一种电阻器用金属氧化膜的制备方法技术领域
本发明涉及电阻膜制备技术领域，特别是一种电阻器用金属氧化膜的制备方法。
背景技术
金属氧化膜电阻器就是以特种金属或合金作电阻材料，用真空蒸发或溅射的方
法，在陶瓷或玻璃基本上形成氧化的电阻膜层的电阻器。
金属氧化膜电阻作为一种膜电阻器，金属氧化膜的成膜质量对于电阻本身电学性
能有较大的影响。
发明内容
本发明的目的是为解决现有技术中的问题，公开了一种电阻器用金属氧化膜的制
备方法。
为实现上述目的，本发明公开了一种电阻器用金属氧化膜的制备方法，其具体制
备步骤为：
（1）将锡、锑金属置入坩埚中，再置入熔融炉中加热至650-700℃，熔融2-3小时后取出
置入冷水中水淬；
（2）将水淬后的金属颗粒置入球磨机中，加入等质量的乙醇进行球磨，球磨24-30小时，
再取出抽滤、烘干；
（3）向球磨后的金属粉末中加入乙醇并搅拌10-15分钟，再将溶液涂覆在陶瓷基板上，
置入烘箱中在140-160℃下烘干，再置入氧等离子体舱中处理5-10分钟得到金属氧化膜。
本发明的优点和积极效果是：
本发明方法采用金属超细粉体分散溶液涂覆工艺，使金属氧化膜的成膜迅速，粒度可
控，可提高金属氧化膜的成膜质量。
具体实施方式
具体实施例一：
一种电阻器用金属氧化膜的制备方法，其具体制备步骤为：
（1）将锡、锑金属置入坩埚中，再置入熔融炉中加热至650℃，熔融2小时后取出置入冷
水中水淬；
（2）将水淬后的金属颗粒置入球磨机中，加入等质量的乙醇进行球磨，球磨24小时，再
取出抽滤、烘干；
（3）向球磨后的金属粉末中加入乙醇并搅拌10分钟，再将溶液涂覆在陶瓷基板上，置入
烘箱中在140℃下烘干，再置入氧等离子体舱中处理5分钟得到金属氧化膜。
具体实施例二：
一种电阻器用金属氧化膜的制备方法，其具体制备步骤为：
（1）将锡、锑金属置入坩埚中，再置入熔融炉中加热至700℃，熔融3小时后取出置入冷
水中水淬；
（2）将水淬后的金属颗粒置入球磨机中，加入等质量的乙醇进行球磨，球磨30小时，再
取出抽滤、烘干；
（3）向球磨后的金属粉末中加入乙醇并搅拌15分钟，再将溶液涂覆在陶瓷基板上，置入
烘箱中在160℃下烘干，再置入氧等离子体舱中处理10分钟得到金属氧化膜。
具体实施例三：
一种电阻器用金属氧化膜的制备方法，其具体制备步骤为：
（1）将锡、锑金属置入坩埚中，再置入熔融炉中加热至680℃，熔融2.5小时后取出置入
冷水中水淬；
（2）将水淬后的金属颗粒置入球磨机中，加入等质量的乙醇进行球磨，球磨28小时，再
取出抽滤、烘干；
（3）向球磨后的金属粉末中加入乙醇并搅拌13分钟，再将溶液涂覆在陶瓷基板上，置入
烘箱中在150℃下烘干，再置入氧等离子体舱中处理8分钟得到金属氧化膜。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，
任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其
发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。