电沉积装置及其加工机.pdf

本发明涉及有关于一种电沉积装置及加工机，该电沉积装置是包含一循环流道式电沉积槽、一电极及至少一流体驱动模块。该循环流道式电沉积槽内具有一内循环流道，该内循环流道填充一电沉积液，该流体驱动模块驱动该电沉积液内循环于该内循环流道，以进行电沉积加工。本发明的电沉积装置无需设置外部管路，以缩减该电沉积装置的体积及降低该电沉积液的使用量，同时易控制电沉积液的质量。本发明的加工机分别带动该电沉积装置及一工件于单一方向上移动，以简化定位该电沉积装置与该工件的复杂度，进而增加该电沉积装置与该工件的定位准确度。

权利要求书一种电沉积装置，其特征在于，是包含：
一循环流道式电沉积槽，具有一内循环流道，该内循环流道填充有一电沉积液；
一电极，设置于该循环流道式电沉积槽，该电极位于该内循环流道；以及
至少一流体驱动模块，设置于该循环流道式电沉积槽；
其中，一工件放置于该循环流道式电沉积槽，并位于该内循环流道且相对于该电极，该流体驱动模块驱动该电沉积液内循环于该内循环流道，而通过该电极与该工件之间，以进行电沉积加工。
如权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，其中该循环流道式电沉积槽是包含：
一第一组件，具有一第一穿孔、一第二穿孔及一连通流道，该第一穿孔及该第二穿孔贯穿该第一组件，该连通流道与该第一穿孔及该第二穿孔相连通；以及
一第二组件，设置于该第一组件下，并具有一槽状流道，该第一穿孔及该第二穿孔与该槽状流道相连通，以形成该内循环流道。
如权利要求2所述的电沉积装置，其特征在于，其中进一步包括一绝缘件，其设置于该循环流道式电沉积槽及该电极间，该电极及该绝缘件分别具有一通孔，该电极及该绝缘件的该二通孔串接于该第一穿孔，该工件设置于该第一穿孔，该工件相对于该电极，该流体驱动模块穿设于该第二穿孔内，且驱动该电沉积液内循环于该内循环流道。
如权利要求2所述的电沉积装置，其特征在于，其中该第一组件更具有一第三穿孔，该第三穿孔贯穿该第一组件并与该连通流道相连通，该第一穿孔位于该第二穿孔与该第三穿孔之间，该电极与该工件设置于该第一穿孔，该工件相对于该电极，该第二穿孔与该第三穿孔分别设置有该流体驱动模块。
如权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，该流体驱动模块更包含：
一动力驱动单元，以产生旋转动力；
一流体搅拌单元，其连接该动力驱动单元，以驱动该内循环流道的该电沉积液内循环于该内循环流道。
如权利要求5所述的电沉积装置，其特征在于，其中该动力驱动单元是包含：
一承载件，设置于该循环流道式电沉积槽；
一齿轮组，枢接于该承载件，带动该流体搅拌单元；
一致动器，驱动该齿轮组；
该流体搅拌单元包括：
一连接件，连接于该齿轮组上；以及
一螺旋叶片，连接于该连接件上。
如权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，更包含：
一抽气模块，其包括一管体及设置于该管体的复数穿孔，以抽离该循环流道式电沉积槽所产生的气体。
如权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，更包含：一处理模块，包含复数处理槽体，该些处理槽体呈复数排并排排列，且该等处理槽体分别具有一开口部而供该工件放置，该等开口部与该工件放置于该循环流道式电沉积槽的一加工位置皆位于一直线区域上。
如权利要求8所述的电沉积装置，其特征在于，其中每一处理槽体更包括一间隔件，以间隔出相邻的二处理槽，使该等处理槽分别具有一宽部及一窄部，且该等处理槽体的该等开口部位于该等处理槽的该等窄部上，该等处理槽的该等开口部相互交错排列于该直线区域上。
如权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，其中该内循环流道为一管路式流道，且设置于该电沉积槽。
如权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，其中该循环流道式电沉积槽更具有一延伸部，一温度控制模块邻接于该延伸部，以控制该循环流道式电沉积槽内的该电沉积液的温度。
如权利要求11所述的电沉积装置，其特征在于，其中该温度控制模块更包含：
一加热单元，加热该延伸部，该延伸部传导热能至该循环流道式电沉积槽，以加热该循环流道式电沉积槽内的该电沉积液；以及
一冷却模块，冷却该延伸部，该延伸部冷却该循环流道式电沉积槽，以冷却该循环流道式电沉积槽内的该电沉积液。
一种加工机，其特征在于，是包含：
一机台本体；
一电沉积装置，设置于该机台本体，并具有一循环流道式电沉积槽，该循环流道式电沉积槽具有一内循环流道，用于进行电沉积加工；
一第一移动装置，设置于该机台本体，并带动该电沉积装置作一第一方向的水平运动；以及
一第二移动装置，设置于该机台本体，并位于该电沉积装置的上方，并固定一工件，且移动该工件作一第二方向的垂直运动，并进入该电沉积装置的该循环流道式电沉积槽内，以进行电沉积加工。
如权利要求13所述的加工机，其特征在于，其中该电沉积装置包含：
