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1、(10)申请公布号 CN 103687697 A (43)申请公布日 2014.03.26 CN 103687697 A (21)申请号 201280018787.3 (22)申请日 2012.04.02 2011-094357 2011.04.20 JP B24B 27/06(2006.01) B28D 5/04(2006.01) H01L 21/304(2006.01) (71)申请人 信越半导体股份有限公司 地址 日本东京都 (72)发明人 北川幸司 (74)专利代理机构 隆天国际知识产权代理有限 公司 72003 代理人 董雅会 郭晓东 (54) 发明名称 线锯的再次开始运转方法及线锯。
2、 (57) 摘要 本发明是一种线锯的再次开始运转方法， 在 切断途中暂时中断工件的切断之后， 再次开始该 切断， 特征在于， 具有以下步骤 ： 一边检测钢线的 往复行进的方向和行进速度并按时间序列记录， 一边切断前述工件 ； 及， 再次开始工件的切断时， 根据至工件的切断中断时为止所记录的钢线的行 进历程， 控制钢线的往复行进的方向和向该方向 行进的时间， 再次开始进行切断， 以使钢线的往复 周期在工件的切断的中断前与再次开始后保持连 续性。由此， 在由线锯所实施的工件的切断中， 即 便在由于钢线的断线等而导致工件的切断在途中 被中断的情况下， 也能确实地抑制加工后的晶圆 的纳米形貌的恶化， 。
3、从而完成切断。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2013.10.16 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2012/002276 2012.04.02 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2012/144136 JA 2012.10.26 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 8 页 附图 4 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书8页 附图4页 (10)申请公布号 CN 103687697 A CN 103687697 A 1/1 页 2 1. 一种线锯的再次开始运转方法， 针对使卷绕在二个以。
4、上带凹槽滚筒上的钢线以特定 的周期在轴向上作往复行进， 一边将切断用浆液供给至前述钢线， 一边将工件相对地压下， 使其压抵作往复行进的前述钢线来进行切入进给， 将前述工件切断成晶圆状的线锯的运 转， 在切断途中暂时中断前述工件的切断之后， 再次开始该切断， 所述线锯的再次开始运转 方法的特征在于， 具有以下步骤 ： 一边检测前述钢线的往复行进的方向和行进速度并按时间序列记录， 一边切断前述工 件 ； 及， 再次开始前述工件的切断时， 根据至前述工件的切断中断时为止所记录的钢线的行进 历程， 控制前述钢线的往复行进的方向和向该方向行进的时间， 再次开始进行切断， 以使前 述钢线的往复周期在前述工。
5、件的切断的中断前与再次开始后保持连续性。 2. 如权利要求 1 所述的线锯的再次开始运转方法， 其中， 在再次开始前述工件的切断 之前， 通过供给温度调整介质， 将前述带凹槽滚筒的轴向的变位量与前述工件的温度， 调整 为分别与前述工件的切断中断时相同。 3. 一种线锯， 具备 ： 钢线， 卷绕在二个以上带凹槽滚筒上， 并在轴向上作往复行进 ； 浆 液供给装置， 将切断用浆液供给至该钢线 ； 及， 工件进给装置， 将要被切断成晶圆状的工件 相对地压下， 使其压抵作往复行进的前述钢线来进行切入进给 ； 而且， 所述线锯的特征在 于 ： 还具备钢线行进历程记录装置， 在前述工件的切断中， 检测前述钢。
