清洗装置技术领域
本发明涉及清洗装置。
本申请基于2014年6月30日在日本申请的特愿2014－133929号主张优先权，在此
引用其内容。
背景技术
在专利文献1中公开了一种真空清洗装置，具备：蒸汽室，生成烃类清洗剂的蒸汽；
清洗室，在减压下利用从蒸汽室供给的烃类清洗剂的蒸汽来清洗工件；干燥室，经由开闭阀
连接在清洗室上，并且保持为减压状态和低温状态；清洗室中的工件清洗结束后，通过使开
闭阀处于开阀状态而使清洗室与干燥室连通，从而使工件干燥。
即，在该真空清洗装置中，保持减压状态的干燥室与清洗室连通，该清洗室通过清
洗时的蒸汽供给而变为比干燥室高压的状态，该清洗室通过急速地减压，附着在工件上的
清洗液(清洗剂)瞬间地气化而从清洗室移动至干燥室后冷凝，从而实现工件的干燥。另外，
在下述专利文献2中也公开了具备与专利文献1同样的干燥室(冷凝室)的真空清洗装置。
此外，在下述专利文献3～6中也公开了使用清洗液清洗工件的清洗装置或清洗方
法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本国特开2014－073453号公报
专利文献2：国际公开第2013/077336号公报
专利文献3：日本国特开2013－202566号公报
专利文献4：日本国特开2011－131216号公报
专利文献5：日本国特开平7－256221号公报
专利文献6：日本国特开2001－321417号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
在上述专利文献1等公开的以往的现有技术中，虽然通过将清洗室内急速减压而
使附着在工件上的清洗液气化，但因为该急速减压是通过将清洗室与干燥室从非连通状态
切换至连通状态而实现的，所以将清洗室的容积做成尽可能小才有效。通过使清洗室的容
积变得更小，能够更可靠地使工件干燥。
本发明鉴于上述问题而提出，目的在于使工件比以往更容易干燥。
用于解决上述技术问题的手段
为了实现上述目的，本发明的第1方案为清洗装置，具备：清洗室，容纳被清洗物；
干燥室，连接于该清洗室；连接部件，将设置在清洗室的第1开口与设置在干燥室的第2开口
连接；阀体，位于清洗室内，与第1开口对置；阀座，与该阀体对置；致动器，驱动阀体。
在本发明的第2方案中，上述第1方案的清洗装置还具备开闭机构，将由连接部件
连接清洗室与干燥室的连接状态切换为连通状态或者非连通状态。此外，开闭机构包括阀
体、具备第1开口的阀座以及致动器，构成为通过使阀体与阀座隔开而使清洗室与干燥室连
通。
在本发明的第3方案中，上述第1或第2方案的清洗装置还具备支承部件，所述支承
部件可滑动地嵌合于第1开口，限定阀体相对于第1开口的位置。
在本发明的第4方案中，在上述第1～第3中的任一方案的清洗装置中，致动器配备
于干燥室，并且在连接部件的内部与阀体连接。
在本发明的第5方案中，在上述第1～第4中的任一方案的清洗装置中，连接部件为
波纹管。
在本发明的第6方案中，在上述第1～第5中的任一方案的清洗装置中，阀体构成为
能够与容纳于清洗室内的被清洗物相对移动。
发明效果
根据本发明，通过使位于清洗室内的阀体从第1开口的阀座隔开(分离)而使清洗
室与干燥室连通，因此，能够容易地使工件干燥。
附图说明
图1是示出本发明的一实施方式的真空清洗装置的整体的概要构成的立体图。
图2是示出本发明的一实施方式的真空清洗装置的概要构成的主视图。