一处理模块，包含复数处理槽体，该些处理槽体呈复数排并排排列，且该等处理槽体分别具有一开口部而供该工件放置，该等开口部与该工件放置于该循环流道式电沉积槽的一加工位置皆位于一直线区域上，每一处理槽体更包括一间隔件，以间隔出相邻的二处理槽，使该等处理槽分别具有一宽部及一窄部，且该等处理槽体的该等开口部分别位于该等处理槽的该等窄部上，该等处理槽的该等开口部相互交错排列于该直线区域上。

说明书电沉积装置及其加工机
技术领域
本发明涉及有一种电沉积装置及加工机，特别是指一种具有内循环流道的电沉积装置及加工机。
背景技术
随着工业的进步，精微加工的需求日渐增加，例如：于生物检测芯片形成微流道、于光纤连接器形成微孔洞、光学镜片或微模具的制作等皆有精微加工的需求。然，一般精微加工所用的加工方式多以非传统加工为主，如，电子束加工、雷射加工、超音波加工、LIGA制程等，但上述加工方式的加工设备及加工费用相当昂贵，而且工件加工后的表面无法达到高质量及高精度。
微放电加工解决上述加工方式无法使工件加工后的表面达到高质量及高精度的问题。微放电加工可使工件加工后的表面达到高精度，但是微放电加工的加工部会因加工电极的消耗，以致于工件上形成的加工结构产生不符合预先设计的形状，而且工件的加工表面因高热产生再凝结、微裂痕及放电坑等状态，导致形成于工件的加工结构的尺寸及形状精度降低，使工件的加工表面的表面质量降低。所以必须搭配其他加工制程提高形成于工件的加工结构的加工精度，同时提高工件的加工表面的表面质量，例如：研磨加工。
以研磨加工为例，对于需要良好精度的孔径及表面粗糙度良好的孔壁或槽壁，传统研磨加工多以搪磨方式加工，磨料块平均分布于圆杆型磨料夹持机构的外圆周，通过搪杆在孔壁内进行旋转与往复运动，以对孔壁进行研磨加工。为使磨料块能平均施力于搪磨中的孔壁，研磨棒的制作加工过程极为重要。
通常精密的研磨棒通常利用电沉积方式制作，如图1所示，该电沉积装置1’包括一槽体10’、一隔板11’、一马达12’及电极载具13’。其中该具有穿孔111’的隔板11’隔设置于槽体10’内，以分隔槽体10’为一第一容置部101’及一第二容置部102’，将电极载具13’设置于第二容置部102’，以设置电极。然，马达12’的出水口141’通过一外部管路14’连通于第一容置部101’，马达12’的入水口143’通过另一外部管路14’连通于第二容置部102’内的底部，藉以使电沉积液通过外部管路14’流进第一容置部101’，且经隔板11’底部的穿孔111’流入第二容置部102’，且使部份的电沉积液向上流动，另一部份的电沉积液向下被马达12’抽离第二容置部102’，如此使放置于第二容置部102’内的工件被沉积研磨粒子。
通过上述的电沉积装置1’虽然可制作出研磨棒，但其槽体10’被外部管路14’环绕，造成电沉积装置1’的体积较大，无法与其他加工模块进行整合，而无法达到于同一加工在线进行多种加工。而且现有电沉积装置1’利用马达12’驱动电沉积液，但驱动电沉积液时，必须使外部管路14’及槽体10’内充满电沉积液方能利用马达12’驱动，导致电沉积液的使用量较多，并使电沉积液内的复数研磨粒的使用量亦增加，导致整体成本提升，且不易维护电沉积液。现有电沉积装置1’的电沉积液从外部管路14’输送至槽体10’的第一容置部101’，并穿过槽体10’的隔板11’，从第二容置部102’的侧壁进入第二容置部102’内，然后电沉积液欲往上流动以与工件及电极接触时，马达12’会将部份电沉积液往下抽离第二容置部102’，如此导致部分电沉积液还未接触工件及电极时即往下流动，而只有部分电沉积液往上流动而接触工件及电极，即接触工件及电极的电沉积液不易流动更新，所以槽体10’内的流场设置容易使电沉积液的复数研磨粒不易均匀沉积于工件，并增加马达12’的耗能，且马达12’容易被电沉积液损坏。
为了解决上述的问题，本发明提供一种电沉积装置及加工机，该电沉积装置的一循环流道式电沉积槽内设置一内循环流道，并无设置外部管路，该电沉积液只需充满内循环流道，即可内循环在该循环流道式电沉积槽，所以可降低该电沉积液的使用量，同时易控制电沉积液的质量，并可缩减该电沉积装置的体积，且该电沉积装置可与其他类型的加工模块进行整合，以于在线同时进行多种加工。
发明内容
本发明的目的，在于提供一种电沉积装置及加工机，电沉积装置内的一循环流道式电沉积槽内设置一内循环流道，无于循环电沉积槽的外部设置一外部管路，如此可缩减电沉积装置的体积，而电沉积装置可与其他类型的加工模块进行整合，以于在线同时进行多种加工。
本发明的目的，在于提供一种电沉积装置，电沉积装置进行电沉积加工时，仅填充该电沉积液于该内循环流道，并使该电沉积液内循环于该内循环流道，所以降低该电沉积液的使用量。
本发明的目的，在于提供一种加工机，加工机带动电沉积装置于第一方向上作水平运动，另移动工件于第二方向上作垂直运动，不但简化带动电沉积装置及工件的方式，并使电沉积装置与工件达到高定位精度，以对工件进行高精度的电沉积加工。
本发明的技术方案：一种电沉积装置，是包含：
一循环流道式电沉积槽，具有一内循环流道，该内循环流道填充有一电沉积液；
一电极，设置于该循环流道式电沉积槽，该电极位于该内循环流道；以及至少一流体驱动模块，设置于该循环流道式电沉积槽；
其中，一工件放置于该循环流道式电沉积槽，并位于该内循环流道且相对于该电极，该流体驱动模块驱动该电沉积液内循环于该内循环流道，而通过该电极与该工件之间，以进行电沉积加工。