6、线的往复行进的方 向与行进速度并按时间序列记录 ； 及， 控制装置， 控制前述钢线的往复行进的方向、 与向各 方向行进的时间和行进速度， 以使前述钢线以特定的周期作往复行进 ； 并且， 在切断途中暂时中断前述工件的切断之后， 再次开始前述工件的切断时， 前述控 制装置， 利用前述钢线行进历程记录装置， 根据至前述工件的切断中断时为止所记录的钢 线的行进历程， 来控制前述钢线的往复行进的方向和向该方向行进的时间， 以使前述钢线 的往复周期在前述工件的切断的中断前与再次开始后保持连续性。 4. 如权利要求 3 所述的线锯， 其中， 还具有温度调整介质供给装置， 该温度调整介质供 给装置向前述带凹槽。
7、滚筒和前述工件供给分别独立地控制温度的温度调整介质， 在再次开 始前述工件的切断之前， 通过供给前述温度调整介质， 将前述带凹槽滚筒的轴向的变位量 和前述工件的温度， 分别调整为与前述工件的切断中断时相同。 权 利 要 求 书 CN 103687697 A 2 1/8 页 3 线锯的再次开始运转方法及线锯 技术领域 0001 本发明涉及一种线锯， 一边向钢线供给浆液一边压抵半导体晶棒等工件来进行切 断， 尤其涉及一种切断中断时的线锯的再次开始运转方法及其线锯。 背景技术 0002 以往， 作为将半导体晶棒等工件切成晶圆 (wafer) 状的装置， 已知一种线锯。在此 线锯中， 切断用钢线多数次。
8、地卷绕在二个以上带凹槽滚筒的周围而形成钢线列， 该切断用 钢线往轴向被高速驱动， 且一边适当地供给浆液一边相对于钢线列切入进给工件， 由此， 此 工件在各钢线位置同时地被切断。 0003 另外， 线锯的钢线采用一种耐磨耗、 富有耐张力性而且高硬度的线材， 例如钢琴线 等 ； 另外， 为了防止钢线的损伤， 带凹槽滚筒使用一种特定硬度的树脂滚筒， 但是由于钢线 持续地磨耗或疲劳， 在工件的切断时， 钢线会发生断线， 而可能无法继续切断工件。 0004 在这种情况下， 以往， 在进行使工件的切入从钢线脱离的脱离作业之后， 以手动的 方式将钢线拉出， 或利用手控的方式来操作带凹槽滚筒驱动装置， 将钢线。
9、的断线处拉至其 中一方的带凹槽滚筒的适当外侧处为止， 然后将该断线部彼此连结起来， 之后， 进行拉出作 业， 将钢线彼此的连接部， 再次拉至不与工件切断直接相关的位置， 在不能使用时， 则进行 更换作业而换成新的钢线。 0005 并且， 在这种钢线修补处理之后， 进行复原作业， 使工件的各切入处对应于钢线的 各列， 并使其卡合来进行复原作业， 然后使工件的切断再次开始， 由此， 使工件的切断得以 完成。 0006 在从开始进行钢线的复原作业至再次开始工件的切断为止所需要的时间极短的 情况， 例如， 当钢线的断线并不是发生在与带凹槽滚筒嵌合之处， 则只要将钢线彼此连接， 便能完成钢线处理 ； 但。
10、是， 除此以外， 在钢线修补处理需要较长时间 （1 小时以上） 的情况 下， 由于带凹槽滚筒的轴承部和钢线等处的摩擦热， 原本热膨胀中的带凹槽滚筒会冷却而 收缩， 由于钢线列的间距会比原先进行切断的状态更狭窄， 所以在此状态下， 如果再次开始 工件的切断， 则在切出来的晶圆的切断面， 会有产生无法修正的阶梯差这样的问题。 0007 对于此问题， 在专利文献 1 中， 揭示出一种线锯的运转方法及线锯， 所述线锯的运 转方法是通过向带凹槽滚筒与工件供给分别独立地控制温度的温度调整介质， 将带凹槽滚 筒的轴向的变位量与工件的温度调整成与工件的切断中断时相同， 之后， 再次开始进行切 断。 0008 。