图3是示出本发明的一实施方式的真空清洗装置中的开闭机构的详细构成的剖视
图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。
如图1～图3所示，本实施方式的真空清洗装置100具备：清洗室1、蒸汽产生部2、前
门3、干燥室4、连接部件5、开闭机构6、真空泵7、冷媒供给源8以及再生浓缩器9。
首先对该真空清洗装置100的概要进行说明，该真空清洗装置100是通过使清洗剂
的蒸汽(清洗蒸汽)作用于污垢成分附着的工件(被清洗物)而清洗工件的装置。即，该真空
清洗装置100在整个规定期间(清洗期间)连续地向清洗室供给清洗蒸汽，由此在清洗室内
容纳的工件表面上连续地进行清洗蒸汽的附着与冷凝，从而将工件的表面上附着的污垢成
分与清洗剂的冷凝液一起从工件的表面清洗。另外，工件为例如由于加工而在表面上附着
了切削油等作为污垢成分的金属零件。
在图1所示的作为垂直坐标轴的X轴、Y轴以及Z轴中，这样的真空清洗装置100设置
在以Z轴为垂直方向的方式设置在规定的台座(图示省略)上。另外，在该图1中，为了便于说
明，省略了与本实施方式的真空清洗装置100的特征点没有直接关系的构成元件、例如各种
管道或阀。实际的真空清洗装置(真机)在上述的各构成元件的周围安装有多个管道或阀，
而且在其外侧上安装有外部设备。
清洗室1整体形成为中空的长方体形状(大致箱型)，内部空间容纳工件。在该清洗
室1中的一侧面(前表面(图1的左手前侧的面))上设置有开口(工件插通口1a)。该工件插通
口1a是用于在清洗室1与外部之间进出工件的垂直姿态的开口，如图所示为矩形形状。即，
工件插通口1a形成为其开口方向与水平方向平行。另外，在这样的工件插通口1a的周围外
侧，整周地设置有用于与前门3紧贴的密封材料。
此外，在这样的清洗室1的上部且后表面(图1的右深度侧的面)附近部位上设置有
排气端口1b。该排气端口1b是用于将上述清洗室1内的空气(气体)向外部排气的开口，通过
未图示的管道连接在真空泵7上。此外，在清洗室1的侧部(图1的右手前侧的侧部)设置有干
燥室用开口1c(第1开口，参照图3)、排液端口1d以及蒸汽取入端口1e。
如图3所示，干燥室用开口1c设置为与干燥室4对置，是用于使清洗室1与干燥室4
连通的圆形开口。干燥室用开口1c的形状也可以是圆形以外的形状(例如多边形)。这样的
干燥室用开口1c在以与干燥室4对置的方式设置在清洗室1的规定厚度(规定深度)的环状
部件1f(阀座)的内侧面(与清洗室1的内侧对置的面，图3的纸面左侧的面)上开口。清洗室1
的内部空间经由干燥室用开口1c而与干燥室4的内部空间连通。
另外，上述环状部件1f具备干燥室用开口1c，并且也作为与后述的开闭机构6的阀
体6b对置的阀座起作用。即，阀体6b与环状部件1f(阀座)一体地构成开闭阀。
排液端口1d是用于将由于工件的清洗而产生的清洗液以及污垢成分的混合液排
出清洗室1的外部的开口，利用未图示的管道连接在再生浓缩器9上。蒸汽取入端口1e是用
于将由再生浓缩器9生成的清洗剂的蒸汽取入清洗室1内的开口，通过未图示的管道连接在
再生浓缩器9上。
蒸汽产生部2配备于清洗室1的上部，产生清洗剂的蒸汽。该蒸汽产生部2具备：加
热部(图示省略)，例如加热清洗液而产生清洗蒸汽；蒸汽罐(图示省略)，暂时存留清洗蒸
汽；将由加热部产生的蒸汽暂时存留在蒸汽罐内，并且经由该蒸汽罐向清洗室1供给清洗蒸
汽。根据这样的蒸汽产生部2，因为具备蒸汽罐，所以能够在整个清洗期间对清洗室稳定地