本发明中，其中该循环流道式电沉积槽是包含：
一第一组件，具有一第一穿孔、一第二穿孔及一连通流道，该第一穿孔及该第二穿孔贯穿该第一组件，该连通流道与该第一穿孔及该第二穿孔相连通；以及
一第二组件，设置于该第一组件下，并具有一槽状流道，该第一穿孔及该第二穿孔与该槽状流道相连通，以形成该内循环流道。
本发明中，其中进一步包括一绝缘件，其设置于该循环流道式电沉积槽及该电极间，该电极及该绝缘件分别具有一通孔，该电极及该绝缘件的该二通孔串接于该第一穿孔，该工件设置于该第一穿孔，该工件相对于该电极，该流体驱动模块穿设于该第二穿孔内，且驱动该电沉积液内循环于该内循环流道。
本发明中，其中该第一组件更具有一第三穿孔，该第三穿孔贯穿该第一组件并与该连通流道相连通，该第一穿孔位于该第二穿孔与该第三穿孔之间，该电极与该工件设置于该第一穿孔，该工件相对于该电极，该第二穿孔与该第三穿孔分别设置有该流体驱动模块。
本发明中，该流体驱动模块更包含：
一动力驱动单元，以产生旋转动力；
一流体搅拌单元，其连接该动力驱动单元，以驱动该内循环流道的该电沉积液内循环于该内循环流道。
本发明中，其中该动力驱动单元是包含：
一承载件，设置于该循环流道式电沉积槽；
一齿轮组，枢接于该承载件，带动该流体搅拌单元；
一致动器，驱动该齿轮组；
该流体搅拌单元包括：
一连接件，连接于该齿轮组上；以及
一螺旋叶片，连接于该连接件上。
本发明中，更包含：
一抽气模块，其包括一管体及设置于该管体的复数穿孔，以抽离该循环流道式电沉积槽所产生的气体。
本发明中，更包含：
一处理模块，包含复数处理槽体，该些处理槽体呈复数排并排排列，且该等处理槽体分别具有一开口部而供该工件放置，该等开口部与该工件放置于该循环流道式电沉积槽的一加工位置皆位于一直线区域上。
本发明中，其中每一处理槽体更包括一间隔件，以间隔出相邻的二处理槽，使该等处理槽分别具有一宽部及一窄部，且该等处理槽体的该等开口部位于该等处理槽的该等窄部上，该等处理槽的该等开口部相互交错排列于该直线区域上。
本发明中，其中该内循环流道为一管路式流道，且设置于该电沉积槽。
本发明中，其中该循环流道式电沉积槽更具有一延伸部，一温度控制模块邻接于该延伸部，以控制该循环流道式电沉积槽内的该电沉积液的温度。
本发明中，其中该温度控制模块更包含：
一加热单元，加热该延伸部，该延伸部传导热能至该循环流道式电沉积槽，以加热该循环流道式电沉积槽内的该电沉积液；以及
一冷却模块，冷却该延伸部，该延伸部冷却该循环流道式电沉积槽，以冷却该循环流道式电沉积槽内的该电沉积液。
一种加工机，其特征在于，是包含：
一机台本体；
一电沉积装置，设置于该机台本体，并具有一循环流道式电沉积槽，该循环流道式电沉积槽具有一内循环流道，用于进行电沉积加工；
一第一移动装置，设置于该机台本体，并带动该电沉积装置作一第一方向的水平运动；以及
一第二移动装置，设置于该机台本体，并位于该电沉积装置的上方，并固定一工件，且移动该工件作一第二方向的垂直运动，并进入该电沉积装置的该循环流道式电沉积槽内，以进行电沉积加工。
本发明中，其中该电沉积装置包含：
一处理模块，包含复数处理槽体，该些处理槽体呈复数排并排排列，且该等处理槽体分别具有一开口部而供该工件放置，该等开口部与该工件放置于该循环流道式电沉积槽的一加工位置皆位于一直线区域上，每一处理槽体更包括一间隔件，以间隔出相邻的二处理槽，使该等处理槽分别具有一宽部及一窄部，且该等处理槽体的该等开口部分别位于该等处理槽的该等窄部上，该等处理槽的该等开口部相互交错排列于该直线区域上。
本发明具有的有益效果：本发明提供一种电沉积装置，其是包含：一循环流道式电沉积槽，其具有一内循环流道，该内循环流道填充有一电沉积液；一电极，其设置于该循环流道式电沉积槽，该电极位于该内循环流道；以及一流体驱动模块，其设置于该循环流道式电沉积槽；其中，一工件放置于该循环流道式电沉积槽，并位于该内循环流道且相对于该电极，该流体驱动模块驱动该电沉积液内循环于该内循环流道，而通过该电极与该工件之间，以进行电沉积加工。
本发明另提供一种加工机，其是包含：一机台本体；一电沉积装置，其设置于该机台本体，并具有一循环流道式电沉积槽，该循环流道式电沉积槽具有一内循环流道，而用于进行电沉积加工；一第一移动装置，其设置于该机台本体，并带动该电沉积装置作一第一方向的水平运动；以及一第二移动装置，其设置于该机台本体，并位于该电沉积装置的上方，并固定一工件，且移动该工件作一第二方向的垂直运动，并进入该电沉积装置的该循环流道式电沉积槽内，以进行电沉积加工。
附图说明
图1为现有电沉积装置的结构示意图；
图2为本发明的第一实施例的立体图；
图3为本发明的第一实施例的剖面图；
图4为本发明的第一实施例的立体透视示意图；
图5为本发明的第一实施例的使用状态图；
图6为本发明的第二实施例的剖面图；
图7为本发明的第三实施例的立体图；
图8为本发明的第四实施例的立体图；
图9为本发明的第五实施例的立体图；以及
图10为本发明的第六实施例的立体图。
【图号对照说明】
1’  电沉积装置           10’ 槽体
101’第一容置部           102’第二容置部
11’ 隔板                 111’穿孔