11、根据此方法及装置， 即使在钢线修补处理需要较的长时间的情况下， 也可以避免 由带凹槽滚筒的收缩或工件的收缩所导致的晶圆表面产生阶梯差。 0009 先行技术文献 0010 ( 专利文献 ) 0011 专利文献 1 ： 日本特开 2010-29955 号公报 说 明 书 CN 103687697 A 3 2/8 页 4 发明内容 0012 发明所要解决的问题 0013 但是， 如上所述地再开始进行切断且钢线修补处理在 1 小时以下的较短时间内完 成， 基本没有带凹槽滚筒或工件的收缩的影响的情况下， 在晶圆加工后的纳米形貌测定中， 仍可能会不良。 0014 本发明是鉴于这种问题而完成， 目的在于提供。
12、一种线锯的运转再开始方法及其线 锯， 所述线锯的运转再开始方法在由线锯所实施的工件的切断中， 即便在由于钢线的断线 等异常而导致工件的切断在途中被中断并再次开始的情况下， 也能确实地抑制加工后的晶 圆 (wafer) 的纳米形貌 (Nanotopography) 的恶化， 并可以防止在纳米形貌检查中成为不 良。 0015 解决问题的技术手段 0016 为了达成上述目的， 根据本发明， 提供一种线锯的再次开始运转方法， 针对使卷绕 在二个以上带凹槽滚筒上的钢线以特定的周期在轴向上作往复行进， 一边将切断用浆液供 给至前述钢线， 一边将工件相对地压下， 使其压抵作往复行进的前述钢线来进行切入进给，。
13、 将前述工件切断成晶圆状的线锯的运转， 在切断途中暂时中断前述工件的切断之后， 再次 开始该切断， 所述线锯的再次开始运转方法的特征在于， 具有以下步骤 ： 一边检测前述钢线 的往复行进的方向和行进速度并按时间序列记录， 一边切断前述工件 ； 及， 再次开始前述工 件的切断时， 根据至前述工件的切断中断时为止所记录的钢线的行进历程， 控制前述钢线 的往复行进的方向和向该方向行进的时间， 再次开始进行切断， 以使前述钢线的往复周期 在前述工件的切断的中断前与再次开始后保持连续性。 0017 如果是这种方法， 即便在由于钢线的断线等异常而导致工件的切断在途中被中断 并再次开始的情况下， 也能抑制加。
14、工后的晶圆的纳米形貌的恶化从而完成切断， 并可以防 止在纳米形貌检查中成为不良。 0018 此时， 优选为， 在再次开始前述工件的切断之前， 通过供给温度调整介质， 将前述 带凹槽滚筒的轴向的变位量与前述工件的温度， 调整为分别与前述工件的切断中断时相 同。 0019 这样一来， 可以避免由于带凹槽滚筒的收缩或工件的收缩所导致的晶圆切断面产 生阶梯差， 并可以更有效地抑制纳米形貌的恶化。 0020 此外， 根据本发明， 提供一种线锯， 具备 ： 钢线， 卷绕在二个以上带凹槽滚筒上， 并 在轴向上作往复行进 ； 浆液供给装置， 将切断用浆液供给至该钢线 ； 及， 工件进给装置， 将 要被切断成晶。
15、圆状的工件相对地压下， 使其压抵作往复行进的前述钢线来进行切入进给 ； 而且， 所述线锯的特征在于 ： 还具备钢线行进历程记录装置， 在前述工件的切断中， 检测前 述钢线的往复行进的方向与行进速度并按时间序列记录 ； 及， 控制装置， 控制前述钢线的往 复行进的方向、 与向各方向行进的时间和行进速度， 以使前述钢线以特定的周期作往复行 进 ； 并且， 在切断途中暂时中断前述工件的切断之后， 再次开始前述工件的切断时， 前述控 制装置， 利用前述钢线行进历程记录装置， 根据至前述工件的切断中断时之为止所记录的 钢线的行进历程， 来控制前述钢线的往复行进的方向和向该方向行进的时间， 以使前述钢 线。
16、的往复周期在前述工件的切断的中断前与再次开始后保持连续性。 0021 如果是这种线锯， 即便在由于钢线的断线等异常而导致工件的切断在途中被中断 说 明 书 CN 103687697 A 4 3/8 页 5 并再次开始的情况下， 也能抑制加工后的晶圆的纳米形貌的恶化， 从而完成切断， 并可以防 止在纳米形貌检查中成为不良。 0022 此时， 优选为， 还具有温度调整介质供给装置， 该温度调整介质供给装置向前述带 凹槽滚筒和前述工件供给分别独立地控制温度的温度调整介质， 在再次开始前述工件的切 断之前， 通过供给前述温度调整介质， 将前述带凹槽滚筒的轴向的变位量和前述工件的温 度， 分别调整为与前。