供给规定流量的清洗蒸汽。
另外，上述清洗剂为烃类的清洗剂，例如正构烷烃类、异构烷烃类、环烷烃类、芳香
族类的烃类清洗剂。更具体而言，是被称作清洗溶剂的“TECLEAN”(注册商标)N20、
CleansolG、Daphne溶剂等第3石油类的清洗剂。
前门3配备于清洗室1的前表面，是关闭或者开放上述工件插通口1a的板状部件。
该前门3例如为滑动门，与垂直姿态的工件插通口1a同样地以垂直姿态(在垂直方向上延伸
的姿态)对置配置，通过保持该垂直姿态在左右方向(X轴方向)上移动而关闭或者开放工件
插通口1a。另外，前门3通过与设置在工件插通口1a的周围外侧(前门3侧)的密封材料接触
而密封清洗室1。
如图1所示，干燥室4为带有圆角的箱型，是使从上述清洗室1取入的蒸汽(残留蒸
汽)冷凝(液化)的冷凝器。清洗室1中的工件的清洗结束的状态为工件的表面或清洗室1的
内表面被清洗液润湿的状态。虽然后述有对详细内容进行说明，但在这样的工件的清洗后，
干燥室4使清洗室1内残留的清洗剂的蒸汽(残留蒸汽)从清洗室1取入后冷凝(液化)。
也如图2以及图3所示，这样的干燥室4具备：第1平面部4a、第2平面部4b、周面部
4c、凹陷部4d、排气端口4e、排液端口4f、蒸汽取入端口4g、冷媒取入端口4h、冷媒排液端口
4i、蒸汽取入口4j(第2开口)、多个翅片4k以及温度保持装置4m。
第1平面部4a是在干燥室4的内部侧的面上设置有多个翅片4k、并且外周为长圆状
的板状部位。如图3所示，该第1平面部4a具备由在隔开规定距离的状态下对置的外壁4a1和
内壁4a2构成的双层壳结构，外壁4a1与内壁4a2之间为冷媒流通的流路(冷媒流路R)。
第2平面部4b是设置有在其厚度方向上贯通的蒸汽取入口4j，并且与上述第1平面
部4a平行的板状部位。即，该第2平面部4b与第1平面部4a同样是外周为长圆形的板状部位。
另外，具有相互平行的关系的第1平面部4a以及第2平面部4b都以垂直姿态(在垂直方向上
延伸的姿态)配置。
周面部4c是连接上述第1平面部4a的外周与上述第2平面部4b的外周的无端状(环
状)的板状部位。如图3所示，该周面部4c具备由在隔开规定距离的状态下对置的外周壁4c1
和内周壁4c2构成的双层壳结构，外周壁4c1与内周壁4c2之间为冷媒流通的流路(冷媒流路
R)。
即，在干燥室4中，第1平面部4a与周面部4c具备双层壳结构，利用由该双层壳结构
形成的冷媒流路R(在冷媒流路R中流动的冷媒)有效地冷却内壁4a2与内周壁4c2。另外，该
冷媒流路R与冷媒取入端口4h以及冷媒排液端口4i连通。这样的干燥室4中，由第1平面部
4a、第2平面部4b以及周面部4c形成的内部空间构成为冷凝室。
如图1所示，凹陷部4d是从第1平面部4a的中心向稍下位移的部位在规定面积塌陷
的部位。在这样的凹陷部4d的底部(第1平面部4a的一部分)上安装有开闭机构6的一部分
(气缸6a等)。
排气端口4e是用于将干燥室4内的空气(气体)向外部排气的开口，通过未图示的
管道连接在真空泵7上。排液端口4f是用于将残留蒸汽在干燥室4内冷凝而产生的冷凝液
(残留冷凝液)向外部排液的开口，通过未图示的管道连接在再生浓缩器9上。
蒸汽取入端口4g是用于将由再生浓缩器9产生的清洗剂的蒸汽(再生蒸汽)取入干
燥室4内的开口，通过未图示的管道连接在再生浓缩器9上。冷媒取入端口4h是用于将冷媒
取入上述冷媒流路R内的开口，通过未图示的管道连接在冷媒供给源8上。冷媒排液端口4i