12’ 马达                 13’ 电极载具
14’ 外部管路             141’出水口
143’入水口               1    电沉积装置
10   循环流道式电沉积槽   100  内循环流道
101  第一组件             1011 第一表面
1012  第二表面       1013  第一穿孔
1014  第二穿孔       1015  连通流道
1016  第三穿孔       102   第二组件
1021  第一表面       1022  第二表面
1023  槽状流道       103   延伸部
12    电极           121   通孔
13    绝缘件         14    流体驱动模块
140   动力驱动单元   1400  承载件
1401  齿轮组         1402  致动器
141   流体搅拌单元   1411  连接件
1412  螺旋叶片       16    电源供应模块
17    温度控制模块   172   加热单元
173   冷却模块       1731  致冷芯片模块
1732  散热风扇       18    处理模块
181   处理槽体       1811  电解电极
1812  处理槽         18121 窄部
18122 宽部           182   承载座
183   间隔件         19    抽气模块
191   管体           192   穿孔
2     工件           3     加工机
31    机台本体       32    第一移动装置
33    第二移动装置   4     电沉积液
具体实施方式
为使对本发明的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：
现有电沉积装置是利用外部管路连接至电沉积槽的外侧的马达，并透过外部管路供应电沉积液至电沉积槽内，以进行电沉积加工。现有电沉积装置必须设置马达并使用马达将外部管路内的电沉积液抽至电沉积槽，但是于外部管路及电沉积槽内充满电沉积液的前提下，方能使马达作动，如此造成电沉积液的使用量增加，导致成本增加。然电沉积槽内的电沉积液也须透过马达将电沉积液抽至外部管路中再利用，于此流场设计下电沉积液中若含有研磨粒子，研磨粒子无法均匀分布于电沉积液中，进而无法均匀沉积于工件上，且导致马达的耗能提高。而且利用马达不断抽取电沉积液，长时间使用下电沉积液容易腐蚀马达，所以必须提升马达的防蚀性，导致成本大幅提升，且，外部循环管路及马达环绕电沉积槽的外侧设置，势必增加电沉积装置的体积。
请参阅图2及图3，其为本发明的第一实施例的立体图及剖面图；如图所示，本实施例提供一种电沉积装置1，电沉积装置1是包含一循环流道式电沉积槽10、一电极12及一流体驱动模块14。循环流道式电沉积槽10具有一内循环流道100，本实施例的循环流道式电沉积槽10具有一第一组件101及一第二组件102，第一组件101具有一第一表面1011及一第二表面1012，并具有垂直贯穿第一表面1011及第二表面1012的一第一穿孔1013及一第二穿孔1014，且具有形成于第一表面1011的一连通流道1015，连通流道1015是与第一表面1011相互平行，其中连通流道1015与第一穿孔1013及第二穿孔1014相连通，而且于一实施例中，连通流道1015与第一穿孔1013及第二穿孔1014相互垂直。
然，第二组件102亦具有一第一表面1021及一第二表面1022，第二组件102的第一表面1021形成一槽状流道1023。第二组件102设置于第一组件101的下方，即第二组件102的第一表面1021与第一组件101的第二表面1012相接触，使第一组件101的第一穿孔1013及第二穿孔1014与第二组件102的槽状流道1023相连通，如此第一组件101的第一穿孔1013、第二穿孔1014及连通流道1015与第二组件102的槽状流道1023形成内循环流道100，并形成于循环流道式电沉积槽10内，且日后进行电沉积加工时电沉积液只填充于内循环流道100。如图4所示，本发明的内循环流道100设置于循环流道式电沉积槽10内，而仅有部分连通流道1015外露于循环流道式电沉积槽10，所以内循环流道100为一管路式流道而设置于循环流道式电沉积槽10内。
因现有电沉积装置的电沉积槽的外部设有外部管路，电沉积液循环于电沉积槽与外部管路之间，导致现有电沉积装置的体积过大，而本实施例的电沉积液内循环于循环流道式电沉积槽10的内循环流道100，无需设置外部管路，使电沉积装置1的体积明显缩减。因本实施例的电沉积装置1的体积较小，所以可与其他加工类型的加工模块整合，并于同一加工在线进行多种加工。
请一并参阅图5，其是本发明的第一实施例的使用状态图。如图所示，一工件2进行电沉积加工之前，先填充电沉积液4至内循环流道100，可从第一穿孔1013或第二穿孔1014进行填充，使电沉积液4充满于内循环流道100。而流体驱动模块14设置于循环流道式电沉积槽10的第二穿孔1014，本实施例的流体驱动模块14包含一动力驱动单元140及一流体搅拌单元141，动力驱动单元140连接流体搅拌单元141，流体搅拌单元141穿设于第二穿孔1014，并位于内循环流道100内。当动力驱动单元140产生旋转动力而驱动流体搅拌单元141时，流体搅拌单元141作旋转搅拌而扰动内循环流道100内的电沉积液4，以驱动电沉积液内循环于内循环流道100内。