17、述工件的切断中断时相同。 0023 如果是这种线锯， 就可以避免由带凹槽滚筒的收缩或工件的收缩所导致的晶圆表 面产生阶梯差， 并可以更有效地抑制纳米形貌的恶化。 0024 ( 发明的效果 ) 0025 在本发明中， 于由线锯所实施的工件的切断中， 一边检测前述钢线的往复行进的 方向和行进速度并按时间序列记录， 一边切断前述工件， 中断该工件的切断之后， 再次开始 前述工件的切断时， 根据至前述工件的切断中断时为止所记录的钢线的行进历程， 控制前 述钢线的往复行进的方向和向该方向行进的时间， 再次开始进行切断， 以使前述钢线的往 复周期在前述工件的切断的中断前与再次开始后保持连续性， 因此， 即。
18、便在由于工件的切 断中发生的钢线的断线等异常而导致工件的切断在途中被中断并再次开始的情况下， 也能 抑制加工后的晶圆的纳米形貌的恶化， 从而完成切断， 并可以防止在纳米形貌检查中成为 不良。 附图说明 0026 图 1 是表示本发明的线锯的一例的略图。 0027 图 2 是表示本发明的线锯的另一例的略图。 0028 图 3 是表示随着钢线的行进方向而使晶圆的厚度形状发生微细变化的情况的说 明图。(A) 是晶圆切断面的侧视图。(B) 是晶圆位置与被切断部分的厚度的关系。 0029 图 4 是表示实施例 1 至 3、 比较例 1 至 3 中的钢线行进速度曲线的图。 具体实施方式 0030 以下， 。
19、说明本发明的实施形态， 但本发明并不限定于此实施形态。 0031 以往， 在由线锯所实施的工件的切断中， 在由于钢线的断线等异常而导致工件的 切断在途中被中断的情况下， 如果再次开始工件的切断， 晶圆切断面会产生无法修正的阶 梯差， 针对这一问题， 已知有以下方法 ： 通过向带凹槽滚筒与工件供给分别独立地控制温度 的温度调整介质， 将带凹槽滚筒的轴向的变位量与工件的温度， 调整为与工件的切断中断 时相同， 之后， 再次开始进行切断。 0032 这样一来， 即便在钢线修补处理需要较长时间的情况下， 也能避免由于带凹槽滚 筒的收缩或工件的收缩而导致的晶圆切断面产生阶梯差， 并可以基本消除带凹槽滚筒。
20、或工 件的收缩的影响。但是， 即便进行这种处理， 在切断后的晶圆的纳米形貌测定中， 仍然可能 为不良。 0033 因此， 本发明人对其产生原因努力进行调查后， 明确了下述内容。即， 在由切断工 件时将浆液供给至钢线的游离磨粒(loose abrasive)方式的线锯所实施的切断中， 切断而 成的晶圆的厚度形状为锥体形状， 厚度从钢线进入工件的进入侧向脱离侧增加， 且此锥体 说 明 书 CN 103687697 A 5 4/8 页 6 的方向是在使钢线前进来切断的位置、 与使钢线后退来切断的位置上形成逆转的有规则的 阶梯差形状。 0034 图 3(A)、 (B) 是示意性表示此情况的图。图 3(。
21、A) 是工件的切断面的侧视图， 表示 在 A 部的切断与 B 部的切断之间， 钢线的行进方向逆转的情况。图 3(B) 是表示此时的 A 部 的切断中的从钢线进入侧算起的晶圆位置与被切断部分的厚度的关系的图。如图 3(B) 所 示， A 部与 B 部的厚度形状为如上所述的锥体形状逆转的形状。 0035 这种晶圆切断面的有规则的阶梯差形状较为微细， 当连续进行切断时， 在纳米形 貌检查中并非不良。 0036 然而， 例如， 在钢线向前进方向的行进正好在终止之处停止的情况下， 在后续的切 断再次开始时， 如果是从向前进方向的行进起始之处开始， 由于中断及再次开始进行切断 的位置， 将会以通常两倍的距。