是用于将上述冷媒流路R内的冷媒排出干燥室4的外部的开口，通过未图示的管道连接在排
液罐(图示省略)上。
如图3所示，蒸汽取入口4j是在上述第2平面部4b上设置的规定尺寸的圆形开口。
蒸汽取入口4j的形状也可以是圆形以外的形状(例如多边形)。该蒸汽取入口4j设置于与上
述第1平面部4a上设置的凹陷部4d的位置对应的位置、即从长圆形状的第2平面部4b的中心
向下侧稍微位移的位置上。本实施方式的蒸汽取入口4j形成为与第1平面部4a的凹陷部4d
在水平方向上对置。
如图3所示，多个翅片4k是以朝向干燥室4的内部突出的方式设置在第1平面部4a
的内壁4a2上的矩形的板状部件。更具体而言，这些翅片4k在第1平面部4a上仅设置在凹陷
部4d的上方侧，且在垂直方向(Z轴方向)上延伸，并且以在垂直方向以及水平方向上隔开规
定间隔的方式设置。
如图1所示，温度保持装置4m是将干燥室温度(干燥室内的温度)保持为比清洗室
温度(清洗室内的温度)低的规定温度的装置，设置在凹陷部4d(第1平面部4a)上。更具体而
言，该温度保持装置4m通过在干燥室4内延伸的冷却管将干燥室温度保持为比清洗室温度
低的温度。通过该温度保持装置4m设定、保持的干燥室温度例如为5～50℃。另外，除了温度
保持装置4m以外，干燥室温度通过从冷媒供给源8向上述的冷媒流路R供给规定的冷媒而设
定、保持在规定温度。
连接部件5是连接清洗室1的干燥室用开口1c与干燥室4的蒸汽取入口4j的圆筒状
部件，设定为轴线方向(中心轴线方向)与水平方向(X轴方向)平行。该连接部件5例如为圆
筒状的金属制波纹管，夹装在干燥室用开口1c与蒸汽取入口4j之间。在本实施方式的真空
清洗装置100中，通过将连接部件5做成金属制波纹管，减轻了清洗室1的热变形(特别是水
平方向上的变形)对干燥室4的影响。
如图3所示，开闭机构6是将通过上述连接部件5连接的清洗室1与干燥室4切换为
连通状态或者非连通状态的机构，由气缸6a(致动器)、阀体6b、连结轴部件6c、支承部件6d
以及环状部件1f等构成。另外，环状部件1f是清洗室1的构成元件，并且也是开闭机构6的构
成元件。
即，该开闭机构6是如下的机构：关闭或者开放以与干燥室4对置的方式在清洗室1
形成的干燥室用开口1c，由此将由上述连接部件5连接清洗室1与干燥室4的连接状态切换
为连通状态或者非连通状态。气缸6a是驱动阀体6b的致动器，以活动杆的突出方向与连接
部件5的轴线方向(X轴方向)一致的方式设置在凹陷部4d(第1平面部4a)。
阀体6b是具备比干燥室用开口1c稍大的形状的圆形部件(圆形板部件)，位于比干
燥室用开口1c更靠近清洗室1的内侧、即清洗室1内，并且与干燥室用开口1c对置。在该阀体
6b上以连结轴部件6c向干燥室用开口1c的连接部件5侧(干燥室4侧)突出的方式安装有连
结轴部件6c的前端。此外，在该阀体6b上，干燥室用开口1c侧的面(与环状部件1f对置的面)
上设置有密封部件(O形环，图示省略)。另外，该密封部件也可以设置在环状部件1f上。
该阀体6b构成为能够与清洗室1内容纳的工件(被清洗物)相对移动。即，在清洗室
1内配置有工件的状态下，通过阀体6b的移动，清洗室1与干燥室4的连接状态切换为连通状
态与非连通状态。此外，如后述的那样，在清洗室1内容纳的工件的清洗中，阀体6b构成为与
环状部件1f抵接，换而言之，阀体6b关闭干燥室用开口1c时，阀体6b与工件一起配置在清洗
室1内。