本实施例的流体搅拌单元141具有一连接件1411及更设有一螺旋叶片1412，螺旋叶片1412设置于连接件1411的一端，并位于内循环流道100内。连接件1411的另一端连接动力驱动单元140。当动力驱动单元140驱动连接件1411作旋转时，连接件1411带动螺旋叶片1412旋转，螺旋叶片1412旋转搅拌内循环流道100内的电沉积液4而扰动电沉积液4，并驱使电沉积液4从第二穿孔1014流至槽状流道1023，再流至第一穿孔1013且从第一穿孔1013而涌出，然后经由连通流道1015流回至第二穿孔1014，即流体驱动模块14驱动电沉积液4内循环于内循环流道100，所以电沉积液4不断内循环于内循环流道100。
因现有电沉积装置的电沉积槽的外部设有外部管路，电沉积液必须充满外部管路及电沉积槽，导致电沉积液的使用量增加，而本实施例的电沉积液4仅充满循环流道式电沉积槽10内的内循环流道100，有效减少电沉积液4的使用量。若电沉积液4含有复数研磨粒子，因本实施例的电沉积装置1可使电沉积液4内循环于内循环流道100，所以可让电沉积液4内的该些研磨粒子均匀分布于电沉积液4中，以对工件进行电沉积加工时让该些研磨粒子可均匀地沉积于工件2的表面。
上述动力驱动单元140可直接为一致动器1402，于本发明的一实施例中，致动器1402为马达，致动器1402直接连接并驱动流体搅拌单元141，于此不再赘述。然，为了提升致动器1402带动流体搅拌单元141的转动扭力及降低流体搅拌单元141的转动速度，所以本实施例连接流体搅拌单元141的动力驱动单元140是更包含一齿轮组1401，齿轮组1401设置于流体搅拌单元141的连接件1411与致动器1402之间，然齿轮组1401被致动器1402驱动，以减缓转动速度并传递动力至流体搅拌单元141，使流体搅拌单元141的转动速度较致动器1402的转动速度低，以增加流体搅拌单元141的转动扭力。
本实施例的动力驱动单元140更包含一承载件1400，承载件1400是承载齿轮组1401及致动器1402，齿轮组1401枢接于承载件1400，流体搅拌单元141与齿轮组1401连接。然承载件1400设置于循环流道式电沉积槽10上，并使与齿轮组1401连接的流体搅拌单元141设置于第二穿孔1014。
本实施例的电沉积装置1未利用马达直接抽取电沉积液4，而使用动力驱动单元140带动流体搅拌单元141，流体搅拌单元141以旋转搅拌方式扰动电沉积液4，进而驱动电沉积液4内循环于内循环流道100，本实施例以最简单的传动机构使电沉积液4内循环于内循环流道100。所以，本实施例的致动器1402未直接与电沉积液4接触，以大幅减少电沉积液4侵蚀致动器1402的机会，维持其使用寿命，且无须提升致动器1402的防蚀性，不会使电沉积装置1的成本增加。
复参阅图5，填充电沉积液4至内循环流道100之前，电极12设置于循环流道式电沉积槽10的第一穿孔1013，使电极12位于内循环流道100内，因内循环流道100内的电沉积液4受流体驱动模块14的驱动，而不断地内循环于内循环流道100，电沉积液4不断地通过电极12，使电极12持续与电沉积液4接触。本实施例的第一穿孔1013位于第一表面1011的开口的半径大于第一穿孔1013位于第二表面1012的开口的半径，而于第一穿孔1013内形成一阶梯部。电极12从第一穿孔1013置入，并位于第一穿孔1013内的阶梯部上。本实施例的电极12的中心具有一通孔121，通孔121与第一穿孔1013串接，即通孔121与内循环流道100相连通，所以内循环流道100的电沉积液4会通过通孔121而通过电极12。本实施例的电极12为环状，此为本发明的一实施例，电极12亦可为任意几何形状，于此不再赘述。然本实施例的电极12亦可不具有通孔121，可能为一片状并位于第一穿孔1013的一侧，电沉积液4通过第一穿孔1013，同时地，电沉积液4也通过电极12，于此不再赘述。然循环流道式电沉积槽10(即第一穿孔1013的侧壁)与电极12之间更设置一绝缘件13，绝缘件13具有一通孔131，绝缘件13的通孔131与电极12的通孔121连通，并与第一穿孔1013串接，以与内循环流道100相连通。绝缘件13是使电极12与循环流道式电沉积槽10间绝缘，防止电极12与循环流道式电沉积槽10导通。
待电极12设置第一穿孔1013之后，欲进行电沉积加工时，工件2先置入循环流道式电沉积槽10的第一穿孔1013，并相对位于第一穿孔1013内的电极12。本实施例的电沉积装置1更包含一电源供应模块16，电源供应模块16的阳极连接至电极12，其阴极连接至工件2，电源供应模块16提供一电源至电极12与工件2，以进行电沉积加工。
完成上述设置后，填充电沉积液4至内循环流道100，并启动电源供应模块16提供电源至电极12与工件2，且启动流体驱动模块14驱动电沉积液4内循环于内循环流道100。当电沉积液4内循环于内循环流道100时，电沉积液4亦通过电极12与工件2之间，使电极12与工件2间进行电沉积加工。
