外接投料装置.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201611020224.4

申请日:

2016.11.17

公开号:

CN106400105A

公开日:

2017.02.15

当前法律状态:

公开

有效性:

审中

法律详情:

公开

IPC分类号:

C30B15/00; C30B29/06

主分类号:

C30B15/00

申请人:

常州亿晶光电科技有限公司

发明人:

蒋新民; 庄卫华; 周益华; 徐罗清

地址:

213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

优先权:

专利代理机构:

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人:

郑云

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内容摘要

本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域,尤其是涉及一种外接投料装置,包括机架及设置在机架上的投料桶,还包括固定在机架下端的用于连接单晶炉的旋板阀,投料桶固定连接在机架上端,机架上位于旋板阀和投料桶之间滑动设置有基座,基座上设有连接板,连接板与旋板阀之间设有可收缩的第一波纹管,投料桶与连接板之间设有第二波纹管,第一波纹管和第二波纹管之间相互连通,第一波纹管内套设有石英管,石英管的一端固定连接在连接板上;机架上位于旋板阀和投料筒之间固定连接有导轨,本发明结构简单,操作方便,能够快速控制石英管的伸出或者收缩,反复对单晶炉进行投料,提高了投料的效率。

权利要求书

1.一种外接投料装置,包括机架(1)及设置在机架(1)上的投料桶(2),其特征在于:还
包括固定在机架(1)下端的用于连接单晶炉(3)的旋板阀(4),所述投料桶(2)固定连接在所
述机架(1)上端,所述机架(1)上位于所述旋板阀(4)和所述投料桶(2)之间滑动设置有基座
(5),所述基座(5)上设有连接板(6),所述连接板(6)与所述旋板阀(4)之间设有可收缩的第
一波纹管(7),所述投料桶(2)与所述连接板(6)之间设有与投料桶(2)连通的第二波纹管
(8),所述第一波纹管(7)和第二波纹管(8)之间相互连通,所述投料桶(2)具有上端进料口
及下端出料口,所述投料桶(2)上端进料口上设有密封盖(9),所述投料桶(2)下端进料口和
第二波纹管(8)之间相互连通,所述第一波纹管(7)内套设有石英管(10),所述石英管(10)
的一端固定连接在所述连接板(6)上;
所述机架(1)上位于所述旋板阀(4)和投料桶(2)之间固定连接有导轨(11),所述机架
(1)上位于所述旋板阀(4)和投料桶(2)之间转动设置有丝杆(12),所述基座(5)滑动设置在
所述导轨(11)上,所述基座(5)与所述丝杆(12)螺纹连接,所述丝杆(12)的一端设有用于驱
动丝杆(12)转动的电机(15),所述电机(15)固定连接在所述机架(1)上。
2.根据权利要求1所述的外接投料装置,其特征在于:所述投料桶(2)下端出料口设置
有用于控制投料桶(2)与第二波纹管(8)连通的插板阀(13)。
3.根据权利要求1-2的任一项所述的外接投料装置,其特征在于:所述投料桶(2)上设
置头压力表(14)。

说明书

外接投料装置

技术领域

本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域,尤其是涉及一种外接投料装置。

背景技术

单晶硅直拉法生长过程中,多晶硅原材料放入石英坩埚中进行熔料、拉晶。单晶炉
拉晶完成后,单晶炉不能与空气接触,不然会造成单晶炉碎裂而无法使用,准备新一炉的生
产需要做很多繁杂的前期工作,包括停炉冷却、清炉、卸料、抽真空和化料等工序,这些前期
工作浪费了大量的时间和能耗。单晶炉在一次硅单晶拉制完成后,可以使用外部连接投料
装置,继续投入多晶硅片,以便拉制多根晶棒。

通常的外部连接投料装置体积比较大,安装比较费时费力,不能有效的反复转移
并投料,降低了投料效率。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:为了解决通常的外部连接投料装置体积比较大,安
装比较费时费力,不能有效的反复转移并投料,降低了投料效率的问题,现提供了一种外接
投料装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种外接投料装置,包括机架及设
置在机架上的投料桶,还包括固定在机架下端的用于连接单晶炉的旋板阀,所述投料桶固
定连接在所述机架上端,所述机架上位于所述旋板阀和所述投料桶之间滑动设置有基座,
所述基座上设有连接板,所述连接板与所述旋板阀之间设有可收缩的第一波纹管,所述投
料桶与所述连接板之间设有与投料桶连通的第二波纹管,所述第一波纹管和第二波纹管之
间相互连通,所述投料桶具有上端进料口及下端出料口,所述投料桶上端进料口上设有密
封盖,所述投料桶下端进料口和第二波纹管之间相互连通,所述第一波纹管内套设有石英
管,所述石英管的一端固定连接在所述连接板上;

所述机架上位于所述旋板阀和投料筒之间固定连接有导轨,所述机架上位于所述
旋板阀和投料筒之间转动设置有丝杆,所述基座滑动设置在所述导轨上,所述基座与所述
丝杠螺纹连接,所述丝杆的一端设有用于驱动丝杆转动的电机,所述电机固定连接在所述
机架上。通过调节丝杆可以控制基座在导轨上滑动,从而控制连接板固定连接在的石英管
伸出旋板阀或者收缩在第一波纹管内,实现将料筒内的物料投送到单晶炉内,由于单晶炉
内是负压状态,所以先要将旋板阀与单晶炉固定,此时旋板阀是处于关闭状态,石英管是收
缩在第一波纹管内的,投料桶上的密封盖将投料桶密封住,并对投料桶内部及第一波纹管
和第二波纹管内同时进行抽真空,当投料桶内的压力与单晶炉内的压力相同时,此时打开
旋板阀,电机带动丝杠转动使基座向旋板阀方向移动,并带动石英管伸出并进入到单晶炉
内,就可以对单晶炉进行投料,实现反复投料。