如图3所示，连结轴部件6c是设置在连接部件5的内部、并且夹装在气缸6a的活动
杆与阀体6b之间的规定长度的棒状部件，将活动杆与阀体6b连结。即，气缸6a在连接部件5
的内部经由连结轴部件6c而与阀体6b连接。
支承部件6d是以与阀体6b邻接的方式设置在连结轴部件6c上的圆形部件，确定阀
体6b相对于环状部件1f(干燥室用开口1c)的位置(在Y-Z平面上的位置)。即，支承部件6d以
如下的方式引导：通过可滑动地嵌合在具有规定深度的干燥室用开口1c内，位于比环状部
件1f更靠近清洗室1的内侧的阀体6b的整周可靠地抵接在环状部件1f的内侧面上。支承部
件6d的外形形成为与干燥室用开口1c的形状大致相同，并且在靠近支承部件6d的干燥室4
的部分上形成有朝向干燥室4逐渐缩径的缩径部。通过形成了该缩径部，支承部件6d能够容
易且适当地插入干燥室用开口1c；通过支承部件6d的外形与干燥室用开口1c嵌合，能够进
行阀体6b相对于干燥室用开口1c的定位。在本实施方式中，虽然支承部件6d是经由连结轴
部件6c而连结在阀体6b上的，但支承部件6d也可以直接安装在阀体6b上。
这样的开闭机构6，通过以气缸6a拉入活动杆的方式动作，使阀体6b抵接在环状部
件1f的内侧面上而关闭干燥室用开口1c。另一方面，开闭机构6通过以气缸6a使活动杆突出
的方式动作，使阀体6b从环状部件1f的内侧面(清洗室1的侧面)隔开而开放干燥室用开口
1c。
真空泵7经由未图示的管道连结在排气端口1b、4e上，将清洗室1内以及干燥室4内
的空气(气体)向外部排气。冷媒供给源8经由未图示的管道连接在冷媒取入端口4h上，向干
燥室4供给冷媒。该冷媒例如为水。再生浓缩器9经由未图示的管道连接在排液端口1d、4f以
及蒸汽取入端口1e、4g上，在从清洗室1以及干燥室4回收的清洗剂以及污垢成分的冷凝液
中，仅将清洗剂再蒸汽化而向清洗室1以及干燥室4供给，并且从冷凝液分离并浓缩污垢成
分。
其次，对像这样地构成的本实施方式的真空清洗装置100的动作详细地进行说明。
在这样的真空清洗装置100中清洗工件的情况下，工件从工件插通口1a容纳至清
洗室1中。该工件的表面上附着有切削油等的污垢成分。然后，前门3动作而使清洗室1以及
干燥室4成为密闭空间。然后，真空泵7动作而使清洗室1以及干燥室4缓缓地减压，将各内部
空间设定为例如10kPa以下的压力(初始压力)。
此外，与这样的减压处理并行地使蒸汽产生部2动作，生成清洗蒸汽。该清洗蒸汽
的压力为饱和蒸汽压，且温度在清洗液的沸点附近、例如为80～140℃。此外，通过与上述减
压处理并行地使开闭机构6动作，将清洗室1与干燥室4分离成为单独的腔室，再通过使温度
保持装置4m以及冷媒供给源8动作，将干燥室温度设定为比清洗结束后的清洗室温度低温
的状态(例如5～50℃)。
然后，在这样的状态下，通过在整个规定的清洗期间从蒸汽产生部2向清洗室1依
次供给清洗蒸汽而清洗清洗室1的工件。即，在清洗期间，在工件的表面上连续地重复清洗
蒸汽的附着与冷凝，工件的表面上附着的污垢成分与清洗蒸汽的冷凝液一起从工件的表面
流下而被除去(清洗)。
在上述清洗处理结束的时刻，清洗室1的压力变为与清洗蒸汽的饱和蒸汽压几乎
相等的压力，且温度变为与清洗蒸汽的温度几乎相等的温度(80～140℃左右)。即，清洗室1
的压力以及温度变为比预先设定、保持的干燥室内的压力以及温度高很多的值。
接着上述清洗处理，进行清洗室内的工件的干燥处理，在该干燥处理中，通过使开