若电沉积液4含有复数研磨粒子，于电沉积加工过程中，当电沉积液4内循环于内循环流道100时，电沉积液4从第二穿孔1014往下流动至槽状流道1023，再从槽状流道1023向上流动，最后从第一穿孔1013涌出，电沉积液4包覆设置于第一穿孔1013的工件2，使电沉积液4内的该些研磨粒子均匀沉积于工件2的表面上而形成为一研磨层，进而使工件2形成一研磨工具。而本实施例的电沉积装置1可使电沉积液4内循环于内循环流道100，因此可让电沉积液4内的该些研磨粒子均匀分布于电沉积液4中，以增加研磨工具上研磨粒子的沉积均匀性。
请参阅图6，其是本发明的第二实施例的使用状态图。如图所示，第一实施例的循环流道式电沉积槽10的内循环流道100为单向循环，而本实施例的循环流道式电沉积槽10亦具有内循环流道100，并可进行双向循环，以增加电沉积液4中该些研磨粒子的均匀性与密度。本实施例的第一组件101更设有一第三穿孔1016，第三穿孔1016位于第一穿孔1013的一侧，并与第二穿孔1014相对应，即第一穿孔1013位于第二穿孔1014与第三穿孔1016之间。第三穿孔1016贯穿第一组件101，并与第二组件102的槽状流道1023相连通，且与位于第一组件101的连通流道1015相连通，以于循环流道式电沉积槽10形成内循环流道100。
本实施例是于第一穿孔1013内设置电极12，另于第二穿孔1014及第三穿孔1016分别设置一流体驱动模块14，位于第二穿孔1014的流体驱动模块14驱动内循环流道100左侧的电沉积液4作逆时针流动，电沉积液4从第一穿孔1013涌出，再流经左侧的连通流道1015，回流至第二穿孔1014，如此电沉积液4循环于位于循环流道式电沉积槽10左侧的内循环流道100。然，位于第三穿孔1016的流体驱动模块14驱动内循环流道100右侧的电沉积液4作顺时针流动，电沉积液4亦从第一穿孔1013涌出，再流经右侧的连通流道1015，回流至第三穿孔1016，如此电沉积液4循环于位于循环流道式电沉积槽10右侧的内循环流道100。由上述可知，电沉积液4可双向内循环于内循环流道100，并同时汇集至第一穿孔1013且从第一穿孔1013涌出，如此大量电沉积液4会汇集到第一穿孔1013，且大量电沉积液4会从第一穿孔1013涌出，如此流过电极12与工件2之间的电沉积液4即会增加，此时电沉积液4含有研磨粒子，并通过位于第一穿孔1013的电极12与工件2之间，所以通过电极12与工件2间的该些研磨粒子的密度也会大幅增加，进而提升沉积于工件2的该些研磨粒子的沉积密度及均匀性。
请参阅图7，其是本发明的第三实施例的立体图。如图所示，本实施例的电沉积装置1更包含一温度控制模块17，于本发明的一实施例中，温度控制模块17可为一加热棒，加热棒嵌入于循环流道式电沉积槽10的一侧，加热棒所提供的热能从循环流道式电沉积槽10的一侧传导至内循环流道100内的电沉积液，以加热循环流道式电沉积槽10的内循环流道100内的电沉积液。为了使内循环流道100内的电沉积液均匀受热，本实施例的循环流道式电沉积槽10更包含一延伸部103，延伸部103是从循环流道式电沉积槽10的第二组件102延伸出，第二组件102与延伸部103形成L字型。延伸部103覆盖循环流道式电沉积槽10的侧壁，并与循环流道式电沉积槽10的内循环流道100相互平行，且供温度控制模块17设置。本实施例的温度控制模块17包含至少一加热单元172及一冷却模块173。延伸部103与循环流道式电沉积槽10的内循环流道100相互平行，然加热单元172嵌设于延伸部103，以加热延伸部103。而冷却模块173邻接于延伸部103的侧壁，以冷却延伸部103。透过加热单元172及冷却模块173控制延伸部103的温度。本发明的延伸部103更具有一控制芯片(图未示)，其用于感测循环流道式电沉积槽10或电沉积液的温度，以控制加热单元172及冷却模块173。本发明的循环流道式电沉积槽10的材料为导热材料，所以延伸部103从循环流道式电沉积槽10延伸出，延伸部103的材料亦为导热材料。
当加热单元172产生一热能并传递至延伸部103时，是会提高延伸部103的温度，因延伸部103的体积大，延伸部103的受热面积大，热能均匀分布于延伸部103。然延伸部103紧邻并覆盖循环流道式电沉积槽10的侧壁，且两者间的接触面积大，所以延伸部103传导热能至循环流道式电沉积槽10的侧壁，热能均匀分布于循环流道式电沉积槽10的侧壁，以均匀加热位于内循环流道100内的电沉积液。当电沉积液的温度超过默认值时，冷却模块173提供一冷却源并传导至延伸部103，冷却模块173亦与延伸部103间具有大面积的接触，使延伸部103的温度均匀降低，然延伸部103均匀地冷却循环流道式电沉积槽10的侧壁的温度，而与延伸部103相同，以均匀冷却内循环流道100的电沉积液。如此透过加热单元172及冷却模块173控制延伸部103的温度，进而控制内循环流道100内的电沉积液温度，即使电沉积液温度符合默认值以达到恒温。