22、离， 在钢线于前进方向上行进的状态下被切断， 因此阶梯差形 状的间距比前后的位置更宽， 纳米形貌恶化， 在切断后的晶圆的纳米形貌检查中成为不良。 当切断在钢线的行进周期的途中被中断时， 也将发生同样的问题。 0037 然后， 本发明人进一步反复研究， 想到为了使钢线的往复周期 (reciprocating cycle) 在工件的切断中断前与再次开始后保持连续性， 可以通过控制钢线的往复行进的方 向和向该方向行进的时间并再次开始进行切断， 来抑制由上述原因所产生的纳米形貌的恶 化， 从而完成切断， 结果可以防止在纳米形貌检查中成为不良， 从而完成本发明。 0038 图 1 是本发明的线锯的一例的。
23、略图。 0039 如图 1 所示， 本发明的线锯 1 主要由下述等所构成 ： 钢线 2， 用于切断工件 W ； 带凹 槽滚筒 3 ； 钢线张力赋予机构 4、 4， 用于对钢线 2 赋予张力 ； 工件进给装置 5， 将要切断成 晶圆状的工件 W 相对地压下， 以进行切入进给 ； 浆液供给装置 6， 用于在切断时将切断用浆 液供给至钢线 2。 0040 钢线 2 从一个钢线卷筒 7 抽出， 经过转盘 (traverser)， 再经过由磁粉离合器 （定 转矩马达） 或上下跳动滚筒 （静重 (dead weight)） 等所组成的钢线张力赋予机构 4， 进入带 凹槽滚筒 3。钢线 2 通过卷绕在二个以。
24、上带凹槽滚筒 3 上约 300 400 次， 而形成钢线列。 钢线 2 经过另一钢线张力赋予机构 4而被卷绕在钢线卷筒 7上。 0041 此外， 带凹槽滚筒 3 是在钢铁制圆筒的周围压入聚氨酯树脂并于其表面以规定的 间距切出凹槽而成的滚筒， 卷绕的钢线 2 可以被驱动用马达 10 驱动， 而在轴向上作往复行 进。 0042 工件W粘接于抵板上， 并经由抵板和保持此抵板的工件板， 而被工件进给装置5保 持。 0043 并且， 当进行工件W的切断时， 工件W通过工件进给装置5， 往位于相对下方的钢线 2 进给。此工件进给装置 5 通过将工件 W 相对地往下方推压， 直到钢线 2 到达抵板， 从而使。
25、 工件 W 压抵往复行进的钢线 2 来进行切入进给。此工件进给装置 5 可以利用电脑控制， 将 以预先编程的进给速度加以保持的工件 W 送出。并且， 在完成工件 W 的切断之后， 通过将工 件 W 的送出方向倒转， 将完成切断的工件 W 从钢线列中抽出。 0044 浆液供给装置6是由浆液罐11、 浆液冷机(slurry chiller)12、 喷嘴13等所构成。 喷嘴 13 配置于卷绕在带凹槽滚筒 3 上的钢线 2 的上方。此喷嘴 13 经由浆液冷机 12 连接 于浆液罐11， 供给的切断用浆液可以由浆液冷机12控制供给温度， 并由喷嘴13供给至钢线 说 明 书 CN 103687697 A 。
26、6 5/8 页 7 2。 0045 此处， 切断中所使用的浆液的种类并不特别限定， 可以使用与以往相同的浆液， 可 以为例如将 GC（碳化硅） 磨粒分散于液体中而成的浆液。 0046 此外， 如图 1 所示， 本发明的线锯 1 具备 ： 钢线行进历程记录装置 9， 在工件 W 的切 断中， 检测钢线 2 的往复行进的方向和行进速度并按时间序列记录 ； 及， 控制装置 8， 控制钢 线2的往复行进的方向、 与向各方向行进的时间和行进速度， 以使钢线2以特定的周期作往 复行进。 0047 此钢线行进历程记录装置 9 与控制装置 8 连接， 控制装置 8 可以读取钢线行进历 程记录装置 9 中所记录。