闭机构6动作而使处于上述压力关系以及温度关系的清洗室1与干燥室4连通。即，利用气缸
6a动作使阀体6b的外周部从抵接在环状部件1f的内侧面(清洗室侧面)上的状态急剧地变
为隔开(分离)的状态，由此使清洗室1与干燥室4短时间且较大面积地连接。即，阀体6b通过
从环状部件1f分离而开放干燥室用开口1c，并且使清洗室1内与干燥室4内相互连通。
其结果，清洗室1的压力急速地减压，由于该急速减压而导致附着在工件的表面上
的清洗蒸汽的冷凝液(残留液)瞬间沸腾(爆沸)而气化，生成残留蒸汽。此外，通过使清洗室
1与干燥室4短时间且较大面积地连接，从工件的表面产生的残留液的蒸汽(残留蒸汽)从清
洗室1(高压侧)经由阀体6b与干燥室用开口1c之间的间隙、连接部件5以及蒸汽取入口4j并
高速移动到干燥室4(低压侧)。因为工件表面的残留液变为残留蒸汽并移动到干燥室4，所
以工件在短时间内被干燥。
然后，因为干燥室温度保持为比清洗室温度低温且为清洗液的沸点以下，所以向
干燥室4(低压侧)移动的残留蒸汽发生冷凝。此外，因为在干燥室4内的部件的表面积越大，
残留蒸汽越容易与上述部件接触而低温化，所以干燥室4中的残留蒸汽的冷凝得以有效率
地进行。
本实施方式的真空清洗装置100构成为阀体6b从比干燥室用开口1c更靠近清洗室
1的内侧(清洗室1内)关闭干燥室用开口1c，因此，与阀体6b设置在清洗室1外的情况、例如
以阀体6b关闭干燥室4上设置的蒸汽取入口4j的方式构成的情况相比较，能够容易地使工
件干燥。
即，在以阀体6b关闭干燥室4上设置的蒸汽取入口4j的方式构成的情况下，干燥对
象(清洗室的容积)包含连接部件5的内部空间，需要使更宽广的空间干燥。若清洗室的容积
变大而能够向清洗室内供给的清洗液的量增大，则为了使该清洗液充分地气化，既需要较
大的容积的干燥室，也需要使清洗室与干燥室的压力差增大。然而，在本实施方式中，因为
干燥对象不包含连接部件5的内部空间，所以能够使干燥对象缩小，即使包含了清洗室1也
能够容易地使工件干燥。
此外，虽然例如在连接部件5内设置了阀体6b的情况下，存在阀体6b成为阻力(流
动阻力)而妨碍蒸汽(残留蒸汽)从清洗室1(高压侧)向干燥室4(低压侧)高速移动的情况，
但在本实施方式中，因为在比干燥室用开口1c更靠近清洗室1的内侧(清洗室1内)设置有阀
体6b，所以不会妨碍蒸汽(残留蒸汽)的高速移动。此外，虽然在连接部件5内设置了阀体6b
的情况下，由于气缸6a向图3的右侧延伸而存在装置变大的可能性，但在本实施方式中，能
够防止这样的装置的大型化。
此外，虽然在将阀体6b设置在干燥室4的情况下，存在由于干燥室4的容积减小而
使冷凝性能降低的可能性，但在本实施方式中，因为阀体6b设置在比干燥室用开口1c更靠
近清洗室1的内侧(清洗室1内)上，所以能够防止冷凝性能的降低。
此外，根据本实施方式的真空清洗装置100，阀体6b位于清洗室1内、即设置在比环
状部件1f(阀座)更靠近清洗室1的内侧(清洗室1内)，因此，与阀体6b位于清洗室1外的情
况、即设置在比环状部件1f(阀座)更靠近清洗室1的外侧(干燥室4侧)的情况相比较，能够
在工件的清洗时可靠地使清洗室1处于密闭状态。
即，虽然工件的清洗时的初始压力是清洗室1以及干燥室4压力相同，但随着时间
的推移，清洗室1的压力伴随清洗蒸汽的供给而缓缓地上升。另一方面，因为干燥室4的压力
维持在初始压力，所以清洗室压力(清洗室内的压力)随着工件的清洗的推进而变得比干燥
室压力(干燥室内的压力)高。
