一种微孔膜的制作方法及其模压装置.pdf

上传人:xia****o6 文档编号:531590 上传时间:2018-02-21 格式:PDF 页数:6 大小:266.46KB
返回 下载 相关 举报
摘要
申请专利号:

CN00132532.9

申请日:

2000.11.27

公开号:

CN1355063A

公开日:

2002.06.26

当前法律状态:

终止

有效性:

无权

法律详情:

专利权的终止(未缴年费专利权终止)授权公告日:2003.12.31|||授权|||公开|||实质审查的生效申请日:2000.11.27

IPC分类号:

B01D67/00

主分类号:

B01D67/00

申请人:

孟武;

发明人:

孟武

地址:

102600北京市大兴工业开发区金科巷2号

优先权:

专利代理机构:

代理人:

PDF下载: PDF下载
内容摘要

本发明公开了一种微孔膜的制作方法及其模压装置,属于物理学中电处理技术领域。该发明的技术特征是利用物理、化学、机械方法在固体探测材料上形成锥形坑,然后通过模压装置而直接生产微孔膜,由于该方法制出的微孔膜比传统生产核孔膜的微孔内壁更加光滑,因此具有更大的市场前景。

权利要求书

1: 1、一种微孔膜的制作方法,该方法是选择一种固体径迹复制工艺或用计算机控制能量发 生器烧蚀、或用微电子工艺使固体介质上产生损伤,经电铸后形成金属模压工作版对微孔 膜材料直接模压而生成微孔,该方法包括以下步骤: ①、将固体径迹探测器材料板放在重带电粒子管道中辐照,或用计算机(18)控制能量 发生器(17)烧蚀、或用微电子工艺刻蚀后,再经化学蚀刻、中和、清洗、烘干而成为复制 母版(1); ②、在复制母版(1)上用镀膜工艺使其沉积一薄层金属,然后经电铸后而成为金属母版 (2); ③、对上述金属母版(2)经两次翻铸后而成为金属拼版(3); ④、将上述金属拼版(3)安装在拼版机的拼版头上,根据模压宽度对拼版材料进行拼版 而成为模压母版(4); ⑤、对上述模压母版(4)真空镀膜后再进行电铸而成为金属模压母版(5); ⑥、对上述金属模压母版(5)进行两次翻铸而成为模压工作版(6); ⑦、在上述模压工作版(5)的表面喷涂一薄层绝热介质(23);使其在模压时不损伤 微孔膜(13)表面; ⑧、将上述模压工作版(6)装在模压装置版滚(7)上,根据塑料膜材料决定版滚温度和 压力,即可制作出微孔膜。 2、如权利要求1所述的制作方法,其中步骤①所述的复制母版(1)为云母、CR39、聚碳 酸酯、聚酯等; 3、如权利要求1所述的制作方法,其特征在于所述的复制母版(1)的厚度与微孔膜厚度 应遵循以下原则:根据微孔膜厚度L来确定复制母版(1)的厚度(一般为>10L);重带电粒 子的种类和能量的选择应使其在复制母版(1)中产生>
2: 5L的可蚀刻径迹损伤; 4、如权利要求1所述的制作方法,其中步骤⑦所述的绝热介质(22)为聚四氟乙烯、二 氧化硅、或其它耐高温塑料等; 5、如权利要求1所述的制作方法,其中步骤①所述的复制母版(1)可用计算机控制能量发 生器在固体质板上烧蚀而成,能量发生器可为激光器、离子束发生器等; 6、如权利要求1所述的制作方法,其中步骤①所述的复制母版(1)也可用微电子工艺或 机械法制成; 7、一种实现上述制作方法的模压装置,由装有模压工作版(6)的版滚(7)、与版滚(7) 一起模压塑料膜的挡滚(8)、可以改变版滚(7)与挡滚(8)之间压力的加压器(9)、以 及给加压器(9)供应动力的压缩机(12)、给版滚(7)调温的加热器(10)及其导油管 (16)、供给塑料膜的放卷轮(14)、接收塑料膜的收卷轮(15),以及提供整个装置转动 力的电机(11)所组成; 8、如权利要求7所述的装置,其中所述的版滚(7)为金属材料,挡滚(8)由聚四氟乙 烯或耐温材料制成; 9、如权利要求7所述的装置,其中所述的模压工作版(6)与版滚(7)之间用高温双面 胶纸粘合或高温胶粘合而成。