进一步地,所述投料桶下端出料口设置有用于控制投料桶与第二波纹管连通的插
板阀。通过插板阀能够控制投料桶在投料时投料的多少以及调整投料单位时间内的投料
量,方便工作人员操作。

进一步地,所述投料桶上设置头压力表。通过压力表能够快速方便的了解投料桶
内的压力状况,方便工作人员操作。

本发明的有益效果是:本发明外接投料装置在使用时,通过调节丝杆可以控制基
座在导轨上滑动,从而控制连接板固定连接在的石英管伸出旋板阀或者收缩在第一波纹管
内,实现将料筒内的物料投送到单晶炉内,由于单晶炉内是负压状态,所以先要将旋板阀与
单晶炉固定,此时旋板阀是处于关闭状态,石英管是收缩在第一波纹管内的,投料桶上的密
封盖将投料桶密封住,并对投料桶内部及第一波纹管和第二波纹管内同时进行抽真空,当
投料桶内的压力与单晶炉内的压力相同时,此时打开旋板阀,电机带动丝杠转动使基座向
旋板阀方向移动,并带动石英管伸出并进入到单晶炉内,就可以对单晶炉进行投料,实现反
复投料,本发明结构简单,操作方便,能够快速控制石英管的伸出或者收缩,反复对单晶炉
进行投料,提高了投料的效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明外接投料装置的主视图;

图2是本发明外接投料装置的基座、导轨及丝杆的结构示意图。

图中:1、机架,2、投料桶,3、单晶炉,4、旋板阀,5、基座,6、连接板,7、第一波纹管,
8、第二波纹管,9、密封盖,10、石英管,11、导轨,12、丝杆,13、插板阀,14、压力表,15、电机。

具体实施方式

现在结合附图对本发明做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以
示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。

实施例

如图1和2所示,一种外接投料装置,包括机架1及设置在机架1上的投料桶2,还包
括固定在机架1下端的用于连接单晶炉3的旋板阀4,所述投料桶2固定连接在所述机架1上
端,所述机架1上位于所述旋板阀4和所述投料桶2之间滑动设置有基座5,所述基座5上设有
连接板6,所述连接板6与所述旋板阀4之间设有可收缩的第一波纹管7,所述投料桶2与所述
连接板6之间设有与投料桶2连通的第二波纹管8,所述第一波纹管7和第二波纹管8之间相
互连通,所述投料桶2具有上端进料口及下端出料口,所述投料桶2上端进料口上设有密封
盖9,所述投料桶2下端进料口和第二波纹管8之间相互连通,所述第一波纹管7内套设有石
英管10,所述石英管10的一端固定连接在所述连接板6上;

所述机架1上位于所述旋板阀4和投料桶2之间固定连接有导轨11,所述机架1上位
于所述旋板阀4和投料桶2之间转动设置有丝杆12,所述基座5滑动设置在所述导轨11上,所
述基座5与所述丝杆12螺纹连接,所述丝杆12的一端设有用于驱动丝杆12转动的电机15,所
述电机15固定连接在所述机架1上。

所述投料桶2上设置有用于控制投料桶2与第二波纹管8连通的插板阀13。

所述投料桶2上设置头压力表14。

上述外接投料装置在使用时,在未使用时,石英管10是收缩在第一波纹管7内的,
首先将机架1下端的旋板阀4固定连接在单晶炉3上,并且旋板阀4也是处于关闭状态,投料
桶2上的插板阀13也是处于关闭状态,此时物料不会从投料桶2内进入到第二波纹管8内,旋
板阀4是通过法兰与单晶炉3密封连接,投料桶2上的密封盖9盖好,对投料桶2和第一波纹管
7和第二波纹管8内进行抽真空,观察压力表14,当压力到达单晶炉3内的压力时,停止抽真
空,先打开旋板阀4,电机15通过外部电源接入,并由外部控制器控制电机15的启闭,启动电
机15带动丝杆12转动,从而使基座5在导轨11上滑动并向旋板阀4方向移动,同时带动连接
板6上的第一波纹管7收缩及第二波纹管8伸长,第一波纹管7内的石英管10伸长并插入至单
晶炉3内,此时打开插板阀13,控制投料桶2内的物料在单位时间内的进料料即可;当投料完
毕时,首先关闭插板阀13,启动电机15带动丝杆12转动,同时带动基座5在导轨11上滑动并
向投料桶2方向移动,此时连接板6上的第一波纹管7伸长及第二波纹管8收缩,石英管10脱
离单晶炉3并收缩至第一波纹管7内,关闭旋板阀4,将机架1移走即可。

上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全
可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性
范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

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本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域,尤其是涉及一种外接投料装置,包括机架及设置在机架上的投料桶,还包括固定在机架下端的用于连接单晶炉的旋板阀,投料桶固定连接在机架上端,机架上位于旋板阀和投料桶之间滑动设置有基座,基座上设有连接板,连接板与旋板阀之间设有可收缩的第一波纹管,投料桶与连接板之间设有第二波纹管,第一波纹管和第二波纹管之间相互连通,第一波纹管内套设有石英管,石英管的一端固定连接在连接板上;。

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