本实施例冷却模块173为一致冷芯片模块1731，致冷芯片模块1731邻接于延伸部103的侧壁。当冷却模块173冷却延伸部103时，致冷芯片模块1731产生一冷却源并传递至延伸部103，降低延伸部103的温度，以降低循环流道式电沉积槽10内的电沉积液温度。而延伸部103的热能透过致冷芯片模块1731排至外部，以加速降低延伸部103的温度，进而加速降低循环流道式电沉积槽10内的电沉积液的温度。而本实施例的冷却模块173更设有一散热风扇1732，散热风扇1732设置于致冷芯片模块1731，当延伸部103的热能透过致冷芯片模块1731排出外部时，热能大部分先聚积于致冷芯片模块1731的末端，此时，启动散热风扇1732并将聚积于致冷芯片模块1731末端的热能抽离，以加快热能排出的速度。
请参阅图8，其是本发明的第四实施例的立体图。如图所示，本实施例的循环流道式电沉积槽10的另一侧更邻接一处理模块18，处理模块18是对工件2进行电沉积加工的前或的后进行处理。前述实施例揭示本实施例的电沉积装置1的体积较小，可与其他加工类型的加工模块整合，以于同一加工在线进行多种加工，例如：与本实施例的电沉积装置1整合的加工模块为微放电加工模块，微放电加工模块所使用的电极即为本实施例的工件2，进行微放加工后的电极(即工件2)产生耗损，必须利用电沉积装置1进行修整，工件2进行电沉积加工之前，处理模块18先以酸洗、水洗或脱脂等方式清洁工件2的表面；工件2进行电沉积加工之后，以电解方式修整沉积于工件2表面的沉积层。上述仅为本发明的一实施例，表示本实施例的电沉积装置1可与其他加工类型的加工模块整合。
然，本实施例的电沉积装置1是将处理模块18与循环流道式电沉积槽10整合一起，使进行电沉积加工之前或之后的工件2可立即移至处理模块18进行处理，而无须移至另一机台进行处理，即于同一加工在线同时进行电沉积加工及处理。本实施例的处理模块18具有四个处理槽体181，该些处理槽体181并排排列成一列，靠近循环流道式电沉积槽10的处理槽体181与循环流道式电沉积槽10的侧壁邻接，该些处理槽体181的功用可分别为水洗、酸洗、脱脂及电解等，然依据电沉积前或后的工件2的表面状态选择适当的处理槽体181，以对电沉积前或后的工件2进行处理。其中用以电解的处理槽体181的侧壁更设有一电解电极1811，当工件2置入用以电解的处理槽体181时，工件2相对电解电极1811，以进行电解加工。且本实施例的处理模块18更包含一承载座182，该些处理槽体181设置于承载座182，循环流道式电沉积槽10设置于承载座182，而循环流道式电沉积槽10与该些处理槽体181的一相邻接，如此循环流道式电沉积槽10可从承载座182上拆卸下来，以便于清洁循环流道式电沉积槽10与该些处理槽体181。
请参阅图9，其是本发明的第五实施例的立体图。如图所示，本实施例的处理模块18是具有两个处理槽体181，每一处理槽体181包含两处理槽1812，其主要于处理槽体181设置一间隔件183，间隔件183将处理槽体181间隔成二处理槽1812，如此每一处理槽体181具有两处理槽1812，所以两个处理槽体181总共具有四处理槽1812，而且该些处理槽1812相互并排及邻接，使该等处理槽1812呈复数排并排成数列，如此可增加处理槽1812数量，且降低处理模块18的体积。
本实施例的电沉积装置1更包含一抽气模块19，抽气模块19具有一管体191，管体191设置于循环流道式电沉积槽10及处理模块18，并朝向循环流道式电沉积槽10及处理模块18，管体191具有复数穿孔192，透过该些穿孔192抽取循环流道式电沉积槽10进行电沉积加工或处理模块18进行处理时所产生的气体至管体191，并由管体191将气体排至电沉积装置1的外部。然，本实施例的抽气模块19亦可仅设置于循环流道式电沉积槽10或处理模块18的一侧，并仅抽取循环流道式电沉积槽10进行电沉积加工所产生的气体，或者仅抽取处理模块18进行处理时所产生的气体至电沉积装置1的外部，于此不再赘述。
请参阅图10，其是本发明的第六实施例的立体图。如图所示，本实施例是提供一加工机3，上述实施例的电沉积装置1可装设于加工机3上。加工机3其本身具有X、Y、Z移动轴，该加工机3具有一机台本体31，且其另设置一第一移动装置32，使电沉积装置1能移动至Z轴位置及加工机3的Z轴可作为本技术的一第二移动装置33，该第一移动装置32及该第二移动装置33设置于机台本体31上。本实施例是以图8的电沉积装置1为例，电沉积装置1设置于机台本体31，并连接第一移动装置32，工件2固定于第二移动装置33。第一移动装置32带动电沉积装置1于一水平面上作水平运动，并仅于第一方向(即沿X轴或Y轴)上移动，然第二移动装置33移动工件2作垂直运动，即于与第一方向正交的第二方向(沿着Z轴)上移动，使该加工机3可利用本身的X、Y、Z移动轴，让工件2作为工具对固定于加工机3上的被加工件(图未示)进行加工如放电加工后，并可利用第一移动装置32移送电沉积装置1至第二移动装置33的水平位置(X、Y轴位置)，即相对于加工机3的被加工件的位置，使第二移动装置33移动工件2而进行电沉积加工，如沉积研磨粒于工件2其上，之后可利用第一移动装置32移送电沉积装置1离开第二移动装置33的位置，如此在不使加工机3上的X、Y轴移动状况下，以利用第二移动装置33移动工件2对加工机3上的被加工件进行再加工，如此可提高工件2对位于加工机3的被加工件的位置精确度，因此提高加工机上的被加工件的加工精度。