说明书


一种微孔膜的制作方法及其模压装置

    本发明涉及一种微孔膜的制作方法及其模压装置,特别是涉及一种采用固体径迹复制技术进行微孔生产的工艺,属于物理学中电处理技术领域。

    现有的核微孔膜在国内外市场上有大量商品,其制作方法如下:在加速器上加速带电粒子,使其具有一定的能量,然后打在聚碳酸酯等塑料薄膜上,带电粒子在聚碳酸酯薄膜的截面上产生径迹损伤,经化学蚀刻后产生穿孔,带电粒子的能量和粒子种类应根据核微孔膜的材料和厚度来选择,也就是说微孔膜材料灵敏度越高,厚度越薄,带电粒子可以越轻,能量可以越低,以其在微孔膜截面上可产生穿孔损伤为准,而微孔膜上每平方厘米中的微孔密度则根据带电粒子强度和照射时间决定,其微孔直径大小则根据用户要求结合蚀刻条件来得到。由于核微孔膜比纤维素膜有许多优点,在科学研究、医学、生物学等众多领域得到广泛应用,然而,由于生产核孔膜的设备昂贵、工艺复杂、强度低、孔径内表面粗糙等而受到限制。

    本发明的目的是提供一种微孔膜的制作方法,采用固体径迹复制技术、微电子电成型和模压技术制出具有与微孔直径相同的金属针的模压工作版,将其装在特制的模压装置上即可生产出微孔内壁光滑、机械强度高、且价格便宜的微孔膜,从而达到本发明的目的。

    以下是实现本发明目的技术方案:

    一种微孔膜制作方法,其特征在于该方法包括以下步骤:

    1、将固体径迹探测器材料板放在重带电粒子管道中辐照,或计算机控制能量发生器烧蚀、或用微电子工艺刻蚀后,再经化学蚀刻、中和、清洗、烘干而成为复制母版;

    2、在复制母版上用镀膜工艺使其沉积一薄层金属,然后经电铸后而成为金属母版;

    3、对上述金属母版经两次翻铸后而成为金属拼版;

    4、将上述金属拼版安装在拼版机的拼版头上,根据模压宽度对拼版材料进行拼版而成为模压母版;

    5、对上述模压母版真空镀膜后再进行电铸而成为金属模压母版;

    6、对上述金属模压母版进行两次翻铸而成为模压工作版;

    7、在上述模压工作版的表面喷涂一层绝热介质,使其在模压时不损伤微孔膜表面;

    8、将上述模压工作版装在模压装置版滚上,根据塑料膜材料决定版滚温度和压力,即可制作出微孔膜。

    上述制作微孔膜的实质是用重离子轰击、计算机控制激光器或离子束烧蚀,或用微电子工艺等方法在一种固体材料上产生锥形坑、柱形坑或菱形坑,然后再用化学沉积、真空蒸发、溅射、电铸等复制工艺在金属板上形成不同密度和直径的金属针,然后将它装在模压装置的版滚上对塑料膜进行模压,即可生产出微孔密度和微孔直径与模压工作版一致地微孔膜。

    上述的固体径迹探测器材料可为云母、CR39、聚碳酸酯、聚脂等;重带电粒子能量选择应能使其在固体径迹探测器中产生大于微孔膜厚度的可蚀刻损伤。例如微孔膜厚度为10μm,重带电粒子应为能量大于150Mev的氩离子;其束流强度乘以照射时间应等于微孔膜要求的平均微孔密度;化学蚀刻条件应依据使用探测器材料而异,例如聚碳酸酯应使用70℃6.25NNaOH来蚀刻,蚀刻时间以微孔直径和深度满足要求为准。

    用于模压微孔膜的装置由版滚、挡滚、加压器、加热器、电机、压缩机等组成,其中版滚由金属材料制成,挡滚由金属或塑料材料制成,例如聚四氟乙烯或其他耐热塑料等;加热器是用电热使油加热后导入版滚使其加热到预定温度,温度为80℃-160℃,依微孔膜材质耐热情况而定,加压器与压缩机相连,根据模压工作版的要求决定版滚与挡滚之间的压力和版滚转动的速度。

    本发明实施后可带来以下积极效果:

    第一,从使用加速器生产微孔膜变成使用加速器来生产版,减少了微孔膜生产工艺对昂贵设备的依赖,从而大幅度降低了生产条件和成本;

    第二,由于制作工艺的改变,使微孔膜微孔密度和孔径都更为稳定,孔径内壁更加光滑,明显提高了微孔膜质量。

    第三,由于模压工艺与原辐照和蚀刻工艺相比,其制作速度相差甚远,从而可以大幅度提高产品产量。

    本发明具有下列附图:

    图1为微孔膜制版工艺流程示意图

    图2为模压装置结构示意图

    图3为用能量发生器烧蚀制作复制母版示意图

    图4为利用微电子工艺制作复制母版示意图

    下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细描述:

                            实施例1

    根据用户对微孔膜厚度要求确定重带电粒子种类和能量;根据对微孔膜孔密度确定重带电粒子束流强度和照射时间;根据对微孔膜微孔直径要求确定蚀刻时间;在本实施中微孔膜厚度定为10μm,微孔密度平均为105个/cm2;微孔直径平均为6μm;选择厚为1毫米的CR39板100cm2,在中间5×5cm2位置上接受200Mev的氩离子辐射,控制照射时间,使其径迹密度平均为105个/cm2,然后用70℃,6.25NNaOH蚀刻使径迹孔直径达到平均为6μm时为止,用1%硝酸水溶液中和再用去离子水清洗后烘干而成为复制母版1,将其放入真空镀膜机中,用真空蒸发或溅射方法镀上一层电极,然后放入电铸槽中电铸,电量控制在20-60,其厚度控制在100μm左右,而成为金属母版2,将电铸槽加硬后对金属母版2进行两次翻铸而成为金属拼版3,将其安装在市售的拼版机的拼版头上,在一块厚1.5毫米,长250毫米,宽200毫米的聚碳酸酯板上进行拼版后而成为模压母版4,对其进行真空镀膜或化学浸银后再进行电铸而成为金属模压母版5,再进行两次翻铸后而成为模压工作版6,用射频溅射方法在模压工作版6的金属针间隙镀一层绝热介质,如二氧化硅介质膜,最后将其装在改装的市售模压机的版滚上即可生产出模压微孔膜。如图1所示。

    用于模压微孔膜的装置由版滚7、挡滚8、加压器9、加热器10、电机11、压缩机12等组成,其中版滚7由金属材料制成,挡滚8由金属或塑料材料制成,在本实施例中由聚四氟乙烯材料制成,加热器10由电热丝及导油管16构成,由泵驱动热油导入版滚7使其温度达到正常值,根据被模压的微孔膜材料的耐热情况,一般为80℃-160℃,具体数值由实验决定,压缩机12的作用是提供加压动力,通过加压器9使版滚7与挡滚8之间通过加压,使模压工作版6上的金属针扎穿微孔膜13而成为微孔,通过电机11使整个模压装置运转,使放卷轮14不断放出,经模压后由收卷轮15不断收起,而连续生产出微孔膜13,如图2所示。

                            实施例2

    本实施例说明了应用计算机18控制能量发生器烧蚀出复制母版1的情形。

    如图3所示,能量发生器17为激光器或离子束发生器等各种可以在固体介质上烧蚀的器件。在计算机控制下,先使激光器或离子束聚焦后向聚碳酸酯板上烧蚀一点,再驱动X、Y移动架使X、Y分别移动一个步长,再烧蚀一点,逐步在聚碳酸酯板上烧蚀成预定面积的锥形坑,也可直接用机械法形成锥形坑,而成为复制母版1,其他同实施例1。

                            实施例3

    本实施例说明了应用微电子工艺制作复制母版1的情形。

    如图4所示,先用微电子工艺制出掩膜版19,它可以为具有一定粘度的膜,其上有一定面积的透孔。将其粘在聚碳酸酯板进行蚀刻,即可直接在聚碳酸酯上产生相同的锥孔分布而成为复制母版1;也可直接在聚碳酸酯板上直接涂上感光胶20后进行紫外曝光,然后水洗后形成透孔再蚀刻,有孔处形成锥形坑而成为复制线版1,其余同实施例1。

一种微孔膜的制作方法及其模压装置.pdf_第1页
第1页 / 共6页
一种微孔膜的制作方法及其模压装置.pdf_第2页
第2页 / 共6页
一种微孔膜的制作方法及其模压装置.pdf_第3页
第3页 / 共6页
点击查看更多>>
资源描述

《一种微孔膜的制作方法及其模压装置.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《一种微孔膜的制作方法及其模压装置.pdf(6页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。

本发明公开了一种微孔膜的制作方法及其模压装置,属于物理学中电处理技术领域。该发明的技术特征是利用物理、化学、机械方法在固体探测材料上形成锥形坑,然后通过模压装置而直接生产微孔膜,由于该方法制出的微孔膜比传统生产核孔膜的微孔内壁更加光滑,因此具有更大的市场前景。 。

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置:首页 > 作业;运输 > 一般的物理或化学的方法或装置


copyright@ 2017-2020 zhuanlichaxun.net网站版权所有
经营许可证编号:粤ICP备2021068784号-1