27、的钢线 2 的行进历程 （按时间序列记录的行进方向、 行进速度等） 。 0048 而且， 线锯 1 在工件 W 的切断中， 一边将钢线 2 的往复行进的方向和行进速度按时 间序列记录于钢线行进历程记录装置 9 中， 一边切断工件 W。然后， 在由于钢线的断线等异 常的产生而导致工件W的切断在途中被暂时中断之后， 在再次开始工件W切断时， 控制装置 8 利用钢线行进历程记录装置 9， 根据至工件 W 的切断中断时为止所记录的钢线的行进历 程， 控制钢线 2 的往复行进的方向和向该方向行进的时间， 以使钢线 2 的往复周期在工件 W 的切断的中断前与再次开始后保持连续性。 0049 此时， 可以将。
28、钢线的往复周期控制成与即将中断切断之前的周期保持连续性。此 处， 即将中断切断之前的周期是指， 在不中断钢线的行进的状态下， 完成预先规定的钢线的 前进和后退的周期 ； 控制成保持连续性是指， 在钢线的往复周期中将工件 W 的切断中断， 并 在后续再次开始的周期中， 使钢线的向前进方向的行进时间及向后退方向的行进时间， 与 即将中断切断之前的周期相同。 0050 例如， 当钢线向前进方向的行进正好在终止处停止时， 从向后退方向的行进起始 处开始。 0051 并且， 例如， 使钢线向前进方向的行进停止在已行进预先规定时间的 1/2， 此时， 再 次开始后向前进方向行进剩余的 1/2 的时间， 然。
29、后再向后退方向行进即可。 0052 如果是这种线锯， 即便在由于钢线的断线等异常而导致工件的切断在途中被中断 并再次开始的情况下， 也能抑制加工后的晶圆的纳米形貌的恶化， 而不会产生工件的切断 面的阶梯差形状在工件的切断的中断前与再次开始后不连续， 从而完成切断， 结果可以防 止在纳米形貌检查中为不良。 0053 此时， 如图 2 所示， 优选为如下构成 ： 进一步设置温度调整介质供给装置 16， 向带 凹槽滚筒 3 与工件 W 供给分别独立地控制温度的温度调整介质， 利用此温度调整介质供给 装置 16， 在再次开始工件的切断之前， 通过供给温度调整介质， 将带凹槽滚筒 3 的轴向的变 位量与。
30、工件 W 的温度， 分别调整为与工件的切断中断时相同。 0054 此图 2 所示的线锯 20 具备 ： 工件温度的记录装置 14， 用于测定并记录切断中的工 件 W 的温度， 具有例如放射式温度计等 ； 及， 变位量的记录装置 15， 用于测定并记录带凹槽 滚筒 3 的轴向的变位量， 具有例如涡电流式变位传感器等。通过这些记录装置 14、 15， 可以 记录工件的切断中断时的带凹槽滚筒 3 的轴向的变位量与工件 W 的温度。 0055 如果是这种线锯， 就可以抑制切断的晶圆的表面产生阶梯差、 或纳米形貌发生恶 化， 同时完成工件的切断， 而不会产生带凹槽滚筒和工件的热膨胀状态在切断的中断前与 。
31、再次开始后不连续。 说 明 书 CN 103687697 A 7 6/8 页 8 0056 这种工件的切断的再次开始时的带凹槽滚筒的轴向的变位量与工件温度的调整 的控制， 可以如图 2 所示地构成， 通过控制装置 8 来进行， 所述控制装置 8 控制上述钢线的 往复行进的方向、 与向各方向行进的时间和行进速度 ； 也可以通过另行设置的控制装置来 进行。 0057 此处， 可以如图 2 所示地， 利用在工件 W 切断时所使用的浆液， 作为供给至带凹槽 滚筒 3 与工件 W 的温度调整介质。这样一来， 由于不需要另行准备温度调整介质， 因此， 可 以使装置构造变得简便， 并可以在调整带凹槽滚筒的轴。
32、向的变位量与工件的温度后， 直接 迅速地再次开始工件 W 的切断， 而无需停止浆液的供给。图 2 是将温度调整介质供给装置 16 的向带凹槽滚筒 3 供给温度调整介质的构造， 作成使用与浆液供给装置 6 相同的浆液罐 11 和浆液冷机 12 来进行的构造的一例。 0058 或者， 也可以使用经过温度控制的气体， 作为工件 W 的温度调整介质。 0059 继而， 对本发明的线锯的再次开始运转方法进行说明。 0060 此处， 对使用图 1 所示的本发明的线锯的情况进行说明 0061 作为前提， 为了进行工件 W 的切断， 首先， 将抵板粘接于工件 W， 并利用工件板保持 该抵板。然后， 隔着这些抵。
