有Cu、Hg、Cr、Ag，该浸渍活性炭用以净化氢气流中的磷化氢、砷化氢。
浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
Cu 7-13%
Hg 5-10%
Cr 1.5-4%
Ag 0.01-0.1%
煤质颗粒活性炭的粒度为1.0mm-3.0mm。
本发明的优选方案为：煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
Cu 8-12%
Hg 6-9%
Cr 2-3%
Ag 0.03-0.06%
浸渍活性炭的制备方法如下：筛取一定粒度的煤质颗粒活性炭，用CuSO4和Cr2O3的NH4OH溶液和AgNO3的乙醇溶液充分混合，在40-60℃下加入HgCl2，按活性炭水容量的70-80%液相浸渍，浸渍液的PH为8-13，浸渍后放置大于3小时，在100-150℃的条件下，于空气流中热处理2-3小时，即得该浸渍活性炭。上述浸渍，放置，热处理地过程反复进行两次。
经实验测试，此种浸渍活性炭具有较好的净化PH3AsH3的性能，在达到国际标准PH3允许浓度0.3PPmAsH3允许浓度0.05PPm的情况下具有较长的寿命。
下面结合具体实例对本发明进一步详细说明
实施例一。
煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
9%Cu，2%Cr，0.04%Ag，6%Hg。
实验条件：PH3浓度为1000PPm，AsH3浓度为1000PPm，系统压力P＝900-1000mbar，试验动力管内径为2cm，浸渍活性炭高度为1cm，气流比速V＝1L/min.cm2用瑞典VP50-RP毒物分析仪测定。
实验结果：
净化时间 min 8 9 10 13PH 透过浓度PPm 0 0.0083 0.0110 0.0165AsH 透过浓度PPm 0 0 0 0
15 17 19 21 230.0248 0.0468 0.0963 0.1734 0.27520 0 0 0 0.03
实施例二.
煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
11%Cu，3%Cr，0.05%Ag，8%Hg。
实验条件：PH3浓度为1000PPm，AsH3浓度为1000PPm，系统压力P＝900-1000mbar，试验动力管内径为2cm，浸渍活性炭高度为11cm，气流比速V＝0.15L/min.cm2用瑞典VP50-RP毒物分析仪测定。
实验结果：在达到国际标准PH3浓度小于0.3PPm，AsH3浓度小于0.05PPm的条件下，净化时间可达到36小时。
此种浸渍活性炭可用于净化新型半导体材料MOVPE（金属有机物气相外延）技术的工艺尾气中PH3、AsH3等污染物，也可用于净化其它领域的氢气、空气气氛中PH3、AsH3等污染物。