在本实施方式中，因为阀体6b位于清洗室1的内侧，所以由于上述的清洗室压力与
干燥室压力的压力差，将阀体6b向环状部件1f(阀座)推压的压力起作用。即，不仅使用气缸
6a的拉入力，也使用基于上述压力差的压力用于将阀体6b压靠于环状部件1f，能够可靠且
容易地密封清洗室1。另一方面，在阀体6b位于清洗室1的外侧的情况下，因为使阀体6b从环
状部件1f(阀座)隔开的方向的压力起作用，所以存在需要使与阀体6b连接的气缸6a产生比
该压力高的推压力而导致气缸6a大型化的情况或难以可靠地使清洗室1处于密闭状态的情
况。
此外，根据本实施方式的真空清洗装置100，具备：支承部件6d，与阀体6b邻接并设
置在连结轴部件6c上、并且可滑动地嵌合于干燥室用开口1c，因此，能够将阀体6b相对于干
燥室用开口1c的位置维持在最佳位置上，因此在清洗室1中的工件的清洗时，能够利用阀体
6b可靠地关闭干燥室用开口1c。
此外，根据本实施方式的真空清洗装置100，干燥室4内配备有驱动阀体6b的气缸
6a，并且在连接部件5的内部与阀体6b连接，因此能够可靠地驱动位于清洗室1的内侧的阀
体6b。
进而，根据本实施方式的真空清洗装置100，连接部件5构成为波纹管。因此，即使
在清洗室1以及干燥室4的至少一方热变形而使清洗室1与干燥室4的相对位置发生变更的
情况下，也能够通过连接部件5变形而吸收上述相对位置的变更，减轻其相互的影响。
以上，虽然参照附图对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上
述实施方式。在上述实施方式中示出的各构成部件的各种形状或组合等为一例，在不脱离
本发明的主旨的范围内基于设计要求等，能够进行构成的附加、省略、置换以及其他的变
更。例如，可以考虑以下这样的变形例。
(1)在上述实施方式中，虽然设置了限定阀体6b相对于干燥室用开口1c的位置的
支承部件6d，但本发明并不限定于此。在阀体6b的外径相对于干燥室用开口1c充分大的情
况下，也可以不设置支承部件6d。
(2)在上述实施方式中，虽然将阀体6b做成与支承部件6d不同的部件，但也可以使
两者一体化。
(3)在上述实施方式中，虽然将连接部件5做成波纹管，但本发明并不限定于此。在
能够忽视清洗室1以及干燥室4两者的热变形的情况下，也可以将连接部件5做成一般的直
管状的管道。
(4)在上述实施方式中，虽然在具有双层壳结构的第1平面部4a的内壁4a2上安装
有多个翅片4k，并且使清洗蒸汽(残留蒸汽)在翅片4k以及内壁4a2上冷凝，但也可以做成如
下的构成：将第1平面部4a(以及周面部4c)做成单层结构，代替翅片4k而在干燥室4内配置
在冷媒流动的铜管上带有翅片的热交换器。
工业实用性
本发明能够应用于使用清洗剂对在清洗室内容纳的被清洗物进行清洗的清洗装
置。
附图标记说明
1 清洗室
1a 工件插通口
1b 排气端口
1c 干燥室用开口(第1开口)
1d 排液端口
1e 蒸汽取入端口
1f 环状部件(阀座)
2 蒸汽产生部
3 前门
4 干燥室
4a 第1平面部
4b 第2平面部
4c 周面部
4d 凹陷部
4e 排气端口
4f 排液端口
4g 蒸汽取入端口
4h 冷媒取入端口
4i 冷媒排液端口
4j 蒸汽取入口(第2开口)
4k 翅片
4m 温度保持装置
5 连接部件
6 开闭机构
6a 气缸(致动器)
6b 阀体
6c 连结轴部件
6d 支承部件
7 真空泵
8 冷媒供给源
9 再生浓缩器