33、板、 工件板， 利用工件进给装置 5 来保持工件 W。 0062 继而， 对钢线 2 赋予张力并使其在轴向上作往复行进， 并对钢线 2 进行浆液供给， 在此状态下， 将被工件进给装置 5 保持的工件 W 相对地压下， 将该工件 W 压抵作往复行进的 钢线 2 来进行切入进给， 切断工件 W。 0063 此外， 在工件 W 的切断中， 检测钢线 2 的往复行进的方向和行进速度， 并按时间序 列记录于钢线行进历程记录装置 9 中。 0064 然后， 例如在由于钢线的断线等异常的发生而导致工件的切断被中断并再次开始 该切断时， 首先， 消除切断的中断原因， 并进行复原作业。例如在钢线 2 的断线发生。
34、时， 进行 钢线 2 的修补作业， 然后， 使工件的各切入处对应于钢线列的各列， 并使其卡合来进行复原 作业。 0065 该复原作业完成后， 再次开始工件的切断时， 根据至工件的切断中断时为止所记 录的钢线的行进历程， 利用控制装置 8 控制钢线的往复行进的方向和向该方向行进的时 间， 再次开始进行切断， 以使钢线的往复周期在工件的切断的中断前与再次开始后保持连 续性。 0066 此时， 可以将钢线的往复周期控制成与即将中断切断之前的周期保持连续性。此 处， 即将中断切断之前的周期是指， 在不中断钢线的行进的状态下， 完成预先规定的钢线的 前进和后退的周期 ； 控制成保持连续性是指， 在钢线的。
35、往复周期中将工件 W 的切断中断， 并 在后续再次开始的周期中， 使钢线的向前进方向的行进时间及向后退方向的行进时间， 与 即将中断切断之前的周期相同。 0067 例如， 当钢线向前进方向的行进正好在终止处停止时， 从向后退方向的行进起始 处开始。 0068 并且， 例如， 使钢线向前进方向的行进停止在已行进预先规定时间的 1/2， 此时， 再 次开始后向前进方向行进剩余的 1/2 的时间， 然后再向后退方向行进即可。 0069 如果是这种方法， 即便在由于钢线的断线等异常而导致工件的切断在途中被中断 并再次开始的情况下， 也能抑制加工后的晶圆的纳米形貌的恶化， 而不会产生工件的切断 说 明 。
36、书 CN 103687697 A 8 7/8 页 9 面的阶梯差形状在工件的切断的中断前与再次开始后不连续， 从而完成切断， 并可以防止 被切断的晶圆在纳米形貌检查中成为不良。 0070 另外， 在工件的切断中发生某些异常而中断切断时， 如果在发生异常的时间点瞬 间使钢线的行进停止， 就可能会对钢线施加过大的力， 而使除了发生异常以外的其他位置 处发生钢线断线。 为了避免这种由于钢线停止所导致的钢线断线的发生， 在使钢线停止时， 与使钢线的行进方向逆转时相同地， 以规定的加速度减速而使钢线停止。这种情况下也如 上所述地， 根据至工件的切断中断时为止所记录的钢线的行进历程， 控制钢线的往复行进 。
37、的方向和向该方向行进的时间， 以使钢线的往复周期在工件的切断的中断前与再次开始后 保持连续性， 而可以确实地避免产生工件的切断面的阶梯差形状在工件的切断的中断前与 再次开始后不连续。 0071 此时， 优选为， 在再次开始工件的切断之前， 通过供给温度调整介质， 将前述带凹 槽滚筒的轴向的变位量与前述工件的温度， 分别调整为与前述工件的切断中断时相同。 0072 这样一来， 可以抑制切断的晶圆的表面产生阶梯差、 或纳米形貌发生恶化， 同时完 成工件的切断， 而不会产生带凹槽滚筒与工件的热膨胀状态在切断的中断前与再次开始后 不连续。 0073 实施例 0074 以下， 示出本发明的实施例和比较例。