上述提及前述实施例揭示本实施例的电沉积装置1的体积较小，可与其他加工类型的加工模块整合，以于同一加工在线进行多种加工，而以本实施例的电沉积装置1与微放电加工模块整合为例，于此延续上述，微放电加工模块设置于机台本体31，并位于电沉积装置1的下方，工件2除了受第二移动装置33带动，更可由一水平移动平台(X、Y移动轴，图未示)带动，工件2于进行电沉积加工前为微放电加工的电极，所以进行微放电加工时，必须先透过水平移动平台定位工件2的位置，以对应微放电加工模块，然后利用第二移动装置33移动工件2进入微放电加工模块以对固定于加工机3的被加工件(图未示)进行微放电加工，待微放电加工完成后，第二移动装置33往上移动工件2离开微放电加工模块。
当进行电沉积加工时，只需要由第一移动装置32移动电沉积装置1，并使循环流道式电沉积槽10对位于工件2，接着第二移动装置33进给工件2向下并进入循环流道式电沉积槽10内进行电沉积加工。待电沉积加工完成后，第二移动装置33带动工件2垂直向上离开循环流道式电沉积槽10，然第一移动装置32带动电沉积装置1往右侧移动，让处理槽体181对位于工件2，第二移动装置33再进给工件2向下并进入该些处理槽体181进行处理。因电沉积装置1的循环流道式电沉积槽10与处理模块18的该些处理槽体181是呈复数排并排排列，即沿着第一方向排列，所以只需要第一移动装置32带动电沉积装置1于第一方向上移动，即可使第二移动装置33进给工件2至循环流道式电沉积槽10与该些处理槽体181，工件2置入每一处理槽体181的处理位置为一开口部18133。第一移动装置32带动电沉积装置1于第一方向上移动，所以工件2于循环流道式电沉积槽10内进行电沉积加工的加工位置及该些处理槽体181的该些开口部1813是位于一直线区域，且更可进一步为位于直线区域内的同一共在线，以形成一加工线，此直线区域为移动区域，所以第一移动装置32只需带动电沉积装置1沿着直线区域或直线区域内的加工线移动，而让循环流道式电沉积槽10的加工位置(即图3的电极12的通孔121)或该些处理槽体181的该些开口部1813对准工件2，以让工件2进入循环流道式电沉积槽10内进行电沉积加工，或者进入该些处理槽体181的该些开口部1813进行处理。
由上述可知，工件2除了一开始进行微放电加工需要利用水平移动平台进行定位，之后进行电沉积加工及处理时，只利用第一移动装置32及第二移动装置33分别带动电沉积装置1与工件2，且使电沉积装置1与工件2分别仅于单一方向上作运动，工件2只由第二移动装置33带动，而不需于水平的X轴与X轴移动，即可进入循环流道式电沉积槽10进行电沉积加工或该些处理槽体181进行处理，如此减少定位电沉积装置1与工件2的复杂度，以增加电沉积装置1与工件2的定位准确度。
复参阅图9，为了缩减处理模块18的体积，于每一处理槽体181设置间隔件183，使每一处理槽体181间隔成两处理槽1812，两处理槽1812分别具有一窄部18121及一宽部18122，窄部18121具有供工件2置入的一开口部1813，两处理槽1812相邻的一侧相互交错排于一列上，即位于二窄部18121的二开口部1813相互交错，并与工件2位于循环流道式电沉积槽10的加工位置位于直线区域甚至位于直线区域的同一共在线，即位于加工在线。然每一处理槽1812容置一处理溶液，例如：作水洗的处理槽体181的处理溶液为蒸馏水；作电解的处理槽体181的处理溶液为电解液。每一处理槽1812的宽部18122具有一搅拌空间，所以可设置一搅拌装置(图为未)于搅拌空间内，以搅拌处理槽体181的处理溶液，进而扰动处理溶液对工件进行处理。
所以图9的电沉积装置1亦可应用于图10的加工机3，通过第一移动装置32带动电沉积装置1并沿着直线区域或直线区域内的加工线移动，并让位于直线区域或直线区域内的加工线的循环流道式电沉积槽10的加工位置或该些处理槽1812的该些开口部1813的一者对准该工件2，以让第二移动装置33带动工件2进入位于直线区域或直线区域内的加工线的加工位置或该些开口部1813，即进入循环流道式电沉积槽10或该些处理槽1812进行电沉积加工或处理。
综上所述，本发明提供一种电沉积装置及加工机，电沉积装置内设有内循环流道，不需要设置外部管路，所以可缩减电沉积装置的体积，且可与其他类型的加工模块进行整合，并于在线同时进行多种加工。此外，电沉积液仅填充于内循环流道，而且不断地内循环于内循环流道，如此降低电沉积液的使用量且容易维护电沉积液，且容易控制电沉积液的质量。而电沉积液不断地内循环于内循环流道，可使电沉积液的该些研磨粒子均匀分布于电沉积液中，以增加该些研磨粒子沉积于工件表面的均匀度，并增加该些研磨粒子的沉积量。
本发明的加工机只利用第一移动装置及第二移动装置分别带动电沉积装置与工件，而且使电沉积装置与工件分别仅于单一方向上作运动，工件即可进入循环流道式电沉积槽进行电沉积加工或该些处理槽体进行处理或对位于加工机上的被加工件进行后续加工，而不需于水平的X轴与X轴移动，如此减少定位电沉积装置与工件的复杂度，以增加电沉积装置与工件的定位准确度。
综上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的范围，凡依本发明权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本发明的权利要求范围内。