38、， 更具体地说明本发明， 但是本发明并不限定 于这些例子。 0075 （实施例 1 至 3） 0076 利用如图1所示的本发明的线锯， 开始将直径300mm的硅晶棒切断成晶圆状， 在该 切断的途中， 使切断中断， 并利用本发明的再次开始运转方法， 再次开始进行切断。 然后， 评 价切断后的晶圆的纳米形貌。此处， 评价在切断中断位置附近的范围所测定的 10mml0mm 范围中的纳米形貌的最大值。 0077 此外， 在工件的切断中， 使钢线以图 4 所示的行进速度曲线行进。此行进速度曲线 具有以下行进周期 ： 从以0所表示的时间点开始使钢线向前进方向行进， 在以B所表示的时 间点以规定的加速度减速。
39、， 在以 B所表示的时间点开始使钢线向后退方向行进。 0078 首先， 一边检测并记录钢线的往复行进的方向和行进速度， 一边将硅晶棒切断至 中央位置 （切入深度为 150mm） 。然后暂时中断加工， 使硅晶棒上升并从钢线列中抽出。然 后， 再次使硅晶棒下降， 使硅晶棒返回至中断切断的位置， 再次开始进行切断。 此处， 使中断 切断的时机 (timing) 为图 4 所示的行进速度曲线的 A、 B、 C 的位置， 钢线在 A、 B、 C的 各行进周期的时间点停止。 0079 然后， 从 A（实施例 1） 、 B（实施例 2） 、 C（实施例 3） 的行进周期的时间点， 再次开始切断。即， 使钢线。
40、的往复行进周期与由于工件的切断中断而使钢线即将停止之前 的往复行进周期相同， 也就是使钢线向新方向行进的时间和向后退方向行进的时间相同地 加以控制， 再次开始进行切断， 以使钢线的往复周期在工件的切断的中断前与再次开始后 保持连续性。 0080 结果示于表 1。如表 1 所示， 与后述的比较例 1 至 3 相比， 实施例 1 至 3 的纳米形 貌都得以被改善。此外， 进行纳米形貌检查时， 任一晶圆均未检测出不良。 0081 这样一来， 得以确认以下事项 ： 本发明的线锯及线锯的再次开始运转方法， 即便在 说 明 书 CN 103687697 A 9 8/8 页 10 工件的切断的途中被中断的情。
41、况下， 也能抑制加工后的晶圆的纳米形貌的恶化， 从而完成 切断， 并可以防止在纳米形貌检查中成为不良。 0082 （比较例 1 至 3） 0083 利用不具备本发明的控制装置的以往的线锯， 使中断切断的时机为图 4 所示的行 进速度曲线的 A（比较例 1） 、 B（比较例 2） 、 C（比较例 3） 的位置， 不考虑切断中断位置， 使 切断再次开始于为 0 的时间点， 即， 再次开始工件的切断时， 未控制钢线的往复行进的方向 和向该方向行进的时间， 除此以外， 在与实施例 1 至 3 相同的条件下切断硅晶棒， 并评价切 断后的晶圆的纳米形貌。 0084 结果示于表 1。如表 1 所示， 与实施。
42、例 1 至 3 相比， 比较例 1 至 3 的纳米形貌都发 生恶化， 在纳米形貌检查中成为不良。 0085 表 1 0086 切断停止 切断再次开始纳米形貌 (nm) 实施例 1AA13.9 实施例 2BB13.7 实施例 3CC14 比较例 1A018.3 比较例 2B020.5 比较例 3C016.8 0087 另外， 本发明并不限定于上述实施形态。 上述实施形态为例示， 具有与本发明的权 利要求书所述的技术思想实质相同的结构、 并发挥相同作用效果的技术方案， 均包含在本 发明的技术范围内。 说 明 书 CN 103687697 A 10 1/4 页 11 图 1 说 明 书 附 图 CN 103687697 A 11 2/4 页 12 图 2 说 明 书 附 图 CN 103687697 A 12 3/4 页 13 图 3 说 明 书 附 图 CN 103687697 A 13 4/4 页 14 图 4 说 明 书 附 图 CN 103687697 A 14 。